JPH05267806A - Manufacture of base material for wiring board and multilayer printed wiring board using the same - Google Patents

Manufacture of base material for wiring board and multilayer printed wiring board using the same

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JPH05267806A
JPH05267806A JP6593192A JP6593192A JPH05267806A JP H05267806 A JPH05267806 A JP H05267806A JP 6593192 A JP6593192 A JP 6593192A JP 6593192 A JP6593192 A JP 6593192A JP H05267806 A JPH05267806 A JP H05267806A
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JP
Japan
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base material
wiring board
curing agent
stage
curing
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Application number
JP6593192A
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Japanese (ja)
Inventor
Eiichi Tsunashima
瑛一 綱島
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Panasonic Holdings Corp
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Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Abstract

PURPOSE:To obtain sufficient bonding strength without losing electrical insulation characteristic and breakdown of impregnated resin. CONSTITUTION:A base material 1 for printed wiring board is impregnated with an epoxy resin mixing a first hardening agent which gives resistance characteristic for etching and plating and a second hardening agent which gives low compression characteristic. In this case, the epoxy resin enters the B stage. As the first hardening agent, 1.8 diazobicycro[5. 4. 0] undecene (hereinafter referred to as DBU) is used and as the second hardening agent, those obtained by adduct mixing of aromatic amine are used. Thereby, DBU shows the hardening reaction at the temperature of 85[ deg.C] and the epoxy resin enters the C1 stage, ensuring resistance characteristic for etching and plating. Moreover, aromatic amine shows the hardening reaction at 150 to 180 [ deg.C]. Accordingly, the epoxy resin enters the C2 stage.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、配線板用基材および
それを用いた多層印刷配線板の製造方法に関するもので
ある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wiring board substrate and a method for producing a multilayer printed wiring board using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、配線板用の基材として、ガラス繊
維,アラミド繊維またはポリエステル繊維等に、熱硬化
性の樹脂(エポキシ,ポリエステル,アーラミド,アク
リル,ポリアセテート,ポリフェニレンまたはサルファ
イド等)を含浸させた板状またはフィルム状のものが用
いられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a substrate for a wiring board, glass fiber, aramid fiber or polyester fiber is impregnated with thermosetting resin (epoxy, polyester, aramide, acrylic, polyacetate, polyphenylene or sulfide). A plate-shaped or film-shaped material is used.

【0003】多層印刷配線板は、基材に所定の導体パタ
ーンを形成し、複数積層して一体化したものである。基
材に導体パターンを形成する場合には、含浸樹脂をCス
テージ(完全硬化状態)の状態とすることにより、基材
の強度を得ているが、一方、含浸樹脂をCステージとす
ることで、被積層基材に対する接着強度は極めて弱いも
のとなり、積層の際には、被積層基材との層間にBステ
ージ(半硬化状態)の樹脂を含浸させたプレプレグを介
挿させることが不可欠となっていた。
A multilayer printed wiring board is one in which a predetermined conductor pattern is formed on a base material and a plurality of them are laminated and integrated. When the conductor pattern is formed on the base material, the strength of the base material is obtained by setting the impregnating resin in the C stage (completely cured state), while the impregnating resin is set to the C stage. Since the adhesive strength to the laminated base material becomes extremely weak, it is indispensable to interpose a prepreg impregnated with a B stage (semi-cured state) resin between the laminated base material and the laminated base material during lamination. Was becoming.

【0004】また、含浸樹脂をCステージの状態とした
基材と、被積層基材の表面の導体パターンとの接着強度
は極めて弱く、銅箔である場合には、酸化第二銅による
黒化処理またはソフトエッチング(過酸化水素+硫酸)
により基材の表面を粗面化することで接着強度を得てい
た。このような方法は、常温では接着力に効果がある
が、樹脂のガラス転移温度Tg(120〔°C〕,15
0〔℃〕)では、常温と比較して1/3〜1/10に低
下する。
Further, the adhesive strength between the base material in which the impregnating resin is in the C stage state and the conductor pattern on the surface of the base material to be laminated is very weak. Treatment or soft etching (hydrogen peroxide + sulfuric acid)
Thus, the adhesive strength was obtained by roughening the surface of the substrate. Although such a method has an effect on the adhesive strength at room temperature, the glass transition temperature Tg (120 [° C], 15
At 0 [° C.], the temperature decreases to 1/3 to 1/10 of the normal temperature.

【0005】そこで、基材間に所望の接着強度を得るた
めには、基材に含浸させた樹脂を基材同志の接着段階で
Bステージの状態に留めておくか、または、基材同志の
接着段階で、含浸樹脂をCステージの状態とし、このC
ステージの樹脂の表面を粗面化することが検討されてい
る。
Therefore, in order to obtain a desired adhesive strength between the base materials, the resin impregnated in the base materials is kept in the B stage state at the bonding stage of the base materials, or At the bonding stage, the impregnating resin is put in the C stage state, and the C
Roughening the surface of the resin of the stage is being studied.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
配線板用基材では、基材同志の接着段階で樹脂をBステ
ージの状態に留めておくためには、含浸樹脂がBステー
ジの状態である基材に対して導体パターンを形成しなけ
ればならず、この場合、導体パターンを形成する際のエ
ッチング(塩化第二鉄または塩化第二銅を主成分とする
エッチング液等による。),電気めっき(硫酸銅めっき
液またはシアン化銅めっき液等による。)またはロッシ
ェル塩銅の化学めっき(フォルマリン,エチレンジアミ
ンテトラ酢酸ソーダ等による。)などの還元法化学銅め
っきに用いる薬品により、含浸樹脂が変質劣化して電気
絶縁材料としての安定性を喪失し、甚だしいときは溶解
して原型を喪失するという問題があった。
However, in the conventional wiring board substrate, the impregnating resin is in the B stage state in order to keep the resin in the B stage state at the bonding stage between the substrate members. A conductor pattern must be formed on the base material. In this case, etching for forming the conductor pattern (using an etching solution containing ferric chloride or cupric chloride as a main component), electroplating (Reduction method such as copper sulfate plating solution or copper cyanide plating solution) or reduction method such as chemical plating of Rochelle salt copper (using formalin, sodium ethylenediaminetetraacetate, etc.). There was a problem that it deteriorates and loses its stability as an electrical insulating material, and when it is extremely severe, it melts and loses its original form.

【0007】また、従来、Cステージの樹脂の表面を粗
面化する方法として、ソフトエッチング(過酸化水素/
硫酸,クロム酸/硫酸;エッチング液),レーザー,プ
ラズマエッチングまたはプラズマスパッタリングがある
が、ソフトエッチングによる粗面化は樹脂の電気絶縁材
料としての性質を失い易く、また、レーザー,プラズマ
エッチングまたはプラズマスパッタリングによる粗面化
は、局部的な炭化および樹脂破壊を招くという問題があ
った。
Conventionally, as a method for roughening the surface of the resin of the C stage, soft etching (hydrogen peroxide /
Sulfuric acid, chromic acid / sulfuric acid; etching solution), laser, plasma etching or plasma sputtering, but roughening by soft etching tends to lose the property of resin as an electrical insulating material, and laser, plasma etching or plasma sputtering. The surface roughening by the method has a problem of causing local carbonization and resin destruction.

【0008】この発明の目的は、上記問題点に鑑み、含
浸樹脂の電気絶縁性の喪失および破壊を招くことがな
く、十分な接着強度を得ることのできる配線板用基材お
よびそれを用いた多層印刷配線板の製造方法を提供する
ことである。
In view of the above-mentioned problems, an object of the present invention is to use a wiring board substrate capable of obtaining a sufficient adhesive strength without causing a loss or breakage of the electric insulation of the impregnated resin and using the same. A method for manufacturing a multilayer printed wiring board is provided.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】請求項1記載の配線板用
基材は、エッチング耐性およびめっき耐性を与える第1
硬化剤および低収縮性の第2硬化剤を配合した絶縁性樹
脂を含浸させたものである。請求項2記載の配線板用基
材は、請求項1記載の配線板用基材において、第1硬化
剤が1.8ジアゾビシクロ〔5.4.0〕ウンデセンで
あり、第2硬化剤がアロマティクアミンであることを特
徴とする。
A wiring board substrate according to claim 1 provides an etching resistance and a plating resistance.
An insulating resin containing a curing agent and a second curing agent having a low shrinkage is impregnated. The wiring board substrate according to claim 2 is the wiring board substrate according to claim 1, wherein the first curing agent is 1.8 diazobicyclo [5.4.0] undecene and the second curing agent is It is characterized by being an aromatic amine.

【0010】請求項3記載の配線板用基材は、請求項2
記載の配線板用基材において、酸無水物またはダイシア
ンダイアミドを追加配合したものである。請求項4記載
の多層印刷配線板の製造方法は、つぎのようにする。エ
ッチング耐性およびめっき耐性を与える第1硬化剤およ
び低収縮性の第2硬化剤を配合した絶縁性樹脂を含浸さ
せた基材を準備する。第1硬化剤の硬化反応により絶縁
性樹脂を硬化させる。この第1硬化剤の硬化反応により
絶縁性樹脂を硬化させた基材の表面を逆スパッタリング
法により粗面化する。この粗面化した基材に所定の導体
パターンを形成する。所定の被積層基材を準備する。基
材と被積層基材を所定位置に配して加熱加圧し、第2硬
化剤の硬化反応により絶縁性樹脂を硬化させる。
The wiring board substrate according to claim 3 is the substrate according to claim 2.
The base material for a wiring board described above is additionally compounded with an acid anhydride or dicyandiamide. The method for manufacturing a multilayer printed wiring board according to claim 4 is as follows. A base material impregnated with an insulating resin containing a first curing agent that imparts etching resistance and plating resistance and a second curing agent that has low shrinkage is prepared. The insulating resin is cured by the curing reaction of the first curing agent. The surface of the base material on which the insulating resin has been cured by the curing reaction of the first curing agent is roughened by the reverse sputtering method. A predetermined conductor pattern is formed on the roughened base material. A predetermined laminated substrate is prepared. The base material and the base material to be laminated are arranged at predetermined positions, heated and pressed, and the insulating resin is cured by the curing reaction of the second curing agent.

【0011】[0011]

【作用】この発明の構成によれば、配線板用基材は、基
材に、エッチング耐性およびめっき耐性を与える第1硬
化剤および低収縮性の第2硬化剤を配合した絶縁性樹脂
を含浸させたものである。したがって、第1硬化剤の硬
化反応により、絶縁性樹脂をBステージからC1ステー
ジに硬化させることによってエッチング耐性およびめっ
き耐性を得た後に、所定の導体パターンを形成すること
で、導体パターン形成時のエッチングおよびめっきによ
る含浸樹脂の破壊および電気絶縁性の喪失を防止するこ
とができる。
According to the structure of the present invention, the wiring board base material is impregnated with an insulating resin containing a first curing agent that imparts etching resistance and plating resistance and a second curing agent that has low shrinkage. It was made. Therefore, when the insulating resin is cured from the B stage to the C 1 stage by the curing reaction of the first curing agent to obtain the etching resistance and the plating resistance, a predetermined conductor pattern is formed. It is possible to prevent the impregnated resin from being damaged and the electric insulation from being lost due to the etching and plating.

【0012】また、導体パターンを形成され含浸樹脂が
1 ステージである基材と、所定の被積層基材との加熱
加圧により、第2硬化剤が硬化反応を起こし絶縁性樹脂
をC 1 ステージからC2 ステージに硬化させることよっ
て、従来のようにBステージのプリプレグを介挿させる
ことがなく、良好に層間接着することができる。また、
逆スパッタリング法により、基材の表面を粗面化するこ
とで、含浸樹脂の電気絶縁性の喪失および破壊を防止す
ることができる。
Further, a conductor pattern is formed and impregnated resin is
C1Heating of the base material that is the stage and the specified base material
Pressurization causes the second curing agent to undergo a curing reaction, and the insulating resin
To C 1From stage to C2By curing on stage
And insert the B stage prepreg as in the past.
And good interlayer adhesion can be achieved. Also,
The surface of the substrate can be roughened by the reverse sputtering method.
Protects the impregnated resin from loss and destruction of electrical insulation.
You can

【0013】[0013]

【実施例】図1は、この発明の一実施例の配線板用基材
の構成を示す概略図である。図1に示す配線板用基材1
は、厚み0.2〔mm〕のアーラミド不織布またはガラス
織布からなる基材に、エッチング耐性およびめっき耐性
を与える第1硬化剤および低収縮性の第2硬化剤を配合
した絶縁性樹脂となるエポキシ樹脂を含浸させたもので
ある。この際、エポキシ樹脂はBステージ(半硬化状
態)である。
FIG. 1 is a schematic view showing the structure of a wiring board substrate according to an embodiment of the present invention. Wiring board base material 1 shown in FIG.
Is an insulating resin in which a first curing agent that imparts etching resistance and plating resistance and a second curing agent that has a low shrinkage property are mixed with a base material made of aramid nonwoven fabric or glass woven fabric having a thickness of 0.2 [mm]. It is impregnated with an epoxy resin. At this time, the epoxy resin is in the B stage (semi-cured state).

【0014】第1硬化剤として、1〜3重量%の1.8ジ
アゾビシクロ〔5.4.0〕ウンデセン(以下「DB
U」という。)を用いる。このDBUは、温度85〔°
C〕で硬化反応を起こし、これにより、エポキシ樹脂は
1 ステージ(最終硬度に到達していないが耐エッチン
グおよび耐めっき性は得ている状態)となり、エッチン
グ耐性およびめっき耐性を得ることができる。
As the first curing agent, 1 to 3% by weight of 1.8 diazobicyclo [5.4.0] undecene (hereinafter referred to as "DB
U ”. ) Is used. This DBU has a temperature of 85 [°
C] causes a curing reaction, whereby the epoxy resin is in the C 1 stage (a state where the final hardness is not reached but etching resistance and plating resistance are obtained), and etching resistance and plating resistance can be obtained. ..

【0015】また、第2硬化剤として、55〜60重量
%のアロマティックアミンをアダクト配合したものを用
いる。このアロマティックアミンは、100〔℃〕以下
では硬化反応を起こすことがなく、150〔°C〕〜1
80〔°C〕で硬化反応を起こし、これにより、エポキ
シ樹脂はC2 ステージ(最終硬化状態)となる。なお、
第2硬化剤として、アロマティックアミンに必要によっ
て酸無水物またはダイシアンダイアミドを追加配合させ
ても良い。この場合、アロマティックアミンのみを10
0〔%〕の場合と比較してマイグレイション防止効果は
不完全となるが、若干劣る程度の耐めっき性,低収縮性
および耐エッチング性を得ることができる。酸無水物ま
たはダイシアンダイアミドを配合は、従来のエポキシ硬
化剤のフォミュレイト装置で混入させるケースがある。
As the second curing agent, a mixture of 55-60% by weight of aromatic amine adduct is used. This aromatic amine does not cause a curing reaction at 100 [° C.] or lower, and has a temperature of 150 [° C.] to 1 [deg.] C.
A curing reaction occurs at 80 ° C., whereby the epoxy resin is in the C 2 stage (final cured state). In addition,
As the second curing agent, an acid anhydride or dicyandiamide may be additionally blended with the aromatic amine, if necessary. In this case, only aromatic amine 10
Although the effect of preventing migration is incomplete as compared with the case of 0%, it is possible to obtain plating resistance, low shrinkage and etching resistance that are somewhat inferior. In some cases, the acid anhydride or dicyandiamide is mixed with a conventional epoxy curing agent formulating device.

【0016】このように構成した配線板用基材を用いた
多層印刷配線板の製造方法を図2〜図9を参照しながら
説明する。先ず、図2に示すように、図1に示した配線
板用基材1を温度85〔°C〕の炉中で30分間加熱す
る。これにより、第1硬化剤が硬化反応を起こし、含浸
樹脂であるエポキシ樹脂がBステージからC1 ステージ
の状態となった基材2を得る。
A method of manufacturing a multilayer printed wiring board using the wiring board base material thus configured will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 2, the wiring board substrate 1 shown in FIG. 1 is heated in a furnace at a temperature of 85 ° C. for 30 minutes. As a result, the first curing agent causes a curing reaction, and the base material 2 in which the epoxy resin, which is the impregnating resin, changes from the B stage to the C 1 stage is obtained.

【0017】この際、第2硬化剤は硬化反応を起こすこ
とがなく、また、第1硬化剤の硬化反応を促進したり、
阻害することもない。このように第1硬化剤を硬化させ
ることで、含浸樹脂であるエポキシ樹脂は、塩化第二鉄
エッチング液,硫酸銅めっき液および無電解銅めっき液
に対する耐薬品性を得ることができ、また、エポキシ樹
脂をC1 ステージすることでBステージに比較して基材
は、機械加工性および耐熱性を有したものとなる。
At this time, the second curing agent does not cause a curing reaction, and the curing reaction of the first curing agent is promoted,
It does not interfere. By curing the first curing agent in this way, the epoxy resin as the impregnating resin can obtain chemical resistance to the ferric chloride etching solution, the copper sulfate plating solution and the electroless copper plating solution, and By subjecting the epoxy resin to the C 1 stage, the base material has machinability and heat resistance as compared with the B stage.

【0018】次に、図3に示すように、基材2に、打抜
加工またはドリリングにより孔3を開けた後、逆スパッ
タリング法により、表層部2aおよび孔3の内壁部3a
の表面に凹凸を形成し粗面化する。このように逆スパッ
タリング法により基材2の表面を粗面化層4を形成する
ことにより、後工程で導体パターンとなる銅めっき層と
の密着性を向上させる。
Next, as shown in FIG. 3, after punching or drilling the holes 3 in the base material 2, the surface layer 2a and the inner wall 3a of the holes 3 are formed by the reverse sputtering method.
The surface of the is roughened by forming irregularities. By forming the surface-roughened layer 4 on the surface of the base material 2 by the reverse sputtering method in this way, the adhesion with the copper-plated layer which will be a conductor pattern in a later step is improved.

【0019】このように逆スパッタリング法により基材
2の表面を粗面化することで、従来のように粗面化の際
に含浸樹脂の電気絶縁性の喪失および破壊を招くことが
ない。この逆スパッタリング法は、出力1〔kW〕の高
周波電源を用いて、125〔℃〕以上150〔℃〕未満
にて、アルゴンガス雰囲気中に3分間の条件で行ったも
のである。なお、アルゴンガス導入前の真空度は6.5
×10-7〔Torr〕であり、アルゴンガス導入後の真空度
は4.1×10-3〔Torr〕となった。
By roughening the surface of the base material 2 by the reverse sputtering method as described above, the loss of electric insulation and destruction of the impregnated resin are not caused during the roughening as in the conventional case. This reverse sputtering method is performed by using a high frequency power source with an output of 1 [kW] at a temperature of 125 [° C] or higher and lower than 150 [° C] in an argon gas atmosphere for 3 minutes. The degree of vacuum before introducing argon gas is 6.5.
It was × 10 -7 [Torr], and the degree of vacuum after introducing the argon gas was 4.1 × 10 -3 [Torr].

【0020】なお、基材としてガラス織布またはアーラ
ミド織布を用いた場合には、表面の粗度(凹凸の差)は
1〜3〔μm〕となるため、複合構成として表面の凹凸
を少なくしても良い。次に、図4に示すように、粗面化
した基材2の表層部2aおよび孔3の内壁部3aに、厚
み15〔μm〕の銅めっき層5を形成する。この銅めっ
き層5は、表層部2aおよび孔3の内壁部3aでの厚み
を同一としたものであり、銅箔を被着した基材(図示せ
ず)に対するパネルめっきとは異なるものである。
When a glass woven cloth or an aramide woven cloth is used as the base material, the surface roughness (difference of unevenness) is 1 to 3 [μm], and therefore, the unevenness of the surface is reduced as a composite structure. You may. Next, as shown in FIG. 4, a copper plating layer 5 having a thickness of 15 [μm] is formed on the surface layer portion 2a of the roughened substrate 2 and the inner wall portion 3a of the hole 3. The copper plating layer 5 has the same thickness in the surface layer portion 2a and the inner wall portion 3a of the hole 3, and is different from panel plating on a base material (not shown) to which a copper foil is adhered. ..

【0021】銅めっき層5は、温度70〔°C〕のED
TA浴(pH12)で3時間の条件の無電解めっきによ
り形成したものである。この際、基材2に含浸させたエ
ポキシ樹脂は、第1硬化剤の硬化によりC1 ステージと
なっており、めっき耐性を得ているため、従来のような
樹脂の電気絶縁性の喪失および破壊を招くことがない。
The copper plating layer 5 is an ED having a temperature of 70 ° C.
It was formed by electroless plating in a TA bath (pH 12) for 3 hours. At this time, the epoxy resin with which the base material 2 is impregnated is in the C 1 stage due to the curing of the first curing agent, and has obtained plating resistance. Will not be invited.

【0022】次に、図5に示すように、基材2の両面を
フォトポリマーフィルムで覆い、公知のフォトリソグラ
フィ技術およびエッチング技術により、表層部2aおよ
び孔3aに導体配線5a,5bを形成することで所望の
導体パターン6を形成する。この際、第1硬化剤の硬化
反応により、基材2に含浸樹脂であるエポキシ樹脂は、
エッチング耐性を得ているため、従来のような樹脂の電
気絶縁性の喪失および破壊を招くことがない。
Next, as shown in FIG. 5, both surfaces of the base material 2 are covered with a photopolymer film, and the conductor wirings 5a and 5b are formed in the surface layer portion 2a and the holes 3a by a known photolithography technique and etching technique. As a result, the desired conductor pattern 6 is formed. At this time, due to the curing reaction of the first curing agent, the epoxy resin which is the impregnating resin in the base material 2 becomes
Since the etching resistance is obtained, there is no loss or breakage of the electric insulation of the resin as in the conventional case.

【0023】そして、図6に示すように、図5に示した
基材2(含浸樹脂はC1 ステージ),上述の製造方法と
同様の方法で異なる導体パターン7を形成した基材8
(含浸樹脂はC1 ステージ),所定箇所に孔9aを有す
る2枚の基材9(含浸樹脂はC 1 ステージ)およびプリ
プレグ10(含浸樹脂はBステージ)を準備する。この
基材8,2枚の基材9およびプリプレグ10は被積層基
材である。
Then, as shown in FIG. 6, as shown in FIG.
Substrate 2 (impregnating resin is C1Stage) and the manufacturing method described above
Base material 8 on which different conductor patterns 7 are formed by the same method
(The impregnating resin is C1Stage), with holes 9a at predetermined locations
2 base materials 9 (impregnating resin is C 1Stage) and pre
A prepreg 10 (impregnated resin is B stage) is prepared. this
The base material 8, the two base materials 9 and the prepreg 10 are base materials to be laminated.
It is a material.

【0024】そして、基材2の上面に基材9を配し、基
材8の下面に基材9を配し、基材2および基材8間に導
体パターン6,7間の絶縁用のプリプレグ10を配す
る。次に、図7に示すように、図6のように配した基材
2,8,9およびプリプレグ10に対して、圧力15k
g/cm2 および温度160〔°C〕の条件で加熱加圧す
る。これにより、第2硬化剤の硬化反応を起こし基材
2,8の含浸樹脂がC 1 ステージからC2 ステージ(最
終硬化状態)となり、また、基材9およびプリプレグ1
0の含浸樹脂がC2 ステージ(最終硬化状態)となるこ
とで、各層間が接着され多層体11となる。したがっ
て、基材2,9間および基材8,9間は、プリプリグを
介挿することがなく、良好に接着することができる。
Then, the base material 9 is placed on the upper surface of the base material 2 and
The base material 9 is arranged on the lower surface of the material 8 and is guided between the base material 2 and the base material 8.
Place prepreg 10 for insulation between body patterns 6 and 7
It Next, as shown in FIG. 7, the base material arranged as shown in FIG.
15k pressure against 2,8,9 and prepreg 10
g / cm2And pressurize under the condition of temperature 160 [° C]
It As a result, the curing reaction of the second curing agent occurs and the base material
2,8 impregnating resin is C 1From stage to C2Stage (up
Final cured state), and also the base material 9 and the prepreg 1
0 impregnating resin is C2It will be the stage (final curing state)
Then, the layers are adhered to each other to form the multilayer body 11. Because
A prepreg between the base materials 2 and 9 and between the base materials 8 and 9.
Good adhesion can be achieved without interposing.

【0025】また、多層体11の厚みは0.2〔mm〕×4
+0.2〔mm〕となる。また、多層体11の内層には位置
誤差0.02パーセント以内でインナビアホール11a
(IVA;Interstitial Via hole )が形成されること
となる。次に、図8に示すように、多層体11の表層部
および孔の内壁部に、逆スパッタリング(導体部分と配
線部分の両方に跨がった逆スパッタリング処理)を施し
た後、表層部の所定領域および内壁部に銅めっき層1
2,13を施す。これにより、所望の多層印刷配線板1
4を得る。
The thickness of the multilayer body 11 is 0.2 [mm] × 4.
It becomes +0.2 [mm]. The inner layer 11a of the multi-layer body 11 has a positional error of 0.02% or less.
(IVA; Interstitial Via hole) will be formed. Next, as shown in FIG. 8, after the surface layer portion of the multilayer body 11 and the inner wall portion of the hole are subjected to reverse sputtering (reverse sputtering treatment across both the conductor portion and the wiring portion), the surface layer portion Copper plating layer 1 on predetermined area and inner wall
Apply steps 2 and 13. Thereby, the desired multilayer printed wiring board 1
Get 4.

【0026】なお、図6に示す工程で基材2の上面およ
び基材8の下面に配する基材としてC1 ステージの樹脂
を含浸させたものを用いたが、この基材としてBステー
ジの樹脂を含浸させた基材を用いた場合には、図8に示
す工程でプレスにより加熱加圧することにより、図9に
示すように、多層体14の表面に銅めっき層12a,1
3aを埋め込んで平坦化した多層印刷配線板15を得る
ことができる。このように表面を平坦化することで、こ
れにより、表面実装型の電子部品(図示せず)を容易に
実装することが可能となる。
In the step shown in FIG. 6, a base material impregnated with a C 1 stage resin was used as the base material placed on the upper surface of the base material 2 and the lower surface of the base material 8. When a resin-impregnated base material is used, by heating and pressing with a press in the step shown in FIG.
It is possible to obtain a flattened multilayer printed wiring board 15 by embedding 3a. By flattening the surface in this manner, it becomes possible to easily mount a surface mount electronic component (not shown).

【0027】ここで、〔表1〕を参照しながら、硬化剤
と接着強度との関係について説明する。〔表1〕におい
て、硬化温度は、含浸樹脂がエッチング耐性およびめっ
き耐性を得られる温度を示し、Tgはガラス転移温度を
示し、銅箔接着強度は基材に形成した厚み35〔μm〕
の銅箔の接着強度を示し、めっき接着強度Aは、基材の
表面を粗面化せずにめっきを形成した場合のめっき接着
強度を示し、めっき接着強度Bは、基材の表面を逆スパ
ッタリング法により粗面化してめっきを形成した場合の
めっき接着強度を示す。
Here, the relationship between the curing agent and the adhesive strength will be described with reference to [Table 1]. In [Table 1], the curing temperature indicates the temperature at which the impregnated resin can obtain etching resistance and plating resistance, Tg indicates the glass transition temperature, and the copper foil adhesive strength is the thickness of 35 [μm] formed on the substrate.
Shows the adhesive strength of the copper foil, the plating adhesive strength A shows the plating adhesive strength when plating is formed without roughening the surface of the base material, and the plating adhesive strength B shows the reverse surface of the base material. The plating adhesion strength when the surface is roughened by a sputtering method to form a plating is shown.

【0028】実施例1は、硬化剤としてDBU,アロマ
ティックアミンおよびダイシアンダイアミドを配合した
樹脂(アロマティックアミンとダイシアンダイアミドの
配合比は、97:3〜99:1)を含浸させた基材を用
いて形成した多層印刷配線板,実施例2は、硬化剤とし
てDBUおよびアロマティックアミンを配合した樹脂を
含浸させた基材を用いて形成した多層印刷配線板,比較
例1は硬化剤としてダイシアンダイアミドのみを配合し
た樹脂を含浸させた基材を用いて形成した多層印刷配線
板,比較例2は硬化剤としてアロマティックアミンのみ
を配合した樹脂を含浸させた基材を用いて形成した多層
印刷配線板である。
In Example 1, a resin containing DBU, aromatic amine and dicyandiamide as a curing agent (the compounding ratio of aromatic amine and dicyandiamide was 97: 3 to 99: 1) was impregnated. Example 2 is a multilayer printed wiring board formed by using a base material impregnated with a resin containing DBU and an aromatic amine as a curing agent, and Comparative Example 1 is a comparative example 1. A multilayer printed wiring board formed by using a base material impregnated with a resin mixed with only dicyandaiamide as a curing agent, Comparative Example 2 is a base material impregnated with a resin mixed with only an aromatic amine as a curing agent. It is a multilayer printed wiring board formed by using.

【0029】[0029]

【表1】 [Table 1]

【0030】〔表1〕から明らかなように、実施例1お
よび実施例2は、比較例1および比較例2と比較して、
基材間,銅箔およびめっき層に対して高い接着強度を得
ていることがわかる。また、DBUおよびアロマティッ
クアミンを配合することで、150〔℃〕以上のガラス
転移温度Tgを得られている。なお、このガラス転移温
度Tgは、エポキシ樹脂に対するDBUの配合量を1〜
4.8重量%、ダイシアンアミドの配合量を0.5〜2.5重
量%、アロマティックアミンの配合量を45〜60重量
%に変化させることで、+10〔℃〕〜−30〔℃〕の
範囲で変化させることができる。
As is clear from Table 1, in comparison with Comparative Example 1 and Comparative Example 2, Example 1 and Example 2
It can be seen that high adhesive strength is obtained between the base materials, the copper foil, and the plating layer. Further, by blending DBU and aromatic amine, a glass transition temperature Tg of 150 [° C.] or higher is obtained. The glass transition temperature Tg is 1 to the compounding amount of DBU with respect to the epoxy resin.
+10 [° C] to -30 [° C] by changing the amount of 4.8% by weight, the amount of dicyanamide to 0.5 to 2.5% by weight, and the amount of aromatic amine to 45 to 60% by weight. ] It can be changed in the range.

【0031】このように実施例によれば、基材1は、基
材にエッチング耐性およびめっき耐性を与える第1硬化
剤および低収縮性の第2硬化剤を配合したエポキシ樹脂
を含浸させたものである。第1硬化剤の硬化反応によ
り、エポキシ樹脂をBステージからC1 ステージの状態
としてエッチング耐性およびめっき耐性を得た基材2を
形成した後に、この基材2に所定の導体パターン6を形
成する。これにより、導体パターン6の形成時のエッチ
ングおよびめっきによる含浸樹脂の破壊および電気絶縁
性の喪失を防止することができる。
As described above, according to the embodiment, the base material 1 is obtained by impregnating the base material with an epoxy resin containing a first curing agent that imparts etching resistance and plating resistance and a second curing agent having low shrinkage. Is. After the epoxy resin is changed from the B stage to the C 1 stage by the curing reaction of the first curing agent to form the base material 2 having the etching resistance and the plating resistance, the predetermined conductor pattern 6 is formed on the base material 2. .. As a result, it is possible to prevent the impregnated resin from being destroyed and the electrical insulation from being lost due to etching and plating when the conductor pattern 6 is formed.

【0032】また、導体パターン6を形成され含浸樹脂
がC1 ステージである基材2,8と、所定の被積層基材
9との加熱加圧により、第2硬化剤に硬化反応を起こ
し、含浸樹脂をC1 ステージからC2 ステージの状態と
することで、従来のようにBステージのプリプレグを介
挿させることがなく、良好に層間接着することができ
る。
By heating and pressurizing the base materials 2 and 8 on which the conductor pattern 6 is formed and the impregnated resin is the C 1 stage and a predetermined base material 9 to be laminated, a curing reaction occurs in the second curing agent, By changing the impregnating resin from the C 1 stage to the C 2 stage, good interlayer adhesion can be achieved without inserting the B stage prepreg as in the conventional case.

【0033】また、逆スパッタリング法により、基材の
表面を粗面化することで、含浸樹脂の電気絶縁性の喪失
および破壊を防止することができる。その結果、含浸樹
脂の電気絶縁性の喪失および破壊を招くことがなく、十
分な接着強度を得ることができる。なお、実施例では、
図4に示した銅めっき層5は無電解めっきにより形成し
たものであるが、温度65〔°C〕の硫酸銅浴(pH9
〜10)中で3〜5分間の条件の電気めっきにより形成
しても良い。この場合、厚み13〜14〔μm〕の銅め
っき層を形成することができ、処理浴温度が基材自体の
劣化を引き起こすことがない。さらに、数〔μm〕の銅
めっき層を無電解めっきにより形成した後に、電気めっ
きにより銅めっき層を形成しても良い。これにより、パ
ネルめっきの形成時間を短縮することができる。
Further, by roughening the surface of the substrate by the reverse sputtering method, it is possible to prevent the impregnating resin from losing or breaking its electrical insulation. As a result, it is possible to obtain sufficient adhesive strength without causing loss and breakage of the electric insulation of the impregnated resin. In the example,
The copper plating layer 5 shown in FIG. 4 is formed by electroless plating, but a copper sulfate bath (pH 9) at a temperature of 65 ° C. is used.
10 to 10) may be formed by electroplating under the condition of 3 to 5 minutes. In this case, a copper plating layer having a thickness of 13 to 14 [μm] can be formed, and the treatment bath temperature does not cause deterioration of the substrate itself. Furthermore, after forming a copper plating layer of several [μm] by electroless plating, the copper plating layer may be formed by electroplating. As a result, the panel plating formation time can be shortened.

【0034】[0034]

【発明の効果】この発明の配線板用基材およびそれを用
いた多層印刷配線板の製造方法によれば、配線板用基材
は、基材に、第1温度で硬化反応を起こしエッチング耐
性およびめっき耐性を与える第1硬化剤および第1温度
より高い第2温度で硬化反応を起こす低収縮性の第2硬
化剤を配合した絶縁性樹脂を含浸させたものである。
EFFECTS OF THE INVENTION According to the wiring board substrate of the present invention and the method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the same, the wiring board substrate causes a curing reaction at the first temperature on the substrate to cause etching resistance. And a low-shrinking second curing agent that causes a curing reaction at a second temperature higher than the first temperature and is impregnated with an insulating resin.

【0035】したがって、第1硬化剤の硬化反応によ
り、絶縁性樹脂をBステージからC1ステージに硬化さ
せることによってエッチング耐性およびめっき耐性を得
た後に、所定の導体パターンを形成することで、導体パ
ターン形成時のエッチングおよびめっきによる含浸樹脂
の破壊および電気絶縁性の喪失を防止することができ
る。
Therefore, after the insulating resin is cured from the B stage to the C 1 stage by the curing reaction of the first curing agent to obtain the etching resistance and the plating resistance, a predetermined conductor pattern is formed to form the conductor. It is possible to prevent destruction of the impregnated resin and loss of electrical insulation due to etching and plating during pattern formation.

【0036】また、導体パターンが形成され含浸樹脂が
1 ステージである基材と、所定の被積層基材との加熱
加圧により、第2硬化剤の硬化反応を起こし絶縁性樹脂
をC 1 ステージからC2 ステージに硬化させることによ
って、従来のようにBステージのプリプレグを介挿させ
ることがなく、良好に層間接着することができる。ま
た、逆スパッタリング法により、基材の表面を粗面化す
ることで、含浸樹脂の電気絶縁性の喪失および破壊を防
止することができる。
Further, the conductor pattern is formed and the impregnated resin is
C1Heating of the base material that is the stage and the specified base material
Pressurization causes the curing reaction of the second curing agent, causing an insulating resin
To C 1From stage to C2By curing on stage
Then, insert the B stage prepreg as in the past.
It is possible to perform good interlayer adhesion without causing any trouble. Well
In addition, the surface of the substrate is roughened by the reverse sputtering method.
Protects the impregnated resin from loss of electrical insulation and destruction.
You can stop.

【0037】その結果、含浸樹脂の電気絶縁性の喪失お
よび破壊を招くことがなく、十分な接着強度を得ること
ができる。
As a result, sufficient adhesive strength can be obtained without causing loss or breakage of the electric insulation of the impregnated resin.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例の配線板用基材の構成を示
す概略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing the structure of a wiring board substrate according to an embodiment of the present invention.

【図2】この発明の一実施例の配線板用基材を用いた多
層印刷配線板の製造方法の第1工程を示す断面図であ
る。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a first step of a method for manufacturing a multilayer printed wiring board using a wiring board base material according to an embodiment of the present invention.

【図3】同配線板用基材を用いた多層印刷配線板の製造
方法の第2工程を示す断面図である。
FIG. 3 is a sectional view showing a second step of the method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the same wiring board base material.

【図4】同配線板用基材を用いた多層印刷配線板の製造
方法の第3工程を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a third step of the method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the same wiring board base material.

【図5】同配線板用基材を用いた多層印刷配線板の製造
方法の第4工程を示す断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a fourth step of the method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the same wiring board base material.

【図6】同配線板用基材を用いた多層印刷配線板の製造
方法の第5工程を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing a fifth step of the method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the same wiring board base material.

【図7】同配線板用基材を用いた多層印刷配線板の製造
方法の第6工程を示す断面図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a sixth step of the method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the same wiring board base material.

【図8】同配線板用基材を用いた多層印刷配線板の製造
方法の第7工程を示す断面図である。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing a seventh step of the method for manufacturing a multilayer printed wiring board using the same wiring board base material.

【図9】表面を平坦化した多層印刷配線板を示す断面図
である。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing a multilayer printed wiring board whose surface is flattened.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 配線板用基材 6 導体パターン 1 Base material for wiring board 6 Conductor pattern

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 エッチング耐性およびめっき耐性を与え
る第1硬化剤および低収縮性の第2硬化剤を配合した絶
縁性樹脂を含浸させた配線板用基材。
1. A substrate for a wiring board impregnated with an insulating resin containing a first curing agent that imparts etching resistance and plating resistance and a second curing agent that has low shrinkage.
【請求項2】 第1硬化剤が1.8ジアゾビシクロ
〔5.4.0〕ウンデセンであり、第2硬化剤がアロマ
ティクアミンであることを特徴とする請求項1記載の配
線板用基材。
2. The wiring board group according to claim 1, wherein the first curing agent is 1.8 diazobicyclo [5.4.0] undecene and the second curing agent is aromatic amine. Material.
【請求項3】 酸無水物またはダイシアンダイアミドを
追加配合した請求項2記載の配線板用基材。
3. The wiring board substrate according to claim 2, further comprising an acid anhydride or dicyandiamide.
【請求項4】 エッチング耐性およびめっき耐性を与え
る第1硬化剤および低収縮性の第2硬化剤を配合した絶
縁性樹脂を含浸させた基材を準備する工程と、 前記第1硬化剤の硬化反応により前記絶縁性樹脂を硬化
させる工程と、 この第1硬化剤の硬化反応により前記絶縁性樹脂を硬化
させた基材の表面を逆スパッタリング法により粗面化す
る工程と、 この粗面化した基材に所定の導体パターンを形成する工
程と、 所定の被積層基材を準備する工程と、 前記基材と前記被積層基材を所定位置に配して加熱加圧
し、前記第2硬化剤の硬化反応により前記絶縁性樹脂を
硬化させる工程とを含む多層印刷配線板の製造方法。
4. A step of preparing a base material impregnated with an insulating resin containing a first curing agent that imparts etching resistance and plating resistance and a second curing agent having low shrinkage, and curing of the first curing agent. A step of curing the insulating resin by a reaction, a step of roughening the surface of the base material on which the insulating resin has been cured by the curing reaction of the first curing agent by a reverse sputtering method, and the roughening A step of forming a predetermined conductor pattern on the base material; a step of preparing a predetermined base material to be laminated; and placing the base material and the base material to be laminated at predetermined positions and heating and pressurizing the second curing agent. And a step of curing the insulating resin by a curing reaction of 1.
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