JPH0527284A - 第三高調波発生装置 - Google Patents
第三高調波発生装置Info
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- JPH0527284A JPH0527284A JP3184861A JP18486191A JPH0527284A JP H0527284 A JPH0527284 A JP H0527284A JP 3184861 A JP3184861 A JP 3184861A JP 18486191 A JP18486191 A JP 18486191A JP H0527284 A JPH0527284 A JP H0527284A
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- G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/353—Frequency conversion, i.e. wherein a light beam is generated with frequency components different from those of the incident light beams
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- G02F1/35—Non-linear optics
- G02F1/3501—Constructional details or arrangements of non-linear optical devices, e.g. shape of non-linear crystals
- G02F1/3507—Arrangements comprising two or more nonlinear optical devices
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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-
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- G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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- G02F1/37—Non-linear optics for second-harmonic generation
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- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は第三高調波発生装置に関し、第三高
調波を高効率で得ることを目的とする。 【構成】 レーザ光源１よりの基本波２より第二高調波
４を発生する第１の非線形光学結晶３と、第二高調波４
と基本波２とを光混合して第三高調波６を発生する第２
の非線形光学結晶５とを有する。基本波２に対する第１
の光共振器２１を、第１，第２の非線形光学結晶３，５
を間に有して構成する。第二高調波４１に対する第２の
光共振器２４を、第２の非線形光学結晶５を間に有して
且つ基本波に対して高透過率である第２のミラー２５を
第１と第２の非線形光学結晶３，５の間に配して構成す
る。
調波を高効率で得ることを目的とする。 【構成】 レーザ光源１よりの基本波２より第二高調波
４を発生する第１の非線形光学結晶３と、第二高調波４
と基本波２とを光混合して第三高調波６を発生する第２
の非線形光学結晶５とを有する。基本波２に対する第１
の光共振器２１を、第１，第２の非線形光学結晶３，５
を間に有して構成する。第二高調波４１に対する第２の
光共振器２４を、第２の非線形光学結晶５を間に有して
且つ基本波に対して高透過率である第２のミラー２５を
第１と第２の非線形光学結晶３，５の間に配して構成す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は第三高調波発生回路に関
する。
する。
【０００２】レーザを基本波として第三高調波を発生す
る装置は、光記録の分野で記録の高密度化を可能とする
ものとして期待されている。
る装置は、光記録の分野で記録の高密度化を可能とする
ものとして期待されている。
【０００３】図５は、第三高調波発生装置の基本構成を
示す。
示す。
【０００４】１はレーザ光源であり、例えば波長λ1 が
７８０ｎｍであり、周波数がｆの基本波２を射出する。
７８０ｎｍであり、周波数がｆの基本波２を射出する。
【０００５】３はＳＨＧ発生用である第１の非線形光学
結晶であり、例えばＬｉＮb Ｏ3 であり、基本波２を入
射されて、基本波２-1と、周波数が２ｆであり、波長λ
2 が３９０ｎｍである第二高調波４とを発生する。
結晶であり、例えばＬｉＮb Ｏ3 であり、基本波２を入
射されて、基本波２-1と、周波数が２ｆであり、波長λ
2 が３９０ｎｍである第二高調波４とを発生する。
【０００６】５は光混合用である第２の非線形光学結晶
であり、例えばＢＢＯであり、基本波２-1と第二高調波
４とを同時に入射され、光混合させて、両者の周波数の
和（又は差）の光を発生する。この結晶５からは、基本
波２-2と、第二高調波４-1とに加えて、周波数が３ｆで
あり、波長λ3 が２６０ｎｍである。第三高調波（ＴＨ
Ｇ）６が発生する。
であり、例えばＢＢＯであり、基本波２-1と第二高調波
４とを同時に入射され、光混合させて、両者の周波数の
和（又は差）の光を発生する。この結晶５からは、基本
波２-2と、第二高調波４-1とに加えて、周波数が３ｆで
あり、波長λ3 が２６０ｎｍである。第三高調波（ＴＨ
Ｇ）６が発生する。
【０００７】第二の非線形光学結晶５よりの出力をフィ
ルタすることにより、第三高調波６が取り出される。
ルタすることにより、第三高調波６が取り出される。
【０００８】こゝで、結晶３より第二高調波４を効率良
く発生させるため及び結晶５より第三高調波６を効率良
く発生させるためには、結晶３，５に入射する光の強度
が強いことが必要である。
く発生させるため及び結晶５より第三高調波６を効率良
く発生させるためには、結晶３，５に入射する光の強度
が強いことが必要である。
【０００９】
【従来の技術】図６は従来の１例の第三高調波発生装置
１０を示す。
１０を示す。
【００１０】図中、図５に示す構成部分と対応する部分
には同一符号を付し、その説明は省略する。
には同一符号を付し、その説明は省略する。
【００１１】この装置１０は、一の光共振器１１を有す
る構成である。
る構成である。
【００１２】光共振器１１は、一対のミラー１２，１３
を配設し、ミラー１２，１３の間に第１，第２の光学結
晶３，５を有する構成である。
を配設し、ミラー１２，１３の間に第１，第２の光学結
晶３，５を有する構成である。
【００１３】この光学共振器１１は、基本波と第二高調
波との双方に対して同時に共振条件を満たす構成であ
る。
波との双方に対して同時に共振条件を満たす構成であ
る。
【００１４】
【発明が解決しようとする課題】光学結晶３，５には波
長分散があり、同じ光学結晶であっても、基本波と第二
高調波に対して光学的な長さが異なり、また複屈折の大
きさも異なる。
長分散があり、同じ光学結晶であっても、基本波と第二
高調波に対して光学的な長さが異なり、また複屈折の大
きさも異なる。
【００１５】このため、上記の光共振器１１の共振器長
Ｌ1 を基本波に対して共振するように調整すると、光共
振器１１は第二高調波に対する共振条件から外れてしま
う。このため、光共振器１１内に強さの強い基本波２及
び第二高調波４の両方を発生させることができず、然し
て第三高調波６を効率良く得ることが困難であった。
Ｌ1 を基本波に対して共振するように調整すると、光共
振器１１は第二高調波に対する共振条件から外れてしま
う。このため、光共振器１１内に強さの強い基本波２及
び第二高調波４の両方を発生させることができず、然し
て第三高調波６を効率良く得ることが困難であった。
【００１６】本発明は、基本波に対する光共振器と第二
高調波に対する光共振器とを設け、且つ両者の共振条件
を相互に影響を与えることなく調整可能である構成とす
ることにより、第三高調波を効率良く得ることを可能と
した第三高調波発生装置を提供することを目的とする。
高調波に対する光共振器とを設け、且つ両者の共振条件
を相互に影響を与えることなく調整可能である構成とす
ることにより、第三高調波を効率良く得ることを可能と
した第三高調波発生装置を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、基本
波を射出する光源と、該光源から射出した該基本波を入
射されて該基本波の第二高調波を発生する第１の非線形
光学結晶と、該第１の非線形光学結晶により発生した該
第二高調波と上記基本波とを光混合して第三高調波を発
生させる第２の非線形光学結晶と、該第１の非線形光学
結晶と、該第２の非線形光学結晶との双方を間に有し、
上記基本波をその内部に閉じ込める第１の光共振器と、
該基本波に対して高透過率であり、該第二高調波に対し
て高反射率であるミラーを、該第１の非線形光学結晶と
該第２の非線形光学結晶との間に有し、且つ該第２の非
線形光学結晶を間に含んで上記第二高調波をその内部に
閉じ込める第２の光共振器とより構成したものである。
波を射出する光源と、該光源から射出した該基本波を入
射されて該基本波の第二高調波を発生する第１の非線形
光学結晶と、該第１の非線形光学結晶により発生した該
第二高調波と上記基本波とを光混合して第三高調波を発
生させる第２の非線形光学結晶と、該第１の非線形光学
結晶と、該第２の非線形光学結晶との双方を間に有し、
上記基本波をその内部に閉じ込める第１の光共振器と、
該基本波に対して高透過率であり、該第二高調波に対し
て高反射率であるミラーを、該第１の非線形光学結晶と
該第２の非線形光学結晶との間に有し、且つ該第２の非
線形光学結晶を間に含んで上記第二高調波をその内部に
閉じ込める第２の光共振器とより構成したものである。
【００１８】請求項２の発明は、請求項１の第１の光共
振器及び第２の光共振器を、その一方、もしくは共にリ
ング型共振器である構成としたものである。
振器及び第２の光共振器を、その一方、もしくは共にリ
ング型共振器である構成としたものである。
【００１９】
【作用】請求項１において、第１の光共振器を間に第１
の非線形光学結晶に加えて第２の非線形光学結晶を含め
た構成、及び第２の光共振器を間に第２の非線形光学結
晶を含めた構成は、第１の光共振器の共振器長の調整
が、第２の光共振器長に影響を及ぼさないように作用す
る。
の非線形光学結晶に加えて第２の非線形光学結晶を含め
た構成、及び第２の光共振器を間に第２の非線形光学結
晶を含めた構成は、第１の光共振器の共振器長の調整
が、第２の光共振器長に影響を及ぼさないように作用す
る。
【００２０】第２の光共振器を、基本波に対して高透過
率であるミラーを第１と第２の非線形光学結晶との間に
有し、且つ間に第２の非線形光学結晶を有するようにし
た構成は、第２の光共振器の共振器長の調整が、第１の
光共振器の光共振器長に影響を及ぼさないように作用す
る。
率であるミラーを第１と第２の非線形光学結晶との間に
有し、且つ間に第２の非線形光学結晶を有するようにし
た構成は、第２の光共振器の共振器長の調整が、第１の
光共振器の光共振器長に影響を及ぼさないように作用す
る。
【００２１】請求項２のリング型共振器は、基本波及び
第二高調波を光源に戻らせないように作用する。
第二高調波を光源に戻らせないように作用する。
【００２２】
【実施例】図１は本発明の第１実施例の第三高調波発生
装置２０を示す。図中、図６に示す構成部分と対応する
部分には同一符号を付す。
装置２０を示す。図中、図６に示す構成部分と対応する
部分には同一符号を付す。
【００２３】２１はファブリ・ペロー型の第１の光共振
器であり、基本波に対するものであり、第１の非線形光
学結晶３と第２の非線形光学結晶５とを双方を間に含ん
で第１のミラー２２と第３のミラー２３とが相対向して
配された構成であり、基本波２に対する共振器長Ｌ2 を
有する。
器であり、基本波に対するものであり、第１の非線形光
学結晶３と第２の非線形光学結晶５とを双方を間に含ん
で第１のミラー２２と第３のミラー２３とが相対向して
配された構成であり、基本波２に対する共振器長Ｌ2 を
有する。
【００２４】第１のミラー２２は、基本波２に対して高
反射率（ＨＲ）、第二高調波４に対して反射率を有す
る。
反射率（ＨＲ）、第二高調波４に対して反射率を有す
る。
【００２５】第３のミラー２３は、基本波２に対して高
反射率、第二高調波４に対して高反射率、第三高調波６
に対して高透過率（ＨＴ）を有する。
反射率、第二高調波４に対して高反射率、第三高調波６
に対して高透過率（ＨＴ）を有する。
【００２６】第１の光共振器２１は、基本波２を内部に
閉じ込める。
閉じ込める。
【００２７】２４はファブリ・ペロー型の第２の光共振
器であり、第二高調波に対するものであり、第二の非線
形光学結晶５を間に含んで、第２のミラー２５と第３の
ミラー２３とが相対向して配された構成であり、第二高
調波４に対する共振器長Ｌ3 を有する。
器であり、第二高調波に対するものであり、第二の非線
形光学結晶５を間に含んで、第２のミラー２５と第３の
ミラー２３とが相対向して配された構成であり、第二高
調波４に対する共振器長Ｌ3 を有する。
【００２８】第２のミラー２５は、基本波２に対して高
透過率（第２のミラー２５は、基本波２に対して無いに
等しい）、第二高調波４に対して高反射率、第三高調波
６に対して高反射率を有する。
透過率（第２のミラー２５は、基本波２に対して無いに
等しい）、第二高調波４に対して高反射率、第三高調波
６に対して高反射率を有する。
【００２９】第２の光共振器２４は、第二高調波４を内
部に閉じ込める。
部に閉じ込める。
【００３０】第２のミラー２５は、第１の光共振器２１
の動作を全く妨害しない。
の動作を全く妨害しない。
【００３１】上記の装置２０において、第１，第２の光
共振器２１及び２４は、次の手順で調整される。
共振器２１及び２４は、次の手順で調整される。
【００３２】 第二高調波出力４-1をモニタして第１
のミラー２２を調整する。 第二高調波出力４-1が最大となった点で第１のミラ
ー２２を固定する。 この状態で、次いで、第三高調波６をモニタして第
２のミラー２５を調整する。 第三高調波６の出力が最大となった点で第２のミラ
ー２５を固定する。上記，の操作により、第２の光
共振器２４の光共振器長が、第二高調波４に対する共振
器長Ｌ3 に調整される。
のミラー２２を調整する。 第二高調波出力４-1が最大となった点で第１のミラ
ー２２を固定する。 この状態で、次いで、第三高調波６をモニタして第
２のミラー２５を調整する。 第三高調波６の出力が最大となった点で第２のミラ
ー２５を固定する。上記，の操作により、第２の光
共振器２４の光共振器長が、第二高調波４に対する共振
器長Ｌ3 に調整される。
【００３３】こゝで、第２のミラー２５は基本波２に対
する透過率が高く、基本波２に対しては無いに等しいた
め、上記，の操作によって第２のミラー２５を動か
しても、調整済である第１の光共振器２１の共振条件は
何ら影響を受けない。
する透過率が高く、基本波２に対しては無いに等しいた
め、上記，の操作によって第２のミラー２５を動か
しても、調整済である第１の光共振器２１の共振条件は
何ら影響を受けない。
【００３４】即ち、第１，第２の光共振器２１及び２４
は、相互に影響を与えることなく、別個独立に調整可能
であり、簡単な調整作業によって、第１の光共振器２１
は基本波２に対する光共振器長Ｌ2 に、第２の光共振器
２４は第二高調波４に対する共振器長Ｌ3 に厳密に調整
されている。
は、相互に影響を与えることなく、別個独立に調整可能
であり、簡単な調整作業によって、第１の光共振器２１
は基本波２に対する光共振器長Ｌ2 に、第２の光共振器
２４は第二高調波４に対する共振器長Ｌ3 に厳密に調整
されている。
【００３５】次に、上記装置２０の動作について説明す
る。
る。
【００３６】基本波２は、第１の光共振器２１内におい
て、正常に共振し、第１，第２のミラー２２，２３の基
本波２に対する反射率をＲ1 とすると、レーザ光源１よ
り出射した基本波２の強度の１／（１−Ｒ1 ）倍に強め
られる。
て、正常に共振し、第１，第２のミラー２２，２３の基
本波２に対する反射率をＲ1 とすると、レーザ光源１よ
り出射した基本波２の強度の１／（１−Ｒ1 ）倍に強め
られる。
【００３７】このため、第１の非線形光学結晶３は、高
い変換効率で第二高調波４を発生させる。
い変換効率で第二高調波４を発生させる。
【００３８】発生した第二高調波４は、第二光共振器２
４内において正常に共振し、第２，第３のミラー２５，
２３の第二高調波４に対する反射率をＲ2 とすると、結
晶３より発生した第二高調波４の強度の１／（１−
Ｒ2 ）倍に強められる。
４内において正常に共振し、第２，第３のミラー２５，
２３の第二高調波４に対する反射率をＲ2 とすると、結
晶３より発生した第二高調波４の強度の１／（１−
Ｒ2 ）倍に強められる。
【００３９】このため、第２の非線形光学結晶５は、高
い変換効率で第三高調波６を発生させる。
い変換効率で第三高調波６を発生させる。
【００４０】図２は本発明の第２実施例の第三高調波発
生装置３０を示す。
生装置３０を示す。
【００４１】図中、図１に示す構成部分と対応する部分
には同一符号を付す。
には同一符号を付す。
【００４２】第２の光共振器２４Ａは、第２のミラー２
５Ａを４５度傾斜させて設け、第２のミラー２５Ａに対
向させて第４のミラー３１を有する構成である。
５Ａを４５度傾斜させて設け、第２のミラー２５Ａに対
向させて第４のミラー３１を有する構成である。
【００４３】第４のミラー３１は、全波長に対して高反
射率を有する。
射率を有する。
【００４４】第３のミラー２３−第２のミラー２４Ａ−
第４のミラー３１の間の距離Ｌ3 が第二高調波４に対す
る共振器長である。
第４のミラー３１の間の距離Ｌ3 が第二高調波４に対す
る共振器長である。
【００４５】共振器長Ｌ3 は、第４のミラー３１を調整
して設定してある。
して設定してある。
【００４６】この装置３０においても、基本波２は第１
の光共振器２１で共振され、第二高調波４は第２の光共
振器２４Ａにより共振され、第三高調波６は効率良く発
生する。
の光共振器２１で共振され、第二高調波４は第２の光共
振器２４Ａにより共振され、第三高調波６は効率良く発
生する。
【００４７】第４のミラー３１は、共振器長Ｌ3 の調整
をするためのものであり、調整のための機構部を必要と
する。この機構部は比較的大型となる。
をするためのものであり、調整のための機構部を必要と
する。この機構部は比較的大型となる。
【００４８】こゝで、第４のミラー３１は、結晶３，５
の並び方向から側方にずれた部位に配されているため、
前記第１実施例のように結晶３，５の間に調整用のミラ
ーを介在させた構造に比べて、製造し易い構造であり、
且つ小型となっている。
の並び方向から側方にずれた部位に配されているため、
前記第１実施例のように結晶３，５の間に調整用のミラ
ーを介在させた構造に比べて、製造し易い構造であり、
且つ小型となっている。
【００４９】図３は本発明の第３実施例の第三高調波発
生装置４０を示す。
生装置４０を示す。
【００５０】この装置４０は基本波及び第二高調波の各
共振器をリング型共振器とした構成である。
共振器をリング型共振器とした構成である。
【００５１】図３中、図１に示す構成部分と実質上対応
する部分には同一符号を付す。
する部分には同一符号を付す。
【００５２】２１Ｂはリング型の第１の光共振器であ
り、第１１のミラー４１と、第１３のミラー４３と、第
１５のミラー４５とよりなり、第１１のミラー４１と第
１３のミラー４３との間に、光学結晶３と５とを有する
構成である。
り、第１１のミラー４１と、第１３のミラー４３と、第
１５のミラー４５とよりなり、第１１のミラー４１と第
１３のミラー４３との間に、光学結晶３と５とを有する
構成である。
【００５３】２４Ｂはリング型の第２の光共振器であ
り、第１２のミラー４２と、第１４のミラー４４と、第
１６のミラー４６とよりなり、第１２のミラー４２と第
１４のミラー４４との間に、光学結晶５を有する構成で
ある。
り、第１２のミラー４２と、第１４のミラー４４と、第
１６のミラー４６とよりなり、第１２のミラー４２と第
１４のミラー４４との間に、光学結晶５を有する構成で
ある。
【００５４】第１１乃至第１６のミラー４１〜４６は、
図４に示す特性を有する。
図４に示す特性を有する。
【００５５】第１の光共振器２１Ｂは基本波２に対する
共振器を構成し、結晶３は効率良く第二高調波４を発生
する。
共振器を構成し、結晶３は効率良く第二高調波４を発生
する。
【００５６】第２の光共振器２４Ｂは第二高調波４に対
する共振器を構成し、結晶５は第三高調波６を効率良く
発生する。
する共振器を構成し、結晶５は第三高調波６を効率良く
発生する。
【００５７】第１の光共振器２１Ｂ，第２の光共振器２
４Ｂは共にリング型であるため、基本波２及び第二高調
波４がレーザ１へ戻ることが確実に防止される。
４Ｂは共にリング型であるため、基本波２及び第二高調
波４がレーザ１へ戻ることが確実に防止される。
【００５８】これにより、レーザ１は先の実施例に比べ
て動作が安定となる。
て動作が安定となる。
【００５９】この結果、上記の装置３０によれば、第三
高調波６を先の実施例に比べて安定に得ることが出来
る。
高調波６を先の実施例に比べて安定に得ることが出来
る。
【００６０】
【発明の効果】以上説明した様に、請求項１の発明によ
れば、第１の光共振器の共振器長と第２の光共振器の光
共振器長とを、夫々他方に影響を与えることなく調整す
ることが出来、然して、第１，第２の光共振器の共振器
長が共に高精度に定まり、基本波及び第二高調波が共に
正常に共振されて、この結果、第三高調波を効率良く発
生させることが出来る。
れば、第１の光共振器の共振器長と第２の光共振器の光
共振器長とを、夫々他方に影響を与えることなく調整す
ることが出来、然して、第１，第２の光共振器の共振器
長が共に高精度に定まり、基本波及び第二高調波が共に
正常に共振されて、この結果、第三高調波を効率良く発
生させることが出来る。
【００６１】請求項２の発明によれば、基本波及び第二
高調波の光源への戻りが無いため、光源はその分安定に
動作し、第三高調波を安定に得ることが出来る。
高調波の光源への戻りが無いため、光源はその分安定に
動作し、第三高調波を安定に得ることが出来る。
【図１】本発明の第三高調波発生装置の第１実施例を示
す図である。
す図である。
【図２】本発明の第三高調波発生装置の第２実施例を示
す図である。
す図である。
【図３】本発明の第三高周波発生装置の第３実施例を示
す図である。
す図である。
【図４】図３中の各ミラーの特性を示す図である。
【図５】第三高調波発生装置の基本構成を示す図であ
る。
る。
【図６】従来の第三高調波発生装置の１例を示す図であ
る。
る。
１ レーザ光源
２ 基本波
３ 第１の非線形光学結晶
４ 第二高調波
５ 第２の非線形光学結晶
６ 第三高調波
２０，３０，４０ 第三高調波発生装置
２１，２１Ｂ 第１の光共振器
２２ 第１のミラー
２３ 第３のミラー
２４，２４Ａ，２４Ｂ 第２の光共振器
２５，２５Ａ 第２のミラー
３１ 第４のミラー
４１〜４６ ミラー
Claims (2)
- 【請求項１】 基本波（２）を射出する光源（１）と、 該光源から射出した該基本波を入射されて該基本波の第
二高調波（４）を発生する第１の非線形光学結晶（３）
と、 該第１の非線形光学結晶により発生した該第二高調波と
上記基本波とを光混合して第三高調波（６）を発生させ
る第２の非線形光学結晶（５）と、 該第１の非線形光学結晶（３）と、該第２の非線形光学
結晶（５）との双方を間に有し、上記基本波をその内部
に閉じ込める第１の光共振器（２１，２１Ｂ）と、 該基本波に対して高透過率であり、該第二高調波に対し
て高反射率であるミラー（２５，２５Ａ，４２）を、該
第１の非線形光学結晶（３）と該第２の非線形光学結晶
（５）との間に有し、且つ該第２の非線形光学結晶
（５）を間に含んで上記第二高調波をその内部に閉じ込
める第２の光共振器（２４，２４Ａ，２４Ｂ）とより構
成したことを特徴とする第三高調波発生装置。 - 【請求項２】 請求項１の第１の光共振器及び第２の光
共振器は、その一方、もしくは共にリング型共振器（２
１Ｂ，２４Ｂ）である構成としたことを特徴とする第三
高調波発生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3184861A JPH0527284A (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | 第三高調波発生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3184861A JPH0527284A (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | 第三高調波発生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0527284A true JPH0527284A (ja) | 1993-02-05 |
Family
ID=16160593
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3184861A Pending JPH0527284A (ja) | 1991-07-24 | 1991-07-24 | 第三高調波発生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0527284A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10341054A (ja) * | 1997-06-10 | 1998-12-22 | Nikon Corp | 紫外レーザ装置及び半導体露光装置 |
| JP2010135380A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Omron Corp | 固体レーザ発振器 |
| WO2011123822A3 (en) * | 2010-04-02 | 2012-03-15 | Newport Corporation | Apparatus and method for generating continuous wave ultraviolet light |
-
1991
- 1991-07-24 JP JP3184861A patent/JPH0527284A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH10341054A (ja) * | 1997-06-10 | 1998-12-22 | Nikon Corp | 紫外レーザ装置及び半導体露光装置 |
| JP2010135380A (ja) * | 2008-12-02 | 2010-06-17 | Omron Corp | 固体レーザ発振器 |
| WO2011123822A3 (en) * | 2010-04-02 | 2012-03-15 | Newport Corporation | Apparatus and method for generating continuous wave ultraviolet light |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20010703 |