JPH05231885A - Fluidic flowmeter - Google Patents

Fluidic flowmeter

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Publication number
JPH05231885A
JPH05231885A JP3660892A JP3660892A JPH05231885A JP H05231885 A JPH05231885 A JP H05231885A JP 3660892 A JP3660892 A JP 3660892A JP 3660892 A JP3660892 A JP 3660892A JP H05231885 A JPH05231885 A JP H05231885A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pressure sensor
differential pressure
signal
sound pressure
fluidic
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP3660892A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Hikari Hirano
光 平野
Masashi Nishigaki
雅司 西垣
Masamichi Ipponmatsu
正道 一本松
Masahide Tsujishita
正秀 辻下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Osaka Gas Co Ltd
Original Assignee
Osaka Gas Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Osaka Gas Co Ltd filed Critical Osaka Gas Co Ltd
Priority to JP3660892A priority Critical patent/JPH05231885A/en
Publication of JPH05231885A publication Critical patent/JPH05231885A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To detect only a flow signal without being affected by sound pressure and vibration by subtracting the sound pressure signal of a sound pressure sensor and small differential pressure signal of a small differential pressure sensor. CONSTITUTION:On a fluidic flowmeter body, a small differential pressure sensor 14 and a sound pressure sensor 16 are provided. A differential amplifier 22 is provided to detect flowrate signal C by subtracting the small differential pressure signal A of the small differential pressure sensor 14 and the sound pressure signal B of the sound pressure sensor 16.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ガスや液体の流体の流
量を計測するフルイディック流量計に関するものであ
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a fluidic flow meter for measuring the flow rate of gas or liquid fluid.

【0002】[0002]

【従来の技術】フルイディック流量計の流体が流れ込む
本体の構造は、一般的に下記のような構造となっている
(特開昭63−313018号等)。
2. Description of the Related Art The structure of a main body into which a fluid of a fluidic flow meter flows is generally as follows (Japanese Patent Laid-Open No. 63-313018).

【0003】すなわち、管路縮小部に、噴射ノズル及び
管路拡大部をその順に流動方向に連ねて形成し、前記噴
射ノズルと管路拡大部の境界部に、一対の制御ノズル
を、前記噴射ノズルの噴射方向に対してほぼ直角方向に
向かって、かつ、相対向して形成し、前記両制御ノズル
のそれぞれと前記管路拡大部の下流側を接続する一対の
帰還流路を形成し、前記管路拡大部における流動方向切
換えの安定化のために、ターゲットを設けている。
That is, an injection nozzle and a pipe expanding portion are formed in the pipe contracting portion in that order in the flow direction, and a pair of control nozzles are provided at the boundary between the injection nozzle and the pipe expanding portion. Toward a direction substantially perpendicular to the injection direction of the nozzle, and formed to face each other, to form a pair of return flow passages connecting each of the control nozzles and the downstream side of the conduit expansion portion, A target is provided in order to stabilize the switching of the flow direction in the enlarged pipe section.

【0004】そして、前記噴射ノズルからの噴流の流動
方向変換に起因する圧力変化を検出するために、本体の
噴射ノズル付近の上面に微差圧センサを設けている。
A fine differential pressure sensor is provided on the upper surface of the main body in the vicinity of the injection nozzle in order to detect a pressure change due to the change in the flow direction of the jet flow from the injection nozzle.

【0005】この微差圧センサ100によって検出した
微差圧信号Aを、図4のブロック図に示すように、バン
ドパスフィルタ102とシュミットトリガー素子104
を通して、カウンタ106に直接計測させ、このカウン
タ106に計測した計測数を表示計108に表示してい
る。すなわち、流量に比例した微差圧信号Aの周波数の
中で、バンドパスフィルタ102とシュミットトリガー
素子104によって測定範囲外の周波数分を除去した上
でカウンタ106によってその周波数を測定し、その周
波数を流量に換算して表示計108に表示している。
The fine differential pressure signal A detected by the fine differential pressure sensor 100 is converted into a bandpass filter 102 and a Schmitt trigger element 104 as shown in the block diagram of FIG.
Through, the counter 106 is directly measured, and the number of measurements measured by the counter 106 is displayed on the display 108. That is, in the frequency of the slight differential pressure signal A proportional to the flow rate, the bandpass filter 102 and the Schmitt trigger element 104 remove the frequency component outside the measurement range, and then the counter 106 measures the frequency. It is converted into a flow rate and displayed on the display 108.

【0006】これにより、フルイディック流量計の本体
に流入した流体の流量をデジタル的にカウントできる。
As a result, the flow rate of the fluid flowing into the main body of the fluidic flow meter can be digitally counted.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】上記従来のフルイディ
ック流量計の流量の測定のやり方においては、微差圧セ
ンサ100によって測定される微差圧信号Aの測定範囲
内の周波数成分に、外部からの音や振動等のノイズが入
り、それがそのままバンドパスフィルタ102とシュミ
ットトリガー素子104を通り、カウンタ106によっ
てカウントされるという問題点があった。特に、フルイ
ディック流量計の本体の外から入ってくる音に対して微
差圧センサ100が反応してノイズを増大させるという
問題点があった。
In the conventional method of measuring the flow rate of the fluidic flow meter, the frequency component within the measurement range of the fine differential pressure signal A measured by the fine differential pressure sensor 100 is externally applied. However, there is a problem in that noise such as noise and vibration enters, and the noise directly passes through the bandpass filter 102 and the Schmitt trigger element 104 and is counted by the counter 106. In particular, there is a problem that the fine differential pressure sensor 100 reacts to a sound coming from outside the main body of the fluidic flow meter to increase noise.

【0008】[0008]

【発明の目的】そこで、本発明は上記問題点に鑑み、フ
ルイディック流量計の本体に取付けられている微差圧セ
ンサの微差圧信号に外部からの音や振動によるノイズが
入っても、必要とするガスや液体の流量のみ計測できる
フルイディック流量計を提供するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION In view of the above problems, the present invention has been made in view of the above problems, even if external noise or vibration noise is included in the fine differential pressure signal of the fine differential pressure sensor attached to the body of the fluidic flow meter. It is intended to provide a fluidic flow meter that can measure only the flow rate of a required gas or liquid.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明のフルイディック
流量計は、フルイディック流量計の本体に微差圧センサ
と音圧センサとを設け、微差圧センサの微差圧信号と音
圧センサの音圧信号とを減算して流量信号を検出する減
算手段を設けたものである。
A fluidic flowmeter of the present invention is provided with a fine differential pressure sensor and a sound pressure sensor in a main body of the fluidic flowmeter, and a fine differential pressure signal and a sound pressure sensor of the fine differential pressure sensor are provided. The subtracting means for detecting the flow rate signal by subtracting the sound pressure signal of the above is provided.

【0010】[0010]

【作 用】上記構成のフルイディック流量計であると、
微差圧センサによって検知された微差圧信号にのってい
る音圧や振動によるノイズを押圧センサの音圧信号によ
って減算して、これらノイズ分を除去し、必要な微差圧
信号のみを検出する。
[Operation] With the fluidic flow meter with the above configuration,
The noise due to the sound pressure and vibration on the slight differential pressure signal detected by the slight differential pressure sensor is subtracted by the sound pressure signal of the pressure sensor to remove these noise components, and only the necessary slight differential pressure signal is obtained. To detect.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説
明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0012】図1は、本発明の一実施例を示すフルイデ
ィック流量計10の本体12の横断面図である。この本
体12は、本体12の流体入口側にある管路縮小部2
に、噴射ノズル3及び管路拡大部5をその順に流動方向
に連ねて形成する。そして、噴射ノズル3と管路拡大部
5の境界部に一対の制御ノズル6a,6bを、前記噴射
ノズルの噴射方向に対してほぼ直角に向かって、かつ、
相対向して一対形成する。また、前記両制御ノズル6
a,6bのそれぞれと前記管路拡大部5の下流側を接続
する一対の帰還流路7a,7bを形成する。さらに、管
路拡大部5における流量方向切換え安定化のためのター
ゲット8を設ける。
FIG. 1 is a cross-sectional view of a body 12 of a fluidic flowmeter 10 showing an embodiment of the present invention. The main body 12 includes a conduit reducing portion 2 on the fluid inlet side of the main body 12.
First, the injection nozzle 3 and the conduit enlarged portion 5 are formed in that order in the flow direction. A pair of control nozzles 6a and 6b are provided at the boundary between the injection nozzle 3 and the duct expanding portion 5 so as to extend substantially at right angles to the injection direction of the injection nozzle, and
A pair is formed facing each other. In addition, both control nozzles 6
A pair of return flow paths 7a and 7b are formed to connect the respective a and 6b to the downstream side of the expanded pipe section 5. Further, a target 8 is provided for stabilizing the flow direction switching in the expanded pipe section 5.

【0013】符号14は、本体12の上面に取付けられ
た微差圧センサである。この微差圧センサ14は、制御
ノズル6a,6bの基部に位置するように一対の検出管
14a,14bが取付けられており、噴射ノズル3から
の噴流の流動方向変化に起因する微差圧変化、すなわ
ち、一対の検出管14a,14bの間の圧力差を微差圧
センサ14内部の圧電フィルムで検出し、電気信号であ
る微差圧信号Aに変換して出力する。
Reference numeral 14 is a slight differential pressure sensor mounted on the upper surface of the main body 12. The fine differential pressure sensor 14 is provided with a pair of detection tubes 14a and 14b so as to be located at the bases of the control nozzles 6a and 6b, and the fine differential pressure change caused by the change in the flow direction of the jet flow from the injection nozzle 3 That is, the pressure difference between the pair of detection tubes 14a and 14b is detected by the piezoelectric film inside the fine differential pressure sensor 14, and is converted into a fine differential pressure signal A which is an electric signal and output.

【0014】符号16は、マイクロフォン等の音圧セン
サであって、微差圧センサ14の検出管14aの近傍に
取付けられている。音圧センサ16は、微差圧センサ1
4の検出管14aの近傍における音や振動を検出する。
Reference numeral 16 denotes a sound pressure sensor such as a microphone, which is attached near the detection tube 14a of the slight differential pressure sensor 14. The sound pressure sensor 16 is a slight differential pressure sensor 1.
The sound and vibration near the detection tube 14a of No. 4 are detected.

【0015】次に、本実施例の電気系統のブロック図に
ついて図2に基づいて説明する。
Next, a block diagram of the electric system of this embodiment will be described with reference to FIG.

【0016】符号18は、微差圧センサ14から出力さ
れた微差圧信号Aを増幅するアンプである。
Reference numeral 18 is an amplifier for amplifying the fine differential pressure signal A output from the fine differential pressure sensor 14.

【0017】符号20は、音圧センサ16から出力され
た音圧信号Bを補正及び増幅する補正アンプである。こ
の補正アンプ20は、本体12に流れ込む流量が0の時
に、微差圧センサ14の外部の音や振動に対する特性曲
線をあらかじめ音圧信号B側でキャンセルする働きをし
ており、これにより、音圧信号Bと微差圧信号Aとを後
述するように減算した場合に、微差圧センサ14の微差
圧信号Aは、流量が0の時の音や振動に影響されずに本
体12に流れ込む流量のみに反応するようになる。
Reference numeral 20 is a correction amplifier for correcting and amplifying the sound pressure signal B output from the sound pressure sensor 16. When the flow rate flowing into the main body 12 is 0, the correction amplifier 20 has a function of previously canceling the characteristic curve for the external sound and vibration of the slight differential pressure sensor 14 on the sound pressure signal B side. When the pressure signal B and the small differential pressure signal A are subtracted as described later, the small differential pressure signal A of the small differential pressure sensor 14 is transmitted to the main body 12 without being affected by the sound and vibration when the flow rate is zero. It only responds to the flow rate flowing in.

【0018】符号22は、アンプ18から出力された微
差圧信号Aと、補正アンプ20から出力された音圧信号
Bとの差を取る差動アンプである。この差動アンプ22
は、微差圧信号Aにのっている音圧や振動によるノイズ
を、音圧センサ16によって検出された音圧信号Bによ
って減算し、微差圧信号Aにおける本来の流量に関する
周波数のみを取出して流量信号Cを出力する。
Reference numeral 22 is a differential amplifier that takes the difference between the slight differential pressure signal A output from the amplifier 18 and the sound pressure signal B output from the correction amplifier 20. This differential amplifier 22
Subtracts noise due to sound pressure or vibration on the slight differential pressure signal A by the sound pressure signal B detected by the sound pressure sensor 16 and extracts only the frequency related to the original flow rate in the slight differential pressure signal A. And outputs a flow rate signal C.

【0019】以上のフルイディック流量計10である
と、差動アンプ22によって、微差圧信号Aに乗ってい
る音や振動のノイズを、音圧信号Bによって減算して、
流量によってのみ検出された周波数のみを有する流量信
号Cを取出すことができるため、従来のフルイディック
流量計のように、音圧や振動によるノイズがカウントさ
れたりすることがない。
In the above fluidic flow meter 10, the differential amplifier 22 subtracts the sound pressure signal B from the noises of the sound and vibrations on the slight differential pressure signal A,
Since the flow rate signal C having only the frequency detected only by the flow rate can be taken out, noise due to sound pressure or vibration is not counted unlike the conventional fluidic flowmeter.

【0020】そして、差動アンプ22から出力された流
量信号Cは、従来の図4のブロック図と同じように、バ
ンドパスフィルタ102及びシュミットトリガ−素子1
04を経てカウンタ106でカウントされ、ノイズのな
い流量が表示計108によって表示される。
The flow rate signal C output from the differential amplifier 22 is the bandpass filter 102 and the Schmitt trigger element 1 as in the conventional block diagram of FIG.
After 04, it is counted by the counter 106, and the flow rate without noise is displayed by the indicator 108.

【0021】図3は、本実施例のフルイディック流量計
10と、従来のフルイディック流量計とを使用して、流
量のカウント数が1%以下の誤差になるのに必要な平均
時間(以下,単に平均時間という。)を計測した実験の
対称表である。
FIG. 3 shows the average time (hereinafter referred to as the average time) required for the flow count to have an error of 1% or less using the fluidic flowmeter 10 of this embodiment and a conventional fluidic flowmeter. , Which is simply called the average time).

【0022】本実験の場合に、ノイズとして、大きさ6
0dBであり、周波数10Hz、30Hz、100Hz
の3種類で実験し、それぞれの平均時間を本実施例と従
来のフルイディック流量計で測定した。
In the case of this experiment, the size of noise is 6
0 dB, frequency 10 Hz, 30 Hz, 100 Hz
The experiment was conducted with three types, and the average time of each was measured by this example and the conventional fluidic flowmeter.

【0023】これによると、従来のフルイディック流量
計であると、周波数が10Hzの場合には平均時間が3
秒かかっていたものが、本実施例のフルイディック流量
計10であると0.7秒に下がり、30Hzの場合には
平均時間が1秒であったのが0.25秒となり、100
Hzの場合には平均時間が0.2秒であったのが0.1
秒となっている。したがって、平均時間が半分以下に短
縮され、常にリアルタイムで1%以下の誤差の流量をカ
ウントすることができ、誤表示が減少する。
According to this, in the conventional fluidic flowmeter, the average time is 3 when the frequency is 10 Hz.
It took 0.7 seconds for the fluidic flowmeter 10 of the present embodiment to decrease to 0.7 seconds, and for 30 Hz, the average time was 1 second, which was 0.25 seconds.
In the case of Hz, the average time was 0.2 seconds but 0.1
Seconds. Therefore, the average time is reduced to half or less, the flow rate with an error of 1% or less can always be counted in real time, and erroneous display is reduced.

【0024】本実施例のフルイディック流量計10は、
上記により主として燃料ガスや水道等の工業用,家庭用
の流量計として好適であるが、これに限定されるもので
はない。
The fluidic flow meter 10 of this embodiment is
As described above, the flowmeter is suitable mainly for industrial gas such as fuel gas and water, and for household use, but is not limited thereto.

【0025】なお、フルイディック流量計10の本体1
2の構造は、あくまでも一実施例を示したものであり、
これに限定されるものではない。
The main body 1 of the fluidic flow meter 10
The structure of 2 is just an example,
It is not limited to this.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上により、本発明のフルイディック流
量計であると、音圧センサの音圧信号により、微差圧セ
ンサの微差圧信号を減算して、流量に比例したより正確
な周波数の微差圧信号を取出すことができる。
As described above, according to the fluidic flowmeter of the present invention, the fine differential pressure signal of the fine differential pressure sensor is subtracted from the sound pressure signal of the sound pressure sensor to obtain a more accurate frequency proportional to the flow rate. Can be obtained.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】フルイディック流量計本体の横断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view of a fluidic flow meter main body.

【図2】本発明のフルイディック流量計のブロック図で
ある。
FIG. 2 is a block diagram of a fluidic flow meter of the present invention.

【図3】従来のフルイディック流量計と本実施例の流量
計のカウント数が1%以下の誤差になる平均時間を比較
した対照表である。
FIG. 3 is a comparison table comparing the average time in which the count number between the conventional fluidic flowmeter and the flowmeter of the present embodiment has an error of 1% or less.

【図4】従来のフルイディック流量計のブロック図であ
る。
FIG. 4 is a block diagram of a conventional fluidic flow meter.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10……フルイディック流量計 12……本体 14……微差圧センサ 16……音圧センサ 18……アンプ 20……補正アンプ 22……差動アンプ 10 ... Fluidic flowmeter 12 ... Main body 14 ... Fine differential pressure sensor 16 ... Sound pressure sensor 18 ... Amplifier 20 ... Correction amplifier 22 ... Differential amplifier

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 辻下 正秀 大阪市中央区平野町四丁目1番2号 大阪 瓦斯株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Masahide Tsujishita 4-1-2, Hiranocho, Chuo-ku, Osaka City Osaka Gas Co., Ltd.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】フルイディック流量計の本体に微差圧セン
サと音圧センサとを設け、 微差圧センサの微差圧信号と音圧センサの音圧信号とを
減算して流量信号を検出する減算手段を設けたことを特
徴とするフルイディック流量計。
1. A flow differential signal is detected by providing a fine differential pressure sensor and a sound pressure sensor in the body of a fluidic flow meter, and subtracting the fine differential pressure signal of the fine differential pressure sensor and the sound pressure signal of the sound pressure sensor. A fluidic flow meter characterized by being provided with subtraction means for
JP3660892A 1992-02-24 1992-02-24 Fluidic flowmeter Pending JPH05231885A (en)

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JP3660892A JPH05231885A (en) 1992-02-24 1992-02-24 Fluidic flowmeter

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013534859A (en) * 2010-06-09 2013-09-09 エンパイア テクノロジー ディベロップメント エルエルシー Adjustable pressure microreactor

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