JPH0526161A - クライオポンプ - Google Patents
クライオポンプInfo
- Publication number
- JPH0526161A JPH0526161A JP17836491A JP17836491A JPH0526161A JP H0526161 A JPH0526161 A JP H0526161A JP 17836491 A JP17836491 A JP 17836491A JP 17836491 A JP17836491 A JP 17836491A JP H0526161 A JPH0526161 A JP H0526161A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cylinder
- motor housing
- pressure gas
- passage
- discharging
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Landscapes
- Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 ヒートステージでウエーハを直接冷却するこ
とができながら、ポンプ全体が大形になるのを回避する
ことができるようにすること。 【構成】 モータハウジング５をシリンダ１に取付ける
ための取付フランジ１２と前記モータハウジング５との
間に電気絶縁体２４を介装する。ガスの注排通路７１を
もつ通路ブロック７を電気絶縁体で形成すると共に、前
記取付フランジ１２とモータハウジング５とを電気絶縁
ワッシャを介してボルト、ナットで結合することによ
り、ヒートステージ１１で冷却するウエーハに印加した
高周波電流が、前記モータハウジング５に接続されるガ
ス配管を伝って大地に逃げるのを前記電気絶縁体２４及
び電気絶縁ワッシャで防止し、前記高周波電流が、切換
弁装置６のモータ６１側に逃げるのを前記通路ブロック
７で防止できるようにした。
とができながら、ポンプ全体が大形になるのを回避する
ことができるようにすること。 【構成】 モータハウジング５をシリンダ１に取付ける
ための取付フランジ１２と前記モータハウジング５との
間に電気絶縁体２４を介装する。ガスの注排通路７１を
もつ通路ブロック７を電気絶縁体で形成すると共に、前
記取付フランジ１２とモータハウジング５とを電気絶縁
ワッシャを介してボルト、ナットで結合することによ
り、ヒートステージ１１で冷却するウエーハに印加した
高周波電流が、前記モータハウジング５に接続されるガ
ス配管を伝って大地に逃げるのを前記電気絶縁体２４及
び電気絶縁ワッシャで防止し、前記高周波電流が、切換
弁装置６のモータ６１側に逃げるのを前記通路ブロック
７で防止できるようにした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、クライオポンプ、詳し
くは、シリンダに内装するディスプレーサを高圧ガスの
導入と低圧ガスの排出とにより往復動させて極低温を得
るようにしたクライオポンプに関する。
くは、シリンダに内装するディスプレーサを高圧ガスの
導入と低圧ガスの排出とにより往復動させて極低温を得
るようにしたクライオポンプに関する。
【０００２】
【従来技術】従来、この種クライオポンプは、例えば特
開昭６３ー２５９３５７号公報に記載されている。この
従来のクライオポンプは、図５に示すように、下端部に
ヒートステージＡ、ＢをもったシリンダＣと、該シリン
ダＣの上端部に取付けられるモータハウジングＤとを備
え、該モータハウジングＤに、モータＥ及び該モータＥ
により回動する弁体Ｆをもった切換弁装置Ｇと、該切換
弁装置Ｇの切換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出と
を行う注排通路Ｈをもつ通路ブロックＩとを内装すると
共に、前記シリンダＣに、畜冷器Ｊ、Ｋをもち前記シリ
ンダＣへの高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とで往復動
するディスプレーサＬを内装し、このディスプレーサＬ
と前記通路ブロックＩとの間に、前記ディスプレーサＬ
と所定ストロークを介して連動するスラックピストンＭ
を往復動自由に設ける一方、前記通路ブロックＩとモー
タハウジングＤとの間にキャピラリー（図示せず）を介
して前記注排通路Ｈと、またブリード（図示せず）を介
して低圧ガス通路とにそれぞれ連通する中間圧のサージ
ボリウムＮを設け、このサージボリウムＮを、オリフィ
スＰを介して前記スラックピストンＭの作用室Ｒに対向
する対向室Ｓに連通させている。
開昭６３ー２５９３５７号公報に記載されている。この
従来のクライオポンプは、図５に示すように、下端部に
ヒートステージＡ、ＢをもったシリンダＣと、該シリン
ダＣの上端部に取付けられるモータハウジングＤとを備
え、該モータハウジングＤに、モータＥ及び該モータＥ
により回動する弁体Ｆをもった切換弁装置Ｇと、該切換
弁装置Ｇの切換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出と
を行う注排通路Ｈをもつ通路ブロックＩとを内装すると
共に、前記シリンダＣに、畜冷器Ｊ、Ｋをもち前記シリ
ンダＣへの高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とで往復動
するディスプレーサＬを内装し、このディスプレーサＬ
と前記通路ブロックＩとの間に、前記ディスプレーサＬ
と所定ストロークを介して連動するスラックピストンＭ
を往復動自由に設ける一方、前記通路ブロックＩとモー
タハウジングＤとの間にキャピラリー（図示せず）を介
して前記注排通路Ｈと、またブリード（図示せず）を介
して低圧ガス通路とにそれぞれ連通する中間圧のサージ
ボリウムＮを設け、このサージボリウムＮを、オリフィ
スＰを介して前記スラックピストンＭの作用室Ｒに対向
する対向室Ｓに連通させている。
【０００３】そして、前記切換弁装置Ｇにより前記注排
通路Ｈを高圧ガス通路に切換えて、前記シリンダＣ内に
高圧ガスを導入すると、前記スラックピストンＭの作用
室Ｒが高圧となり、この作用室Ｒと、中間圧となる対向
室Ｓとの間の圧力差により前記スラックピストンＭ及び
ディスプレーサＬが上方に向かって往動して、前記ヒー
トステージＡ、Ｂに隣接する膨張空間Ｔ、Ｖに導入ガス
が充満し、また、前記切換弁装置Ｇにより前記注排通路
Ｈが低圧ガス通路に切換えられて、前記シリンダＣ内及
び作用室Ｒが低圧になると、この作用室Ｒと、中間圧と
なる対向室Ｓとの間の圧力差により前記スラックピスト
ンＭ及びディスプレーサＬが下方に向かって復動して、
膨張後の低圧ガスが排出し、これら高圧ガスの導入と排
出との繰り返しによりヒートステージＡ、Ｂに極低温を
得るようにしている。
通路Ｈを高圧ガス通路に切換えて、前記シリンダＣ内に
高圧ガスを導入すると、前記スラックピストンＭの作用
室Ｒが高圧となり、この作用室Ｒと、中間圧となる対向
室Ｓとの間の圧力差により前記スラックピストンＭ及び
ディスプレーサＬが上方に向かって往動して、前記ヒー
トステージＡ、Ｂに隣接する膨張空間Ｔ、Ｖに導入ガス
が充満し、また、前記切換弁装置Ｇにより前記注排通路
Ｈが低圧ガス通路に切換えられて、前記シリンダＣ内及
び作用室Ｒが低圧になると、この作用室Ｒと、中間圧と
なる対向室Ｓとの間の圧力差により前記スラックピスト
ンＭ及びディスプレーサＬが下方に向かって復動して、
膨張後の低圧ガスが排出し、これら高圧ガスの導入と排
出との繰り返しによりヒートステージＡ、Ｂに極低温を
得るようにしている。
【０００４】ところで、以上のごとく構成されたクライ
オポンプを例えば半導体製造装置などに用いて、真空雰
囲気中のウエーハを前記ヒートステージＡで直接極低温
に冷却し、ウエーハをエッチングする場合、前記ウエー
ハに高周波電流を印加して、ウエーハの周りにプラズマ
を発生させ、このプラズマにより前記ウエーハをエッチ
ングするのであるが、従来のクライオポンプは、電気的
に対地間で絶縁が取られていないため、前記高周波電流
が、前記モータハウジングＤに接続されるガス配管を伝
って大地に逃げると共に、前記切換弁装置Ｇにおけるモ
ータＥのコイル被覆が破壊されることになる。このた
め、前記ウエーハをエッチングする場合は、前記ヒート
ステージＡにセラミックス製の電気絶縁体を敷いて、こ
の絶縁体の上に前記ウエーハを載せ、該ウエーハに高周
波電流を印加することにより、前記高周波電流が前記ガ
ス配管を伝って大地に逃げるのを防止すると共に、前記
モータＥのコイル被覆が破壊されるのを防いでいる。
オポンプを例えば半導体製造装置などに用いて、真空雰
囲気中のウエーハを前記ヒートステージＡで直接極低温
に冷却し、ウエーハをエッチングする場合、前記ウエー
ハに高周波電流を印加して、ウエーハの周りにプラズマ
を発生させ、このプラズマにより前記ウエーハをエッチ
ングするのであるが、従来のクライオポンプは、電気的
に対地間で絶縁が取られていないため、前記高周波電流
が、前記モータハウジングＤに接続されるガス配管を伝
って大地に逃げると共に、前記切換弁装置Ｇにおけるモ
ータＥのコイル被覆が破壊されることになる。このた
め、前記ウエーハをエッチングする場合は、前記ヒート
ステージＡにセラミックス製の電気絶縁体を敷いて、こ
の絶縁体の上に前記ウエーハを載せ、該ウエーハに高周
波電流を印加することにより、前記高周波電流が前記ガ
ス配管を伝って大地に逃げるのを防止すると共に、前記
モータＥのコイル被覆が破壊されるのを防いでいる。
【０００５】所が、以上のごとくヒートステージＡに電
気絶縁体を敷いて、該絶縁体にウエーハを載せるように
した場合、前記ウエーハは電気絶縁体を介して冷却され
ることになるから、このウエーハの冷却効果が悪くなる
問題があり、しかも、ウエーハを所定の極低温に冷却す
るには大形のクライオポンプを必要とし、それだけイニ
シャル及びランニングコストが高くなる問題がある。
気絶縁体を敷いて、該絶縁体にウエーハを載せるように
した場合、前記ウエーハは電気絶縁体を介して冷却され
ることになるから、このウエーハの冷却効果が悪くなる
問題があり、しかも、ウエーハを所定の極低温に冷却す
るには大形のクライオポンプを必要とし、それだけイニ
シャル及びランニングコストが高くなる問題がある。
【０００６】本発明は以上の問題点に鑑み発明したもの
で、その目的は、ヒートステージでウエーハを直接極低
温に冷却することができながら、ポンプ全体が大形にな
るのを回避することができるようにする点にある。
で、その目的は、ヒートステージでウエーハを直接極低
温に冷却することができながら、ポンプ全体が大形にな
るのを回避することができるようにする点にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明では、ヒートステージ１１をもつシリンダ１
と、該シリンダ１に取付フランジ１２を介して取付けら
れるモータハウジング５と、該モータハウジング５に内
装されるモータ６１をもった切換弁装置６と、該切換弁
装置６の切換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを
行なう注排通路７１をもつ通路ブロック７と、前記シリ
ンダ１に内装され、該シリンダ１への高圧ガスの導入と
低圧ガスの排出とで往復動するディスプレーサ３とを備
えたクライオポンプにおいて、前記取付フランジ１２と
モータハウジング５との間に電気絶縁体２４を介装する
と共に、前記通路ブロック７を電気絶縁体で形成する一
方、前記取付フランジ１２とモータハウジング５とを電
気絶縁構造の結合手段で結合したのである。
め、本発明では、ヒートステージ１１をもつシリンダ１
と、該シリンダ１に取付フランジ１２を介して取付けら
れるモータハウジング５と、該モータハウジング５に内
装されるモータ６１をもった切換弁装置６と、該切換弁
装置６の切換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを
行なう注排通路７１をもつ通路ブロック７と、前記シリ
ンダ１に内装され、該シリンダ１への高圧ガスの導入と
低圧ガスの排出とで往復動するディスプレーサ３とを備
えたクライオポンプにおいて、前記取付フランジ１２と
モータハウジング５との間に電気絶縁体２４を介装する
と共に、前記通路ブロック７を電気絶縁体で形成する一
方、前記取付フランジ１２とモータハウジング５とを電
気絶縁構造の結合手段で結合したのである。
【０００８】又、前記クライオポンプにおいて、前記モ
ータハウジング５と、前記通路ブロック７に接する前記
切換弁装置６の弁体６２とを電気絶縁体で形成したり、
或は前記取付フランジ１２と通路ブロック７とを電気絶
縁体で形成したり、又は前記取付フランジ１２と、通路
ブロック７とディスプレーサ３との間に介装するスラッ
クピストン１０とを電気絶縁体で形成してもよい。
ータハウジング５と、前記通路ブロック７に接する前記
切換弁装置６の弁体６２とを電気絶縁体で形成したり、
或は前記取付フランジ１２と通路ブロック７とを電気絶
縁体で形成したり、又は前記取付フランジ１２と、通路
ブロック７とディスプレーサ３との間に介装するスラッ
クピストン１０とを電気絶縁体で形成してもよい。
【０００９】又、前記クライオポンプにおいて、前記シ
リンダ１とモータハウジング５とを分離すると共に、前
記通路ブロック７を前記シリンダ１に開口する第１注排
通路７１ａをもった第１ブロック７ａと、前記切換弁装
置６に連通する第２注排通路７１ｂをもった第２ブロッ
ク７ｂとに分割して、前記第１ブロック７ａを前記シリ
ンダ１の取付フランジ１２に固定し、かつ、前記第２ブ
ロック７ｂを前記モータハウジング５に固定する一方、
前記第１及び第２注排通路７１ａ、７１ｂを電気絶縁構
造の連絡管３０により接続してもよい。
リンダ１とモータハウジング５とを分離すると共に、前
記通路ブロック７を前記シリンダ１に開口する第１注排
通路７１ａをもった第１ブロック７ａと、前記切換弁装
置６に連通する第２注排通路７１ｂをもった第２ブロッ
ク７ｂとに分割して、前記第１ブロック７ａを前記シリ
ンダ１の取付フランジ１２に固定し、かつ、前記第２ブ
ロック７ｂを前記モータハウジング５に固定する一方、
前記第１及び第２注排通路７１ａ、７１ｂを電気絶縁構
造の連絡管３０により接続してもよい。
【００１０】
【作用】モータハウジング５をシリンダ１に取付けるた
めの取付フランジ１２と前記モータハウジング５との間
に電気絶縁体２４を介装すると共に、切換弁装置６の切
換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行なう注排
通路７１をもつ通路ブロック７を電気絶縁体で形成し、
更に、前記取付フランジ１２とモータハウジング５とを
電気絶縁構造の結合手段で結合しているから、ヒートス
テージ１１でウエーハを直接冷却し、該ウエーハに高周
波電流を印加して前記ウエーハをエッチングする場合、
前記高周波電流が、前記モータハウジング５に接続され
るガス配管を伝って大地に逃げるのを電気絶縁体２４及
び電気絶縁構造の結合手段により防止できるのであり、
また、前記高周波電流が、モータ６１側に逃げるのを前
記通路ブロック７により防止できるのである。しかも、
ウエーハをヒートステージ１１で直接冷却することがで
きるから、ウエーハの冷却効果が高いばかりでなく、ポ
ンプ全体を大形に形成する必要がないのである。
めの取付フランジ１２と前記モータハウジング５との間
に電気絶縁体２４を介装すると共に、切換弁装置６の切
換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行なう注排
通路７１をもつ通路ブロック７を電気絶縁体で形成し、
更に、前記取付フランジ１２とモータハウジング５とを
電気絶縁構造の結合手段で結合しているから、ヒートス
テージ１１でウエーハを直接冷却し、該ウエーハに高周
波電流を印加して前記ウエーハをエッチングする場合、
前記高周波電流が、前記モータハウジング５に接続され
るガス配管を伝って大地に逃げるのを電気絶縁体２４及
び電気絶縁構造の結合手段により防止できるのであり、
また、前記高周波電流が、モータ６１側に逃げるのを前
記通路ブロック７により防止できるのである。しかも、
ウエーハをヒートステージ１１で直接冷却することがで
きるから、ウエーハの冷却効果が高いばかりでなく、ポ
ンプ全体を大形に形成する必要がないのである。
【００１１】又、前記モータハウジング５と、切換弁装
置６の弁体６２とを電気絶縁体で形成したり、或は前記
取付フランジ１２と通路ブロック７とを電気絶縁体で形
成したり、又は前記取付フランジ１２と、スラックピス
トン１０とを電気絶縁体で形成することにより、特別の
電気絶縁体を設けることなく前記高周波電流がガス配管
を伝って大地に逃げるのを防止できると共に、前記高周
波電流からモータ６１を保護することができるので、構
成が非常に簡単であり、コストを低減できるのである。
置６の弁体６２とを電気絶縁体で形成したり、或は前記
取付フランジ１２と通路ブロック７とを電気絶縁体で形
成したり、又は前記取付フランジ１２と、スラックピス
トン１０とを電気絶縁体で形成することにより、特別の
電気絶縁体を設けることなく前記高周波電流がガス配管
を伝って大地に逃げるのを防止できると共に、前記高周
波電流からモータ６１を保護することができるので、構
成が非常に簡単であり、コストを低減できるのである。
【００１２】又、前記シリンダ１とモータハウジング５
とを分離すると共に、前記通路ブロック７を第１ブロッ
ク７ａと第２ブロック７ｂとに分割して、これらブロッ
ク７ａ、７ｂの第１及び第２注排通路７１ａ、７１ｂを
電気絶縁構造の連絡管３０で接続することにより、絶縁
できながら、モータハウジング５をシリンダ１に対し離
反した不特定位置に配設できるから、ポンプ配設位置の
スペースが小さい場合であっても、前記シリンダ１部分
を所望の位置に配設できるのである。
とを分離すると共に、前記通路ブロック７を第１ブロッ
ク７ａと第２ブロック７ｂとに分割して、これらブロッ
ク７ａ、７ｂの第１及び第２注排通路７１ａ、７１ｂを
電気絶縁構造の連絡管３０で接続することにより、絶縁
できながら、モータハウジング５をシリンダ１に対し離
反した不特定位置に配設できるから、ポンプ配設位置の
スペースが小さい場合であっても、前記シリンダ１部分
を所望の位置に配設できるのである。
【００１３】
【実施例】図１において、１は一端部にヒートステージ
１１をもち、他端部に取付フランジ１２をもったシリン
ダであって、このシリンダ１には、内部に銅や鉛などか
ら成る畜冷器２を設けたディスプレーサ３を往復動自由
に内装し、該ディスプレーサ３の下端を膨張空間４に臨
ませている。
１１をもち、他端部に取付フランジ１２をもったシリン
ダであって、このシリンダ１には、内部に銅や鉛などか
ら成る畜冷器２を設けたディスプレーサ３を往復動自由
に内装し、該ディスプレーサ３の下端を膨張空間４に臨
ませている。
【００１４】５は高圧ガス管及び低圧ガス管の接続口５
１、５２をもち、前記シリンダ１の取付フランジ１２に
取付けられるモータハウジングであって、該モータハウ
ジング５には、モータ６１及び該モータ６１により回動
する弁体６２をもった切換弁装置６を内装している。
尚、前記モータハウジング５は、前記接続口５２をも
ち、前記弁体６２を収容するベース体５ａと、前記接続
口５１をもち、前記モータ６１を収容するカバー体５ｂ
とにより形成して、これらベース体５ａとカバー体５ｂ
とを締付けねじなどの結合手段によりー体的に結合して
いる。
１、５２をもち、前記シリンダ１の取付フランジ１２に
取付けられるモータハウジングであって、該モータハウ
ジング５には、モータ６１及び該モータ６１により回動
する弁体６２をもった切換弁装置６を内装している。
尚、前記モータハウジング５は、前記接続口５２をも
ち、前記弁体６２を収容するベース体５ａと、前記接続
口５１をもち、前記モータ６１を収容するカバー体５ｂ
とにより形成して、これらベース体５ａとカバー体５ｂ
とを締付けねじなどの結合手段によりー体的に結合して
いる。
【００１５】７は前記切換弁装置６における弁体６２の
切換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行う注排
通路７１と、鍔部７２とをもつ通路ブロックであって、
この通路ブロック７を前記モータハウジング５とシリン
ダ１との間に介装して、前記鍔部７２を前記取付フラン
ジ１２で受止めるようにすると共に、前記弁体６２と接
触する弁座面から軸方向に貫通して前記シリンダ１内に
開口する前記注排通路７１と、前記弁座面から軸方向に
延び、かつその先端が半径方向に屈曲して前記接続口５
２に連通する排出通路７３とを設けて、前記接続口５２
から排出通路７３を介して前記切換弁装置６に至る通路
を低圧ガス通路８とし、前記接続口５１からモータハウ
ジング５内の空間を介して前記切換弁装置６に至る通路
を高圧ガス通路９としている。
切換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行う注排
通路７１と、鍔部７２とをもつ通路ブロックであって、
この通路ブロック７を前記モータハウジング５とシリン
ダ１との間に介装して、前記鍔部７２を前記取付フラン
ジ１２で受止めるようにすると共に、前記弁体６２と接
触する弁座面から軸方向に貫通して前記シリンダ１内に
開口する前記注排通路７１と、前記弁座面から軸方向に
延び、かつその先端が半径方向に屈曲して前記接続口５
２に連通する排出通路７３とを設けて、前記接続口５２
から排出通路７３を介して前記切換弁装置６に至る通路
を低圧ガス通路８とし、前記接続口５１からモータハウ
ジング５内の空間を介して前記切換弁装置６に至る通路
を高圧ガス通路９としている。
【００１６】又、前記シリンダ１内における前記ディス
プレーサ３と前記通路ブロック７との間に、前記ディス
プレーサ３と所定ストロークを介して連動するスラック
ピストン１０を往復動自由に設けると共に、前記モータ
ハウジング５のベース部に、キャピラリー（図示せず）
を介して前記給排通路７１に連通し、かつブリード（図
示せず）を介して前記低圧ガス通路８に連通する中間圧
のサージボリウム２０を設け、このサージボリウム２０
を、オリフィス２１を介して前記スラックピストン１０
の作用室２２と対向する対向室２３に連通させて該対向
室２３が高圧と低圧との間の所定の中間圧となるように
し、前記切換弁装置６により前記注排通路７１から前記
シリンダ１内に高圧ガスを導入すると、該シリンダ１内
の高圧と前記対向室２３の中間圧との圧力差により前記
ディスプレーサ３が通路ブロック７に向かって往動し、
また、前記切換弁装置６により前記給排通路７１が低圧
ガス通路８と連通して前記シリンダ１内が低圧になる
と、該シリンダ１内の低圧と前記対向室２３内の中間圧
との圧力差により前記ディスプレーサ３がヒートステー
ジ１１に向かって復動して、膨張後の低圧ガスが排出
し、これら高圧ガスの導入と排出との繰り返しによりヒ
ートステージ１１に極低温を得るようにしている。
プレーサ３と前記通路ブロック７との間に、前記ディス
プレーサ３と所定ストロークを介して連動するスラック
ピストン１０を往復動自由に設けると共に、前記モータ
ハウジング５のベース部に、キャピラリー（図示せず）
を介して前記給排通路７１に連通し、かつブリード（図
示せず）を介して前記低圧ガス通路８に連通する中間圧
のサージボリウム２０を設け、このサージボリウム２０
を、オリフィス２１を介して前記スラックピストン１０
の作用室２２と対向する対向室２３に連通させて該対向
室２３が高圧と低圧との間の所定の中間圧となるように
し、前記切換弁装置６により前記注排通路７１から前記
シリンダ１内に高圧ガスを導入すると、該シリンダ１内
の高圧と前記対向室２３の中間圧との圧力差により前記
ディスプレーサ３が通路ブロック７に向かって往動し、
また、前記切換弁装置６により前記給排通路７１が低圧
ガス通路８と連通して前記シリンダ１内が低圧になる
と、該シリンダ１内の低圧と前記対向室２３内の中間圧
との圧力差により前記ディスプレーサ３がヒートステー
ジ１１に向かって復動して、膨張後の低圧ガスが排出
し、これら高圧ガスの導入と排出との繰り返しによりヒ
ートステージ１１に極低温を得るようにしている。
【００１７】しかして、図１で示すように前記取付フラ
ンジ１２とモータハウジング５との対向面間に、セラミ
ックス製の板状電気絶縁体２４を介装すると共に、前記
通路ブロック７を、主としてセラミックスから成る電気
絶縁体で形成する一方、前記取付フランジ１２及びモー
タハウジング５に結合用の貫通孔１３、５３を設けると
共に、これら貫通孔１３、５３に挿通する頭付きボルト
２５と、該ボルト２５の先端部に螺合するナット２６
と、１対のセラミックス製ワッシヤ２７、２８とから成
る結合手段を用い、前記ボルト２５の頭部２５ａと前記
モータハウジング５の取付座５４との間に前記一つのワ
ッシャ２７を介装し、また、前記ナット２６と前記取付
フランジ１２端面との間に前記ワッシャ２８を介装して
前記ナット２６を締め込むことにより、前記取付フラン
ジ１２とモータハウジング５とを結合したのである。
尚、前記貫通孔１３、５３は、前記ボルト２５よりも大
径に形成して、該ボルト２５が接触しないようにしてい
る。又、前記電気絶縁体２４とワッシャ２７、２８とは
セラミックス以外の例えばフッソ樹脂などの合成樹脂或
は樹脂以外の電気絶縁材料であってもよい。
ンジ１２とモータハウジング５との対向面間に、セラミ
ックス製の板状電気絶縁体２４を介装すると共に、前記
通路ブロック７を、主としてセラミックスから成る電気
絶縁体で形成する一方、前記取付フランジ１２及びモー
タハウジング５に結合用の貫通孔１３、５３を設けると
共に、これら貫通孔１３、５３に挿通する頭付きボルト
２５と、該ボルト２５の先端部に螺合するナット２６
と、１対のセラミックス製ワッシヤ２７、２８とから成
る結合手段を用い、前記ボルト２５の頭部２５ａと前記
モータハウジング５の取付座５４との間に前記一つのワ
ッシャ２７を介装し、また、前記ナット２６と前記取付
フランジ１２端面との間に前記ワッシャ２８を介装して
前記ナット２６を締め込むことにより、前記取付フラン
ジ１２とモータハウジング５とを結合したのである。
尚、前記貫通孔１３、５３は、前記ボルト２５よりも大
径に形成して、該ボルト２５が接触しないようにしてい
る。又、前記電気絶縁体２４とワッシャ２７、２８とは
セラミックス以外の例えばフッソ樹脂などの合成樹脂或
は樹脂以外の電気絶縁材料であってもよい。
【００１８】以上のごとく構成したクライオポンプを例
えば半導体製造装置に用いて、ウエーハを前記ヒートス
テージ１１で直接冷却し、該ウエーハに高周波電流を印
加して、ウエーハをエッチングする場合、前記高周波電
流が、前記ヒートステージ１１及びシリンダ１からモー
タハウジング５に接続するガス配管を伝って大地に逃げ
るのを前記電気絶縁体２４及びワッシャ２７、２８によ
り防止できるのであり、また、前記高周波電流が、前記
シリンダ１からディスプレーサ３及びスラックピストン
１０を経てモータ６１側に流れるのを前記通路ブロック
７で防止できるのである。
えば半導体製造装置に用いて、ウエーハを前記ヒートス
テージ１１で直接冷却し、該ウエーハに高周波電流を印
加して、ウエーハをエッチングする場合、前記高周波電
流が、前記ヒートステージ１１及びシリンダ１からモー
タハウジング５に接続するガス配管を伝って大地に逃げ
るのを前記電気絶縁体２４及びワッシャ２７、２８によ
り防止できるのであり、また、前記高周波電流が、前記
シリンダ１からディスプレーサ３及びスラックピストン
１０を経てモータ６１側に流れるのを前記通路ブロック
７で防止できるのである。
【００１９】尚、以上説明した実施例では取付フランジ
１２とモータハウジング５とを結合する結合手段とし
て、ボルト２５と、ナット２６と、電気絶縁性のワッシ
ヤ２７、２８とを用いたが、その他例えば前記ワッシヤ
２７、２８をなくし、前記ボルト２５を電気絶縁構造に
形成してもよい。
１２とモータハウジング５とを結合する結合手段とし
て、ボルト２５と、ナット２６と、電気絶縁性のワッシ
ヤ２７、２８とを用いたが、その他例えば前記ワッシヤ
２７、２８をなくし、前記ボルト２５を電気絶縁構造に
形成してもよい。
【００２０】又、以上説明した実施例では電気絶縁体２
４を用いて、高周波電流がガス配管を伝って大地に逃げ
るのを防止するようにしたが、その他図２或は図３のご
とく構成してもよい。
４を用いて、高周波電流がガス配管を伝って大地に逃げ
るのを防止するようにしたが、その他図２或は図３のご
とく構成してもよい。
【００２１】図２では、前記モータハウジング５をセラ
ミックスから成る電気絶縁体で形成すると共に、前記通
路ブロック７の弁座面に接触する前記弁体６２を、フッ
ソ樹脂などの合成樹脂から成る電気絶縁体で形成したの
である。この場合、前記ウエーハに印加する高周波電流
が、前記ガス配管を伝って大地に逃げるのを前記モータ
ハウジング５により防止できるのであり、また、前記高
周波電流が前記モータ６１側に流れるのを前記弁体６２
で防止できるのである。
ミックスから成る電気絶縁体で形成すると共に、前記通
路ブロック７の弁座面に接触する前記弁体６２を、フッ
ソ樹脂などの合成樹脂から成る電気絶縁体で形成したの
である。この場合、前記ウエーハに印加する高周波電流
が、前記ガス配管を伝って大地に逃げるのを前記モータ
ハウジング５により防止できるのであり、また、前記高
周波電流が前記モータ６１側に流れるのを前記弁体６２
で防止できるのである。
【００２２】また、前記モータハウジング５と弁体６２
とを電気絶縁体で形成する代わりに、図２で示した前記
取付フランジ１２と通路ブロック７とをそれぞれセラミ
ックス、合成樹脂などの電気絶縁体で形成するとか、或
は前記取付フランジ１２とスラックピストン１０とをセ
ラミックス、合成樹脂などの電気絶縁体で形成してもよ
いのである。これらの実施例によると、前記ウエーハに
印加する高周波電流が、前記ガス配管を伝って大地に逃
げるのを前記取付フランジ１２により防止できるのであ
り、また、前記高周波電流が、前記モータ６１側に流れ
るのを前記通路ブロック７又はスラックピストン１０で
防止できるのである。
とを電気絶縁体で形成する代わりに、図２で示した前記
取付フランジ１２と通路ブロック７とをそれぞれセラミ
ックス、合成樹脂などの電気絶縁体で形成するとか、或
は前記取付フランジ１２とスラックピストン１０とをセ
ラミックス、合成樹脂などの電気絶縁体で形成してもよ
いのである。これらの実施例によると、前記ウエーハに
印加する高周波電流が、前記ガス配管を伝って大地に逃
げるのを前記取付フランジ１２により防止できるのであ
り、また、前記高周波電流が、前記モータ６１側に流れ
るのを前記通路ブロック７又はスラックピストン１０で
防止できるのである。
【００２３】又、図３では前記シリンダ１とモータハウ
ジング５とを分離すると共に、前記通路ブロック７を前
記シリンダ１に開口する第１注排通路７１ａと第１鍔部
７２ａとをもった第１ブロック７ａと、前記切換弁装置
６に連通する第２注排通路７１ｂ及び前記排出通路７３
と第２鍔部７２ｂとをもった第２ブロック７ｂとに分割
して、前記第１ブロック７ａの第１鍔部７２ａを、締付
ねじなどの固定手段により前記取付フランジ１２に固定
し、また、前記第２ブロック７ｂの第２鍔部７２ｂを、
締付ねじなどの固定手段により前記モータハウジング５
に固定する一方、前記第１注排通路７１ａの入口部と第
２注排通路７１ｂの出口部とに接続体４０、４１を螺着
し、これら接続体４０、４１を介して前記第１及び第２
注排通路７１ａ、７１ｂをフッソ樹脂などの合成樹脂か
ら成る電気絶縁構造の連絡管３０により接続したのであ
る。又、前記各鍔部７２ａ、７２ｂ間に、前記対向室２
３とサージボリウム２０とを連通させる連通管３１を設
けて、この連通管３１に前記オリフィス２１を設けてい
る。
ジング５とを分離すると共に、前記通路ブロック７を前
記シリンダ１に開口する第１注排通路７１ａと第１鍔部
７２ａとをもった第１ブロック７ａと、前記切換弁装置
６に連通する第２注排通路７１ｂ及び前記排出通路７３
と第２鍔部７２ｂとをもった第２ブロック７ｂとに分割
して、前記第１ブロック７ａの第１鍔部７２ａを、締付
ねじなどの固定手段により前記取付フランジ１２に固定
し、また、前記第２ブロック７ｂの第２鍔部７２ｂを、
締付ねじなどの固定手段により前記モータハウジング５
に固定する一方、前記第１注排通路７１ａの入口部と第
２注排通路７１ｂの出口部とに接続体４０、４１を螺着
し、これら接続体４０、４１を介して前記第１及び第２
注排通路７１ａ、７１ｂをフッソ樹脂などの合成樹脂か
ら成る電気絶縁構造の連絡管３０により接続したのであ
る。又、前記各鍔部７２ａ、７２ｂ間に、前記対向室２
３とサージボリウム２０とを連通させる連通管３１を設
けて、この連通管３１に前記オリフィス２１を設けてい
る。
【００２４】斯くすることにより、前記ウエーハに印加
する高周波電流が、前記ガス配管を伝って大地に逃げる
のを前記連絡管３０により防止できるのであり、また、
前記高周波電流が、前記モータ６１側に流れるのを前記
連絡管３０及び連通管３１で防止できるのである。
する高周波電流が、前記ガス配管を伝って大地に逃げる
のを前記連絡管３０により防止できるのであり、また、
前記高周波電流が、前記モータ６１側に流れるのを前記
連絡管３０及び連通管３１で防止できるのである。
【００２５】尚、図３のごとくスラックピストン１０を
備えたクライオポンプのシリンダ１とモータハウジング
５とを分離した場合、前記連通管３１が必要であるが、
図４のごとく前記スラックピストン１０をなくすること
により、前記連通管３１を不要にできるのである。
備えたクライオポンプのシリンダ１とモータハウジング
５とを分離した場合、前記連通管３１が必要であるが、
図４のごとく前記スラックピストン１０をなくすること
により、前記連通管３１を不要にできるのである。
【００２６】図４では、前記第１ブロック７ａにおける
ディスプレーサ３側端部に、前記ディスプレーサ３の往
復動方向に延びて前記第１注排通路７１ａと連通し、か
つ、前記ディスプレーサ３側端面に開口する内腔部７４
をもった筒部７５を設けると共に、前記ディスプレーサ
３の上端部に、中心部に貫通孔をもち、前記内腔部７４
に往復動自在に突入する突出部３２を設けて、これら筒
部７５及び突出部３２の外周りで、前記第１ブロック７
ａとディスプレーサ３との間に、該ディスプレーサ３の
往復動で容積が変化する圧力制御室３３を設ける一方、
前記第１ブロック７ａに、前記圧力制御室３３を前記第
１注排通路７１ａに連通する連通路７６を設け、該連通
路７６に前記オリフィス３４を設けている。そして、前
記内腔部７４における奥部の空間を、前記圧力制御室３
３と区画され、かつ、前記ディスプレーサ３の内部に連
通する注排中継室３５とし、前記第１注排通路７１ａに
導入された高圧ガスを、前記注排中継室３５を経てディ
スプレーサ３内に導き、また、シリンダ１内の低圧ガス
を前記ディスプレーサ３内から注排中継室３５を経て第
１注排通路７１ａに排出させるようにしている。そし
て、前記第１注排通路７１ａからシリンダ１内に高圧ガ
スを導入するとき、前記第１注排通路７１ａを流れる高
圧ガスの一部はオリフィス３４から圧力制御室３３に導
入されて該圧力制御室３３が中間圧になるのであって、
この圧力制御室３３の中間圧と、前記シリンダ１内の高
圧との圧力差により前記ディスプレーサ３が上方に向か
って往動させられるし、また、このとき圧力制御室３３
の容積が減少して、該圧力制御室３３のガスが圧縮さ
れ、前記中間圧は、高圧と低圧との中間の圧力から徐々
に昇圧して高圧に近づき、この中間圧と前記シリンダ１
内の高圧との圧力差が小さくなるのである。また、前記
切換弁装置６により前記シリンダ１内が低圧になるとき
には、圧力制御室３３の中間圧とシリンダ１内の低圧と
の圧力差により前記ディスプレーサ３が前記ヒートステ
ージ１１に向かって復動させられるし、また、このとき
圧力制御室３３の容積が増大して、その内部の中間圧は
徐々に減圧して、この中間圧と前記シリンダ１内の低圧
との圧力差が小さくなるのである。
ディスプレーサ３側端部に、前記ディスプレーサ３の往
復動方向に延びて前記第１注排通路７１ａと連通し、か
つ、前記ディスプレーサ３側端面に開口する内腔部７４
をもった筒部７５を設けると共に、前記ディスプレーサ
３の上端部に、中心部に貫通孔をもち、前記内腔部７４
に往復動自在に突入する突出部３２を設けて、これら筒
部７５及び突出部３２の外周りで、前記第１ブロック７
ａとディスプレーサ３との間に、該ディスプレーサ３の
往復動で容積が変化する圧力制御室３３を設ける一方、
前記第１ブロック７ａに、前記圧力制御室３３を前記第
１注排通路７１ａに連通する連通路７６を設け、該連通
路７６に前記オリフィス３４を設けている。そして、前
記内腔部７４における奥部の空間を、前記圧力制御室３
３と区画され、かつ、前記ディスプレーサ３の内部に連
通する注排中継室３５とし、前記第１注排通路７１ａに
導入された高圧ガスを、前記注排中継室３５を経てディ
スプレーサ３内に導き、また、シリンダ１内の低圧ガス
を前記ディスプレーサ３内から注排中継室３５を経て第
１注排通路７１ａに排出させるようにしている。そし
て、前記第１注排通路７１ａからシリンダ１内に高圧ガ
スを導入するとき、前記第１注排通路７１ａを流れる高
圧ガスの一部はオリフィス３４から圧力制御室３３に導
入されて該圧力制御室３３が中間圧になるのであって、
この圧力制御室３３の中間圧と、前記シリンダ１内の高
圧との圧力差により前記ディスプレーサ３が上方に向か
って往動させられるし、また、このとき圧力制御室３３
の容積が減少して、該圧力制御室３３のガスが圧縮さ
れ、前記中間圧は、高圧と低圧との中間の圧力から徐々
に昇圧して高圧に近づき、この中間圧と前記シリンダ１
内の高圧との圧力差が小さくなるのである。また、前記
切換弁装置６により前記シリンダ１内が低圧になるとき
には、圧力制御室３３の中間圧とシリンダ１内の低圧と
の圧力差により前記ディスプレーサ３が前記ヒートステ
ージ１１に向かって復動させられるし、また、このとき
圧力制御室３３の容積が増大して、その内部の中間圧は
徐々に減圧して、この中間圧と前記シリンダ１内の低圧
との圧力差が小さくなるのである。
【００２７】
【発明の効果】以上のごとく本発明は、モータハウジン
グ５をシリンダ１に取付けるための取付フランジ１２と
前記モータハウジング５との間に電気絶縁体２４を介装
すると共に、切換弁装置６の切換えで高圧ガスの導入と
低圧ガスの排出とを行なう注排通路７１をもつ通路ブロ
ック７を電気絶縁体で形成し、更に、前記取付フランジ
１２とモータハウジング５とを電気絶縁構造の結合手段
で結合したから、ヒートステージ１１でウエーハを直接
冷却し、該ウエーハに高周波電流を印加して前記ウエー
ハをエッチングする場合、前記高周波電流が、前記モー
タハウジング５に接続されるガス配管を伝って大地に逃
げるのを前記電気絶縁体２４及び電気絶縁構造の結合手
段により防止できるのであり、しかも、前記高周波電流
が、モータ６１側に逃げるのを前記通路ブロック７によ
り防止できるから、モータのコイル被覆を有効に保護で
きるのである。また、ウエーハをヒートステージ１１で
直接冷却することができるから、ウエーハの冷却効果が
高いばかりでなく、ポンプ全体を大形に形成する必要が
ないのである。
グ５をシリンダ１に取付けるための取付フランジ１２と
前記モータハウジング５との間に電気絶縁体２４を介装
すると共に、切換弁装置６の切換えで高圧ガスの導入と
低圧ガスの排出とを行なう注排通路７１をもつ通路ブロ
ック７を電気絶縁体で形成し、更に、前記取付フランジ
１２とモータハウジング５とを電気絶縁構造の結合手段
で結合したから、ヒートステージ１１でウエーハを直接
冷却し、該ウエーハに高周波電流を印加して前記ウエー
ハをエッチングする場合、前記高周波電流が、前記モー
タハウジング５に接続されるガス配管を伝って大地に逃
げるのを前記電気絶縁体２４及び電気絶縁構造の結合手
段により防止できるのであり、しかも、前記高周波電流
が、モータ６１側に逃げるのを前記通路ブロック７によ
り防止できるから、モータのコイル被覆を有効に保護で
きるのである。また、ウエーハをヒートステージ１１で
直接冷却することができるから、ウエーハの冷却効果が
高いばかりでなく、ポンプ全体を大形に形成する必要が
ないのである。
【００２８】又、前記モータハウジング５と、切換弁装
置６の弁体６２とを電気絶縁体で形成したり、或は前記
取付フランジ１２と通路ブロック７とを電気絶縁体で形
成したり、又は前記取付フランジ１２と、スラックピス
トン１０とを電気絶縁体で形成することにより、特別の
電気絶縁体を設けることなく前記高周波電流がガス配管
を伝って大地に逃げるのを防止できると共に、前記高周
波電流からモータ６１を保護することができるので、構
成が非常に簡単であり、コストを低減できるのである。
置６の弁体６２とを電気絶縁体で形成したり、或は前記
取付フランジ１２と通路ブロック７とを電気絶縁体で形
成したり、又は前記取付フランジ１２と、スラックピス
トン１０とを電気絶縁体で形成することにより、特別の
電気絶縁体を設けることなく前記高周波電流がガス配管
を伝って大地に逃げるのを防止できると共に、前記高周
波電流からモータ６１を保護することができるので、構
成が非常に簡単であり、コストを低減できるのである。
【００２９】又、前記シリンダ１とモータハウジング５
とを分離すると共に、前記通路ブロック７を第１ブロッ
ク７ａと第２ブロック７ｂとに分割して、これら各ブロ
ック７ａ、７ｂの第１及び第２注排通路７１ａ、７１ｂ
を電気絶縁構造の連絡管３０で接続することにより、絶
縁できながら、モータハウジング５をシリンダ１に対し
離反した不特定位置に配設できるから、ポンプ配設位置
のスペースが小さい場合であっても、前記シリンダ１部
分を所望の位置に配設できるのである。
とを分離すると共に、前記通路ブロック７を第１ブロッ
ク７ａと第２ブロック７ｂとに分割して、これら各ブロ
ック７ａ、７ｂの第１及び第２注排通路７１ａ、７１ｂ
を電気絶縁構造の連絡管３０で接続することにより、絶
縁できながら、モータハウジング５をシリンダ１に対し
離反した不特定位置に配設できるから、ポンプ配設位置
のスペースが小さい場合であっても、前記シリンダ１部
分を所望の位置に配設できるのである。
【図１】本発明クライオポンプの縦断面図である。
【図２】同別の実施例を示す縦断面図である。
【図３】同別の実施例を示す一部省略断面図である。
【図４】同別の実施例を示す一部省略断面図である。
【図５】従来例の断面図である。
１ シリンダ
１１ ヒートステージ
１２ 取付フランジ
３ ディスプレーサ
５ モータハウジング
６ 切換弁装置
６１ モータ
６２ 弁体
７ 通路ブロック
７ａ 第１ブロック
７ｂ 第２ブロック
７１ 注排通路
７１ａ 第１注排通路
７１ｂ 第２注排通路
７３ 排出通路
１０ スラックピストン
２４ 電気絶縁体
３０ 連絡管
Claims (5)
- 【請求項１】ヒートステージ１１をもつシリンダ１と、
該シリンダ１に取付フランジ１２を介して取付けられる
モータハウジング５と、該モータハウジング５に内装さ
れるモータ６１をもった切換弁装置６と、該切換弁装置
６の切換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行な
う注排通路７１をもつ通路ブロック７と、前記シリンダ
１に内装され、該シリンダ１への高圧ガスの導入と低圧
ガスの排出とで往復動するディスプレーサ３とを備えた
クライオポンプにおいて、前記取付フランジ１２とモー
タハウジング５との間に電気絶縁体２４を介装すると共
に、前記通路ブロック７を電気絶縁体で形成する一方、
前記取付フランジ１２とモータハウジング５とを電気絶
縁構造の結合手段で結合していることを特徴とするクラ
イオポンプ。 - 【請求項２】ヒートステージ１１をもつシリンダ１と、
該シリンダ１に取付フランジ１２を介して取付けられる
モータハウジング５と、該モータハウジング５に内装さ
れるモータ６１をもった切換弁装置６と、該切換弁装置
６の切換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行な
う注排通路７１をもつ通路ブロック７と、前記シリンダ
１に内装され、該シリンダ１への高圧ガスの導入と低圧
ガスの排出とで往復動するディスプレーサ３とを備えた
クライオポンプにおいて、前記モータハウジング５と、
前記通路ブロック７に接する前記切換弁装置６の弁体６
２とを電気絶縁体で形成していることを特徴とするクラ
イオポンプ。 - 【請求項３】ヒートステージ１１をもつシリンダ１と、
該シリンダ１に取付フランジ１２を介して取付けられる
モータハウジング５と、該モータハウジング５に内装さ
れるモータ６１をもった切換弁装置６と、該切換弁装置
６の切換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行な
う注排通路７１をもつ通路ブロック７と、前記シリンダ
１に内装され、該シリンダ１への高圧ガスの導入と低圧
ガスの排出とで往復動するディスプレーサ３とを備えた
クライオポンプにおいて、前記取付フランジ１２と通路
ブロック７とを電気絶縁体で形成していることを特徴と
するクライオポンプ。 - 【請求項４】ヒートステージ１１をもつシリンダ１と、
該シリンダ１に取付フランジ１２を介して取付けられる
モータハウジング５と、該モータハウジング５に内装さ
れるモータ６１をもった切換弁装置６と、該切換弁装置
６の切換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行な
う注排通路７１をもつ通路ブロック７と、前記シリンダ
１に内装され、該シリンダ１への高圧ガスの導入と低圧
ガスの排出とで往復動するディスプレーサ３及び前記通
路ブロック７とディスプレーサ３との間に介装するスラ
ックピストン１０とを備えたクライオポンプにおいて、
前記取付フランジ１２とスラックピストン１０とを電気
絶縁体で形成していることを特徴とするクライオポン
プ。 - 【請求項５】ヒートステージ１１をもつシリンダ１と、
該シリンダ１に取付フランジ１２を介して取付けられる
モータハウジング５と、該モータハウジング５に内装さ
れるモータ６１をもった切換弁装置６と、該切換弁装置
６の切換えで高圧ガスの導入と低圧ガスの排出とを行な
う注排通路７１をもつ通路ブロック７と、前記シリンダ
１に内装され、該シリンダ１への高圧ガスの導入と低圧
ガスの排出とで往復動するディスプレーサ３とを備えた
クライオポンプにおいて、前記シリンダ１とモータハウ
ジング５とを分離すると共に、前記通路ブロック７を前
記シリンダ１に開口する第１注排通路７１ａをもった第
１ブロック７ａと、前記切換弁装置６に連通する第２注
排通路７１ｂをもった第２ブロック７ｂとに分割して、
前記第１ブロック７ａを前記シリンダ１の取付フランジ
１２に固定し、かつ、前記第２ブロック７ｂを前記モー
タハウジング５に固定する一方、前記第１及び第２注排
通路７１ａ、７１ｂを電気絶縁構造の連絡管３０により
接続していることを特徴とするクライオポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3178364A JP3024281B2 (ja) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | クライオポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3178364A JP3024281B2 (ja) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | クライオポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0526161A true JPH0526161A (ja) | 1993-02-02 |
| JP3024281B2 JP3024281B2 (ja) | 2000-03-21 |
Family
ID=16047206
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3178364A Expired - Fee Related JP3024281B2 (ja) | 1991-07-18 | 1991-07-18 | クライオポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3024281B2 (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011148706A1 (ja) | 2010-05-27 | 2011-12-01 | 凸版印刷株式会社 | 液晶表示装置用基板および液晶表示装置 |
| WO2012014751A1 (ja) | 2010-07-29 | 2012-02-02 | 凸版印刷株式会社 | 液晶表示装置用カラーフィルタ基板および液晶表示装置 |
| WO2012043620A1 (ja) | 2010-09-30 | 2012-04-05 | 凸版印刷株式会社 | カラーフィルタ基板および液晶表示装置 |
| WO2012077376A1 (ja) | 2010-12-10 | 2012-06-14 | 凸版印刷株式会社 | 液晶表示基板及び液晶表示装置 |
| WO2012081456A1 (ja) | 2010-12-16 | 2012-06-21 | 凸版印刷株式会社 | 斜め電界液晶表示装置用カラーフィルタ基板および液晶表示装置 |
-
1991
- 1991-07-18 JP JP3178364A patent/JP3024281B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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