JPH05273203A - Cell or fine particle analyzing device - Google Patents
Cell or fine particle analyzing deviceInfo
- Publication number
- JPH05273203A JPH05273203A JP4065412A JP6541292A JPH05273203A JP H05273203 A JPH05273203 A JP H05273203A JP 4065412 A JP4065412 A JP 4065412A JP 6541292 A JP6541292 A JP 6541292A JP H05273203 A JPH05273203 A JP H05273203A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- flow
- photodetector
- cell
- cells
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 title claims abstract description 19
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims abstract description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 12
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 13
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 9
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 claims description 3
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 2
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 abstract description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 239000011859 microparticle Substances 0.000 description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 108010043121 Green Fluorescent Proteins Proteins 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 239000003814 drug Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000002073 fluorescence micrograph Methods 0.000 description 1
- 239000007850 fluorescent dye Substances 0.000 description 1
- 238000002356 laser light scattering Methods 0.000 description 1
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000000087 stabilizing effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Investigating Or Analysing Biological Materials (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、被測定流体に光ビーム
を照射し、その流体中に含まれる細胞または微粒子から
発するの蛍光や散乱光を測定して、細胞または微粒子を
識別する装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a device for irradiating a fluid to be measured with a light beam and measuring fluorescence or scattered light emitted from cells or fine particles contained in the fluid to identify cells or fine particles. ..
【0002】[0002]
【従来の技術】バイオテクノロジーの発展に伴い、医
学,生物学などの広い分野で、細胞の自動分析および分
別を行なう装置の要求が高まっている。このような細胞
解析装置の代表的なものとしてフローサイトメータが知
られている。また、半導体や医療の分野では、空気中ま
たは液体中の微粒子の管理に、レーザー光散乱カウンタ
が用いられている。これらの装置では、細胞または微粒
子をフローの形で検出部に高速に流し、そこにレーザ光
を照射し、細胞または微粒子から発する散乱光および蛍
光を検出して測定を行なうという共通点がある。2. Description of the Related Art With the development of biotechnology, there is an increasing demand for an apparatus for automatic analysis and sorting of cells in a wide range of fields such as medicine and biology. A flow cytometer is known as a typical one of such cell analyzers. In the semiconductor and medical fields, a laser light scattering counter is used to control fine particles in air or liquid. These devices have a common feature that cells or microparticles are caused to flow at high speed in the form of a flow to a detection unit, laser light is irradiated onto the detection section, and scattered light and fluorescence emitted from the cells or microparticles are detected for measurement.
【0003】図2は一般的な細胞解析装置(フローサイ
トメータ)の要部の構成と、その作動を説明するための
模式図である。図2において、容器中にあり細胞を含む
サンプル液1は、別の容器中にあるシース液2ととも
に、エアポンプ3によってフローセル4に導かれ、フロ
ーセル4の内部では、シース液2がサンプル液1を円筒
状に包み込む鞘状のシースフローが形成される。このシ
ースフローは、細胞をフローセル4の中心軸に沿って一
つ一つ正確に流すための手段として形成されるものであ
る。(シースフローについては後述する)。FIG. 2 is a schematic diagram for explaining the construction of the main part of a general cell analyzer (flow cytometer) and its operation. In FIG. 2, a sample liquid 1 in a container and containing cells is guided to a flow cell 4 by an air pump 3 together with a sheath liquid 2 in another container. Inside the flow cell 4, the sheath liquid 2 collects the sample liquid 1 A sheath-shaped sheath flow that wraps in a cylindrical shape is formed. The sheath flow is formed as a means for accurately flowing cells one by one along the central axis of the flow cell 4. (The sheath flow will be described later).
【0004】フローセル4の下部には、レーザ光源5か
ら出射され、集束レンズ6によって絞り込まれたレーザ
光7が照射される。サンプル液1に含まれる細胞は、多
くの場合蛍光染料や蛍光ラベルモノクロナール抗体など
の蛍光物質で蛍光標識されており、細胞がレーザ光7中
を通過するとき、散乱光と蛍光が発生する。散乱光は、
集光レンズ8とビームブロック9からなる集光光学系を
経て、例えばフォトダイオードなどの光検出器10で検
出される。一方、蛍光については、赤色蛍光は集光レン
ズ11,ハーフミラー12,集光レンズ13,フィルタ
14からなる集光光学系で集められて、光検出器15に
より検出され、緑色蛍光は、これとは別経路のハーフミ
ラー12から集光レンズ16,フィルタ17で集めら
れ、光検出器18により検出される。通常、蛍光の検出
器15,18には、微弱光の検出が可能な電子増倍管が
用いられる。散乱光を検出する光検出器10,赤色蛍光
を検出する光検出器15および緑色蛍光を検出する光検
出器18からの信号は、それぞれ信号処理回路19に送
られ、ここで散乱光と蛍光の強度を分析することにより
細胞の同定めがな行われる。A laser beam 7 emitted from a laser light source 5 and narrowed down by a focusing lens 6 is applied to the lower portion of the flow cell 4. In many cases, the cells contained in the sample liquid 1 are fluorescently labeled with a fluorescent substance such as a fluorescent dye or a fluorescently labeled monoclonal antibody, and when the cells pass through the laser light 7, scattered light and fluorescence are generated. Scattered light
It is detected by a photodetector 10 such as a photodiode through a condensing optical system including a condensing lens 8 and a beam block 9. On the other hand, with respect to fluorescence, red fluorescence is collected by a condensing optical system including a condensing lens 11, a half mirror 12, a condensing lens 13, and a filter 14, and is detected by a photodetector 15, and green fluorescence is Are collected by the condenser lens 16 and the filter 17 from the half mirror 12 in another path and detected by the photodetector 18. Usually, the fluorescence detectors 15 and 18 are electron multipliers capable of detecting weak light. The signals from the photodetector 10 for detecting scattered light, the photodetector 15 for detecting red fluorescent light, and the photodetector 18 for detecting green fluorescent light are respectively sent to the signal processing circuit 19, where the scattered light and the fluorescent light are detected. The cells are identified by analyzing the intensities.
【0005】上記の装置では、細胞の識別、または微粒
子径の測定の正確さが要求され、そのためにシースフロ
ーと呼ばれる特殊なフローシステムが用いられている。
図2のフローセル4について、その周辺のみやや拡大し
た模式図を図3(a)に示した。図3(a)の図2と共
通する部分は同一符号を用いてある。図3(a)のコン
トローラ20,圧力調整弁21は図2では図示を省略し
たものであり、図3(a)では液体部分に斜線を施し、
シースフローは22で示してある。フローセル4の脚部
は角形となし、矢印で示したレーザ光7を直角に通すこ
とにより測定ノイズを少なくしている。図3(b)は要
部の径寸法を表わした模式図であり、シースフロー22
の径は200〜300μm,シースフロー22の中心の
サンプル液柱の径は、レーザ光7の径100〜200μ
mより小さくなければならないから、10〜50μmと
いう細さであることを示した。In the above-mentioned apparatus, it is required that cell identification or particle size measurement be accurate, and for that purpose, a special flow system called a sheath flow is used.
FIG. 3A shows a schematic diagram of the flow cell 4 of FIG. 2 with only its periphery slightly enlarged. The same reference numerals are used for the parts in FIG. The controller 20 and the pressure regulating valve 21 of FIG. 3A are not shown in FIG. 2. In FIG. 3A, the liquid portion is shaded,
The sheath flow is indicated at 22. The leg portion of the flow cell 4 is formed in a rectangular shape, and the laser light 7 indicated by the arrow is passed at a right angle to reduce measurement noise. FIG. 3B is a schematic diagram showing the diameter of the main part, and the sheath flow 22
The diameter of the sample liquid column at the center of the sheath flow 22 is 100 to 200 μm.
Since it must be smaller than m, it has been shown that the thickness is 10 to 50 μm.
【0006】シースフロー22の特徴は、細胞や微粒子
をレーザ光の中心部に、一つづつ一列に流すことができ
ることであり、レーザ光7の断面方向の強度分布に関係
なく、常に一定の強度で細胞や微粒子を照射することが
できるという利点を持つ。A feature of the sheath flow 22 is that cells and fine particles can be made to flow in a line one by one in the central portion of the laser light, and the intensity of the laser light 7 is always constant regardless of the intensity distribution in the cross-sectional direction. It has the advantage that cells and particles can be irradiated with.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】以上のようにシースフ
ローシステムは、有効ではあるがその反面極めて不安定
なものである。とくに、サンプル液を流し始めるとき
に、気泡が混入して液送ノズル周辺に溜まり、正常なシ
ースフロー22の形成を阻害し、サンプル液柱が中心か
ら外れることも度々起きる。図4はその様子を示す部分
模式図であり、図4(a)はフローセル4を上からみた
図,図4(b)は断面図である。23が気泡を表わす。
このような状態に陥った場合は、高流速、高水圧で気泡
を除去しなければならないが、装置の自動測定を行なっ
ているとき、サンプル液柱が中心ずれを起こしているの
を検知するのが難しく、そのまま測定を続行すると、細
胞や微粒子がレーザ光の中心を通過しないので、測定誤
差を生ずるという問題がある。As described above, although the sheath flow system is effective, it is extremely unstable. In particular, when the sample liquid starts to flow, air bubbles are mixed and accumulated around the liquid delivery nozzle, which hinders the formation of the normal sheath flow 22 and often causes the sample liquid column to deviate from the center. FIG. 4 is a partial schematic view showing the state, FIG. 4 (a) is a view of the flow cell 4 seen from above, and FIG. 4 (b) is a sectional view. 23 represents a bubble.
If this happens, it is necessary to remove bubbles with high flow velocity and high water pressure.However, when performing automatic measurement of the device, it is possible to detect that the sample liquid column is decentered. However, if the measurement is continued as it is, cells and fine particles do not pass through the center of the laser beam, which causes a measurement error.
【0008】本発明は上述の点に鑑みてなされたもので
あり、その目的はシースフローを安定させ、細胞または
微粒子を確実に測定することが可能な解析装置(フロー
サイトメータ)を提供することにある。The present invention has been made in view of the above points, and an object thereof is to provide an analyzer (flow cytometer) capable of stabilizing the sheath flow and reliably measuring cells or fine particles. It is in.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、本発明の細胞または微粒子解析装置は測定光学系
の光検出器として、アレイ状の光検出器を用いたもので
ある。In order to solve the above problems, the cell or particle analyzer of the present invention uses an array of photodetectors as the photodetector of the measurement optical system.
【0010】[0010]
【作用】サンプル液柱中の細胞や微粒子から発する散乱
光または蛍光は、測定光学系で集光されて光検出器上に
結像する。このとき結像する位置は、フローセルを通過
中の細胞や微粒子の位置により異なる。細胞や微粒子が
フローセルの中心を通過している状態では、光像はアレ
イ状の光検出器の中心に結像するが、サンプル液柱がフ
ローセルの中心からずれていて、細胞や微粒子がフロー
セルの端部を通った場合には、光像の結ぶ位置はアレイ
状光検出器の端にくるようになる。したがって、散乱光
または蛍光がアレイ状光検出器のどの位置で結像するか
を監視することにより、シースフローが正常に形成され
ているか否かを知り、シースフローに不具合があれば、
これを修正することができる。The scattered light or fluorescence emitted from the cells or fine particles in the sample liquid column is condensed by the measurement optical system and forms an image on the photodetector. The position where an image is formed at this time varies depending on the positions of cells and particles passing through the flow cell. When cells and particles are passing through the center of the flow cell, the optical image is formed at the center of the array of photodetectors, but the sample column is offset from the center of the flow cell, and cells and particles are in the flow cell. When passing through the end, the position where the light image is formed comes to the end of the arrayed photodetector. Therefore, by monitoring at which position of the arrayed photodetector scattered light or fluorescence is imaged, it is possible to know whether or not the sheath flow is normally formed, and if the sheath flow is defective,
You can fix this.
【0011】[0011]
【実施例】以下、本発明を実施例に基づき説明する。図
1は本発明の細胞または微粒子の解析装置の要部構成を
示す模式図である。この装置の全体の基本的な構成は、
図2に示した装置と同じであるから、その説明を省略す
るが、図1が図2と異なる所は、図2の例えば前方散乱
光の光検出器10の代わりに、アレイ状の光センサであ
るリニアCCDセンサ24を用い、リニアCCDセンサ
24の各窓に入射する光の強度をモニタしていることで
ある。このようにすると、信号処理回路19で、アレイ
状の光検出器であるCCDセンサ24の各窓の光強度か
ら、散乱光の結像中心位置を求め、その結像位置がCC
Dセンサ24の中心からずれている場合には、シースフ
ローに問題があると判断して警告信号を発することがで
きる。EXAMPLES The present invention will be described below based on examples. FIG. 1 is a schematic diagram showing a main configuration of a cell or fine particle analyzer of the present invention. The basic structure of the entire device is
Since the device is the same as the device shown in FIG. 2, the description thereof will be omitted, but the difference from FIG. 2 is that the photodetector 10 of FIG. The linear CCD sensor 24 is used to monitor the intensity of light incident on each window of the linear CCD sensor 24. By doing so, the signal processing circuit 19 obtains the image forming center position of the scattered light from the light intensity of each window of the CCD sensor 24 which is an array-like photo detector, and the image forming position is CC.
If the D sensor 24 is displaced from the center, it can be determined that there is a problem with the sheath flow and a warning signal can be issued.
【0012】さらに、シースフローに気泡の発生による
不具合が生じたとき、これを修正するために、高水圧,
高速に液を流して気泡の除去を行なうように、送液制御
装置25に信号を出す、もしくはフローセル位置の調整
を行なう自動マイクロ移動ステージ26に位置補正信号
を送り、レーザ光中心に細胞または微粒子が流れるよう
に、フローセルを微動させるなど、種々の対策をとるこ
とができる。Further, when a problem occurs due to the generation of bubbles in the sheath flow, a high water pressure,
A signal is sent to the liquid feeding control device 25 or a position correction signal is sent to the automatic micro-moving stage 26 that adjusts the position of the flow cell so that the liquid is flowed at a high speed to remove the air bubbles, and cells or fine particles are centered on the laser beam. It is possible to take various measures such as finely moving the flow cell so that the flow will occur.
【0013】[0013]
【発明の効果】シースフローを用いる細胞や微粒子の解
析装置は、サンプル液柱がフローセルの中心からずれ、
不安定な状態のまま測定誤差を生ずることがあったが、
本発明では、測定光学系の光検出器としてアレイ状の光
検出器を用いたために、細胞や微粒子から発する散乱光
または蛍光像の結ぶ位置によって、安定なシースフロー
が形成されているか否かを検知し、シースフローに不都
合が生じたとき、これを補正して安定させることができ
るので、細胞または微粒子をより確実に測定することが
可能となる。[Effects of the Invention] In an analyzer for cells and particles using sheath flow, the sample liquid column is displaced from the center of the flow cell,
There was a case that measurement error occurred in the unstable state,
In the present invention, since an array-shaped photodetector is used as the photodetector of the measurement optical system, it is determined whether or not a stable sheath flow is formed depending on the position where scattered light emitted from cells or fine particles or the fluorescence image is connected. If any inconvenience occurs in the sheath flow after being detected, it can be corrected and stabilized, so that it is possible to more reliably measure cells or fine particles.
【図1】本発明の細胞または微粒子の解析装置の要部構
成を示す模式図FIG. 1 is a schematic diagram showing a main configuration of a cell or fine particle analyzer of the present invention.
【図2】通常の細胞または微粒子の解析装置の要部構成
を示す模式図FIG. 2 is a schematic diagram showing the main configuration of an ordinary cell or particle analyzer.
【図3】(a)はフローセルの周辺をやや拡大して示し
た模式図、(b)はフローセル要部の径寸法を表わした
模式図FIG. 3A is a schematic view showing the periphery of the flow cell in a slightly enlarged manner, and FIG. 3B is a schematic view showing a diameter dimension of a main part of the flow cell.
【図4】(a)はフローセルを上からみた部分模式図,
(b)は同じく部分断面図FIG. 4A is a partial schematic view of the flow cell seen from above,
(B) is a partial sectional view
1 サンプル液 2 シース液 3 エアポンプ 4 フローセル 5 レーザ光源 6 集束レンズ 7 レーザ光 8 集光レンズ 9 ビームブロック 10 光検出器 11 集光レンズ 12 ハーフミラー 13 集光レンズ 14 フィルタ 15 光検出器 16 集光レンズ 17 フィルタ 18 光検出器 19 信号処理回路 20 コントローラ 21 圧力調整弁 22 シースフロー 23 気泡 24 リニアCCDセンサ 25 送液制御装置 26 移動ステージ 1 Sample Liquid 2 Sheath Liquid 3 Air Pump 4 Flow Cell 5 Laser Light Source 6 Focusing Lens 7 Laser Light 8 Focusing Lens 9 Beam Block 10 Photodetector 11 Focusing Lens 12 Half Mirror 13 Focusing Lens 14 Filter 15 Photodetector 16 Focusing Lens 17 Filter 18 Photodetector 19 Signal Processing Circuit 20 Controller 21 Pressure Control Valve 22 Sheath Flow 23 Bubble 24 Linear CCD Sensor 25 Liquid Transfer Control Device 26 Moving Stage
Claims (2)
に送り込む液送系と、このフローセルを通過中の前記流
体に光ビームを照射する投光光学系と、前記光ビームの
照射を受けて前記細胞または微粒子から発する散乱光ま
たは蛍光を集光しこれらの少なくとも一つを測定する測
定光学系を備え、前記測定光学系によって測定される光
強度から前記細胞または微粒子の識別を行なう細胞また
は微粒子解析装置であって、前記測定光学系の光検出器
としてアレイ状光検出器を用いることを特徴とする細胞
または微粒子解析装置。1. A liquid feeding system for feeding a fluid containing cells or fine particles to a flow cell, a projection optical system for irradiating a light beam to the fluid passing through the flow cell, and the cell for receiving the light beam. Alternatively, a cell or fine particle analyzer that includes a measurement optical system that collects scattered light or fluorescence emitted from fine particles and measures at least one of them, and identifies the cells or fine particles from the light intensity measured by the measurement optical system. An array-type photodetector is used as the photodetector of the measurement optical system.
状光検出器はこの光検出器上に出力した結像位置により
フローセル中のシースフローの制御が可能なリニアCC
Dセンサであることを特徴とする細胞または微粒子解析
装置。2. The analysis device according to claim 1, wherein the arrayed photodetector is a linear CC capable of controlling a sheath flow in a flow cell according to an imaging position output on the photodetector.
A cell or particle analysis device characterized by being a D sensor.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4065412A JPH05273203A (en) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | Cell or fine particle analyzing device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4065412A JPH05273203A (en) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | Cell or fine particle analyzing device |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05273203A true JPH05273203A (en) | 1993-10-22 |
Family
ID=13286301
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4065412A Pending JPH05273203A (en) | 1992-03-24 | 1992-03-24 | Cell or fine particle analyzing device |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05273203A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000214070A (en) * | 1999-01-21 | 2000-08-04 | Sysmex Corp | Sheath flow cell and hemanalyzer using the same |
WO2011106119A3 (en) * | 2010-02-26 | 2011-12-15 | Massachusetts Institute Of Technology | High-throughput platform for in-vivo sub-cellular screens on vertebrate larvae |
CN110308075A (en) * | 2019-07-31 | 2019-10-08 | 珠海真理光学仪器有限公司 | A kind of laser particle size analyzer of carrying liqs sheath stream measuring cell |
WO2021220652A1 (en) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 株式会社堀場製作所 | Particle size distribution measurement device, particle analysis unit, program for particle size distribution measurement device, and bubble removal method |
-
1992
- 1992-03-24 JP JP4065412A patent/JPH05273203A/en active Pending
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000214070A (en) * | 1999-01-21 | 2000-08-04 | Sysmex Corp | Sheath flow cell and hemanalyzer using the same |
WO2011106119A3 (en) * | 2010-02-26 | 2011-12-15 | Massachusetts Institute Of Technology | High-throughput platform for in-vivo sub-cellular screens on vertebrate larvae |
US8865630B2 (en) | 2010-02-26 | 2014-10-21 | Massachusetts Institute Of Technology | High-throughput platform for in-vivo sub-cellular screens on vertebrate larvae |
US9506912B2 (en) | 2010-02-26 | 2016-11-29 | Massachusetts Institute Of Technology | High-throughput platform for in-vivo sub-cellular screens on vertebrate larvae |
CN110308075A (en) * | 2019-07-31 | 2019-10-08 | 珠海真理光学仪器有限公司 | A kind of laser particle size analyzer of carrying liqs sheath stream measuring cell |
WO2021220652A1 (en) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 株式会社堀場製作所 | Particle size distribution measurement device, particle analysis unit, program for particle size distribution measurement device, and bubble removal method |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3127111B2 (en) | Flow type particle image analysis method and apparatus | |
US5594544A (en) | Flow type particle image analyzing method and apparatus | |
US4783599A (en) | Particle detector for flowing liquids with the ability to distinguish bubbles via photodiodes disposed 180° apart | |
CN111257582A (en) | Sample analyzer and sample analyzing method thereof | |
JP2008164621A (en) | Particle analyzer | |
US5456102A (en) | Method and apparatus for particle counting and counter calibration | |
JPS61139747A (en) | Particle analyser | |
JP3146858B2 (en) | Optical detector for flow samples | |
JPS61159135A (en) | Particle analyzing device | |
JPH01242939A (en) | Particule measuring instrument | |
JP3102925B2 (en) | Particle analyzer | |
JP3532274B2 (en) | Particle detector | |
JPH05273203A (en) | Cell or fine particle analyzing device | |
JPH07294414A (en) | Grain image analyzing method and device therefor | |
JPH0346777B2 (en) | ||
JPH0786457B2 (en) | Method and apparatus for measuring fine particles in liquid | |
JPH09166541A (en) | Flowing grain analyzing device | |
JPH0486546A (en) | Specimen inspection device | |
JPH0418618B2 (en) | ||
JPS6138447A (en) | Particle analyser | |
JPS6370148A (en) | Apparatus for measuring size distribution of fine particle | |
JPH06213795A (en) | Floating particle measuring equipment | |
JP6722040B2 (en) | Particle detecting device and method for inspecting particle detecting device | |
JPS63292039A (en) | Apparatus for detecting fine grain in liquid | |
JPH08304263A (en) | Particle analyzing instrument |