JPH05267996A - Semiconductor integrated circuit - Google Patents

Semiconductor integrated circuit

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JPH05267996A
JPH05267996A JP4046522A JP4652292A JPH05267996A JP H05267996 A JPH05267996 A JP H05267996A JP 4046522 A JP4046522 A JP 4046522A JP 4652292 A JP4652292 A JP 4652292A JP H05267996 A JPH05267996 A JP H05267996A
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JP
Japan
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ring oscillator
input
output
level
semiconductor integrated
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JP4046522A
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Suketaka Yamada
資隆 山田
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NEC Corp
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NEC Corp
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Publication of JPH05267996A publication Critical patent/JPH05267996A/en
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Abstract

PURPOSE:To execute a speed measurement corresponding to a variance of a process in a chip by measuring an oscillation frequency of a ring oscillator. CONSTITUTION:When a control signal level in an input terminal 51 is set to '1', each transfer gate 3 and 6-1-6-n all becomes a turn-on state, a ring oscillator is formed through these transfer gates, and AND circuits 4 and 7-1-7-n, and from each output terminal 52-1-52-n, a '1' level is outputted as an output signal, respectively. In this case, an oscillation frequency and frequency dependency can be measured by signal leading-out pads 8-1-8-n. On the other hand, when the control signal level in the input terminal 51 is set to a '0' level, each transfer gate 3 and 6-1-6-n all becomes a regular mode of a turn-off state and signals in the signal leading-out pads 8-1-8-n are inverted by the AND circuits 7-1-7-n, and inputted to an internal circuit through the output terminals 52-1-52-n, respectively.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は半導体集積回路に関し、
特にリング発振器を形成する半導体集積回路に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor integrated circuit,
In particular, it relates to a semiconductor integrated circuit forming a ring oscillator.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のリング発振器を形成する半導体集
積回路は、図3(a)に示されるように、入力端子55
および出力端子56に対応して、NAND回路16およ
び偶数個のインバータ17により構成されており、入力
端子55より入力される入力信号レベルが“1”になる
と、発振モードとなって発振状態となり、入力信号レベ
ルが“0”になると、出力端子56における出力レベル
は“1”となり、発振停止の状態となる。この場合にお
ける発振周波数により、リング発振器としてのスピード
が評価される。
2. Description of the Related Art A semiconductor integrated circuit forming a conventional ring oscillator has an input terminal 55 as shown in FIG.
Corresponding to the output terminal 56 and the NAND circuit 16 and the even number of inverters 17. When the input signal level input from the input terminal 55 becomes "1", the oscillation mode is set and the oscillation state is established. When the input signal level becomes "0", the output level at the output terminal 56 becomes "1", and the oscillation is stopped. The speed as a ring oscillator is evaluated by the oscillation frequency in this case.

【0003】このように、従来においては、リング発振
器は同一ゲート(本例においては、インバータ17)に
より構成されており、しかもテスト回路としてのみ使用
されている。また、図3(b)のリング発振器を形成す
る半導体集積回路の平面図に示されるように、半導体集
積回路の主要部分を占有する入出力バッファ回路領域1
9および内部回路20に対応して、リング発振器21、
入力バッファ22および出力バッファ23等により部分
構成要素として形成されており、リング発振器自体は、
チップコーナ部等における一部回路として存在している
に過ぎない。
As described above, conventionally, the ring oscillator is composed of the same gate (inverter 17 in this example) and is used only as a test circuit. Further, as shown in the plan view of the semiconductor integrated circuit forming the ring oscillator of FIG. 3B, the input / output buffer circuit region 1 occupying the main part of the semiconductor integrated circuit.
9 and the internal circuit 20, corresponding to the ring oscillator 21,
The ring oscillator itself is formed as a partial component by the input buffer 22 and the output buffer 23.
It only exists as a part of the circuit in the chip corner section or the like.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述した従来の半導体
集積回路においては、プロセスのチップ内におけるバラ
ツキがあると、当該リング発振器がチップの一部として
位置しているために、大型のチップになるに従って、前
記リング発振器の発振周波数とチップ全体のスピードと
の相関がとれなくなり、半導体チップのスピード選別が
困難になるという欠点あり、また、チップ全体に亘って
リング発振器を配置する場合には、当該リング発振器の
配置に影響されて、チップサイズが大型化するという欠
点がある。
In the above-mentioned conventional semiconductor integrated circuit, if there are variations in the process chips, the ring oscillator is located as a part of the chip, resulting in a large chip. Accordingly, there is a drawback that the oscillation frequency of the ring oscillator and the speed of the entire chip cannot be correlated, and it becomes difficult to select the speed of the semiconductor chip, and when the ring oscillator is arranged over the entire chip, There is a drawback that the chip size becomes large due to the arrangement of the ring oscillator.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明の半導体集積回路
は、半導体チップの周辺部に、任意数の入力バッファ回
路および出力バッファ回路、または入出力バッファ回路
を、所定のトランスファーゲートを介して直列に接続し
て形成されるリング発振器と、所定の制御信号を介し
て、前記トランスファーゲートのオン・オフを制御する
ことにより、前記リング発振器の動作モードとして、発
振モードおよび通常モードとの何れかに切替制御する制
御回路とを、少なくとも備えて構成される。
In a semiconductor integrated circuit of the present invention, an arbitrary number of input buffer circuits and output buffer circuits or input / output buffer circuits are serially connected to a peripheral portion of a semiconductor chip via a predetermined transfer gate. And a ring oscillator formed by connecting the transfer gate to the transfer oscillator by controlling on / off of the transfer gate via a predetermined control signal, so that the operation mode of the ring oscillator is either an oscillation mode or a normal mode. And a control circuit for switching control.

【0006】[0006]

【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, the present invention will be described with reference to the drawings.

【0007】図1は本発明の第1の実施例を示すブロッ
ク図である。図1に示されるように、本実施例において
は、入力バッファ5−1、5−2、………、5−i、5
−n(iおよびnは正整数:i<n)が、それぞれNA
ND回路4、7−1、7−2、……、7−i、7−nお
よびCMOSトランスファーゲート3、6−1、6−
2、……、6−i、6−nを介して、リング状に直列接
続されてリング発振器として構成されている。また、入
力バッファ1、インバータ2、および上記のCMOSト
ランスファーゲート3および6−1、6−2、………、
6−i、6−n、およびNAND回路4および7−1、
7−2、………、7−iは、リング発振器に対する制御
回路を形成している。
FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, in this embodiment, the input buffers 5-1, 5-2, ...
-N (i and n are positive integers: i <n) is NA
ND circuits 4, 7-1, 7-2, ..., 7-i, 7-n and CMOS transfer gates 3, 6-1, 6-
2, ..., 6-i, 6-n are connected in series in a ring shape to form a ring oscillator. Further, the input buffer 1, the inverter 2, and the CMOS transfer gates 3 and 6-1, 6-2, ...
6-i, 6-n, and NAND circuits 4 and 7-1,
7-2, ..., 7-i form a control circuit for the ring oscillator.

【0008】図1において、制御回路の入力端子51に
おける制御信号レベルを“1”とすると、各トランスフ
ァーゲート3およびび6−1、6−2、………、6−
i、6−nは全てオン状態となり、これらのトランスフ
ァーゲートならびにNAND回路4および7−1、7−
2、………、7−iを介してリング発振器が形成され、
これにより当該リング発振器は発振モードとなって、各
出力端子52−1、52−2、………、52−i、52
−nよりは、それぞれ出力信号として“1”レベルが出
力される。この場合、信号引出しパッド8−1、8−
2、……、8−i、8−nの内の何れかの信号引出しパ
ッドに周波数カウンタを接続すれば、当該リング発振器
の発振周波数が測定される。また、この時に、各信号引
出しパッド8−1、8−2、………、8−i、8−nに
等負荷容量を付加すれば、当該負荷に起因する周波数依
存性も測定することができる。
In FIG. 1, assuming that the control signal level at the input terminal 51 of the control circuit is "1", the transfer gates 3 and 6-1, 6-2, ...
i, 6-n are all turned on, and these transfer gates and NAND circuits 4 and 7-1, 7-
2, ........., a ring oscillator is formed via 7-i,
As a result, the ring oscillator becomes the oscillation mode, and the output terminals 52-1, 52-2, ..., 52-i, 52
From -n, "1" level is output as an output signal. In this case, the signal lead-out pads 8-1, 8-
If the frequency counter is connected to the signal lead-out pad of any one of 2, ..., 8-i, 8-n, the oscillation frequency of the ring oscillator is measured. At this time, if an equal load capacitance is added to each of the signal lead-out pads 8-1, 8-2, ..., 8-i, 8-n, the frequency dependence caused by the load can be measured. it can.

【0009】また、前記制御回路の入力端子51におけ
る制御信号レベルを“0”レベルにすると、各トランス
ファーゲート3および6−1、6−2、………、6−
i、6−nは全てオフ状態となり、リング発振器として
の機能は解除されて、本半導体集積回路の動作状態とし
ては、正規の通常モードに変わり、所望の機能を有する
半導体集積回路としての本来の機能動作が復活される。
この通常モードにおいては、信号引出しパッド8−1〜
8−nにおける信号が、対応するNAND回路7−1〜
7−nにより反転されて、それぞれ出力端子52−1〜
52−nを介して、対応する内部回路に入力される。
When the control signal level at the input terminal 51 of the control circuit is set to "0" level, the transfer gates 3 and 6-1, 6-2, ..., 6-
All of i and 6-n are turned off, the function as the ring oscillator is released, and the operation state of the present semiconductor integrated circuit is changed to the normal normal mode, which is the original state of the semiconductor integrated circuit having the desired function. Functional behavior is restored.
In this normal mode, the signal lead-out pads 8-1 to 8-1
The signal in 8-n corresponds to the corresponding NAND circuit 7-1.
7-n, and output terminals 52-1 to 52-1 are respectively inverted.
It is input to the corresponding internal circuit via 52-n.

【0010】図2は、本発明の第2の実施例を示すブロ
ック図である。図2に示されるように、本実施例におい
ては、入力バッファ14−1、14−2、………、14
−i、14−n(iおよびnは正整数:i<n)が、C
MOSトランスファーゲート11−1、11−2、…
…、11−i3、11−nおよびNAND回路13を介
してリング状に直列に接続されてリング発振器として構
成されている。また、入力バッファ9、インバータ1
0、CMOSトランスファーゲート11−1、11−
2、………、11−i、11−n、CMOSトランスフ
ァーゲート12−1、12−2、………、12−i、1
2−n、およびNAND回路13は当該リング発振器に
対する制御回路を形成している。
FIG. 2 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 2, in this embodiment, the input buffers 14-1, 14-2, ...
-I, 14-n (i and n are positive integers: i <n) is C
MOS transfer gates 11-1, 11-2, ...
, 11-i3, 11-n and the NAND circuit 13 are connected in series in a ring shape to form a ring oscillator. Also, the input buffer 9 and the inverter 1
0, CMOS transfer gates 11-1, 11-
2, ..., 11-i, 11-n, CMOS transfer gates 12-1, 12-2, ..., 12-i, 1
2-n and the NAND circuit 13 form a control circuit for the ring oscillator.

【0011】図2において、制御回路の入力端子53に
おける制御信号レベルを“1”とすると、CMOSトラ
ンスファーゲート11−1、11−2、………、11−
i、11−nは全てオン状態となり、CMOSトランス
ファーゲート12−1、12−2、………、12−i、
12−nは全てオフ状態となり、内部回路から各入力端
子54−1、54−2、……、54−iおよび54−n
を介して入力される信号は、CMOSトランスファーゲ
ート12−1、12−2、………、12−i、12−n
により遮断され、内部回路の信号に対する非選択の状態
となる。この状態においては、CMOSトランスファー
ゲート11−1、11−2、………、11−i、11−
nを介してリング発振器が形成され、これにより当該リ
ング発振器は発振モードとなって、各信号引出しパッド
15−1、15−2、………、15−iおよび15−n
の何れかに周波数カウンタを接続すれば、当該リング発
振器の発振周波数を測定することが可能となる。本実施
例においては、第1の実施例の場合と同様に、負荷依存
性の測定を行うことも可能であることは云うまでもな
い。
In FIG. 2, assuming that the control signal level at the input terminal 53 of the control circuit is "1", the CMOS transfer gates 11-1, 11-2, ... 11-
i, 11-n are all turned on, and the CMOS transfer gates 12-1, 12-2, ..., 12-i,
12-n are all turned off, and the input terminals 54-1, 54-2, ..., 54-i and 54-n are input from the internal circuit.
Signals input via the CMOS transfer gates 12-1, 12-2, ..., 12-i, 12-n
The signal is cut off by and the signal of the internal circuit is not selected. In this state, the CMOS transfer gates 11-1, 11-2, ..., 11-i, 11-
A ring oscillator is formed via n, whereby the ring oscillator enters the oscillation mode, and each of the signal extraction pads 15-1, 15-2, ..., 15-i and 15-n.
If a frequency counter is connected to any of the above, the oscillation frequency of the ring oscillator can be measured. Needless to say, in the present embodiment, it is possible to measure the load dependency as in the case of the first embodiment.

【0012】また、前記制御回路の入力端子53におけ
る制御信号レベルを“0”レベルにすると、CMOSト
ランスファーゲート11−1、11−2、………、11
−i、11−nは全てオフ状態となり、CMOSトラン
スファーゲート12−1、12−2、………、12−
i、12−nは全てオン状態となって、リング発振器と
しての機能は解除され、本半導体集積回路の動作状態と
しては、正規の通常モードに変わり、内部回路より出力
され、それぞれ入力端子54−1、54−2、……、5
4−iおよび54−nに入力される信号は、それぞれ対
応するCMOSトランスファーゲート12−1、12−
2、………、12−iおよび12−n、および出力バッ
ファ14−1、14−2、………、14−iおよび14
−nを介して、信号引出しパッド15−1〜15−nに
出力される。
When the control signal level at the input terminal 53 of the control circuit is set to "0" level, the CMOS transfer gates 11-1, 11-2, ...
-I, 11-n are all turned off, and the CMOS transfer gates 12-1, 12-2, ..., 12-
All of i and 12-n are turned on, the function as the ring oscillator is released, the operation state of the present semiconductor integrated circuit is changed to the normal normal mode, and output from the internal circuit. 1, 54-2, ... 5
The signals input to 4-i and 54-n are the corresponding CMOS transfer gates 12-1 and 12-, respectively.
, ..., 12-i and 12-n, and output buffers 14-1, 14-2, ..., 14-i and 14
Is output to the signal lead-out pads 15-1 to 15-n via -n.

【0013】[0013]

【発明の効果】以上説明したように、本発明は、半導体
チップ周辺において、任意数の入力バッファおよび出力
バッファを直列接続してリング発振器を形成することに
より、前記入力バッファおよび出力バッファが、当該半
導体チップ周辺に広範囲に分散配置される状態となり、
これにより、チップ内のプロセスにおけるバラツキがこ
れらの入力バッファおよび出力バッファに反映されて、
当該リング発振器の発振周波数と半導体チップ全体のス
ピードとの相関が、大型チップの場合においても有効に
とることが可能となって、前記発振周波数を測定するこ
とにより、半導体チップのスピード選別を極めて容易に
行うことができるという効果がある。
As described above, according to the present invention, by providing an arbitrary number of input buffers and output buffers in series around a semiconductor chip to form a ring oscillator, the input buffers and output buffers are It will be distributed over a wide area around the semiconductor chip,
As a result, variations in processes in the chip are reflected in these input buffers and output buffers,
Correlation between the oscillation frequency of the ring oscillator and the speed of the entire semiconductor chip can be effectively obtained even in the case of a large chip, and by measuring the oscillation frequency, it is extremely easy to select the speed of the semiconductor chip. There is an effect that can be done.

【0014】また、半導体チップ全体を周辺に配置する
ことにより、当該半導体チップのサイズを抑制すること
ができるという効果がある。
Further, by arranging the entire semiconductor chip in the periphery, there is an effect that the size of the semiconductor chip can be suppressed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例を示すブロック図であ
る。
FIG. 1 is a block diagram showing a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の実施例を示すブロック図であ
る。
FIG. 2 is a block diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図3】従来例を示すブロック図および半導体チップの
配置概要を示す平面図である。
FIG. 3 is a block diagram showing a conventional example and a plan view showing an outline of arrangement of semiconductor chips.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1、5−1、5−2、……、5−i、5−n、9、22
入力バッファ 2、10、17 インバータ 3、6−1〜6−n、11−1〜11−n、12−1〜
12−n CMOSトランスファーゲート 4、7−1〜7−n、13、16 NAND回路 8−1〜8−n、15−1〜15−n、18 信号引
出しパッド 14−1〜14−n、23 出力バッファ 19 入出力バッファの回路領域 20 内部回路 21 リング発振器
1, 5-1, 5-2, ..., 5-i, 5-n, 9, 22
Input buffer 2, 10, 17 Inverter 3, 6-1 to 6-n, 11-1 to 11-n, 12-1 to
12-n CMOS transfer gate 4, 7-1 to 7-n, 13, 16 NAND circuit 8-1 to 8-n, 15-1 to 15-n, 18 Signal extraction pad 14-1 to 14-n, 23 Output buffer 19 Input / output buffer circuit area 20 Internal circuit 21 Ring oscillator

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体チップの周辺部に、任意数の入力
バッファ回路および出力バッファ回路、または入出力バ
ッファ回路を、所定のトランスファーゲートを介して直
列に接続して形成されるリング発振器と、 所定の制御信号を介して、前記トランスファーゲートの
オン・オフを制御することにより、前記リング発振器の
動作モードとして、発振モードおよび通常モードとの何
れかに切替制御する制御回路と、 を、少なくとも備えることを特徴とする半導体集積回
路。
1. A ring oscillator formed by connecting an arbitrary number of input buffer circuits and output buffer circuits or input / output buffer circuits in series around a peripheral portion of a semiconductor chip via a predetermined transfer gate, and a predetermined oscillator. A control circuit that controls the transfer gate to be turned on or off via the control signal to switch between the oscillation mode and the normal mode as the operation mode of the ring oscillator. And a semiconductor integrated circuit.
JP4046522A 1992-03-04 1992-03-04 Semiconductor integrated circuit Pending JPH05267996A (en)

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