JPH05231598A - Gas filling container - Google Patents
Gas filling containerInfo
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- JPH05231598A JPH05231598A JP6924792A JP6924792A JPH05231598A JP H05231598 A JPH05231598 A JP H05231598A JP 6924792 A JP6924792 A JP 6924792A JP 6924792 A JP6924792 A JP 6924792A JP H05231598 A JPH05231598 A JP H05231598A
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- Filling Or Discharging Of Gas Storage Vessels (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、ガス充填容器の構造に
関するもので、特に該容器の取り扱い、保管等における
安全性の確保、口金部の腐蝕汚染などを防ぐために使用
されるものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the structure of a gas filled container, and more particularly, it is used for ensuring safety in handling, storage, etc. of the container and for preventing corrosion contamination of the mouthpiece.
【０００２】[0002]
【従来の技術】シランガス（Ｓi Ｈ4 ）等の気化ガス及
び蒸気圧の低いガスを充填する容器は、広く一般に使用
されている。その従来の構成について図４を参照して説
明する。2. Description of the Related Art A container for filling a vaporized gas such as silane gas (Si H 4 ) and a gas having a low vapor pressure is widely used. The conventional configuration will be described with reference to FIG.
【０００３】図４において、ガス充填容器を大別する
と、材料ガスを充填する容器本体１と、元栓部２０とに
大別される。元栓部２０は、吐出ガスを開閉する元栓バ
ルブ２と、容器本体１に材料ガスを充填したとき、内部
圧力が所定の耐圧値を越えた場合に作動する安全弁３
と、通常ガスの吐出口となる口金部４とが、設けられて
いる。口金部４は、その外側に、使用ガスの種類により
左ねじ、または右ねじ等のねじ溝５が切ってあり、口金
部４へのパーティクル等の付着を防ぐため、パッキング
７を介して簡単なメクラキャップ６が取り付けられてい
る。さらに運搬時の安全のために、元栓部２０の全体を
覆う保護キャップ８が取り付けられている。In FIG. 4, the gas filling containers are roughly classified into a container body 1 for filling the material gas and a main plug portion 20. The main stopper part 20 includes a main stopper valve 2 that opens and closes a discharge gas, and a safety valve 3 that operates when the internal pressure exceeds a predetermined pressure resistance value when the container body 1 is filled with a material gas.
And a cap portion 4 serving as a normal gas discharge port. A screw groove 5 such as a left-hand screw or a right-hand screw is cut on the outside of the mouthpiece portion 4 depending on the type of gas used, and in order to prevent particles and the like from adhering to the mouthpiece portion 4, a simple packing 7 is used. The blind cap 6 is attached. Further, for safety during transportation, a protective cap 8 that covers the entire main plug portion 20 is attached.
【０００４】図４のガス充填容器（ボンベまたはボンベ
容器とも呼ぶ）に充填する材料ガスとして、シランガス
（Ｓi Ｈ4 ）の場合について説明する。元栓部２０の口
金部４には、通常左ねじ用の溝５が切ってあり、それに
あったメクラキャップ６と前記保護キャップ８で該元栓
部全体が覆われている。A case where silane gas (Si H 4 ) is used as a material gas to fill the gas filling container (also called a cylinder or a cylinder container) shown in FIG. 4 will be described. A groove 5 for a left screw is usually cut in the mouthpiece portion 4 of the main plug portion 20, and the entire main plug portion is covered with a blind cap 6 and the protective cap 8 which are provided therein.
【０００５】一般にボンベを使用するユーザーにおいて
は、こうしたボンベ容器は、専用の保管庫に貯蔵するこ
とが法令で決められており、使用に当たっては、この保
管庫から所望の使用箇所までボンベを運搬、製造装置に
接続されたボンベストッカーと言われる保管庫にボンベ
を設置する。次にボンベ容器をガス供給ラインと接続す
るために、保護キャップ８を外し、アルコールを浸した
ウエス等で、ボンベ容器に付いた汚れを落とすためクリ
ーニングを実施する。ここで作業者は、元栓バルブ２が
緩まぬようにして、口金部４等までクリーニングを行な
うが、万一作業ミスにより、元栓バルブ２が緩んでしま
った場合には、メクラキャップ６が付いていても、それ
はパーティクルが口金部４内に入らないようにすること
が目的で、ガスの密閉については考慮されていないの
で、シランガス（Ｓi Ｈ4 ）が外部に吐出されることに
なる。ここで起きる問題は、危険なガスが漏れることに
加えて、口金部４に留まっている大気９との反応によ
り、発火もしくはシリカ系（Ｓi Ｏ2 ）粉が大量に発生
し、口金部４を汚染することにつながる。Generally, for users who use a cylinder, it is stipulated by law that such a cylinder container should be stored in a dedicated storage box. In use, the cylinder is transported from this storage box to a desired use location. A cylinder is installed in a storage box called a bomb stocker connected to the manufacturing equipment. Next, in order to connect the cylinder container to the gas supply line, the protective cap 8 is removed, and cleaning is performed with a waste cloth soaked in alcohol to remove the dirt attached to the cylinder container. Here, the worker cleans the mouthpiece part 4 etc. so that the main plug valve 2 does not come loose, but if the main plug valve 2 becomes loose due to a mistake in work, the blind cap 6 is attached. However, the purpose thereof is to prevent particles from entering the mouthpiece part 4, and since the gas sealing is not taken into consideration, the silane gas (Si H 4 ) is discharged to the outside. The problem that occurs here is that, in addition to leaking dangerous gas, reaction with the atmosphere 9 remaining in the base 4 causes ignition or a large amount of silica-based (SiO 2 ) powder, which causes the base 4 to It leads to pollution.
【０００６】他の例として、液化ガスが充填された場合
では、上記例に加えて、腐蝕性が高い例えばジクロルシ
ラン（Ｓi Ｈ2 Ｃl 2 ）等のガスでは、メクラキャップ
６をしていても、保管時に口金部４の腐蝕が進むことは
避けられず、それはガス供給系を汚すことにつながる。As another example, in the case of being filled with a liquefied gas, in addition to the above example, even if the gas such as dichlorosilane (Si H 2 Cl 2 ) having high corrosiveness is used, Corrosion of the mouthpiece 4 during storage is inevitable, which leads to contamination of the gas supply system.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】これまで述べたよう
に、、シランガス等の材料ガスを充填した従来のボンベ
容器では、取り扱い中のミス等により元栓バルブが緩
み、充填ガスの一部が、口金部内に漏出すると、メクラ
キャップがしてあっても、外部にシランガス等が吐出さ
れたり、口金部内に留まる大気と作用して発火したり、
シリカ系粉が大量に発生して口金部を汚染したり、ある
いは腐蝕性の有害物質を生成したりする課題があった。As described above, in the conventional cylinder container filled with the material gas such as silane gas, the main stopper valve is loosened due to a mistake in handling, and a part of the filled gas is changed to the mouthpiece. If it leaks into the part, even if it has a blind cap, silane gas or the like will be discharged to the outside, or it will act on the atmosphere remaining in the base part and ignite,
There is a problem that a large amount of silica-based powder is generated to contaminate the die part or generate a corrosive harmful substance.
【０００８】本発明は、これらの課題に鑑みなされたも
ので、シランガス等の気化ガス及び低蒸気圧の材料ガス
を充填するガス充填容器において，メクラキャップをし
た状態で取り扱い等のミスにより元栓バルブが緩み、口
金部内に充填ガスの一部が漏出しても、外部に吐出され
たり、口金部内に留まる大気と作用して発火したり、口
金部を汚染したり、さらには口金部やガス供給系を腐蝕
させたりすることのないガス充填容器を提供することを
目的とする。The present invention has been made in view of these problems, and in a gas filling container filled with a vaporized gas such as silane gas and a material gas having a low vapor pressure, the main plug valve due to an error in handling in a state where a blind cap is used Even if some of the filling gas leaks into the mouthpiece, it is discharged to the outside, ignites by working with the atmosphere remaining in the mouthpiece, contaminating the mouthpiece, and even supplying the mouthpiece and gas. An object is to provide a gas-filled container that does not corrode the system.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明のガス充填容器
は、材料ガスを充填する容器本体と、ガスの吐出口とな
る口金部と、容器本体と口金との間に設けられ吐出ガス
を開閉する元栓バルブとを有するガス充填容器におい
て、口金部を気密に封止するキャップを備え、該キャッ
プ内に、密封された口金部内及びキャップ内の雰囲気中
の水分及び酸素を除去できる吸着材と、容器に充填され
た材料ガスと同種のガスを除去できる吸着材とのうちい
ずれか一方または両方の吸着材を、具備せしめたことを
特徴とするものである。A gas filling container according to the present invention is provided with a container body for filling a material gas, a mouthpiece portion serving as a gas outlet, and opening and closing the outlet gas provided between the container body and the mouthpiece. In a gas-filled container having a main stopper valve, a cap that hermetically seals the mouthpiece portion is provided, and in the cap, an adsorbent that can remove water and oxygen in the atmosphere in the sealed mouthpiece portion and the cap, One or both of the material gas filled in the container and the adsorbent capable of removing the same kind of gas are provided.
【００１０】[0010]
【作用】口金部を気密に封止するキャップを備えたの
で、取り扱い、保管中のミス等により元栓バルブが緩
み、充填ガスが口金部に漏洩した場合でも、有害なガス
が外部に吐出されることはない。さらにキャップ内部に
水分、酸素及び充填ガスを吸着除去できる吸着材を封入
したので、気密封止された口金部内とキャップ内部の雰
囲気は、例えば窒素ガスを主成分とする安全なガスに変
換され、充填ガスが漏洩してもこれとほとんど反応せ
ず、口金部を汚染したり、腐蝕したりすることがなく、
またガス供給ラインに接続する等再解放時の危険性を著
しく軽減できる。[Function] Since the cap is hermetically sealed, harmful gas is discharged to the outside even if the main valve is loosened due to a mistake during handling or storage and the filling gas leaks to the cap. There is no such thing. Further, since an adsorbent capable of adsorbing and removing water, oxygen and a filling gas is enclosed inside the cap, the atmosphere inside the hermetically sealed base portion and inside the cap is converted to a safe gas containing nitrogen gas as a main component, for example. Even if the filling gas leaks, it hardly reacts with this, it does not contaminate or corrode the base,
In addition, the danger at the time of re-release such as connecting to the gas supply line can be remarkably reduced.
【００１１】[0011]
【実施例】図１は、本発明の第１実施例で、キャップ内
に、大気中の水分や酸素等の成分を除去できる吸着材を
付加したガス充填容器の元栓部の概略断面図である。同
図において、図４と同符号は、同じ部分をあらわす。キ
ャップ（メクラキャップともいう）１６は、口金部１４
のねじ溝１５に、シールパッキング１７を介して、ねじ
込まれ、口金部１４を気密に封止する。メクラキャップ
１６には、気密雰囲気部１９の水分や酸素等の成分を吸
着除去できる吸着材１８が封入されている。1 is a schematic cross-sectional view of a main plug portion of a gas filling container in which an adsorbent capable of removing components such as moisture and oxygen in the atmosphere is added to the cap in the first embodiment of the present invention. .. In the figure, the same reference numerals as those in FIG. 4 represent the same parts. The cap (also referred to as a blind cap) 16 is a cap portion 14
It is screwed into the screw groove 15 of FIG. 1 through the seal packing 17 to hermetically seal the base portion 14. An adsorbent 18 capable of adsorbing and removing components such as water and oxygen in the airtight atmosphere portion 19 is enclosed in the blind cap 16.
【００１２】図１において、容器本体１に材料ガス、例
えばシランガス（Ｓi Ｈ4 ）を充填した後、メクラキャ
ップ１６を取り付ける。口金部１４内は、シールパッキ
ン１７により外部と遮断され、気密された状態になる。
充填した吸着材１８により、気密雰囲気部１９の水分及
び酸素等が除去され始める。In FIG. 1, a container body 1 is filled with a material gas, for example, silane gas (Si H 4 ), and then a blind cap 16 is attached. The inside of the mouthpiece portion 14 is shielded from the outside by the seal packing 17 and becomes airtight.
The adsorbent 18 that has been filled begins to remove moisture, oxygen, and the like in the airtight atmosphere portion 19.
【００１３】その効果を、酸素を例とし、図２に示す。
同図は縦軸が大気中のＯ2 またはＮ2 の濃度（％）、横
軸はキャップ封止後の経過時間（分）を、また図中の○
印はＯ2 の、●印はＮ2 の値を示す。同図から分かるよ
うに、時間経過と共に気密雰囲気部１９のＯ2 ガス濃度
の減少が見られ、一定の時間を経過すると、数百ppmオ
ーダーまで十分除去されており、残存成分はＮ2 ガス成
分のみに変わっていることが分かる。The effect is shown in FIG. 2, taking oxygen as an example.
In the figure, the vertical axis represents the concentration (%) of O 2 or N 2 in the atmosphere, the horizontal axis represents the elapsed time (minutes) after cap sealing, and the circle in the figure
The mark shows the value of O 2 , and the mark ● shows the value of N 2 . As can be seen from the figure, the O 2 gas concentration in the airtight atmosphere portion 19 decreased with the passage of time, and after a certain period of time, it was sufficiently removed to the order of several hundred ppm, and the residual component was the N 2 gas component. You can see that it has changed only to.
【００１４】この状態で、万一元栓バルブ２が、作業者
のミスにより緩んで、充填ガス（シランガス）が口金部
内に吐出したとすると、キャップにより気密封止されて
いるので、シランガスが外部に吐出されることはない。
また口金部内に吐出されたシランガスは、口金部内の雰
囲気がＮ2 ガス成分であるので、前記問題点で述べた瞬
時に大量のシリカ系粉が発生することは避けられる。ま
た充填されるガスがジクロルシランのように腐蝕性であ
っても、口金部内の雰囲気はＮ2 ガスであるため、口金
部の腐蝕は大幅に軽減される。In this state, if the one-way valve 2 is loosened by an operator's mistake and the filling gas (silane gas) is discharged into the mouthpiece portion, the silane gas is hermetically sealed by the cap, so that the silane gas is discharged to the outside. It is never discharged.
Further, in the silane gas discharged into the die part, since the atmosphere in the die part is the N 2 gas component, it is possible to avoid the instant generation of a large amount of silica-based powder as described in the above problem. Even if the gas to be filled is corrosive like dichlorosilane, the atmosphere in the die is N 2 gas, so that the corrosion of the die is greatly reduced.
【００１５】図３は、本発明の第２実施例で、キャップ
２６内に、大気中の水分や酸素等の成分を除去できる吸
着材２８と容器に充填された材料ガスを除去可能な吸着
材３０とを併せ詰めた場合の元栓部の概略断面図であ
る。キャップ２６を口金部２４にシールパッキン２７を
介して締め付けた後、元栓バルブ２が作業者のミス等で
緩み、充填ガスが口金部２４に吐出されたとしても、口
金部内の気密雰囲気部２９は、それまでに吸着材２８に
よりほぼＮ2 ガス成分に変化しているので、シリカ系粉
が大量に発生する等のことはない。次に元栓バルブを緩
めたままにしておかないで、すぐ閉じれば、この間に吐
出された充填ガスの量程度は、吸着材３０によって処理
可能である。キャップ２６を、ガス供給系と接続のた
め、再び外す場合にも安全に作業することが可能とな
る。なお符号２３は、吸着ガスの逆止弁である。FIG. 3 shows a second embodiment of the present invention in which an adsorbent 28 capable of removing components such as moisture and oxygen in the atmosphere and an adsorbent capable of removing the material gas filled in the container are provided in the cap 26. It is a schematic sectional drawing of the main plug part at the time of packing together with 30. After the cap 26 is fastened to the mouthpiece portion 24 via the seal packing 27, even if the main valve 2 is loosened by an operator's mistake and the filling gas is discharged to the mouthpiece portion 24, the airtight atmosphere portion 29 in the mouthpiece portion is By that time, since the adsorbent 28 has changed the gas content to almost N 2 gas component, a large amount of silica-based powder is not generated. Next, if the main valve is not left loose and is closed immediately, the adsorbent 30 can process about the amount of the filling gas discharged during this period. Since the cap 26 is connected to the gas supply system, it is possible to work safely even when the cap 26 is removed again. Reference numeral 23 is a check valve for adsorbed gas.
【００１６】以上の実施例で述べたように、前記ガス充
填容器では、口金部に留った水分、酸素等の大気中に含
まれる成分、及び元栓バルブが緩んで一瞬開いてしまっ
た時の吐出された充填ガスを、メクラキャップをしたま
まの状態で除去、処理することが可能である。As described in the above embodiments, in the gas-filled container, water contained in the mouthpiece, components such as oxygen contained in the atmosphere, and the main valve are loosened and opened for a moment. It is possible to remove and process the discharged filling gas with the blank cap still attached.
【００１７】上記本発明の方法は、ガス充填容器の元栓
部のみならず、その他ガスを取り扱う類似のシステムに
対しても十分適用可能である。The above-described method of the present invention is sufficiently applicable not only to the main plug of the gas filling container but also to other similar systems that handle gas.
【００１８】キャップに封入する吸着材は、水分及び酸
素を除去できる吸着材と、充填材料ガスを除去できる吸
着材のうち、いずれか一方または両方の吸着材である
が、これらは口金部の構造、充填ガスの種類、保管状況
などにより選択使用される。The adsorbent enclosed in the cap is either one or both of an adsorbent capable of removing water and oxygen and an adsorbent capable of removing the filling material gas. These adsorbents have a structure of the base part. , The type of filling gas, storage conditions, etc.
【００１９】また吸着材は、活性炭や、Ａl 、Ｆe 、Ｔ
i 、Ｓi 、Ｓn 等の酸化物や水酸化物等である。The adsorbent may be activated carbon, Al, Fe or T.
Examples thereof include oxides and hydroxides of i, Si, Sn and the like.
【００２０】[0020]
【発明の効果】本発明により、シランガス等の材料ガス
を充填するガス充填容器において、メクラキャップをし
た状態のとき、取り扱い等のミスにより、元栓バルブが
緩み、口金部に充填ガスの一部が漏出しても、外部に吐
出されたり、口金部内に留まる大気と作用して発火した
り、口金部を汚染したりさらには口金部やガス供給系を
腐蝕させたりすることのないガス充填容器を提供するこ
とができた。According to the present invention, in a gas-filled container filled with a material gas such as silane gas, when the blanket cap is attached, the main valve is loosened due to a mishandling, and a part of the filled gas is filled in the mouthpiece. Even if it leaks, a gas-filled container that will not be discharged to the outside, ignite by interacting with the atmosphere remaining in the mouthpiece, contaminate the mouthpiece or corrode the mouthpiece or gas supply system Could be provided.
【図１】本発明のガス充填容器の元栓部の第１実施例の
概略断面図である。FIG. 1 is a schematic cross-sectional view of a first embodiment of a main plug part of a gas filling container according to the present invention.
【図２】図１に示す元栓部の気密雰囲気中のＯ2 ガス及
びＮ2 ガスの濃度の時間経過に伴う変化を示す図であ
る。FIG. 2 is a diagram showing changes with time of the concentrations of O 2 gas and N 2 gas in the airtight atmosphere of the main plug part shown in FIG.
【図３】本発明のガス充填容器の元栓部の第２実施例の
概略部分断面図である。FIG. 3 is a schematic partial cross-sectional view of a second embodiment of the main plug portion of the gas filling container of the present invention.
【図４】従来のガス充填容器の元栓部の概略断面図であ
る。FIG. 4 is a schematic sectional view of a main plug portion of a conventional gas filling container.
１ 容器本体 ２ 元栓バルブ ４，１４，２４ 口金部 ６，１６，２６ キャップ（メクラキャップ） １７，２７ シールパッキン １８，２８ 水分及び酸素を除去できる吸着材 １９，２９ 密封雰囲気 ３０ 充填ガスを除去できる吸着材 1 Container body 2 Two-way stopper valve 4,14,24 Cap portion 6,16,26 Cap (blanket cap) 17,27 Seal packing 18,28 Adsorbent capable of removing water and oxygen 19,29 Sealed atmosphere 30 Can remove filling gas Adsorbent
Claims (1)
出口となる口金部と、容器本体と口金との間に設けられ
吐出ガスを開閉する元栓バルブとを有するガス充填容器
において、口金部を気密に封止するキャップを備え、該
キャップ内に、密封された口金部内及びキャップ内の雰
囲気中の水分及び酸素を除去できる吸着材と、容器に充
填された材料ガスと同種のガスを除去できる吸着材との
うちいずれか一方または両方の吸着材を、具備せしめた
ことを特徴とするガス充填容器。1. A gas-filled container having a container body filled with a material gas, a mouthpiece part serving as a gas discharge port, and a main valve provided between the container body and the mouthpiece for opening and closing the discharge gas. A cap for hermetically sealing the part, and an adsorbent capable of removing water and oxygen in the sealed mouth part and the atmosphere in the cap, and a gas of the same kind as the material gas filled in the container. A gas filling container, characterized in that either or both of the adsorbents that can be removed are provided.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6924792A JPH05231598A (en) | 1992-02-18 | 1992-02-18 | Gas filling container |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6924792A JPH05231598A (en) | 1992-02-18 | 1992-02-18 | Gas filling container |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05231598A true JPH05231598A (en) | 1993-09-07 |
Family
ID=13397230
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6924792A Pending JPH05231598A (en) | 1992-02-18 | 1992-02-18 | Gas filling container |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05231598A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006001089A1 (en) * | 2004-06-24 | 2006-01-05 | Takachiho Chemical Industrial Co., Ltd. | Outlet cap for toxic gas container valve |
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-
1992
- 1992-02-18 JP JP6924792A patent/JPH05231598A/en active Pending
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