JPH05272933A - Method for solder visual inspection - Google Patents

Method for solder visual inspection

Info

Publication number
JPH05272933A
JPH05272933A JP4070723A JP7072392A JPH05272933A JP H05272933 A JPH05272933 A JP H05272933A JP 4070723 A JP4070723 A JP 4070723A JP 7072392 A JP7072392 A JP 7072392A JP H05272933 A JPH05272933 A JP H05272933A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lead
light receiving
edge
solder
light
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP4070723A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3161010B2 (en
Inventor
Hirofumi Matsuzaki
浩文 松崎
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Matsushita Electric Industrial Co Ltd filed Critical Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Priority to JP07072392A priority Critical patent/JP3161010B2/en
Publication of JPH05272933A publication Critical patent/JPH05272933A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3161010B2 publication Critical patent/JP3161010B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To obtain the method which can excellently measure the shape of solder. CONSTITUTION:A starting position S of laser light L is set at the central part C of an upper surface 2a of a lead. The laser light L is made to scan in the direction N1 directed toward the side of a light receiving part 6 from a laser emitting device 5. The edge E of the lead 2 on the side of the light receiving part 6 is detected. An offset point B is set between the edge E and the center A of the lead 2. The laser light L is made to scan in the direction N2 of the length of the lead 2 passing the offset point B. Thus, the shape of solder 3, which is bonded to the tip part of the lead 2, is measured. The laser light is not cast in the vicinity of the edge of the lead 2 at the opposite side of the light receiving part. The secondary reflection from a neighboring lead is avoided. Thus, the edge at the side of the light receiving part to be obtained can be readily detected.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は電子部品のリードを基板
に接着する半田の外観検査方法に係り、レーザ光を受光
部側へ良好に反射させながら、半田の形状を計測するよ
うにしたものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solder visual inspection method for adhering a lead of an electronic component to a substrate, in which the shape of the solder is measured while satisfactorily reflecting laser light to the light receiving portion side. Is.

【0002】[0002]

【従来の技術】ICやLSIあるいはTABチップなど
の電子部品のリードを、半田により基板に接着した後、
この半田付状態の良否を判断する半田の外観検査が行わ
れる。
2. Description of the Related Art After the leads of an electronic component such as an IC, an LSI or a TAB chip are attached to a substrate by soldering,
A visual inspection of the solder is performed to determine the quality of the soldered state.

【0003】図8はレーザ光による従来の外観検査手段
を示すものであって、図中、1は電子部品の本体、2,
2’は本体1から延出するリード、3はリード2を基板
4の回路パターン7上に接着する半田、5はレーザ照射
器、6は受光部である。
FIG. 8 shows a conventional appearance inspection means using a laser beam. In the figure, 1 is a main body of electronic parts, and 2,
Reference numeral 2'denotes a lead extending from the main body 1, 3 a solder for bonding the lead 2 onto the circuit pattern 7 of the substrate 4, 5 a laser irradiator, and 6 a light receiving portion.

【0004】この従来の方法は、次のように行なわれ
る。まずレーザ光Lが、リード2の受光部6の反対側の
エッジE’から受光部6側のエッジEまでを完全に横断
するように、レーザ光Lをスキャンニング(方向N1)
させて、その反射光L’を受光部6に受光することによ
り、リード2のセンターAを求める。
This conventional method is performed as follows. First, the laser light L is scanned so that the laser light L completely traverses from the edge E ′ on the opposite side of the light receiving portion 6 of the lead 2 to the edge E on the light receiving portion 6 side (direction N1).
Then, the reflected light L ′ is received by the light receiving portion 6 to obtain the center A of the lead 2.

【0005】次いでこのセンターAを通るリード2の長
さ方向N2にレーザ光Lをスキャンニングさせて、その
反射光L’を受光部6に受光することにより、この方向
N2に沿った半田3の形状を計測し、その結果に基づい
て、半田3の形状の良否を判断する。
Next, the laser light L is scanned in the length direction N2 of the lead 2 passing through the center A, and the reflected light L'is received by the light receiving portion 6, whereby the solder 3 along the direction N2 is received. The shape is measured, and the quality of the shape of the solder 3 is determined based on the result.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】ところで、リード2の
断面は一般にかまぼこ状であって、その上面2aはアー
チ状に湾曲している。しかも、その曲率が常に一定にな
っているわけではないし、リード個々によっても、この
上面2aの形状にばらつきがある。
The lead 2 has a generally semicylindrical cross section, and the upper surface 2a thereof is curved in an arch shape. Moreover, the curvature is not always constant, and the shape of the upper surface 2a varies depending on each lead.

【0007】またこのため上記従来手段では、レーザ光
Lを上記N1方向にスキャンニングした場合、殊にリー
ド2の受光部6と反対側のエッジE’付近に照射された
レーザ光が、矢印aで示すように隣りのリード2’に2
次反射されて、その2次反射光aが受光部6に入射しや
すい。したがって、図9に示すように計測値を示す曲線
が大きくばたついて多数の凹凸部ができ、この曲線のみ
によっては、一体どの凸部が受光部6側のエッジEを示
すものであるか、にわかに判断しかねる場合が多い。こ
のことは、コンピュータを用いて、エッジEの位置を人
手を介さず求め、このエッジEを基準にリード2の長手
方向のスキャンニングをして、半田の自動外観検査を行
なう場合に大きなネックになるものである。
Therefore, in the above conventional means, when the laser light L is scanned in the N1 direction, the laser light radiated particularly near the edge E'of the lead 2 on the side opposite to the light receiving portion 6 is indicated by an arrow a. 2 on adjacent lead 2 ', as shown in
It is likely that the secondary reflection light a is secondarily reflected and is incident on the light receiving unit 6. Therefore, as shown in FIG. 9, the curved line showing the measured value largely fluctuates to form a large number of uneven portions, and which convex portion integrally shows the edge E on the side of the light receiving unit 6 depending on only this curved line. In many cases, it is difficult to make a sudden judgment. This means that the position of the edge E is obtained without using human hands by using a computer, and the lead 2 is scanned in the longitudinal direction on the basis of the edge E to cause a large neck in the automatic visual inspection of the solder. It will be.

【0008】そこで本発明は、上記従来手段の問題点を
解消し、半田の形状を良好に計測できる方法を提供する
ことを目的とする。
Therefore, an object of the present invention is to solve the problems of the above-mentioned conventional means and to provide a method capable of satisfactorily measuring the shape of solder.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】このために本発明は、本
体から延出するリードに向けて上方からレーザ光を照射
するレーザ照射器と、このリードからの反射光をこのリ
ードの斜め上方にて受光する受光部により、半田の外観
を検査するものであって、前記リードの上面の中央部に
前記レーザ光のスタート位置を設定し、このレーザ光を
前記レーザ照射器から前記受光部側へ向かう方向にスキ
ャンニングして、前記リードのこの受光部側のエッジを
検出するプロセスと、このエッジとこのリードのセンタ
ーの間にオフセット点を設定するプロセスと、上記オフ
セット点を通るリードの長さ方向にレーザ光をスキャン
ニングして、このリードの先端部に接着された半田の形
状を計測するプロセスを構成する。
To this end, the present invention provides a laser irradiator for irradiating a laser beam from above toward a lead extending from a main body, and a reflected light from this lead obliquely above the lead. A light receiving section for receiving light is used to inspect the appearance of the solder, and the start position of the laser beam is set at the center of the upper surface of the lead, and the laser beam is transmitted from the laser irradiator to the light receiving section side. The process of scanning in the direction to detect the edge of the lead on the light receiving side, the process of setting an offset point between this edge and the center of the lead, and the length of the lead passing through the offset point A process for scanning the laser beam in the direction to measure the shape of the solder adhered to the tip of the lead is constituted.

【0010】[0010]

【作用】上記構成によれば、レーザ光が、リードの受光
部反対側のエッジ付近に、照射されることはなく、上記
2次反射を回避して、計測値のばたつきを軽減すること
ができる。
According to the above construction, the laser light is not irradiated near the edge of the lead on the side opposite to the light receiving portion, the secondary reflection can be avoided, and the fluttering of the measured value can be reduced. ..

【0011】[0011]

【実施例】次に、図面を参照しながら本発明の実施例を
説明する。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings.

【0012】図1は本発明に係る半田の外観検査手段を
示すものである。その構成は図8に示した従来手段とほ
ぼ同様のものであり、同一符号を付すことにより構成の
説明を省略する。なお、本手段では、レーザ光Lがリー
ド2に向けて垂直上方から照射できるように、レーザ照
射器5が配設され、このリード2からの反射光L’をリ
ード2の斜め上方にて受光する受光部6が設けられる。
FIG. 1 shows a solder visual inspection means according to the present invention. The configuration is almost the same as the conventional means shown in FIG. 8, and the description of the configuration is omitted by giving the same reference numerals. In the present means, the laser irradiator 5 is arranged so that the laser light L can be emitted toward the lead 2 from vertically above, and the reflected light L ′ from this lead 2 is received obliquely above the lead 2. The light receiving unit 6 is provided.

【0013】さて、まずリード2の上面2aの中央部C
にレーザ光Lのスタート位置Sを設定する(図1一部拡
大図参照)。このスタート位置Sは、中央部C内におい
て適当に設定することができるが、隣接するリード2’
による2次反射を確実に防止すべく、センターAよりも
受光部6側に設定することが望ましい。このように中央
部C内にスタート位置Sを設定することとしたので、図
2に示すように、設定されたスタート位置S(実線参
照)から、実際に計測する際の位置S’(鎖線参照)が
若干受光部6の反対側(矢印N3方向)にずれてしまっ
ても、レーザ光Lが受光部6の反対側のエッジE’付近
に照射されることはない。しかも、レーザ照射器5はリ
ード2に垂直上方からレーザ光Lを照射するようにして
あるので、レーザ光Lが隣接するリード2’により2次
反射されて、受光部6に入射するおそれはほとんどな
い。
First, the central portion C of the upper surface 2a of the lead 2
The start position S of the laser light L is set to (see a partially enlarged view of FIG. 1). The start position S can be set appropriately in the central portion C, but the adjacent lead 2 '
In order to surely prevent the secondary reflection due to, it is desirable to set it on the light receiving portion 6 side with respect to the center A. Since the start position S is set in the central portion C in this way, as shown in FIG. 2, from the set start position S (see the solid line) to the position S'when actually measuring (see the chain line). ) Is slightly shifted to the opposite side of the light receiving section 6 (direction of arrow N3), the laser light L is not irradiated near the edge E'on the opposite side of the light receiving section 6. Moreover, since the laser irradiator 5 irradiates the lead 2 with the laser light L from vertically above, there is almost no possibility that the laser light L is secondarily reflected by the adjacent lead 2'and enters the light receiving portion 6. Absent.

【0014】次にレーザ光Lを、レーザ照射器5から受
光部6側へ向かう方向(矢印N1方向)にスキャンニン
グする。すなわち、レーザ光Lはスタート位置Sからエ
ッジEを通り過ぎリード2から離れる。図3(a)は、
このスキャンニングにより得られた計測値のグラフを例
示するものである。なお図3(a)においてPはスキャ
ンニングの終点を示す。なおこのグラフにおいて、スタ
ート点Sと終点Pの中央がエッジEの位置になるように
しておく。
Next, the laser light L is scanned in the direction from the laser irradiator 5 to the light receiving portion 6 side (direction of arrow N1). That is, the laser light L passes through the edge E from the start position S and leaves the lead 2. Figure 3 (a) shows
It is an example of a graph of measured values obtained by this scanning. In FIG. 3A, P indicates the end point of scanning. In this graph, the center of the start point S and the end point P is set to the position of the edge E.

【0015】さて、受光部6の反対側のエッジE’をス
キャンニングの対象外とし、隣接するリード2’からの
2次反射を回避しても、図3(a)に例示するように計
測値に凹凸があらわれることが多い。次に、図3(b)
〜(c)、図4、図5、図7を参照しながら、リード2
の受光部6側のエッジEを検出するプロセスを説明す
る。まず、この計測値に対し、移動平均法によるスムー
ジングを行い(図7のステップ4)、細かな凹凸部を取
り除いた滑らかな曲線とする(図3(b))。次に、こ
の曲線の凸点(図3(c)の△)と凹点(図3(c)の
▽)とを抽出する(図7のステップ5)。この凸点、凹
点は簡単な計算により求めることができるが、凸点、凹
点の個数を適当な数に収めるために、ある点を計算対象
とするときに、その点の前後の数点をも計算に入れ、あ
る程度勾配を平均化しながら計算すると良い。なお、ス
タート位置Sの次に凸点がある場合には、スタート点S
を凹点とし、終点Pの直前に凸点がある場合には、終点
Pを凹点とする。ここで、図3(c)において、D1,
D2,D3は凹点、U1,U2,U3,U4は凸点であ
る。
Now, even if the edge E'on the opposite side of the light receiving portion 6 is excluded from scanning and the secondary reflection from the adjacent lead 2'is avoided, the measurement is performed as illustrated in FIG. 3 (a). The values often have irregularities. Next, FIG. 3 (b)
~ (C), referring to FIG. 4, FIG. 5, and FIG.
A process of detecting the edge E on the side of the light receiving unit 6 will be described. First, the measured value is smoothed by the moving average method (step 4 in FIG. 7) to obtain a smooth curve with fine irregularities removed (FIG. 3 (b)). Next, the convex points (Δ in FIG. 3C) and concave points (∇ in FIG. 3C) of this curve are extracted (step 5 in FIG. 7). These convex and concave points can be obtained by simple calculation, but in order to fit the number of convex and concave points to an appropriate number, when a certain point is to be calculated, several points before and after that point Should be included in the calculation, and should be calculated while averaging the gradient to some extent. If there is a convex point next to the start position S, the start point S
Is a concave point, and when there is a convex point immediately before the end point P, the end point P is a concave point. Here, in FIG. 3C, D1,
D2 and D3 are concave points, and U1, U2, U3 and U4 are convex points.

【0016】上記凸点U1,U2,U3,U4のうちの
いずれかが、エッジEの位置を示す凸点である。次に、
コンピュータなどを用いてこれらの凸点のうちいずれが
エッジEを示すものかを自動的に決定する際に有利な手
段を説明する。この手段は、図7のステップ6〜ステッ
プ11に示すように複数のパラメータH(i),X
(i),Y(i),Z(i)を計算し、これらの和S
(i)を求めて評価点表(図5)を作成し、評価点S
(i)により、上記凸点U1,U2,U3,U4のうち
のいずれの凸点が、エッジEに対するものであるかを決
定するものである。
Any one of the convex points U1, U2, U3 and U4 is a convex point indicating the position of the edge E. next,
An advantageous means for automatically determining which of these convex points indicates the edge E using a computer will be described. This means uses a plurality of parameters H (i), X as shown in steps 6 to 11 of FIG.
(I), Y (i), Z (i) are calculated, and their sum S
(I) is calculated and an evaluation score table (Fig. 5) is created, and the evaluation score S
By (i), it is determined which of the convex points U1, U2, U3 and U4 is the convex point for the edge E.

【0017】図7のステップ6の高さパラメータH
(i)は、図4(a)に示すように、基準線B.L.
(例えば計測値のグラフの横軸)からの、凸点U1,U
2,U3,U4の高さH1,H2,H3,H4と、リー
ド2のチップデータ(既知)のエッジEの高さHを比
べ、最もエッジEの高さHに近いものを求めるものであ
る。具体的には、 H(i)=(|H−Hi|/H)×K1 (但し、K1は重み係数、i=1,2,3,4) を計算し、H(i)が最小であれば求める凸点である確
からしさが大であると評価する。
Height parameter H in step 6 of FIG.
As shown in FIG. 4A, the reference line B. L.
Convex points U1, U from (for example, the horizontal axis of the graph of measured values)
2, the heights H1, H2, H3, H4 of U3, U4 and the height H of the edge E of the chip data (known) of the lead 2 are compared, and the one closest to the height H of the edge E is obtained. .. Specifically, H (i) = (| H−Hi | / H) × K1 (where K1 is a weighting coefficient, i = 1, 2, 3, 4) is calculated, and H (i) is minimum. If so, it is evaluated as having a high probability of being a convex point to be obtained.

【0018】同様に、図7のステップ7の位置パラメー
タX(i)は、図4(b)に示すように、スタート位置
Sと終点Pとの中心線S.L.(上述のように、スター
ト位置Sと終点Pを設定する際に、この線S.L.上に
エッジEが位置するようになっている)からの凸点U
1,U2,U3,U4までの距離X1,X2,X3,X
4を求め、 X(i)=Xi×K2 (但し、K2は重み係数、i=1,2,3,4) により求められる。X(i)が最小であれば上記確から
しさが大と評価する。
Similarly, as shown in FIG. 4B, the position parameter X (i) in step 7 of FIG. L. (When the start position S and the end point P are set as described above, the edge E is located on this line SL)
1, Distance to U2, U3, U4 X1, X2, X3, X
4, X (i) = Xi × K2 (K2 is a weighting coefficient, i = 1, 2, 3, 4). If X (i) is the smallest, the above probability is evaluated as high.

【0019】また図7のステップ8の、次の凹点に対す
る落差パラメータY(i)は、図4(c)の各距離Y
1,Y2,Y3を求め、 Y(i)=(|H−Yi|/H)×K3 (但し、K3は重み係数、i=1,2,3) により求められる。
The drop parameter Y (i) for the next concave point in step 8 of FIG. 7 is the distance Y of FIG. 4 (c).
1, Y2, Y3 are obtained and Y (i) = (| H−Yi | / H) × K3 (where K3 is a weighting coefficient, i = 1, 2, 3).

【0020】さらに図7のステップ9の、直前の凹点に
対する落差パラメータZ(i)は、図4(d)の各距離
Z1,Z2,Z3,Z4を求め、 Z(i)=(Zi/H)×K4 (但し、K4は重み係数、i=1,2,3,4)に代入
して求められる。上記パラメータY(i)、Z(i)も
最小であれば上記確からしさが大と評価する。
Further, in step 9 of FIG. 7, the drop parameter Z (i) for the immediately preceding concave point is obtained by calculating the respective distances Z1, Z2, Z3, Z4 of FIG. 4 (d), and Z (i) = (Zi / H) × K4 (where K4 is a weighting coefficient, i = 1, 2, 3, 4). If the above parameters Y (i) and Z (i) are also minimum, the above probability is evaluated as high.

【0021】そして、図7のステップ10において、評
価点S(i)=H(i)+X(i)+Y(i)+Z
(i)を計算し、評価点S(i)が最小の凸点を、エッ
ジEに対応する凸点(決定点)とする(図7のステップ
12)。なお、これらのパラメータのうち一部を省略し
ても差支えないし、便宜重み係数K1,K2,K3,K
4を変更してもよい。
Then, in step 10 of FIG. 7, the evaluation points S (i) = H (i) + X (i) + Y (i) + Z.
(I) is calculated, and the convex point having the smallest evaluation point S (i) is set as the convex point (decision point) corresponding to the edge E (step 12 in FIG. 7). It should be noted that some of these parameters may be omitted, and convenience weighting factors K1, K2, K3, K may be omitted.
4 may be changed.

【0022】次いでこのエッジE(決定点)と、リード
2のセンターAの間にオフセット点Bを設定する(図7
のステップ13)。リード2の横巾はチップデータに含
まれており既知であり、このオフセット点Bは簡単に設
定できる。
Next, an offset point B is set between the edge E (determination point) and the center A of the lead 2 (FIG. 7).
Step 13). The width of the lead 2 is included in the chip data and is known, and the offset point B can be easily set.

【0023】なお、図9(従来手段による計測値のグラ
フ)において、Kは受光部6と反対側のエッジE’によ
るレーザ光の異常反射を示しており、この異常反射のた
めにリード2のセンターAを正確に求めにくいことは、
発明が解決しようとする課題の項で述べた通りである。
In FIG. 9 (a graph of measured values by the conventional means), K indicates the abnormal reflection of the laser light by the edge E'on the side opposite to the light receiving portion 6, and this abnormal reflection causes the lead 2 to move. It is difficult to find the center A accurately,
As described in the section of the problem to be solved by the invention.

【0024】次に図1に示すように、上記オフセット点
Bを通るリード2の長さ方向N2にレーザ光Lをスキャ
ンニングさせ、その反射光L’を上記受光部6に受光す
ることにより、このリード2の先端部の半田の形状を計
測する(図7のステップ14)。
Next, as shown in FIG. 1, the laser light L is scanned in the length direction N2 of the lead 2 passing through the offset point B, and the reflected light L'is received by the light receiving portion 6, The shape of the solder at the tip of the lead 2 is measured (step 14 in FIG. 7).

【0025】図6は、このようにして計測されたリード
2の長さ方向N2の縦断形状を示すものであって、図
中、20がリード2の上面形状、30が半田3の上面形
状であり、この上面形状30から半田3の形状の良否を
判断する。
FIG. 6 shows the lengthwise shape N2 of the lead 2 measured in this way, in which 20 is the top surface shape of the lead 2 and 30 is the top surface shape of the solder 3. Yes, the quality of the shape of the solder 3 is judged from the top surface shape 30.

【0026】このように本方法によれば、受光部6の反
対側のエッジE’によるレーザ光の2次反射による計測
値の狂いを回避し、エッジEの位置を求めやすくするこ
とができる。しかもエッジEの位置をコンピュータを用
い人手を介しない検査により検出することができ、半田
の外観検査の自動化を促進することができる。
As described above, according to the present method, it is possible to avoid the deviation of the measurement value due to the secondary reflection of the laser light by the edge E'on the opposite side of the light receiving section 6 and to easily find the position of the edge E. In addition, the position of the edge E can be detected by a manual inspection using a computer, and automation of the visual inspection of the solder can be promoted.

【0027】[0027]

【発明の効果】本発明は本体から延出するリードに向け
て上方からレーザ光を照射するレーザ照射器と、このリ
ードからの反射光をこのリードの斜め上方にて受光する
受光部により、半田の外観を検査するものであって、前
記リードの上面の中央部に前記レーザ光のスタート位置
を設定し、このレーザ光を前記レーザ照射器から前記受
光部側へ向かう方向にスキャンニングして、前記リード
のこの受光部側のエッジを検出するプロセスと、このエ
ッジとこのリードのセンターの間にオフセット点を設定
するプロセスと、上記オフセット点を通るリードの長さ
方向にレーザ光をスキャンニングして、このリードの先
端部に接着された半田の形状を計測するプロセスを構成
したので、レーザ光がリードの受光部反対側のエッジ付
近に、照射されず、隣接するリードによる2次反射を回
避して、求める受光部側のエッジを検出しやすくするこ
とができる。またリードの長さ方向に沿ってレーザ光を
スキャンニングさせて、その反射光を受光部側へ確実に
反射させながら、半田の形状を良好に計測できる。
According to the present invention, a laser irradiator for irradiating a laser beam from above toward a lead extending from a main body and a light receiving portion for receiving reflected light from the lead obliquely above the lead are used for soldering. Of inspecting the appearance of, the start position of the laser beam is set in the central portion of the upper surface of the lead, and the laser beam is scanned in the direction from the laser irradiator to the light receiving unit side, The process of detecting the edge of the lead on the side of the light receiving portion, the process of setting an offset point between this edge and the center of the lead, and scanning the laser light in the length direction of the lead passing through the offset point. The process for measuring the shape of the solder adhered to the tip of the lead is configured so that the laser light is not emitted near the edge of the lead on the side opposite to the light receiving part. To avoid secondary reflection by adjacent leads, it is possible to easily detect the light receiving portion side of the edge to be obtained. Further, the shape of the solder can be satisfactorily measured by scanning the laser light along the length direction of the lead and surely reflecting the reflected light to the light receiving portion side.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る外観検査手段の斜視図FIG. 1 is a perspective view of a visual inspection means according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例に係る断面図FIG. 2 is a sectional view according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例に係る計測例の説明図FIG. 3 is an explanatory diagram of a measurement example according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例に係るパラメータの説明図FIG. 4 is an explanatory diagram of parameters according to an embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施例に係る評価点の説明図FIG. 5 is an explanatory diagram of evaluation points according to an embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施例に係る計測例の説明図FIG. 6 is an explanatory diagram of a measurement example according to an embodiment of the present invention.

【図7】本発明の一実施例に係るフローチャートFIG. 7 is a flowchart according to an embodiment of the present invention.

【図8】従来手段の説明図FIG. 8 is an explanatory view of conventional means.

【図9】従来手段の計測例の説明図FIG. 9 is an explanatory diagram of a measurement example of conventional means.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 本体 2 リード 2a リードの上面 2’ リード 3 半田 5 レーザ照射器 6 受光部 A リードのセンター B オフセット点 C 中央部 E 受光部側のエッジ L レーザ光 L’ 反射光 N1 受光部側へ向かう方向 N2 リードの長さ方向 S スタート位置 1 main body 2 lead 2a lead upper surface 2'lead 3 solder 5 laser irradiator 6 light receiving part A lead center B offset point C center part E light receiving side edge L laser light L'reflected light N1 direction toward light receiving side N2 Lead length direction S Start position

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】本体から延出するリードに向けて上方から
レーザ光を照射するレーザ照射器と、このリードからの
反射光をこのリードの斜め上方にて受光する受光部によ
り、半田の外観を検査するものであって、前記リードの
上面の中央部に前記レーザ光のスタート位置を設定し、
このレーザ光を前記レーザ照射器から前記受光部側へ向
かう方向にスキャンニングして、前記リードのこの受光
部側のエッジを検出するプロセスと、このエッジとこの
リードのセンターの間にオフセット点を設定するプロセ
スと、上記オフセット点を通るリードの長さ方向にレー
ザ光をスキャンニングして、このリードの先端部に接着
された半田の形状を計測するプロセスと、から成ること
を特徴とする半田の外観検査方法。
1. A solder irradiator for irradiating a laser beam from above toward a lead extending from a main body and a light receiving section for receiving reflected light from this lead obliquely above the lead, thereby improving the appearance of the solder. What is inspected, the start position of the laser beam is set in the center of the upper surface of the lead,
The process of scanning the laser beam in the direction from the laser irradiator to the light receiving portion side to detect the edge of the lead on the light receiving portion side, and an offset point between the edge and the center of the lead. Solder characterized by comprising a setting process and a process of scanning the laser light in the length direction of the lead passing through the offset point to measure the shape of the solder bonded to the tip of the lead. Appearance inspection method.
JP07072392A 1992-03-27 1992-03-27 Solder appearance inspection method Expired - Fee Related JP3161010B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07072392A JP3161010B2 (en) 1992-03-27 1992-03-27 Solder appearance inspection method

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP07072392A JP3161010B2 (en) 1992-03-27 1992-03-27 Solder appearance inspection method

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH05272933A true JPH05272933A (en) 1993-10-22
JP3161010B2 JP3161010B2 (en) 2001-04-25

Family

ID=13439760

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP07072392A Expired - Fee Related JP3161010B2 (en) 1992-03-27 1992-03-27 Solder appearance inspection method

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3161010B2 (en)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002350127A (en) * 2001-05-29 2002-12-04 Seiko Instruments Inc Method and system for measuring pattern with use of display microscope image
CN109015336A (en) * 2018-10-26 2018-12-18 飞磁电子材料(东莞)有限公司 A kind of the abradant surface parallel detection system and method for T-type FERRITE CORE

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002350127A (en) * 2001-05-29 2002-12-04 Seiko Instruments Inc Method and system for measuring pattern with use of display microscope image
CN109015336A (en) * 2018-10-26 2018-12-18 飞磁电子材料(东莞)有限公司 A kind of the abradant surface parallel detection system and method for T-type FERRITE CORE
CN109015336B (en) * 2018-10-26 2023-09-29 飞磁电子材料(东莞)有限公司 Grinding surface parallelism detection system and method for T-shaped ferrite core

Also Published As

Publication number Publication date
JP3161010B2 (en) 2001-04-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8433102B2 (en) Surface roughness inspection system
JP2007054727A (en) Method and system for detecting coating condition
JP2009074952A (en) Visual inspection method
JPH05272933A (en) Method for solder visual inspection
JPH05296742A (en) Appearance checking method of soldering
JP2001343219A (en) Apparatus for measuring etching depth and method therefor
JP2620992B2 (en) Inspection method for soldered parts of electronic components
JPH0429007A (en) Optical inspection device
JPH04369238A (en) Visual inspection method for solder joint
JPH07306161A (en) Method for detecting segregation of metallic material
JPH0658729A (en) Inspecting apparatus for soldered state
JPH09321500A (en) Appearance inspecting method in soldered state
JPH0989525A (en) Position detecting method for lead shoulder and for lead end
JP2000121333A (en) Appearance inspection apparatus and method
JP3650945B2 (en) Outside diameter measuring device
JPH04369411A (en) Setting method of reference surface for measuring shape of solder
JP2536745B2 (en) PCB cut condition inspection method
JP2694814B2 (en) Solder height inspection device
JPH0666401B2 (en) Inspection method for lead frame
RU2281349C2 (en) Method for measuring melt level at growing crystals
JPH06258041A (en) Method and equipment for inspecting lead of semiconductor package
JP3156402B2 (en) Solder appearance inspection method
JP2001284791A (en) Method for inspecting soldering onto printed board to be inspected
JP5509035B2 (en) Printed solder inspection apparatus and printed solder inspection method
JPH10213419A (en) Method for inspecting semiconductor element lead

Legal Events

Date Code Title Description
LAPS Cancellation because of no payment of annual fees