JPH05257099A - 光学イメージバー - Google Patents
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- JPH05257099A JPH05257099A JP4340345A JP34034592A JPH05257099A JP H05257099 A JPH05257099 A JP H05257099A JP 4340345 A JP4340345 A JP 4340345A JP 34034592 A JP34034592 A JP 34034592A JP H05257099 A JPH05257099 A JP H05257099A
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Abstract
バー40の空間周波数応答を望ましいものにすることに
よって画素間の漏話を減らす。補償フィルタ47は変調
器12のアパーチャに対し遠視野面内に配置すべきであ
る。線形変調器アレイに沿って光が平行にされる特定の
実施例の場合、補償フィルタ47は対物レンズ42の後
方焦点面に配置される。補償フィルタ47は、他のパラ
メータに基づいて問題の周波数の全範囲にわたって空間
周波数応答を定めるように選定する。
Description
ジバー印刷、より詳細には、光学イメージバーのための
電極アレー構造に関するものである。
は、通例は電気入力信号の情報内容によって表現された
空間パターンを相当する光強度プロフィルへ変換する光
学的画素発生器アレーである。光学イメージバーはさま
ざまな用途があり、多くの異なる利用分野があるが、光
学イメージバーの開発に注がれた努力および費用のかな
りの部分は、それらを電子写真印刷に利用することに向
けられてきた。
6,252 号に記載されているように、電気光学(electro-
optical;EOと略す) 全反射空間光変調器の使用に基づ
いている。光変調器は、ニオブ酸リチウム結晶など透明
なEO素子の反射面に隣接して保持され、横方向に一定
間隔で配置された、個別にアドレス可能な一組の電極よ
り成っている。使用中、EO素子のほぼ全幅が、横断方
向に平行にされた光ビームによって照明される。この光
ビームは、反射面に対し俯角入射角(grazingangle of
incident ) でEO素子に当たって反射面の楔形焦点に
達し、そこから全反射される。
形画素パターンを表す電圧が印加され、それにより局部
フリンジ電界がEO素子に結合される。これらの局部フ
リンジ電界はEO素子の屈折率に局部的変化を生じさせ
るので、光ビームがEO素子を通過すると、光ビームの
波面が画素パターンに従って空間的に位相変調される。
この過程が一連の画素パターンについて繰り返され、そ
の結果、光ビームの波面はそれらの画素パターンの連続
する画素に従って時間の関数として空間的に位相変調さ
れる。
場合、光ビームの位相変調された波面を対応する一連の
光強度プロフィルへ変換するために、シュリーレン光学
装置が使用される。印刷機能を実行する場合には、これ
らの光強度プロフィルは、連続する画素パターンによっ
て定義されるイメージに従ってゼログラフィー受光体な
どの感光性記録媒体を露光するため使用される。
発行) は、EOイメージバーによって生成された画素の
有効直径(等倍率で1/2パワー点間で測定したもの)
がその電極の中心間距離のほぼ1/2であるという問題
に取り組んでいる。EOイメージバーは、空間的量子化
エラーによるイメージの歪みを生じるほか、特徴として
画素間に強度空白が生じる傾向がある。
階ごとにON画素が1つ存在すること、そして個々の画
素はデータパターンに関係なく実質上同じ形状およびサ
イズであることが望ましい。さらに、EOイメージバー
は、高レベルの光処理量と、適度なレベルの必要駆動電
圧を特徴とすべきである。サイズも同じく問題であり、
望ましいコクパクトさでは短い電極のほうが有利である
が、整列の容易さでは長い電極のほうが有利である。通
常のケースでは、これらのすべての目標を同時に達成す
ることは困難である。決められた特性を最適化しようと
すると、画素間の漏話が増大したり、あるいは他の一部
の性能特性が低下したりする傾向がある。
フィルタを使用して、イメージバーの空間周波数応答を
定めることによって画素間の漏話を減らす技法を提供す
ることである。本発明は、電極間の電圧差から生じる画
素のサイズと品質は主として全イメージバーの空間周波
数応答によって決まるという認識に基づいている。従っ
て、望ましい空間周波数応答が得られるパラメータ値を
選択することによって一組の好ましい物理的パラメータ
を決定することが可能である。これは、物理的パラメー
タが周波数応答に影響を与えるやり方をよく理解するこ
とによって可能である。
1/Pより小さいfの絶対値についてはsin(πP
f)に近い周波数応答であることが判った。ここで、f
は空間周波数、Pは最小画素ピッチである。変調器の空
間周波数応答を最適にするパラメータ値を選択すること
は可能であるが、それらの値は必ずしも回折効率を最適
にするとは限らないこと、また別の考察は最適でない値
を指示することもある。空間周波数応答を最適にしない
照明条件や電極長さを使用する必要がある場合には、本
発明は補償フィルタを使用することによって望ましい周
波数応答を与えることができる。補償フィルタは、変調
器アパーチャに対し遠視野面(far field plane)内に配
置すべきである。光が線形変調器アレーに沿って平行に
されるような特定の実施例においては、補償フィルタは
対物レンズの後方焦点面に配置される。
て問題の周波数の全範囲にわたって空間周波数応答を定
めるように選定することができる。たとえば、もし設計
制約により、長い電極と大きな俯角が必要ならば、変調
器の周波数応答はsgn(f)に比例するであろう。そ
のようなケースでは、|sin(πPf)|の振幅透過
を有するフィルタは、適当な低周波数動作と、約1/P
より大きいfの絶対値については望ましいカットオフを
与えるであろう。代わりに、もし変調器の周波数応答が
ある程度最適にされれば、全イメージバーの応答を最適
にするように、フィルタを仕立てることができる。
3の上にイメージを印刷するためのEO空間光変調器1
2を備えたラインプリンタ10の光学系を示す側面図と
平面図である。図示のように、記録媒体13は、通常の
駆動機構によって矢印17の方向に回転される感光ドラ
ム15である。しかし、感光ベルトや感光板のほか、感
光フィルムや感光紙を含む、他のゼログラフィー記録媒
体や非ゼログラフィー記録媒体を使用することもでき
る。従って、一般的なケースでは、記録媒体13は、変
調器12に対し行ピッチ方向に進行するとき露光される
感光性記録媒体として視覚化される。
底面図である。標準的な実施に合わせて、変調器12は
透明なEO素子20(たとえば、ニオブ酸リチウムの光
学的に研磨されたyカット結晶)と、複数の個別にアド
レス可能な電極22より成る。電極22は、EO素子2
0の縦方向反射面25の上に堆積させるか、または密着
して保持される。たとえば、電極22は、VLSIシリ
コン回路27上のそれらのアドレス指定/駆動エレクト
ロニクスと一体構造にすることができる。変調器12
は、電極を反射面に圧接させて(図示してないが、通常
の機構によって)組み立てることができる。一般に、電
極22は、EO素子20に沿って縦方向に延び、横方向
にほぼ等間隔で配置される。
れた光ビーム32を供給する。光ビームは、もし必要な
らば、EO素子20の全幅を照明するため(図示してな
いが、通常の光学素子によって)拡大される。光ビーム
32は、俯角入射角に近い角度でEO素子の反射面上の
楔形焦点に当てられ、そこから全反射される。そのと
き、電極に連続するデータサンプルセットが順次印加さ
れ、それによりEO素子20を通過するとき、光ビーム
32の位相面が連続する画素パターンに従って時間の関
数として空間的に変調される。
俯角(grazing angle)γとスキュー角(skew angle)θに
よって表される。俯角は光ビームの中心と反射面の平面
のなす角度(変調器の外側で測定する)である。スキュ
ー角は電極の方向に対する光ビームの投射角である。図
面はスキュー角が零の場合を示す。
(図1および図2)は、光ビーム32の位相変調された
波面を対応する強度プロフィルへ変換する。この照明装
置30を含む変調器12とシュリーレン像形成装置35
との組合せは、ここで離散イメージバー40と呼ぶもの
の一例である。
対物レンズ42は、光ビーム32の横方向に平行にされ
た0次回折成分(図2に実線の光線で代表して示す)を
不透明絞り43上に集束させる。EO素子20と対物レ
ンズ42間の距離は誇張して描いてある。特定の実施例
においては、レンズ42が視野レンズとして作用するよ
うに両者は近接している。視野レンズ42の近焦点面の
中央に絞り43が配置されているので、光ビーム32の
0次成分は遮られるが、高次成分(図2に1画素のため
の点線の円錐と点線の光線で代表して示す)は、絞り4
3のまわりを散乱し、像形成レンズ45によって集束さ
れる。レンズ45は、それらの高次成分を所定の倍率で
記録媒体13の上に結像させる。
視野面(far field plane; 絞り43と同じ平面でもよ
い)に配置された補償空間フィルタ47を有する。この
空間フィルタは、望ましい均一なサイズの画素を形成す
るため、イメージバーの空間周波数応答を最適にする1
つの方法として使用される。
照明装置30を制御する回路網を示すブロック図であ
る。以下説明する回路網の基本的タイミングと作用は、
クロック発振器58によって達成される。入ってきたデ
ータストリームは、データバッファ65へ入力され、差
動符号器67で符号化され、アドレス復号回路網70へ
送られる。制御器75は、バッファ65および符号器6
7を通過するデータの流れを管理し、そして順次アドレ
スを復号回路網70に与えて、データローディング期間
の間に1行のデータを電極22に印加させる。データ値
に相当する電圧は、次のデータ保持期間の間、電極上に
保持される。照明装置はデータ保持期間の間オンオフさ
れて、1行のデータが記録される。このプロセスが以後
の行について繰り返される。
場合の画素と電極の関係を示す。図5の上半分は、一組
の電極105,107,108,110上の差動的符号
化電圧のパターンから生じた一対の隣接する画素10
2,103を示す。従来の構成の場合、画素は、画素中
心間距離(画素ピッチ)P(これは、電極中心間距離と
も一致する)によって特徴が表される。隣接するON画
素は接触円として図示してあるが、画素を横切る強度分
布は、典型的な画素が約P/2の1/2強度の所に全幅
をもつような分布であり、従って画素は画素間の空白に
特徴があることを理解されたい。
が生成されるように、データは差動的に符号化される。
図5の電極上の電圧は、0,V,0,0,であり、電極
上の信号の差動的符号化によって、電極105と107
の間に中心のあるON画素と、電極107と108の間
に中心のあるON画素が得られる。上に述べたように、
電極105と107間の電圧差と、電極107と108
間の電圧差によって生じた変調の結果、ON画素が生じ
る。電極108と110の間には電圧差は存在しないの
で、ON画素は形成されない。図5は、さらに、EO素
子20の表面におけるおおよその電位、合成電界によっ
て生じた電気光学的位相シフトの振幅、およびシュリー
レン像形成装置35の像面に生じる光学的強度を示す。
って決まる。図6に示すように、電圧パターンを1電極
間隔だけ右へ移動させると、対応する移動が画素パター
ンに生じる。従って、画素パターンを全画素幅より少な
い量だけ移動させたほうが望ましいと認めたときは、従
来の装置は望ましい変位を生じさせるため、機械的手段
または光分散手段を使用していた。
る1画素当たり複数の電極構成と、その電極構成を使用
した場合の可能な最小横方向移動を示す。図7は、一組
の電極対115a,b、117a,b、118a,b、
および120a,b上の一組の電圧によって生じた一対
のON画素112,113を示す。この場合、電極は
P′=P/2の中心間隔を有するが、電圧は2個の電極
ごとに1回以上多く変化しない。従って、最小ON画素
中心間隔は、2P′(=P)である。図7は、さらに、
この電極構成の場合の電位、電気光学的位相シフトの振
幅、および光学的強度を示す。
へ移動させたとき得られる画素パターンを示す。この場
合には、画素は同じ最小画素ピッチPおよびサイズを維
持するが、P′(=P/2)の距離だけ移動する。
を電極ピッチP′に近づけることによって、画素をより
近接させて詰めることが可能なことは、一見して明らか
である。しかし、隣接するON画素の間に過大な干渉が
生じるであろう。
いて説明したが、本技法は1画素当たり複数(N個)の
電極(すなわち、電極ピッチP′は最小画素ピッチの1
/N倍に等しい)へ簡単に拡張される。このケースで
は、上述の制約は、符号化によって、同一電位である少
なくともN個の電極のグループが生じなければならない
ことである。しかし、同一電位である電極のグループは
Nの整数倍数である必要はない。従って、向上したアド
レス指定能力は、NP′の整数倍数以外の区分にON画
素を与えるが、依然として遷移の区分は少なくともN
P′にすべきであるという制約を受ける。
g)を実施することができる。これは、ある行の上にすべ
ての画素位置を画素間隔Pで等間隔で配置し、次にすべ
ての画素位置を電極間隔(P/N)だけ平行移動させ、
次の行の上に移動させることによって行われる。上述の
特定のケース(すなわち、N=2)は、2行飛び越しが
可能であるので、実用上重要である。これは、典型的な
画素サイズがほぼP/2の直径であり、したがって飛び
越しによって画素間空白が充填されることを意味する。
本方法は、本質的に、クロス走査イメージ平行移動を行
わせて、連続する走査線間の記録媒体の動きを補償する
するものではないことに留意されたい。記録媒体が各走
査線グループごとに停止しない限り、図9に示すよう
に、ダイヤモンド形飛び越しラスターが生じる。長方形
ラスターデータをダイヤモンド形格子に直接記録すれ
ば、飛び越し行に沿った1つおきの画素について系統的
なクロス走査変位が生じるであろう。これは、イメージ
の内容、記録方法、および視覚効果によっては、重大な
効果をもたらすかもしれないし、そうでないかもしれな
い。たとえば、ディジタルフォントデザインを修正して
使用し、これを補償することができる。たとえば、読込
み抽出場所がイメージエッジ場所とは本質的に無関係で
ある電子複写装置の場合のように、記録情報を適切に空
間的に抽出したり、あるいは補間する場合には、ダイヤ
モンド形飛び越しラスターが有利なことがある。
しの結果を示す。
変調器を迅速に切り換えることによって、どのように変
位の影響を無視することができるかを示す。これは、デ
ータ行を再書込みするか(これには、拡大した変調器デ
ータ入力帯域が必要である)、または2飛び越し行のデ
ータの内部記憶装置を備えたVLSIドライバチップを
用いるかして、実行することができるであろう。
ータ電圧パターンと、全光学系の空間周波数応答によっ
て決まる。全光学系の空間周波数応答は、変調器自体の
固有の周波数応答と光学系の他の部分たとえば空間フィ
ルタ(もし、あれば)の周波数応答とによって決まる。
できる限り、隣接電極間の各電圧段階ごとにON画素が
存在すること、およびデータパターンに関係なく、個々
の画素の形状およびサイズが実質上同じであることが望
ましい。
電気的性質と光学的性質、および電極の幾何学的形状
(長さとピッチ)によって決まる。さらに、全周波数応
答は、照明条件と空間フィルタによって決まる。以下に
論じるように、漏話を抑制し、しかも高い効率、均一な
画素サイズおよび形状が得られる物理的な構成を選択す
ることができる。
ンターオーダー角(inter-order angle ; 0次回折と1
次回折の区分)の単位で定義し、そして正規化した空間
周波数F、駆動電圧VT 、および電極長さQ0 を以下の
ように定義すると便利である。 G0 =γ/(λ/nΛ0 ) S0 =θ/(λ/(nΛ0 ) F =fΛ0 Q0 =2πLλ/(nΛ0 2 ) VT =2πn4 rΛ0 v(f)/λ2 ここで、γ=俯角(EO素子の表面と光ビームのなす
角) θ=スキュー角(電極の方向と光ビームのなす角) f=空間周波数 v(f) =空間周波数fにおける全反射表面電位スペクト
ル成分のピークピーク電圧 L=電極の長さ λ=光の波長 n=屈折率 Λ0 =EO空間変調周期(電極ピッチの2N倍すなわち
最小画素ピッチPの2倍)
波数の関数として、長い電極長さの場合の物理光学回折
理論の結果(高空間周波数のとき正しい結果が得られ
る)と、有限電極長さの場合の幾何光学回折解析の結果
(全反射回折抑制効果が小さい低空間周波数のとき妥当
である)を組み合わせることにより概算することができ
る。得られた回折効率ηは次式で表される。
間周波数における全反射表面電位成分のピークピーク電
圧であるV(f)の正規化バージョンである。データは
存在する空間周波数を定義しているので、量VT は電極
上の符号化データによって決まる。すべての画素がON
の場合、電圧は電極から電極へ交互になる結果、空間周
期は画素ピッチの2倍であり、空間周波数はその逆数で
あり、正規化周波数F=1である。この場合、Vの値は
印加電圧にほぼ等しく、1に近い幾何学的係数(電極間
の隙間に対する電極幅で決まる)によって異なる。
%までの回折効率について妥当であることに留意された
い。30%を越えると、非線形多重散乱効果が重要にな
ってくるので、線形システム周波数応答解析では十分で
ないことがある。周波数応答の振幅は次式で表される。 H(F)=η1/2 sgn(F)/VT
おける回折光の光学振幅は、画素ピッチ(1画素当たり
N電極の場合、電極ピッチのN倍である)だけ離れた点
と点の電位差に比例していることが望ましい。これに
は、有限差分演算子として知られる線形演算子に似た応
答が必要である。
プ入力と、間隔P(P=画素ピッチ)に及ぶステップ入
力に対する有限差分応答を示す。図14と図15は、そ
れぞれ、非理想ステップ入力と、それに対する有限差分
応答を示す。有限差分演算子Δ(P)は、図16に示す
ように、奇数インパルス対として次式で表すことができ
る。
変換によって得られる。図17は差分符号化による操作
の場合の最適周波数応答を示す。応答は、sin(πF
/2)として変化する。ここで、F=1(f=1/(2
F))は、基本的な「全画素ON」回折成分に対応す
る。図18は、空間周波数範囲 −2≧F≧2 にわた
って理想的な応答を追従する許容可能な応答を示す。こ
こで、F=2(f=1/P)は、望ましい周波数応答の
最初の0である。1画素当たり1電極の符号化の場合
や、すべての正規化が電極ピッチの2N倍(すなわち、
画素ピッチの2倍)の項で表されるより一般的なケース
の場合には、より高い周波数における応答は、それらの
成分が画素プロフィルのエッジの鮮明度に貢献するだけ
であるので、必要ない。
限における周波数応答を示す。応答は、望ましい周波数
応答からかなり異なっているが、望ましい周波数応答が
得られるように物理的パラメータを仕立てることができ
る。
率は、比較的小さい俯角のとき最大になる。しかし、小
さい俯角の場合、一定の、より高い、有限空間周波数の
とき、量(G0 2−2FS0 −F2 )は負になる。従っ
て、応答は、有限空間周波数より上でカットオフする。
幸運にも、このカットオフを利用して、図19の空間周
波数応答を図18の空間周波数応答により一致させるこ
とができる。
Fのとき(すなわち、一定の空間周波数の場合のインタ
ーオーダー回折角が、入力俯角に等しいか、それ以上で
あるとき)、カットオフが生じる。軸方向照明は、その
応答は差分符号化が必要なときFに対し非対称であるの
で、特に興味を引く。2よりかなり小さいG0 を使用す
れば、F=2以下の差分符号化のために望ましい周波数
応答の一部が切り捨てられるであろう。他方、2よりか
なり大きいG0 を使用すれば、回折効率は低下し、周波
数応答はF=2にカットオフを有するF=2以下の望ま
しい形から逸脱するであろう。したがって、G0 =2お
よびS0 =0は、差分符号化変調器にとって好ましい照
明条件である。図20は、G0 =2、S0 =0、長い電
極の場合の空間周波数応答を示す。
1≦F≦1 で望ましい周波数応答を得るには、追加条
件が必要なことである。この周波数応答を修正する2つ
のアプローチは、最適電極長さを選定することと、特別
に構成された光学的空間周波数応答フィルタを提供する
である。
式における係数HQ 2 の依存関係が明らかになる。実際
に、HQ は、Fの関数としてほぼ線形であり、これは、
Fの小さい値ではFの正弦関数に近いことを意味する。
図21は、有限電極長さの場合の周波数応答を示す。適
当な電極長さを選択することによって、低周波数領域に
おける周波数応答を望ましい応答に適合させることがで
きる。より詳細には、F≪1のとき、HQ ≒sin(F
G0 /(2E1/2 ))であり、Q0 =πE1/2/G0 の
とき、HQ はsin(πF/2)に等しい。図22に示
すように、これは最適周波数応答を与える。物理的変数
の項で表すと、これは、L=E1/2 Λ0/(2γ)=E
1/2 P/γになる。
るから、多重波長動作の場合は、広い波長範囲にわたっ
て周波数応答を同時に最適化することができる。これ
は、干渉経路の切捨てが、波長とは無関係な幾何光学的
効果であるからである。接線方向がz結晶軸に沿ってお
り、法線方向がy結晶軸に沿っているニオブ酸リチウム
における動作では、もしクランプ比誘電率が有効なら
ば、E= 1.54 である(もし非クランプ比誘電率が有効
ならば、E= 2.54 である) 。E= 1.54 、G0 =2の
場合、最適値は、Q0 = 1.95 である。このケースで
は、F=1のときHQ= 0.792であるから、決められた
電圧の場合の「全画素ON」状態のときの効率は、非常
に長い電極に比べて、係数HQ 2 = 0.63 だけ減少す
る。代わりに、補償電圧は1/HQ = 1.26 だけ増加す
る。(E= 2.54 、G0 =2の場合、Q0= 2.50 であ
り、それに応じて他の量が増減する。) 一般に、クラ
ンプ比誘電率は、音響共振より高い周波数で切り換えら
れる電極に適合し、非クランプ比誘電率は音響共振より
低い周波数で切り換えられる電極に適合する。
関係から、望ましい空間周波数応答が得られる電極長さ
を選択することができる。しかし、画素漏話抑制を最適
化する電極長さは、別の観点から必ずしも望ましい電極
長さであるとは限らない。前に述べたように、最適の電
極長さは、効率を低下させ、かつ必要駆動電圧を大きく
する。また、短い電極は正しく整列させることが難し
く、そのことも、より長い電極に有利に作用する。
のものであり、最適の電極長さに関する記述は、一定の
最小画素ピッチPを仮定している。しかし、もし正規化
パラメータを一定に維持しながら、ピッチPを増すこと
(電極を広い間隔で配置すること)が許されれば、効率
と周波数応答の両方を最適化する物理的に長い電極を得
ることができる。
めに必要であるよりも長い電極を使用することが望まし
い限度までは、望ましいシステム応答を与える空間フィ
ルタ(補償フィルタ)を長い電極を一緒に使用すること
ができる。図20に示すように、変調器の応答にカット
オフが生じるように照明条件を選定したと仮定すると、
空間フィルタは、Fの絶対値が約1以下のとき振幅が|
sin(πF/2)|、そして強度がsin2 (πF/
2)に近い透過特性を有するべきである。これは、スケ
ーリング関係x=Zf Fλ/(2P)により、空間周波
数平面x内の実際の物理的空間寸法の項で表すことがで
きる。ここで、Zf は対物レンズ42の焦点距離であ
る。図23および図24は、望ましい周波数応答を得る
ため使用できる補償フィルタの振幅プロフィルと強度プ
ロフィルを示す。このフィルタは、純吸収フィルタに相
当し、可変濃度感光乳剤などの手段によって容易に実現
可能であり、また利用可能である。
当に減衰させて、シュリーレン像形成のコントラストを
十分に高くするために、絞りが必要である。もし0次ビ
ームが十分に平行にされていれば、領域 - 0.1≦F≦0.
1 では正弦フィルタの透過率が小さいので(1%以
下)、補償フィルタは絞りの機能を果たすことができ
る。しかし、もし光学系の収差のため、0次ビームが全
像面にわたって狭く集束しなければ、追加の高吸収(hi
gh absorption)絞りを使用してもよい。この絞りは、補
償フィルタが同時に存在するので、テーパー付きでなく
ともよい。
および電極長さを使用する必要があれば、補償空間フィ
ルタを単独で使用することによって、望ましい周波数応
答を得ることができる。たとえば、長い電極および大き
な角のケースでは、フィルタは、|F|=2のとき振幅
が|sin(πF/2)|、そして強度が sin
2(πF/2)に比例する透過特性を有するべきであ
る。図25および図26に、そのフィルタ特性を示す。
このフィルタは、変調器の基本周波数(F=1)におい
て吸収を必要としない(全画素ON応答)。吸収は、過
剰な光を減らし、変調されたパターンの画素のみを迎え
入れる。図27は、|F|=2より上の光が遮られるこ
とを示す簡単な略図である。図27は、さらに、フィジ
カルデバイスに対する応答を示す。
メージバーの空間周波数応答を向上させる技法が提供さ
れたことが判る。これは、空間フィルタを使用して、s
in(πPf)動作からの変調器周波数応答の逸脱を補
償することによって達成される。
さまざまな修正物、代替物、および均等物を使用するこ
とができる。たとえば、中央明視野装置(central brig
ht field system ) (図示せず)を使用して、変換プロ
セスを行うことができるであろう。しかし、上記の変更
により、光ビーム32の波面の局部位相変調に対し強度
プロフィル内の個々の画素の論理的関係は逆になること
を理解されたい(すなわち、過程が論理的関係の逆転を
考慮に入れない限り、「明」画素は「暗」画素になるで
あろう。逆も同様である)。そのようなケースでは、イ
メージバーの空間周波数応答を最適化する独自の技法は
違ったものになるであろう。
の光学系の略側面図である。
ある。
電位、位相シフトおよび記録された画素強度のグラフで
ある。
動を示す図である。
図と、電位、位相シフトおよび記録された画素強度のグ
ラフである。
動を示す図である。
図である。
図である。
図である。
図である。
図である。
図である。
図である。
図である。
よって変調器の空間周波数応答の一部をどのように仕立
てるかを示す図である。
よって変調器の空間周波数応答の一部をどのように仕立
てるかを示す図である。
よって変調器の空間周波数応答の一部をどのように仕立
てるかを示す図である。
ることによって空間周波数応答の一部をどのように仕立
てるかを示す図である。
ることによって空間周波数応答の一部をどのように仕立
てるかを示す図である。
ることによって空間周波数応答の一部をどのように仕立
てるかを示す図である。
ることによって空間周波数応答の一部をどのように仕立
てるかを示す図である。
ることによって空間周波数応答の一部をどのように仕立
てるかを示す図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 一組の電極を有する電気光学全反射光変
調器と、最小画素ピッチPを定義するやり方で相当する
電圧を電極へ印加することによって電極上の画素データ
を差動的に符号化する電子制御装置と、前記変調器へ入
力ビームを与える照明装置(入力ビームは、前記変調器
と印加電圧によって同位相波面変調ビームへ変換され
る)と、前記同位相波面変調ビームを画素データに相当
する強度変調プロフィルをもつ像形成ビームへ変換する
像形成装置とより成る装置であって、装置の回折効率が
変調器と照明装置と像形成装置の一組の性質によってあ
る程度定義され、空間周波数応答で特徴づけられる場合
において、 前記像形成装置は、補償フィルタを備えていること、 前記補償フィルタを含まない装置の空間周波数応答は、
約1/Pより小さいfの少なくとも一部の絶対値におい
ては、sin(πPf)からかなり逸脱していること、
および前記補償フィルタは、補償フィルタを含む装置の
空間周波数応答が約1/Pより小さいfの絶対値につい
てはsin(πPf)に近くなるような空間周波数応答
を有すること、を特徴とする装置。
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1992
- 1992-12-21 JP JP34034592A patent/JP3335394B2/ja not_active Expired - Fee Related
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