JPH0524089B2 - - Google Patents

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JPH0524089B2
JPH0524089B2 JP60013910A JP1391085A JPH0524089B2 JP H0524089 B2 JPH0524089 B2 JP H0524089B2 JP 60013910 A JP60013910 A JP 60013910A JP 1391085 A JP1391085 A JP 1391085A JP H0524089 B2 JPH0524089 B2 JP H0524089B2
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JP
Japan
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ions
aqueous solution
ethanol
titanium
solution
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JP60013910A
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Japanese (ja)
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JPS61174116A (en
Inventor
Hiroshi Yamamura
Kunimasa Takahashi
Michiko Oda
Haruo Shibatani
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Mitsubishi Petrochemical Co Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Petrochemical Co Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 発明の背景 技術分野 本発明は、ABO3型ペロブスカイト型酸化物の
製造法に関する。さらに具体的には、本発明は、
この酸化物の公知の製造法において特定の過程で
特定の不純物の量を制御することによつて、粉体
特性のすぐれた該酸化物粉体を製造する方法に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for producing ABO 3 perovskite oxides. More specifically, the present invention provides:
The present invention relates to a method for producing an oxide powder with excellent powder properties by controlling the amount of specific impurities in a specific process in a known production method for this oxide.

ペロブスカイト型酸化物は、それ自身あるいは
2種以上のこれら酸化物の固溶体の形で、コンデ
ンサーなどの強誘電材料や圧電体材料として広く
使用されている材料である。これらの材料のほと
んどは、その粉体を焼き固めた焼結体として製品
化されている。その場合の品質は焼結の度合で著
しく左右されるものであり、従つて良好な焼結体
を与えるべき原材料として粉体特性のすぐれた粉
末が望まれている。
Perovskite oxides, either by themselves or in the form of a solid solution of two or more of these oxides, are widely used as ferroelectric and piezoelectric materials in capacitors and the like. Most of these materials are commercialized as sintered bodies obtained by baking and solidifying their powders. In this case, the quality is significantly influenced by the degree of sintering, and therefore, a powder with excellent powder characteristics is desired as a raw material for producing a good sintered body.

先行技術 ペロブスカイト型酸化物の製造法としては、下
記の方法が知られている。
Prior Art The following method is known as a method for producing perovskite oxides.

(1) 各成分元素の酸化物粉末を混合し、この混合
物を高温に加熱して固相反応を起させる方法。
(1) A method in which oxide powders of each component element are mixed and the mixture is heated to a high temperature to cause a solid phase reaction.

(2) 各成分元素のイオンを含む水溶液中にしゆう
酸を滴下して各成分元素をしゆう酸塩として共
沈させ、この共沈しゆう酸塩を熱分解する方
法。
(2) A method in which oxalic acid is dropped into an aqueous solution containing ions of each component element to coprecipitate each component element as an oxalate salt, and the coprecipitated oxalate salt is thermally decomposed.

(3) 各成分元素のアルコキシドの混合物を加水分
解して共沈させ、この共沈加水分解物を熱分解
する方法。
(3) A method in which a mixture of alkoxides of each component element is hydrolyzed, coprecipitated, and the coprecipitated hydrolyzate is thermally decomposed.

しかしながら、これらの方法には何らかの問題
点があつて、必ずしも満足すべきものとはいい難
い。たとえば、(1)の固相反応は高温かつ長時間が
必要であるという製造工程上の問題があるばかり
ではなく、製品粉末にも問題がある。すなわち、
この方法で得られる粉末は焼結し難く、従つて焼
結のためには高温の採用あるいは焼結促進剤の使
用が必要となるからである。(2)の共沈法には、各
成分のしゆう酸塩の共沈媒体である水に対する溶
解度が異なるので各成分を希望成分比で共沈させ
ることが困難であつて、単一相の組成のものが得
難いという欠点がある。また、(3)の共沈法は高純
度で均一性の高い製品が得られるという利点があ
るけれども、各成分をアルコキシドとして利用す
るところからその製造が容易ではないという欠点
を免れない。
However, these methods have some problems and are not necessarily satisfactory. For example, the solid phase reaction (1) not only has problems with the manufacturing process in that it requires high temperatures and long periods of time, but also has problems with the product powder. That is,
This is because the powder obtained by this method is difficult to sinter, and therefore requires the use of high temperatures or the use of a sintering accelerator for sintering. In the coprecipitation method (2), it is difficult to coprecipitate each component in the desired ratio because the oxalates of each component have different solubility in water, which is the coprecipitation medium. The disadvantage is that it is difficult to obtain a composition with the same composition. Further, although the coprecipitation method (3) has the advantage of producing a product with high purity and high uniformity, it has the disadvantage that it is not easy to manufacture because each component is used as an alkoxide.

考えられる解決策およびその問題点 本発明者らの一人は、これらの従来法の欠点を
解消すべく鋭意検討をおこなつて、前述(2)のしゆ
う酸塩法の改良を提案している。すなわち、しゆ
う酸はエタノールに可溶であり、Zrイオン、Ti
イオンのしゆう酸塩及びPb,Ba,SrまたはCaの
群から選ばれたイオン(以下これを総称してAイ
オンと言う)のしゆう酸塩はいずれもエタノール
に全く不溶である性質を利用して、エタノール中
でAイオンとTiイオンとをしゆう酸と反応さて
これらのイオンをしゆう酸塩として共沈させるこ
と(特開昭59−39722号公報)ならびにAイオン
とZrイオンまたは(Zr+Ti)イオンとをしゆう
酸塩として共沈させること(特開昭59−131505号
公報)によつて、所望組成の高純度且つ均一粒度
の沈澱物(ペロブスカイト型酸化物の前駆体)が
得られ、これを熱分解すると極めて焼結し易い活
性なATiO3,AZrO3、またはA(Zr・Ti)O3微粉
末が得られる。そこに開示された技術において、
Aイオンは当該硝酸塩の水溶液ないし含エタノー
ル水溶液として使用している。一方、チタンイオ
ン及びジルコニウムイオンはオキシ硝酸チタンま
たはオキシ硝酸ジルコニウムの水溶液ないし含エ
タノール溶液として使用することが好ましいとさ
れている。これらイオンの供給源として塩化物を
使用すると共沈澱物中に塩素イオンが残存しがち
で、共沈澱物を高温焼成しても塩素イオンが残つ
て、焼成物(すなわち目的酸化物)を焼結する場
合に悪影響を及ぼすことがあるからであり、また
AイオンとしてPbを用いる場合には混合水溶液
において不溶性の塩化鉛が生成するからである。
オキシ硝酸チタンの製造法としては、四塩化チタ
ンをアンモニア水で加水分解して水酸化物として
沈澱させ、これを過して得た水酸化チタンを硝
酸中に投入して溶解させてオキシ硝酸チタン溶液
を得る方法が開示されており、オキシ硝酸ジルコ
ニウム溶液もオキシ塩化ジルコニウムを原料とし
てまつたく同様の手法で得られることが開示され
ている。
Possible solutions and their problems One of the present inventors has conducted intensive studies to eliminate the drawbacks of these conventional methods, and has proposed an improvement to the oxalate method described in (2) above. . That is, oxalic acid is soluble in ethanol, and Zr ions, Ti
Utilizes the property that oxalates of ions and oxalates of ions selected from the group of Pb, Ba, Sr, or Ca (hereinafter collectively referred to as A ions) are completely insoluble in ethanol. Then, A ions and Ti ions are reacted with oxalic acid in ethanol, and these ions are coprecipitated as oxalate (Japanese Patent Application Laid-open No. 59-39722), and A ions and Zr ions or ( By co-precipitating Zr + Ti) ions as oxalates (Japanese Patent Application Laid-Open No. 131505/1982), a precipitate (precursor of perovskite oxide) with a desired composition and high purity and uniform particle size can be obtained. When this is thermally decomposed, active ATiO 3 , AZrO 3 , or A(Zr·Ti)O 3 fine powder, which is extremely easy to sinter, is obtained. In the technology disclosed therein,
A ion is used as an aqueous solution of the nitrate or an ethanol-containing aqueous solution. On the other hand, it is said that titanium ions and zirconium ions are preferably used as an aqueous solution or an ethanol-containing solution of titanium oxynitrate or zirconium oxynitrate. When chloride is used as a source of these ions, chloride ions tend to remain in the coprecipitate, and even if the coprecipitate is fired at a high temperature, chlorine ions remain and the fired product (i.e., the target oxide) is sintered. This is because when Pb is used as the A ion, insoluble lead chloride is generated in the mixed aqueous solution.
The method for producing titanium oxynitrate is to hydrolyze titanium tetrachloride with aqueous ammonia to precipitate it as a hydroxide, and then pour the titanium hydroxide obtained through this process into nitric acid and dissolve it to produce titanium oxynitrate. A method for obtaining the solution is disclosed, and it is also disclosed that a zirconium oxynitrate solution can also be obtained by a similar method using zirconium oxychloride as a raw material.

これらの化合物からのチタンイオンまたはジル
コニウイオンとAイオンとをエタノールの存在下
にしゆう酸と反応させてしゆう酸塩共沈物を得、
これを過、乾燥後、粉砕して、熱分解が完全に
終了して重量変化が最早認められない温度(700
−1000℃)で〓焼すれば、目的のペロブスカイト
型酸化物が得られるのであるが、開示されたとこ
ろによれば生成〓焼物は再度粉砕混合しており、
この粉末について成型および1000−1400℃での焼
結を行なつている。
A titanium ion or zirconium ion from these compounds and A ion are reacted with oxalic acid in the presence of ethanol to obtain an oxalate coprecipitate,
This is filtered, dried, and crushed to a temperature at which thermal decomposition is completely completed and no weight change is observed (700
The desired perovskite-type oxide can be obtained by firing at -1000°C, but according to the disclosure, the fired product is ground and mixed again.
This powder is molded and sintered at 1000-1400°C.

すなわち、この先行改良技術においては、共沈
澱物の〓焼によつて得られた微粉末状のペロブス
カイト型酸化物は粒子相互で融着を起こしていて
直接金型成型に供することができないので、再粉
砕混合工程が必要であつたのである。
That is, in this prior improved technique, the finely powdered perovskite-type oxide obtained by sintering the coprecipitate cannot be directly used for molding because the particles are fused to each other. A re-grinding and mixing step was necessary.

先行改良発明で必要であるこの再粉砕混合工程
は、工程費の増加及び不純物の混入による最終製
品の信頼性の低下をもたらすばかりでなく、ペロ
ブスカイト型酸化物粉末の特性からいつても問題
である。すなわち、これらペロブスカイト型酸化
物粉末をポリ弗化ビニリデン樹脂、ポリオキシメ
チレン樹脂、ニトリルブタジエンゴム等と複合し
て、可撓性に富む圧電フイルムを製造する技術の
開発が進められつつあるところ、この場合には粒
径分布が均一で結晶歪のない易分散型の微粉末が
必要とされているのであるが、再粉砕混合で得た
微粉末では結晶歪が生起して、期待する性能が得
られなくなることが知られているからである。
This re-grinding and mixing step, which is necessary in the prior improved invention, not only increases the process cost and reduces the reliability of the final product due to the contamination of impurities, but also always poses a problem due to the characteristics of perovskite oxide powder. . In other words, the development of technology for manufacturing highly flexible piezoelectric films by combining these perovskite-type oxide powders with polyvinylidene fluoride resin, polyoxymethylene resin, nitrile butadiene rubber, etc. is progressing. In some cases, an easily dispersible fine powder with a uniform particle size distribution and no crystal distortion is required, but fine powder obtained by re-grinding and mixing causes crystal distortion, making it difficult to obtain the expected performance. This is because it is known that it will not be possible.

発明の概要 要 旨 本発明者らは〓焼物微粒子の相互融着現象につ
いて鋭意検討を加え、この先行改良技術におい
て、出発原料イオンの混合水溶液に少量残存する
塩素イオンが〓焼段階において微粒子の相互融着
現象を誘起している事実を見出し、更に塩素イオ
ン濃度を所定値以下に下げることで融着を抑止で
きることを見出して本発明に到つた。
SUMMARY OF THE INVENTION The present inventors have made extensive studies on the phenomenon of mutual fusion of fine particles of baked goods, and in this prior improved technology, a small amount of chlorine ions remaining in a mixed aqueous solution of starting material ions cause fine particles to fuse together during the firing stage. The present invention was achieved by discovering the fact that the fusion phenomenon is induced, and by further discovering that the fusion can be suppressed by lowering the chlorine ion concentration to a predetermined value or less.

従つて、本発明によるペロブスカイト型酸化物
の製造法は、ABO3型ペロブスカイト型酸化物
(ただし、AはBa,Sr,CaおよびPbからなる群
から選ばれた少なくとも1種の元素を示し、Bは
TiおよびZrからなる群から選ばれた少なくとも
1種の元素を示す)を構成すべき元素のイオンを
含む水溶液ないし含エタノール水溶液をエタノー
ルの存在下にシユウ酸と接触させて該酸化物の前
駆体の沈澱を生成させ、この前駆体沈澱を熱分解
して該酸化物を製造する方法において、該水溶液
ないし含エタノール水溶液として塩素イオンがB
元素1原子当り0.05原子以上含まれないものを使
用すること、を特徴とするものである。
Therefore, the method for producing a perovskite oxide according to the present invention is directed to an ABO 3 type perovskite oxide (where A represents at least one element selected from the group consisting of Ba, Sr, Ca and Pb, and B teeth
At least one element selected from the group consisting of Ti and Zr) is contacted with oxalic acid in the presence of ethanol to form a precursor of the oxide. In the method of producing the oxide by generating a precipitate and thermally decomposing the precursor precipitate, the chlorine ion is
It is characterized in that it contains no more than 0.05 atoms per atom of the element.

この製造法において前記水溶液ないし含エタノ
ール水溶液を得る一つの態様は、B元素としての
Tiのイオンをチタンアルコキシドの加水分解に
よる水酸化チタンの生成およびこの水酸化チタン
の硝酸への溶解によつて調製し、Tiのイオン以
外のイオンを各元素の塩化物以外の塩から供給す
ることからなるものである。
One embodiment of obtaining the aqueous solution or ethanol-containing aqueous solution in this production method is that
Preparing Ti ions by hydrolyzing titanium alkoxide to generate titanium hydroxide and dissolving this titanium hydroxide in nitric acid, and supplying ions other than Ti ions from salts other than chlorides of each element. It consists of

また、この製造法において前記水溶液ないし含
エタノール水溶液を得る他の態様の一つは、B元
素としてのTiのイオンをチタン塩化物の加水分
解による水酸化チタンの生成およびこの水酸化チ
タンの硝酸への溶解によつて調製し、Tiのイオ
ン以外のイオンを各元素の塩化物以外の塩から供
給し、上記水酸化チタンを洗浄して塩素イオンを
除去することからなるものである。
In addition, one of the other embodiments of obtaining the aqueous solution or ethanol-containing aqueous solution in this production method is to generate titanium hydroxide by hydrolyzing titanium chloride with Ti ions as element B and converting the titanium hydroxide to nitric acid. The method consists of supplying ions other than Ti ions from salts other than chlorides of each element, and washing the titanium hydroxide to remove chloride ions.

これらのいずれの態様においても、塩化物以外
の塩の好ましい具体例は硝酸塩である。
In any of these embodiments, a preferred specific example of the salt other than chloride is nitrate.

効 果 本発明に従つてしゆう酸塩共沈澱物を形成させ
るときの構成元素イオン水溶液ないし含エタノー
ル水溶液の塩素イオン含量を特定レベル以下に制
御することによつて、粉末特性のすぐれたペロブ
スカイト型酸化物を与える前駆体化合物が得られ
る。
Effects By controlling the chloride ion content of the constituent element ion aqueous solution or ethanol-containing aqueous solution to a specific level or less when forming the oxalate coprecipitate according to the present invention, a perovskite type with excellent powder properties can be produced. A precursor compound giving an oxide is obtained.

すなわち、しゆう酸塩として沈澱した前駆体化
合物を過、乾燥および砕解してから〓焼して得
た酸化物は、粉末粒子相互の融着した状態をとら
ず、水中での超音波分散等の手段で容易に単独の
粒子に解離するような特性を持つのであり、かつ
完全な結晶構造を持つものである。
In other words, the oxide obtained by filtering, drying, crushing, and then sintering the precursor compound precipitated as an oxalate does not have a state in which the powder particles are fused together, but when ultrasonic dispersion is performed in water. It has the property of being easily dissociated into individual particles by means such as methods, and has a perfect crystal structure.

なお、本発明の評価につていは後記したところ
を参照されたい。
For evaluation of the present invention, please refer to what will be described later.

発明の具体的説明 ペロブスカイト型酸化物前駆体沈澱の製造 本発明で対象とするペロブスカイト型酸化物は
ABO3型のものであつて、A元素がBa,Sr,Ca
およびPbからなる群から選ばれた少なくとも1
種の元素であり、B元素がTiおよびZrからなる
群から選ばれた少なくとも1種の元素であるも
の、である。
Detailed description of the invention Production of perovskite oxide precursor precipitate The perovskite oxide targeted by the present invention is
ABO type 3 , in which the A element is Ba, Sr, Ca
and at least one selected from the group consisting of Pb
The element B is at least one element selected from the group consisting of Ti and Zr.

B元素 本発明で用いるチタン原料は、水酸化チタンを
硝酸に溶解させることによつて調製することがふ
つうである。具体的には、四塩化チタンをアンモ
ニア水で水酸化チタンとし、これを水洗して塩素
イオンを除去して、反応溶液中のCl/Ti(原子
比)が0.05以下、好ましくは0.02以下、になるよ
うに水洗い条件を設定すればよい。更に塩素イオ
ンの少ない水酸化チタンを得たい場合には、テト
ライソプロピルチタンのようなアルコキシドを加
水分解すればよい。いずれの方法で得た水酸化チ
タンも、硝酸に溶解したオキシ硝酸チタンとして
しゆう酸塩沈澱生成反応に供される。
Element B The titanium raw material used in the present invention is usually prepared by dissolving titanium hydroxide in nitric acid. Specifically, titanium tetrachloride is converted into titanium hydroxide with aqueous ammonia, and this is washed with water to remove chlorine ions so that the Cl/Ti (atomic ratio) in the reaction solution is 0.05 or less, preferably 0.02 or less. You just need to set the washing conditions so that If it is desired to obtain titanium hydroxide with even less chlorine ions, an alkoxide such as tetraisopropyl titanium may be hydrolyzed. Titanium hydroxide obtained by either method is subjected to the oxalate precipitation reaction as titanium oxynitrate dissolved in nitric acid.

オキシ硝酸ジルコニウムもオキシ塩化ジルコニ
ウムを原料としてチタンと同様の手法で合成する
ことができるが、オキシ硝酸ジルコニウムはオキ
シ硝酸チタンよりも経時安定性に富むので市販品
を水に溶かすだけでも反応に供することがきる。
B元素がZrであるAZrO3のようなペロブスカイ
ト型化合物を製造する場合においても、水溶液な
いし含エタノール水溶液中のCl/Zr(原子比)を
0.05以下、好ましくは0.02以下、に設定すること
で本発明の目的を達成することができる。
Zirconium oxynitrate can also be synthesized using zirconium oxychloride as a raw material in the same manner as titanium, but zirconium oxynitrate is more stable over time than titanium oxynitrate, so it can be used for the reaction simply by dissolving a commercially available product in water. I'm struggling.
Even when manufacturing perovskite compounds such as AZrO 3 where the B element is Zr, the Cl/Zr (atomic ratio) in the aqueous solution or ethanol-containing aqueous solution is
The object of the present invention can be achieved by setting it to 0.05 or less, preferably 0.02 or less.

A元素 本発明の方法で合成可能なペロブスカイト型酸
化物としては、PbTiO3,PbZrO3,Pb(Ti・Zr)
O3.BaTiO3,SrTiO3,CaTiO3.BaZrO3
SrZrO3およびCaZrO3等をあげることができる。
Element A Perovskite-type oxides that can be synthesized by the method of the present invention include PbTiO 3 , PbZrO 3 , Pb(Ti・Zr)
O 3 . BaTiO 3 , SrTiO 3 , CaTiO 3 . BaZrO3 ,
Examples include SrZrO 3 and CaZrO 3 .

これらの化合物を合成するに必要なA元素の水
溶性化合物を適宜組み合わせしゆう酸塩沈澱形成
反応に供することができるが、塩化物以外の塩、
特に硝酸塩、が最も適当である。いずれの場合に
も、各種イオンを溶解した水溶液ないし含エタノ
ール水溶液において、Cl/Ti,Cl/Zr、または
Cl/(Ti+Zr)が0.05以下、好ましくは0.02以
下、になるように原料の純度を選定することが必
要である。
The water-soluble compounds of element A necessary for synthesizing these compounds can be suitably combined and subjected to the sulfate precipitate formation reaction, but salts other than chlorides,
In particular, nitrates are most suitable. In either case, in an aqueous solution containing various ions or an aqueous solution containing ethanol, Cl/Ti, Cl/Zr, or
It is necessary to select the purity of the raw materials so that Cl/(Ti+Zr) is 0.05 or less, preferably 0.02 or less.

共 沈 ペロブスカイト型酸化物前駆体は、A元素イオ
ンおよびB元素イオンを与える各元素の化合物の
水溶液または含エタノール水溶液をエタノールの
存在下にしゆう酸と反応させて、共沈澱物として
得られる(本発明の最大の特徴が該水溶液ないし
含エタノール水溶液の塩素含量を制御することに
あることはいうまでもない)。
Co-precipitation The perovskite-type oxide precursor is obtained as a coprecipitate by reacting an aqueous solution or an ethanol-containing aqueous solution of a compound of each element that provides element A ions and B element ions with sulfuric acid in the presence of ethanol. It goes without saying that the greatest feature of the invention lies in controlling the chlorine content of the aqueous solution or ethanol-containing aqueous solution).

具体的には、該水溶液に白濁が生じない程度の
エタノールを加えたのち、しゆう酸のエタノール
溶液を好ましくは激しく撹拌しながら滴下する。
逆にしゆう酸のエタノール溶液に該水溶液もしく
は該含エタノール水溶液溶液を滴下する手法を用
いてもよい。金属イオンの種類によつてはその水
溶液にエタノールを加えると白濁等の不安定さが
でてくるので、各元素のイオンの溶液はエタノー
ル不含の水溶液の方が好ましいことがある。
Specifically, after adding ethanol to the aqueous solution to an extent that no clouding occurs, an ethanol solution of oxalic acid is preferably added dropwise with vigorous stirring.
Alternatively, a method may be used in which the aqueous solution or the ethanol-containing aqueous solution is dropped into an ethanol solution of oxalic acid. Depending on the type of metal ion, adding ethanol to the aqueous solution may cause instability such as clouding, so it may be preferable to use an ethanol-free aqueous solution as the ion solution of each element.

なお、しゆう酸塩共沈物の生成で母液中に高濃
度の硝酸が生じ、これが例えばしゆう酸チタニル
鉛と反応して次式に従つて多量のTiを母液中に
残存させる可能性が和久らの研究(電気通信研究
所・研究実用化報告別冊28号(1975)など)で知
られている。
In addition, high concentration of nitric acid is generated in the mother liquor due to the formation of oxalate coprecipitate, and this may react with, for example, titanyl lead oxalate, resulting in a large amount of Ti remaining in the mother liquor according to the following equation. It is known for the research by Kazuhisa et al. (Telecommunications Research Institute, Research and Practical Application Report Special Issue No. 28 (1975), etc.).

PbTiO(C2O42+2HNO3→ PbC2O4+ TiO(NO32+H2C2O4 しかし本発明の方法によれば、例えば PbTiO3を目的とする場合には共沈するPb(C2
O4)は水溶液には無視しうる量しか溶解しない
ので、液中に溶解するチタンイオンを定量する
ことで、容易に量論比のPbとTiの沈澱を形成す
る条件を設定することができる。また、水溶液中
の金属イオン濃度を高めることで、液への損失
量を減らすことができる。
PbTiO(C 2 O 4 ) 2 +2HNO 3 → PbC 2 O 4 + TiO(NO 3 ) 2 +H 2 C 2 O 4However , according to the method of the present invention, for example, when PbTiO 3 is the target, coprecipitation is performed. Pb( C2
Since only a negligible amount of O 4 ) dissolves in an aqueous solution, by quantifying the amount of titanium ions dissolved in the solution, conditions can be easily set to form precipitates of Pb and Ti in a stoichiometric ratio. . Furthermore, by increasing the metal ion concentration in the aqueous solution, the amount lost to the liquid can be reduced.

しゆう酸1モルに対して200モル程度の多量の
エタノールを使用することが好ましい。しゆう酸
量は少なくとも各元素金属イオンをしゆう酸塩に
完全に転化させる量であることが必要であるが、
理論量の25%増程度の添加が好ましい。しゆう酸
塩形成反応の温度は、0℃から室温近傍にとるこ
とができる。
It is preferable to use a large amount of ethanol, about 200 moles per mole of oxalic acid. The amount of oxalic acid needs to be at least an amount that completely converts each elemental metal ion to oxalate, but
It is preferable to add about 25% more than the theoretical amount. The temperature of the oxalate salt formation reaction can be from 0°C to around room temperature.

しゆう酸の添加にともなつて、白色沈澱が生成
する。これを過して白色ケーキを得る。ケーキ
中に含まれる硝酸イオン、未反応しゆう酸および
塩素イオン等を除くために、エタノール中にケー
キを再分散させて、残存母液をエタノールで置換
除去することが好ましい。
A white precipitate forms upon addition of oxalic acid. Through this process, a white cake is obtained. In order to remove nitrate ions, unreacted oxalic acid, chloride ions, etc. contained in the cake, it is preferable to redisperse the cake in ethanol and remove the remaining mother liquor by replacing it with ethanol.

得られた白色ケーキは乾燥後、砕解してペロブ
スカイト型酸化物前駆体粉末とする。この段階で
の砕解は、後に続く〓焼に際して、適切な量の酸
素の流通を確保する上で重要である。なお、乾燥
ケーキは弱い磨砕力で容易に微粉化できるし、こ
の段階で粒子を完全分散状態にする必要もないの
で、砕解手段からの不純物の混入の恐れはない。
The obtained white cake is dried and then crushed to obtain a perovskite-type oxide precursor powder. Crushing at this stage is important in ensuring the flow of an appropriate amount of oxygen during the subsequent sintering. Note that the dry cake can be easily pulverized by a weak grinding force, and there is no need to completely disperse the particles at this stage, so there is no risk of contamination with impurities from the pulverizing means.

ペロブスカイト型酸化物微粉末の製造 前記前駆体粉末を適当温度、たとえば500−
1000℃、で〓焼する。この〓焼温度は低温である
ことが望ましいが、熱分解が完全に終了する温度
が化合物によつて異なるので、重量変化が最早認
められない温度で〓焼を行なうことが必要であ
る。
Production of perovskite type oxide fine powder The precursor powder is heated to an appropriate temperature, for example, 500-
Bake at 1000℃. It is desirable that the calcination temperature be low, but since the temperature at which thermal decomposition is completely completed varies depending on the compound, it is necessary to carry out the calcination at a temperature at which no weight change is observed.

本発明の評価 (1) 本発明で規定する塩素イオン濃度を超える溶
液から得られた前駆体粉末の空気中焼成パター
ンを示差熱重量分析によつて追跡すると、
PbTiO3の場合には熱分解の終了した温度以上
でも重量減少が認められ、700℃での重量減少
量は残存Cl量に比例している。
Evaluation of the present invention (1) When the in-air firing pattern of the precursor powder obtained from the solution exceeding the chloride ion concentration specified in the present invention was traced by differential thermogravimetric analysis,
In the case of PbTiO 3 , weight loss is observed even above the temperature at which thermal decomposition ends, and the amount of weight loss at 700°C is proportional to the amount of residual Cl.

一方、本発明の範囲内の塩素濃度では、結晶
転移点と思われる約500℃を超えた領域での重
量変化は実質上生じない。
On the other hand, at a chlorine concentration within the range of the present invention, there is virtually no weight change in the region above about 500°C, which is considered to be the crystal transition point.

すなわち、本発明の方法によれば、残存塩素
を除くための必要以上に高い〓焼温度をとる必
要がなく、目的とするペロブスカイト型酸化物
(及びそれらの固溶体)の結晶転移点を超えか
つ前駆体物質の分解温度以上の任意の温度で〓
焼することで結晶性に優れた微粉を得ることが
できる。
That is, according to the method of the present invention, there is no need to take an unnecessarily high calcination temperature to remove residual chlorine, and the temperature exceeds the crystal transition point of the target perovskite-type oxide (and their solid solution) and the precursor At any temperature above the decomposition temperature of body substances〓
By firing, a fine powder with excellent crystallinity can be obtained.

(2) 本発明で規定する塩素濃度に制御された前駆
体粉末を700〜800℃で〓焼して得た酸化物微粉
(例えばPbTiO3)を走査型電子顕微鏡で観察
したところ、微粒子が融着している微候は認め
られなかつた。さらに適当量の微粉を水中に投
じ、超音波洗浄器にて数十秒かけて懸濁液を
得、これをスポイトにて試料台に分散処理後の
電顕観察によつて、個々の微粒子が分離して存
在することが認められた。
(2) When we observed fine oxide powder (for example, PbTiO 3 ) obtained by calcining the precursor powder at 700 to 800°C with a controlled chlorine concentration as specified in the present invention using a scanning electron microscope, we found that the fine particles were fused. No signs of contamination were observed. Furthermore, an appropriate amount of fine powder was poured into water, and a suspension was obtained using an ultrasonic cleaner for several tens of seconds. After dispersing this on a sample stage using a dropper, electron microscopic observation revealed that individual fine particles were It was recognized that they exist separately.

一方、塩素濃度が規定値以上であるPbTiO3
粉末では700℃〓焼の段階で粒子があらゆると
ころで融着を起こしていることが観察され、
1000℃では視野全体に融着現象が認められた。
この粒子相互の融着は超音波分散によつても解
消できず、大半の粒子は懸濁状態にならず、超
音波をとめると直ちに沈降してしまい、わずか
に懸濁しているものも巨大な粒子融着体として
観察された。
On the other hand, PbTiO 3 whose chlorine concentration is above the specified value
In the case of powder, it was observed that particles were fused everywhere at the stage of firing at 700℃.
At 1000℃, a fusion phenomenon was observed throughout the visual field.
This fusion between particles cannot be resolved even by ultrasonic dispersion, and most of the particles do not become suspended, but immediately settle when the ultrasonic wave is stopped, and even those that are slightly suspended become huge particles. It was observed as a particle fused body.

すなわち本発明の方法によれば〓焼粒子間の
融着がなく、分散性に優れた微粉を得ることが
できる。
That is, according to the method of the present invention, there is no fusion between the calcined particles, and a fine powder with excellent dispersibility can be obtained.

(3) 本発明で規定する塩素濃度以下に制御した前
駆体粉末(例えばPbTiO3用)ではほぼ非晶質
に近いPb(C2O4)の回折ピークのみが得られる
が、規定値以上の塩素濃度からの前駆体粉末で
はPb(C2O4)の鋭い回折ピークが得られる他に
2θ=8.6°,17.2°,19.5°,22.7°,26.0°,29.7°
等の
位置に未同定の鋭いピークが観察された。
(3) Precursor powders (for example, for PbTiO 3 ) whose chlorine concentration is controlled below the chlorine concentration specified in the present invention can only obtain a diffraction peak of almost amorphous Pb (C 2 O 4 ); In addition to the sharp diffraction peak of Pb (C 2 O 4 ) obtained from the precursor powder based on the chlorine concentration,
2θ=8.6°, 17.2°, 19.5°, 22.7°, 26.0°, 29.7°
Unidentified sharp peaks were observed at these positions.

これらの事実から、本発明の方法によれば、
しゆう酸塩自体の非晶質化および微細化か著し
く助長される点に特長があり、この結果とし
て、結晶転移点を少し超えただけの低温での〓
焼によつても容易に高結晶性のペロブスカイト
型酸化物を得ることができるものと推定され
る。
From these facts, according to the method of the present invention,
It is characterized by the fact that it significantly promotes the amorphization and refinement of the oxalate itself, and as a result, it
It is presumed that a highly crystalline perovskite-type oxide can be easily obtained by calcination.

(4) 本発明の方法で得られる結晶化微粉末(例え
ばPbTiO3)の粒子径は、800℃焼成において
0.2μm,700℃焼成において0.15μmと従来の粉
砕法では到達し得ない小さなものである。本発
明によれば、これよりさらに粒子径分布が狭い
製品を得ることができる。
(4) The particle size of the crystallized fine powder (for example, PbTiO 3 ) obtained by the method of the present invention is
0.2μm, 0.15μm when fired at 700℃, which is too small to be achieved by conventional grinding methods. According to the present invention, a product having an even narrower particle size distribution can be obtained.

本発明方法で得られたペロブスカイト型酸化
物(及びそれらの固溶体)は、上記のような特
性を持つものであるところから、下記のような
応用ないし用途に供することができる。
Since the perovskite oxides (and solid solutions thereof) obtained by the method of the present invention have the above-mentioned properties, they can be used for the following applications.

(イ) チタン酸バリウム(BaTiO3)は、積層セ
ラミツクスコンデンサーの用途に用いること
ができる。金属アルコキシドから合成された
超微粒子BaTiO3を原料とする積層セラミツ
クスコンデンサーは実用化されているが、本
発明の方法によればアルコキシド法よりも簡
便な工程で結晶性の高い易分散性超微粒子を
得ることができるので、低コスト高性能の製
品を期待することができる。
(a) Barium titanate (BaTiO 3 ) can be used for multilayer ceramic capacitors. Multilayer ceramic capacitors using ultrafine particles of BaTiO 3 synthesized from metal alkoxides have been put into practical use, but the method of the present invention allows easily dispersible ultrafine particles with high crystallinity to be produced in a simpler process than the alkoxide method. Therefore, we can expect low-cost, high-performance products.

(ロ) PbTiO3,Pb(Zr・Ti)O3等の圧電性をも
つ素材は、例えば超音波診断装置、探傷計、
圧力センサー、ブザー、マイクロホン、スピ
ーカー、ステレオ用ピツクアツプ、圧電アク
チユエーターなどの用途に用いることができ
るし、ゴムやポリマーと複合化させて、血圧
計や広表面スピーカー等の用途にも用いるこ
とができる。ゴムやポリマーとの複合の場合
には複合後の焼成は不可能であるので、本発
明の高結晶性の易分散性超微粒子は薄膜化、
セラミツク含有量の向上等の要求にも対応し
得る適切な素材といえる。
(b) Piezoelectric materials such as PbTiO 3 and Pb(Zr・Ti)O 3 can be used, for example, in ultrasonic diagnostic equipment, flaw detectors,
It can be used in applications such as pressure sensors, buzzers, microphones, speakers, stereo pickups, and piezoelectric actuators, and when combined with rubber or polymers, it can also be used in applications such as blood pressure monitors and wide-surface speakers. can. In the case of composites with rubber or polymers, baking after composite is impossible, so the highly crystalline and easily dispersible ultrafine particles of the present invention can be made into thin films,
It can be said to be an appropriate material that can meet demands such as increased ceramic content.

実験例 実施例 1 市販のテトライソプロピルチタン200mlを蒸留
水2800mlに滴下して水酸化物を得、これを過し
た後、純水400mlで3回洗浄を繰返して、水酸化
チタンを得た。これを氷冷した市販特級濃硝酸80
mlに加え、昼夜放置後過して、オキシ硝酸チタ
ン溶液を得た。Ti濃度をTiO2として重量分析法
で決定して、0.1066g−Ti/mlの結果が得られ
た。オキシ硝酸チタン溶液19.7mlを特級硝酸鉛
13.2222gと純水184mlの混合溶液に加え、Ti/
Pb(原子比)=1.11の溶液を得て、これを1℃に冷
却した。この混合溶液中に想定されるチタン酸鉛
1モルに対して2.4モルに相当する量のしゆう酸
をエタノールに溶解させ1℃に冷却した。使用し
たエタノール量は、しゆう酸1モルに対し269モ
ルであつた。前記冷却溶液を激しく撹拌している
中に1.1ml/minの速度でしゆう酸エタノール溶
液を滴下して白色沈澱を得た。この白色沈澱を吸
引過して得た白色ケーキを480mlのエタノール
に撹拌分散させて過する操作を3回繰返して得
た白色ケーキを110℃で乾燥した後、メノウ乳鉢
で粉砕し、空気中で700℃で2時間焼成して、
BET表面積5.6m2/g,Pb/Ti(原子比)=1.00,
X線よりもとめられる結晶形は正方晶PbTiO3
あり、その202面回折ピークからもとめた結晶子
径416Å,BET表面積から求めた粒子径0.13μmの
特性をもつチタン酸鉛粉末を得た。
Experimental Examples Example 1 200 ml of commercially available tetraisopropyl titanium was added dropwise to 2800 ml of distilled water to obtain hydroxide. After this was filtered, washing was repeated three times with 400 ml of pure water to obtain titanium hydroxide. This is ice-cooled commercially available special grade concentrated nitric acid 80
ml, and after standing for day and night, it was filtered to obtain a titanium oxynitrate solution. The Ti concentration was determined gravimetrically as TiO 2 and a result of 0.1066 g-Ti/ml was obtained. Add 19.7ml of titanium oxynitrate solution to special grade lead nitrate.
In addition to the mixed solution of 13.2222g and 184ml of pure water, Ti/
A solution of Pb (atomic ratio) = 1.11 was obtained and cooled to 1°C. Oxalic acid in an amount equivalent to 2.4 mol per 1 mol of lead titanate assumed in this mixed solution was dissolved in ethanol and cooled to 1°C. The amount of ethanol used was 269 mol per 1 mol of oxalic acid. While the cooled solution was being vigorously stirred, the oxalic acid ethanol solution was added dropwise at a rate of 1.1 ml/min to obtain a white precipitate. The white cake obtained by suctioning and filtering this white precipitate was stirred and dispersed in 480 ml of ethanol, and the filtering procedure was repeated three times. Bake at 700℃ for 2 hours,
BET surface area 5.6m 2 /g, Pb/Ti (atomic ratio) = 1.00,
The crystal form determined by X-rays was tetragonal PbTiO 3 , and a lead titanate powder was obtained with a crystallite diameter of 416 Å determined from the 202 plane diffraction peak and a particle diameter of 0.13 μm determined from the BET surface area.

このチタン酸鉛粉末を走査型電子顕微鏡を用い
て観察したところ、0.1〜0.2μmの粒子の集合体が
認められた。さらに、このチタン酸鉛を水中で約
30秒、超音波洗浄器で振動を加えて懸濁させ、懸
濁液の一部をスポイトで電顕試料台におとした
後、乾燥し、通常の処理をおこなつた後に粒子状
態を観察した。0.1〜0.2μmの径をもつ粒子がよく
分散している状態が認められた。
When this lead titanate powder was observed using a scanning electron microscope, aggregates of particles of 0.1 to 0.2 μm were observed. Furthermore, this lead titanate was dissolved in water for approximately
Suspend by applying vibration in an ultrasonic cleaner for 30 seconds, place a portion of the suspension on an electron microscope sample stage with a dropper, dry, and observe the particle state after normal processing. did. It was observed that particles with a diameter of 0.1 to 0.2 μm were well dispersed.

実施例 2 四塩化チタン40mlを520mlの純水と40mlの濃塩
酸との混合液に溶解させ、そこへ296mlの市販ア
ンモニア水を滴下して水酸化物沈澱を生成させ、
これを過して水酸化チタンを得て、これを1000
mlの純水に分散させて洗浄し、これを過した。
この洗浄操作を3回繰返して得られた水酸化チタ
ン全量を氷冷した200mlの硝酸にゆるやかな撹拌
下で滴下してオキシ硝酸チタン溶液を得た。この
オキシ硝酸チタン溶液中のTi濃度をTiO2として
重量分析法で決定して、0.0251g−Ti/mlの結果
を得た。更に、このオキシ硝酸チタン溶液中の塩
素濃度を硝酸銀滴定法で定量して、Cl/Ti(原子
比)=0.02の結果を得た。
Example 2 40 ml of titanium tetrachloride was dissolved in a mixture of 520 ml of pure water and 40 ml of concentrated hydrochloric acid, and 296 ml of commercially available ammonia water was added dropwise thereto to form a hydroxide precipitate.
Through this process, titanium hydroxide is obtained, which is 1000
It was washed by dispersing it in 1 ml of pure water and filtered.
The entire amount of titanium hydroxide obtained by repeating this washing operation three times was added dropwise to 200 ml of ice-cooled nitric acid with gentle stirring to obtain a titanium oxynitrate solution. The Ti concentration in this titanium oxynitrate solution was determined as TiO 2 by gravimetric analysis, and a result of 0.0251 g-Ti/ml was obtained. Furthermore, the chlorine concentration in this titanium oxynitrate solution was determined by silver nitrate titration, and a result of Cl/Ti (atomic ratio) of 0.02 was obtained.

このオキシ硝酸チタン溶液31.4mlを採取し、次
いでTiに対して等モル量である5.4919gの市販特
級硝酸鉛を53.3mlの蒸留水に溶解して硝酸鉛水溶
液を作つて、これを先のオキシ硝酸チタン液と混
合し、混合液を2.4℃に冷却した。
Collect 31.4 ml of this titanium oxynitrate solution, then dissolve 5.4919 g of commercially available special grade lead nitrate, which is an equimolar amount to Ti, in 53.3 ml of distilled water to make a lead nitrate aqueous solution, and add this to the titanium oxynitrate solution. It was mixed with titanium nitrate solution, and the mixed solution was cooled to 2.4°C.

次に、この混合液中に想定されるチタン酸鉛1
モルに対して4.0モルに相当する量のしゆう酸を
エタノールに溶解させた。使用したエタノール量
は、しゆう酸1モルに対して169モルであつた。
このしゆう酸エタノール溶液を、2.4℃に冷却後
前記の冷却された混合液を激しく撹拌している中
に0.8ml/分の速度で滴下して、白色沈澱を得た。
この白色沈澱を吸引過して得た白色ケーキを
200mlのエタノールにて撹拌混合し、吸引過し
た。この操作を3回繰返した後に得られた白色ケ
ーキを、110℃で乾燥した後、粉砕し、空気中で
700℃で2時間〓焼して、BET表面積2.7m2/g,
X線回折より求めた結晶子径460Å(101面)、
BET表面積より求めた粒子径0.28μmの特性をも
つチタン酸鉛粉末を得た。
Next, the lead titanate 1 assumed in this mixed solution
Oxalic acid was dissolved in ethanol in an amount corresponding to 4.0 moles per mole. The amount of ethanol used was 169 mol per 1 mol of oxalic acid.
This oxalic acid ethanol solution was cooled to 2.4° C. and then added dropwise to the cooled mixture at a rate of 0.8 ml/min while stirring vigorously to obtain a white precipitate.
The white cake obtained by suctioning this white precipitate is
The mixture was stirred and mixed with 200 ml of ethanol and filtered by suction. After repeating this operation three times, the resulting white cake was dried at 110°C, crushed, and left in the air.
Baked at 700℃ for 2 hours, BET surface area 2.7m 2 /g,
Crystallite diameter 460 Å (101 planes) determined by X-ray diffraction,
A lead titanate powder with a particle size of 0.28 μm determined from the BET surface area was obtained.

このチタン酸鉛粉末を走査型電顕で観察したと
ころ、粒子同志の融着を認められなかつた。水中
での超音波分散によつて容易に粒子が分離するこ
とが認められた。
When this lead titanate powder was observed using a scanning electron microscope, no fusion of particles was observed. It was observed that the particles were easily separated by ultrasonic dispersion in water.

比較例 1 実施例2の方法と同様の方法で得た水酸化チタ
ンを洗浄することなく、硝酸に溶解させてオキシ
硝酸チタン水溶液を得た。このオキシ硝酸チタン
のTi濃度は0.0229g−Ti/mlであり、Cl/Ti(原
子比)は1.05であつた。
Comparative Example 1 Titanium hydroxide obtained in the same manner as in Example 2 was dissolved in nitric acid without washing to obtain a titanium oxynitrate aqueous solution. The Ti concentration of this titanium oxynitrate was 0.0229 g-Ti/ml, and the Cl/Ti (atomic ratio) was 1.05.

オキシ硝酸チタン溶液20.2mlを採取し、次いで
Tiに対して等モル量の3.2098gの市販特級硝酸鉛
を139mlの蒸留水に溶解して硝酸鉛溶液を作つて、
これを先のオキシ硝酸チタン溶液と混合し、混合
液を4.3℃に冷却した。
Take 20.2 ml of titanium oxynitrate solution and then
A lead nitrate solution was prepared by dissolving 3.2098 g of commercially available special grade lead nitrate, which is an equimolar amount to Ti, in 139 ml of distilled water.
This was mixed with the titanium oxynitrate solution, and the mixed solution was cooled to 4.3°C.

次に、このチタン酸鉛1モルに対して2.4モル
量のしゆう酸をエタノールに溶解させ、しゆう
酸/エタノール比を1/467モル/モルに設定し、
これを4.3℃に冷却した。このしゆう酸エタノー
ル溶液を前記の冷却混合液を激しく撹拌している
中に1.0ml/分の速度で滴下して白色沈澱を得た。
この白色沈澱を実施例2の方法で洗浄後110℃で
乾燥し、メノウ乳鉢で粉砕後空気中700℃で2時
間〓焼してBET表面積1.15m2/g,Pb/Ti(原子
比)=0.81,X線よりもとめた結晶形は正方晶
PbTiO3であり、その101面回折ピークからもと
めた結晶子径338Å,BET表面積から求めた粒子
径0.65μmの特性をもつチタン酸鉛粉末を得た。
Next, 2.4 mol of oxalic acid was dissolved in ethanol per 1 mol of lead titanate, and the oxalic acid/ethanol ratio was set to 1/467 mol/mol.
This was cooled to 4.3°C. This oxalic acid ethanol solution was added dropwise to the above-mentioned cooled mixture at a rate of 1.0 ml/min while stirring vigorously to obtain a white precipitate.
This white precipitate was washed by the method of Example 2, dried at 110°C, crushed in an agate mortar, and then calcined in air at 700°C for 2 hours to obtain a BET surface area of 1.15 m 2 /g, Pb/Ti (atomic ratio) = 0.81, the crystal shape determined from X-rays is tetragonal
A lead titanate powder was obtained which is PbTiO 3 and has a crystallite diameter of 338 Å determined from its 101-plane diffraction peak and a particle diameter of 0.65 μm determined from its BET surface area.

このチタン酸鉛粉末を走査型電子顕微鏡を用い
て観察したところ、粒径が5μm前後の粒子が相互
に融着している状況が特徴的に認められた。超音
波分散によつてもこの融着はまつたく解消されな
いことが観察された。
When this lead titanate powder was observed using a scanning electron microscope, it was found that particles with a particle size of around 5 μm were fused together. It was observed that even ultrasonic dispersion did not completely eliminate this fusion.

Claims (1)

【特許請求の範囲】 1 ABO3型ペロブスカイト型酸化物(ただし、
AはBa,Sr,CaおよびPbからなる群から選ばれ
た少なくとも1種の元素を示し、BはTiおよび
Zrからなる群から選ばれた少なくとも1種の元
素を示す)を構成すべき元素のイオンを含む水溶
液ないし含エタノール水溶液をエタノールの存在
下にシユウ酸と接触させて該酸化物の前駆体の沈
澱を生成させ、この前駆体沈殿を熱分解して該酸
化物を製造する方法において、該水溶液ないし含
エタノール水溶液として塩素イオンがB元素1原
子当り0.05原子以上含まれないものを使用するこ
とを特徴とする、ペロブスカイト型酸化物の製造
法。 2 B元素としてのTiのイオンをチタンアルコ
キシドの加水分解による水酸化チタンの生成およ
びこの水酸化チタンの硝酸への溶解によつて調製
し、Tiのイオン以外のイオンを各元素の塩化物
以外の塩から供給することによつて、塩素イオン
がB元素1原子当り0.05原子以上含まれない前記
水溶液ないし含エタノール水溶液を得る、特許請
求の範囲第1項に記載の方法。 3 塩化物以外の塩が硝酸塩である、特許請求の
範囲第2項に記載の方法。 4 B元素としてのTiのイオンをチタン塩化物
の加水分解による水酸化チタンの生成およびこの
水酸化チタンの硝酸への溶解によつて調製し、
Tiのイオン以外のイオンを各元素の塩化物以外
の塩から供給し、上記水酸化チタンを洗浄して塩
素イオンを除去することによつて、塩素イオンが
B元素1原子当り0.05原子以上含まれない前記水
溶液ないし含エタノール水溶液を得る、特許請求
の範囲第1項に記載の方法。 5 塩化物以外の塩が硝酸塩である、特許請求の
範囲第4項に記載の方法。
[Claims] 1 ABO 3 type perovskite oxide (however,
A represents at least one element selected from the group consisting of Ba, Sr, Ca and Pb, and B represents Ti and
At least one element selected from the group consisting of Zr) is brought into contact with an aqueous solution containing ions of an element or an aqueous solution containing ethanol with oxalic acid in the presence of ethanol to precipitate a precursor of the oxide. The method for producing the oxide by thermally decomposing the precursor precipitate is characterized in that the aqueous solution or ethanol-containing aqueous solution does not contain 0.05 or more chlorine ions per atom of B element. A method for producing perovskite-type oxides. 2. Ti ions as element B were prepared by hydrolyzing titanium alkoxide to generate titanium hydroxide and dissolving this titanium hydroxide in nitric acid, and ions other than Ti ions were prepared by adding ions other than chlorides of each element. 2. The method according to claim 1, wherein the aqueous solution or ethanol-containing aqueous solution containing no more than 0.05 atoms of chlorine ions per atom of B element is obtained by supplying from a salt. 3. The method according to claim 2, wherein the salt other than chloride is a nitrate. 4. Prepare Ti ions as element B by hydrolyzing titanium chloride to generate titanium hydroxide and dissolving this titanium hydroxide in nitric acid,
By supplying ions other than Ti ions from salts other than chlorides of each element and washing the titanium hydroxide to remove chlorine ions, 0.05 or more chlorine ions are contained per atom of B element. The method according to claim 1, wherein the aqueous solution or ethanol-containing aqueous solution is obtained. 5. The method according to claim 4, wherein the salt other than chloride is a nitrate.
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