JP3019787U - Valve for compressed gas container - Google Patents
Valve for compressed gas containerInfo
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ガス供給配管等に損傷を受けてガスが漏れ出
ても、ガスの漏洩量を最小限に抑えることができるとと
もに、圧縮ガス容器にガスを充填する場合等に支障が生
じることがない圧縮ガス容器用バルブを提供する。
【構成】 圧縮ガスを貯蔵する圧縮ガス容器の吐出口に
連結される容器側連結部と、上記圧縮ガスを吐出する外
部配管に連結される配管側連結部と、上記容器側連結部
から配管側連結部にいたるガス通路の中間部を遮断しう
るバルブ機構とを備える圧縮ガス容器用バルブであっ
て、上記バルブ機構ないし上記配管側連結部におけるガ
ス通路に、外部配管に吐出される圧縮ガスの流量を制限
するオリフィスを備えるオリフィスプラグを着脱可能に
設ける。
(57) [Abstract] [Purpose] Even if gas is leaked due to damage to gas supply pipes, etc., the amount of gas leakage can be minimized and the compressed gas container is filled with gas. Provided is a valve for a compressed gas container which does not cause any trouble. A container-side connecting part connected to a discharge port of a compressed gas container for storing compressed gas, a pipe-side connecting part connected to an external pipe for discharging the compressed gas, and a pipe side from the container-side connecting part A valve for a compressed gas container comprising a valve mechanism capable of shutting off an intermediate portion of a gas passage leading to a connecting portion, wherein the valve mechanism or the gas passage in the pipe side connecting portion is provided with a compressed gas discharged to an external pipe. An orifice plug having an orifice for limiting the flow rate is detachably provided.
Description
【０００１】[0001]
本願考案は、圧縮ガス容器用バルブに関する。 The present invention relates to a valve for a compressed gas container.
【０００２】[0002]
一般に、燃料ガス等のガスは、球状あるいは円柱状の圧縮ガス容器に圧入され て貯蔵されあるいは搬送されることが多い。そして、上記圧縮ガス容器に圧入さ れたガスを使用する場合には、圧縮ガス容器の出口等に減圧弁を設け、必要な圧 力まで減圧して種々の用途に供給される。 上記圧縮ガス容器に圧入されるガスが、窒素、アルゴン等の不活性で無害なガ スの場合には、圧縮ガス容器あるいはこれに接続される配管等からガスが多少漏 れ出ても安全上の問題はほとんどない。 In general, gas such as fuel gas is often pressed into a spherical or columnar compressed gas container for storage or transportation. When the gas press-fitted into the compressed gas container is used, a pressure reducing valve is provided at the outlet or the like of the compressed gas container to reduce the pressure to a required pressure and supply it for various purposes. If the gas to be injected into the above-mentioned compressed gas container is an inert, harmless gas such as nitrogen or argon, even if some gas leaks from the compressed gas container or piping connected to it, it is safe. Is almost no problem.
【０００３】 ところが、シランガス等の自然発火性ガス、ホスフィンガス等の有毒ガスの場 合には、大気中に漏れ出ると重大な災害を起こすおそれがある。 このため、これらの有毒ガスを貯蔵する圧縮ガス容器の出口には、ダイヤフラ ムバルブ等を用いてガスの漏洩が生じないように構成するとともに、圧縮ガス容 器を含むガス供給配管全体をキャビネットに収容し、キャビネット内の換気を行 うことにより、万一ガス漏れが生じた場合にも、ガス濃度を危険値以下に低下さ せて、災害を未然に防止できるように構成されている。However, in the case of a pyrophoric gas such as silane gas and a toxic gas such as phosphine gas, if they leak into the atmosphere, a serious disaster may occur. Therefore, at the outlet of the compressed gas container that stores these toxic gases, use a diaphragm valve, etc. to prevent gas leakage, and store the entire gas supply pipe including the compressed gas container in the cabinet. However, by ventilating the inside of the cabinet, even if a gas leak occurs, the gas concentration can be lowered below the dangerous value to prevent accidents.
【０００４】[0004]
ところが、上記供給配管が何らかの原因で損傷を受けると、上記圧縮ガス容器 に充填された高圧ガスが、圧縮ガス容器内の高い圧力でキャビネット内に大量に 噴出することになる。このため、換気装置等によってガス濃度を危険値以下に低 下させることは困難となる。したがって、シランガス、ホスフィンガス等の自然 発火性ガスあるいは毒性ガスの場合には、上記供給配管の損傷は、大きな災害に つながる恐れがある。 However, if the supply pipe is damaged for some reason, a large amount of high-pressure gas filled in the compressed gas container will be ejected into the cabinet due to the high pressure in the compressed gas container. For this reason, it becomes difficult to reduce the gas concentration below the dangerous level by using a ventilation system. Therefore, in the case of a pyrophoric gas or a toxic gas such as silane gas or phosphine gas, the damage to the supply pipe may lead to a great disaster.
【０００５】 上記問題を解決するために、圧縮ガス容器の吐出口に吐出ガスの流量を制限す るオリフィス等を設け、事故の場合の噴出ガス量を抑えることも考えられる。 ところが、上記オリフィスは、これを通過するガスに流動抵抗を与えるもので あるため、圧縮ガス容器にガスを充填する場合、あるいは圧縮ガス容器のガスを 置換する場合等にも流動抵抗が発生することとなり、ガスの充填作業等に支障を きたすことになる。In order to solve the above problem, it is possible to suppress the amount of gas ejected in the event of an accident by providing an orifice or the like at the discharge port of the compressed gas container to limit the flow rate of the discharge gas. However, since the above orifice imparts flow resistance to the gas passing through it, flow resistance may occur when the compressed gas container is filled with gas or when the gas in the compressed gas container is replaced. As a result, gas filling work will be hindered.
【０００６】 本願考案は、上述の事情のもとで考え出されたものであって、上記従来の問題 を解決し、万一、圧縮ガス容器に接続される供給配管等が損傷を受けてガスが漏 れ出ても、ガスの漏洩量を最小限に抑えることができるとともに、上記圧縮ガス 容器にガスを充填する場合等に支障が生じることがない圧縮ガス容器用バルブを 提供することをその課題とする。The present invention has been devised under the above circumstances, and solves the above-mentioned conventional problems, and in the unlikely event that the supply pipe or the like connected to the compressed gas container is damaged, Even if the gas leaks, it is possible to minimize the amount of gas leakage and to provide a valve for a compressed gas container that does not cause any problems when filling the compressed gas container with the gas. It is an issue.
【０００７】[0007]
上記課題を解決するため、本願考案では、次の技術的手段を講じている。 すなわち、本願の請求項１に記載した考案は、圧縮ガスを貯蔵する圧縮ガス容 器の吐出口に連結される容器側連結部と、上記圧縮ガスを吐出する外部配管に連 結される配管側連結部と、上記容器側連結部から配管側連結部にいたるガス通路 の中間部を遮断しうるバルブ機構とを備える圧縮ガス容器用バルブであって、 上記バルブ機構ないし上記配管側連結部におけるガス通路に、外部配管に吐出 される圧縮ガスの流量を制限するオリフィスを備えるオリフィスプラグを着脱可 能に設けたことを特徴とする。 In order to solve the above problems, the present invention takes the following technical means. That is, the invention described in claim 1 of the present application is a container side connecting portion connected to a discharge port of a compressed gas container for storing compressed gas and a pipe side connected to an external pipe for discharging the compressed gas. A valve for a compressed gas container comprising a connecting portion and a valve mechanism capable of shutting off an intermediate portion of a gas passage extending from the container-side connecting portion to the pipe-side connecting portion, wherein a gas in the valve mechanism or the pipe-side connecting portion is provided. The passage is characterized in that an orifice plug having an orifice for limiting the flow rate of the compressed gas discharged to the external pipe is detachably provided.
【０００８】 また、本願の請求項２に記載した考案は、上記圧縮ガス容器用バルブにおける 上記オリフィスプラグは、軸孔内に、所定径のオリフィス開口と、一端が上記オ リフィス開口出口側に連通するとともに他端がガス通路に開口する断面六角形状 の工具係合穴とを備える一方、 外周部に、上記バルブ機構ないし上記配管側連結部におけるガス通路内周部に 形成した内周ネジ部に螺合させられる外周ネジ部を備えることを特徴とする。Further, in the invention described in claim 2 of the present application, the orifice plug in the valve for a compressed gas container has an orifice opening of a predetermined diameter in the shaft hole, and one end of the orifice plug communicates with the outlet opening side of the orifice opening. While the other end is provided with a tool engaging hole having a hexagonal cross section that opens into the gas passage, the inner peripheral threaded portion formed on the inner peripheral portion of the gas passage in the valve mechanism or the pipe side connecting portion is provided on the outer peripheral portion. It is characterized in that it is provided with an outer peripheral threaded portion to be screwed.
【０００９】[0009]
通常、圧縮ガス容器には、ガスの充填量を増大させるため、できるだけ高圧で ガスが圧入される。このため、上記圧縮ガス容器が接続されるガス供給配管等に 損傷が生じた場合には、圧縮ガス容器内のガスが、圧縮ガス容器内の圧力によっ て短時間に大量に噴出してしまうという問題があった。 一方、上記ガスが供給される機器においては、供給すべきガスの圧力および流 量は比較的少ない。 Normally, the gas is injected into the compressed gas container at a pressure as high as possible in order to increase the filling amount of the gas. For this reason, when the gas supply pipe to which the compressed gas container is connected is damaged, a large amount of gas in the compressed gas container is ejected in a short time due to the pressure in the compressed gas container. There was a problem. On the other hand, in the equipment to which the above gas is supplied, the pressure and flow rate of the gas to be supplied are relatively small.
【００１０】 本願考案に係る圧縮ガス容器用バルブにおいては、上記バルブ機構ないし上記 配管側連結部におけるガス通路に、外部配管に吐出される圧縮ガスの流量を制限 するオリフィスを備えるオリフィスプラグを着脱可能に設けている。 上記オリフィスプラグを設けることにより、万一、供給配管等が損傷を受けて ガスが噴出した場合にも、その流量を最小限に抑えることが可能となり、大きな 災害を未然に防止することができる。In the valve for a compressed gas container according to the present invention, an orifice plug having an orifice for limiting the flow rate of the compressed gas discharged to the external pipe can be attached to and detached from the gas passage in the valve mechanism or the pipe side connecting portion. It is provided in. By providing the orifice plug, even if the supply pipe or the like is damaged and gas is ejected, the flow rate can be minimized and a major disaster can be prevented.
【００１１】 一方、上述したように、上記ガスが供給される機器等においては、必要なガス 圧力およびガス流量は少なく、上述のようにガス容器吐出口に流量を制限するオ リフィスを設けてもガスの供給を受ける場合の障害が生じることはない。On the other hand, as described above, in the equipment or the like to which the above-mentioned gas is supplied, the required gas pressure and gas flow rate are small, and even if an orifice for restricting the flow rate is provided at the gas container discharge port as described above. There are no obstacles to the gas supply.
【００１２】 また、本願考案におけるオリフィスは、圧縮ガス容器用バルブ内に装着される オリフィスプラグ内に設けられており、上記オリフィスプラグをバルブ本体に容 易に着脱することができる。 このため、圧縮ガス容器にガスを充填しあるいは置換等する際には、上記オリ フィスプラグを容易に取り外して作業を行うことができる。したがって、ガスの 充填作業等に支障が生じることはない。 しかも、本願考案に係る上記オリフィスプラグは、バルブのガス通路内に着脱 可能に設けられるため、バルブが大型化するといった問題も生じない。Further, the orifice according to the present invention is provided in an orifice plug mounted in the valve for a compressed gas container, and the orifice plug can be easily attached to and detached from the valve body. Therefore, when the compressed gas container is filled or replaced with gas, the orifice plug can be easily removed to perform the work. Therefore, there will be no hindrance to the gas filling work. Moreover, since the orifice plug according to the present invention is detachably provided in the gas passage of the valve, there is no problem that the valve becomes large.
【００１３】 特に、本願の請求項２に記載した考案のように、バルブのガス通路内周部に内 周ねじ部を形成するとともにオリフィスプラグの外周部に外周ねじ部を形成し、 六角レンチを用いて上記オリフィスプラグをガス通路内に組付けるように構成す ることにより、オリフィスプラグの着脱作業がきわめて容易となり、圧縮ガス容 器にガスを充填する場合等における作業性を大幅に向上させることができる。In particular, as in the invention as claimed in claim 2 of the present application, an inner peripheral thread portion is formed on the inner peripheral portion of the gas passage of the valve, and an outer peripheral thread portion is formed on the outer peripheral portion of the orifice plug. By using the above-mentioned orifice plug to assemble it in the gas passage, the work of attaching and detaching the orifice plug becomes extremely easy, and the workability in filling the compressed gas container with gas is greatly improved. You can
【００１４】[0014]
以下、本願考案に係る実施例を図１ないし図４に基づいて具体的に説明する。 図１に、本願考案に係る圧縮ガス容器用バルブ１を装着した圧縮ガス容器２を 含むガス供給配管の概要を示す。 図１は、半導体製造工程における化学蒸着法（ＣＶＤ）を行うためのＣＶＤ装 置にガスを供給するガス供給配管における配管回路を示したものであり、ガスと しては、自然発火性ガスであるシランガスが用いられ、圧縮ガス容器２内に約１ ５０ｋｇ／ｃｍ2 の圧力で圧入されている。Hereinafter, an embodiment according to the present invention will be specifically described with reference to FIGS. 1 to 4. FIG. 1 shows an outline of a gas supply pipe including a compressed gas container 2 equipped with a compressed gas container valve 1 according to the present invention. FIG. 1 shows a piping circuit in a gas supply pipe for supplying a gas to a CVD apparatus for performing chemical vapor deposition (CVD) in a semiconductor manufacturing process. The gas is a pyrophoric gas. A certain silane gas is used and is press-fitted into the compressed gas container 2 at a pressure of about 150 kg / cm 2 .
【００１５】 半導体製造工程におけるＣＶＤ装置に供給されるシランガス中に大気成分等の 不純物が混入すると半導体の品質を大きく低下させることになる。このため、ガ ス供給配管をガス置換するガス置換回路が設けられ、供給配管全体をガス置換し て純度の高いシランガスを供給できるように構成される。 本実施例に係る洗浄回路３は、ＣＶＤ装置までのガス供給配管に洗浄ガスとし て窒素ガス（Ｎ2 ），アルゴンガス（Ａｒ）を供給するとともに、配管内を真空 にすることができるように構成されている。 上記構成により、まず供給配管全体を真空状態にし、その後、窒素ガスあるい はアルコンガスを配管内に供給することにより、配管内の不純物を取り除くこと ができる。When impurities such as atmospheric components are mixed in the silane gas supplied to the CVD apparatus in the semiconductor manufacturing process, the quality of the semiconductor is significantly deteriorated. For this reason, a gas replacement circuit for replacing the gas in the gas supply pipe is provided, and the entire supply pipe is gas-replaced to supply high-purity silane gas. In the cleaning circuit 3 according to this embodiment, nitrogen gas (N 2 ) and argon gas (Ar) are supplied as cleaning gas to the gas supply pipe up to the CVD apparatus, and the inside of the pipe can be evacuated. It is configured. With the above structure, first, the entire supply pipe is evacuated, and then nitrogen gas or alcon gas is supplied into the pipe to remove impurities in the pipe.
【００１６】 また、本実施例における使用ガスは自然発火性のシランガスであるため、圧縮 ガス容器２を含むガス供給回路全体をキャビネット４内に収容し、このキャビネ ット４内の空気を排出する排気装置３１および吸気口３１ａを設けることにより 、キャビネット４内をたえず換気し、万一、ガスが漏れ出てもその濃度を危険値 以下に低下させて事故が生じないように構成している。In addition, since the gas used in this embodiment is a pyrophoric silane gas, the entire gas supply circuit including the compressed gas container 2 is housed in the cabinet 4, and the air in the cabinet 4 is discharged. By providing the exhaust device 31 and the intake port 31a, the inside of the cabinet 4 is constantly ventilated, and even if gas leaks, the concentration is lowered below the dangerous value and an accident does not occur.
【００１７】 さて、本実施例に係る圧縮ガス容器用バルブ１は、図１および図２に示すよう に、圧縮ガスを貯蔵する圧縮ガス容器２の吐出口５に連結される容器側連結部６ と、上記圧縮ガスを吐出する外部配管７に連結される配管側連結部８と、上記容 器側連結部６から配管側連結部８にいたるガス通路９の中間部を遮断しうるバル ブ機構１０とを備えて構成されている。The compressed gas container valve 1 according to the present embodiment, as shown in FIGS. 1 and 2, has a container-side connecting portion 6 connected to a discharge port 5 of a compressed gas container 2 that stores compressed gas. And a valve mechanism capable of shutting off a pipe side connecting portion 8 connected to the external pipe 7 for discharging the compressed gas and an intermediate portion of the gas passage 9 extending from the container side connecting portion 6 to the pipe side connecting portion 8. And 10.
【００１８】 上記容器側連結部６は、圧縮ガス容器２の吐出口５に設けられた内周ねじ部１ １に螺合される外周ねじ部１２を備え、上記圧縮ガス容器２の吐出口５にガス漏 れが生じないように螺合されている。 一方、上記配管側連結部８は、上記容器側連結部６の軸心と直角方向に設けら れており、外周部に外部配管７の内周ねじ部１３が螺合される外周ねじ部１４を 備える。 上記容器側連結部６と上記配管側連結部８の間には、ガス通路９が貫通状に設 けられており、その中間部にバルブ機構１０が設けられている。The container-side connecting portion 6 includes an outer peripheral threaded portion 12 that is screwed into an inner peripheral threaded portion 11 provided on the discharge port 5 of the compressed gas container 2, and the discharge port 5 of the compressed gas container 2 is provided. It is screwed to prevent gas leakage. On the other hand, the pipe side connecting portion 8 is provided in the direction perpendicular to the axis of the container side connecting portion 6, and the outer peripheral threaded portion 14 with which the inner peripheral threaded portion 13 of the external pipe 7 is screwed to the outer peripheral portion. Is equipped with. A gas passage 9 is penetratingly provided between the container-side connecting portion 6 and the pipe-side connecting portion 8, and a valve mechanism 10 is provided at an intermediate portion thereof.
【００１９】 本実施例に係る上記バルブ機構１０は、中心部に上記容器側連結部６から連通 するガス通路が開口する短円筒状の弁座１５を形成するとともに、回転操作体１ ６の回転により螺進退させられる弁棒１７の先端部に設けた三フッ化塩化エチレ ン樹脂（商品名：ダイフロン）製ディスク１８を上記弁座１５に押圧することが できるように構成されている。 上記弁棒１７は、ダイヤフラム１９を介して上下に２分割されており、圧縮ガ ス容器２内のガスが、上記弁棒１７と上記弁棒１７を収容するケーシング２０と の間のすきまから漏れ出ることがないように構成されている。In the valve mechanism 10 according to the present embodiment, a short cylindrical valve seat 15 in which a gas passage communicating with the container side connecting portion 6 is opened is formed in the central portion, and the rotary operation body 16 is rotated. The disk 18 made of trifluorochloroethylene resin (trade name: Daiflon) provided at the tip of the valve rod 17 that is screwed back and forth by the above can be pressed against the valve seat 15. The valve rod 17 is vertically divided into two via a diaphragm 19, and the gas in the compression gas container 2 leaks from a gap between the valve rod 17 and a casing 20 housing the valve rod 17. It is configured to never come out.
【００２０】 なお、図２において、符号２１で示されるのは、圧縮ガス容器２が高温にさら された場合に、圧縮ガス容器２内のガスを逃がす安全プラグであり、圧縮ガス容 器２内に連通する軸孔２２内に所定温度で溶融する可溶合金２２ａを充填して構 成している。In FIG. 2, reference numeral 21 is a safety plug for releasing the gas in the compressed gas container 2 when the compressed gas container 2 is exposed to a high temperature. A fusible alloy 22a that melts at a predetermined temperature is filled in the shaft hole 22 communicating with the.
【００２１】 本実施例に係る上記圧縮ガス容器用バルブ１においては、上記バルブ機構１０ ないし上記配管側連結部８におけるガス通路９に、外部配管７に吐出される圧縮 ガスの流量を制限するオリフィス２３を備えるオリフィスプラグ２４を着脱可能 に設けている。 上記オリフィスプラグ２４は、ステンレス素材等によって形成することができ 、接ガス部を複合電解研磨すること等により高清浄度に形成されている。In the compressed gas container valve 1 according to the present embodiment, an orifice for limiting the flow rate of the compressed gas discharged to the external pipe 7 is provided in the gas passage 9 in the valve mechanism 10 or the pipe side connecting portion 8. An orifice plug 24 provided with 23 is detachably provided. The orifice plug 24 can be formed of a stainless material or the like, and is formed to have a high degree of cleanliness by subjecting the gas contact portion to complex electrolytic polishing.
【００２２】 本実施例においては、図３に示すように、上記バルブ機構１０ないし配管側連 結部８におけるガス通路９の内周部に内周ねじ部２５を設ける一方、上記オリフ ィスプラグ２４の外周に外周ねじ部２６を設け、上記外周ねじ部２６を上記内周 ねじ部２５に螺合させることにより、上記オリフィスプラグ２４を上記圧縮ガス 容器用バルブ１に対して組付けている。In the present embodiment, as shown in FIG. 3, an inner peripheral threaded portion 25 is provided on the inner peripheral portion of the gas passage 9 in the valve mechanism 10 or the pipe side connecting portion 8 while the inner diameter of the orifice plug 24 is increased. An outer peripheral threaded portion 26 is provided on the outer periphery, and the outer peripheral threaded portion 26 is screwed into the inner peripheral threaded portion 25, whereby the orifice plug 24 is assembled to the compressed gas container valve 1.
【００２３】 上記オリフィスプラグ２４の軸孔２７には、所定径のオリフィス開口２８と、 一端が上記オリフィス開口２８の出口側に連通するとともに、他端がガス通路９ に開口する断面六角形状の工具係合穴２９とが形成されている。通常、上記オリ フィス開口２８の内径は、０．２ｍｍないし１ｍｍに設定され、その長さは、０ ．３ｍｍないし４ｍｍに設定される。 また、上記オリフィスプラグ２４のバルブ機構１０側外側面には、ガス通路９ の内面との間のシールを行う、テフロン等で形成された環状のパッキン３０が嵌 め込まれている。The shaft hole 27 of the orifice plug 24 has a hexagonal cross-section tool having an orifice opening 28 of a predetermined diameter, one end communicating with the outlet side of the orifice opening 28 and the other end opening to the gas passage 9. The engagement hole 29 is formed. Usually, the inner diameter of the orifice opening 28 is set to 0.2 mm to 1 mm, and its length is 0. It is set to 3 mm to 4 mm. An annular packing 30 made of Teflon or the like is fitted to the outer surface of the orifice plug 24 on the valve mechanism 10 side for sealing with the inner surface of the gas passage 9.
【００２４】 上記構成の圧縮ガス容器用バルブ１において、回転操作体１６を閉方向に回転 させると、上記ディスク１８が上記弁座１５に当接させられることにより上記ガ ス通路９が遮断される一方、上記回転操作体１６を開方向に回動操作することに より、上記ディスク１８が上記弁座１５から離間させられ、上記容器側連結部６ ないし上記配管側連結部８におけるガス通路９が連通させられるように構成され ている。In the compressed gas container valve 1 having the above-described structure, when the rotary operation body 16 is rotated in the closing direction, the disk 18 is brought into contact with the valve seat 15 to block the gas passage 9. On the other hand, by rotating the rotating operation body 16 in the opening direction, the disc 18 is separated from the valve seat 15, and the gas passage 9 in the container side connecting portion 6 or the pipe side connecting portion 8 is opened. It is configured to communicate.
【００２５】 上記オリフィス開口２８は、上記外部配管７が万一損傷を受けた場合に、上記 圧縮ガス容器に充填されたガスの噴出量を制限し、上記排気装置３１と協働して 上記キャビネット４内のガス濃度が危険値以上にならないように構成される。 すなわち、たとえば、圧縮ガス容器２に充填されるガスが圧力１００ｋｇ／ｃ ｍ2 のシラン１０％／Ｎ2 の場合には、オリフィス径を０．３ｍｍに設定すると 、ガスの最大流出量が約７０Ｌ／ｍｉｎとなる。シランガスの自然燃焼濃度の下 限界は約１％であるため、上記割合でシランガスがキャビネット４内に漏れ出た と仮定した場合、キャビネット内に漏れ出たガスが爆発を起こさないためには、 キャビネット４における排気装置３１の排気量を４２Ｎｍ3 ／Ｈとすればよい。The orifice opening 28 limits the ejection amount of the gas filled in the compressed gas container in the unlikely event that the external pipe 7 is damaged, and cooperates with the exhaust device 31 in the cabinet. It is configured so that the gas concentration in 4 does not exceed the dangerous value. That is, for example, when the gas filled in the compressed gas container 2 is 10% / N 2 of silane having a pressure of 100 kg / cm 2 , setting the orifice diameter to 0.3 mm results in a maximum outflow of gas of about 70 L. / Min. The lower limit of the spontaneous combustion concentration of silane gas is about 1%. Therefore, assuming that the silane gas leaks into the cabinet 4 at the above ratio, in order to prevent the gas leaking into the cabinet from exploding, The exhaust amount of the exhaust device 31 in 4 may be 42 Nm 3 / H.
【００２６】 もし、上記オリフィスを設けていない場合には、ガスの流出量が１２０Ｎｍ3 ／Ｈ以上となり、キャビネット４内の排気量は少なくとも１２００Ｎｍ3 ／Ｈと しなければならず、上記排気装置３１の能力によっては、ガスの爆発を避けるこ とはできなくなる。 また、純シランガスを充填した場合には、上記と同様のオリフィス径の場合に は、最大流出量は約５０Ｌ／ｍｉｎとなる。したがって、上記割合でシランガス が流出した場合にも、キャビネット内の排気量を３００Ｎｍ3 ／Ｈにすればよく 、排気装置３１の能力で爆発を防止することができる。If the above-mentioned orifice is not provided, the outflow amount of gas becomes 120 Nm 3 / H or more, and the exhaust amount in the cabinet 4 must be at least 1200 Nm 3 / H. Depending on your ability, you may not be able to avoid gas explosions. Further, when the pure silane gas is filled, the maximum outflow rate becomes about 50 L / min in the case of the same orifice diameter as above. Therefore, even if the silane gas flows out at the above ratio, the exhaust amount in the cabinet may be set to 300 Nm 3 / H, and the explosion can be prevented by the capacity of the exhaust device 31.
【００２７】 上述したように、上記構成の圧縮ガス容器用バルブ１においては、万一、キャ ビネット４内において配管９の損傷が生じても、ガスの噴出を最小限に抑えると ともに、排気装置３１によってキャビネット内の換気を速やかに行い、ガスの濃 度を安全な値まで低下させることが可能となる。このため、安全性を格段に高め ることが可能となる。 また、本実施例に係る圧縮ガス容器用バルブ１においては、オリフィスを、ガ ス通路９にオリフィスプラグ２４を組付けることによって設けることができるた め、バルブが大型化するといったおそれもない。As described above, in the compressed gas container valve 1 having the above-described configuration, even if the pipe 9 is damaged in the cabinet 4, gas ejection can be minimized and the exhaust device can be suppressed. 31 makes it possible to quickly ventilate the cabinet and reduce the gas concentration to a safe value. Therefore, it is possible to significantly improve safety. Further, in the compressed gas container valve 1 according to this embodiment, since the orifice can be provided by assembling the orifice plug 24 in the gas passage 9, there is no fear that the valve becomes large.
【００２８】 さらに、上記オリフィスプラグ２４は、六角レンチによって容易に着脱するこ とができるように構成されているため、圧縮ガス容器２にガスを充填する際、あ るいは圧縮ガス容器２内の残留ガスを不活性ガスと置換する際に上記オリフィス プラグ２４を取り外して作業を行うことが可能となる。このため、ガスの充填作 業等に支障が生じるといったこともない。Further, since the orifice plug 24 can be easily attached and detached with a hexagonal wrench, when the compressed gas container 2 is filled with gas, or inside the compressed gas container 2, When replacing the residual gas with the inert gas, the orifice plug 24 can be removed to perform the work. Therefore, there will be no hindrance to the gas filling operation.
【００２９】 しかも、本実施例に係る圧縮ガス容器用バルブ１においては上記オリフィスプ ラグ２４をガス通路に嵌め込むという極めて簡単な構成でオリフィスを形成する ことができるため、アルゴン等の置換ガスによって上記圧縮ガス容器用バルブ１ 内のガス置換を完全に行うことでき、半導体製造工程におけるＣＶＤ装置に不純 物が混じったガスを供給するといったおそれもなくなる。Moreover, in the compressed gas container valve 1 according to the present embodiment, the orifice can be formed with a very simple structure in which the above-mentioned orifice plug 24 is fitted into the gas passage. The gas in the compressed gas container valve 1 can be completely replaced, and there is no fear of supplying a gas containing impurities to the CVD apparatus in the semiconductor manufacturing process.
【００３０】 本願考案は上述した実施例に限定されることはない。 実施例においては、ダイヤフラム１９を用いた圧縮ガス容器用バルブ１に本願 考案を適用したが、ダイヤフラムを用いない通常の構造のバルブに本願考案を適 用することもできる。 また、バルブ機構１０の構造も実施例に限定されることはなく、プレッシャー シールバルブ等他のバルブ機構を備える圧縮ガス容器用バルブに本願考案を適用 することができる。 また、オリフィス開口２８の内径も実施例に限定されることはなく、安全性を 確保しうるように適宜設定すればよい。The present invention is not limited to the above embodiments. In the embodiment, the present invention is applied to the valve 1 for a compressed gas container using the diaphragm 19, but the present invention can also be applied to a valve having a normal structure that does not use a diaphragm. Further, the structure of the valve mechanism 10 is not limited to the embodiment, and the present invention can be applied to a valve for a compressed gas container equipped with another valve mechanism such as a pressure seal valve. Further, the inner diameter of the orifice opening 28 is not limited to the embodiment, and may be set appropriately so as to ensure safety.
【００３１】 さらに、実施例においては、オリフィスプラグ２４をねじによってバルブに組 付けたが、他の方法によってガス通路に組付けてもよい。 さらに、実施例は、本願考案を、半導体製造工程におけるＣＶＤ装置にシラン ガスを提供する圧縮ガス容器用バルブ１に本願考案を適用したものであるが、他 のガスを供給するために用いられる圧縮ガス容器用バルブにも本願考案を適用す ることができる。Further, in the embodiment, the orifice plug 24 is mounted on the valve by a screw, but it may be mounted on the gas passage by another method. Furthermore, although the present invention is applied to a valve 1 for a compressed gas container for supplying silane gas to a CVD apparatus in a semiconductor manufacturing process, the present invention is applied to a compressed gas used for supplying another gas. The present invention can also be applied to a gas container valve.
【図１】本願考案に係る圧縮ガス容器用バルブを装着し
たガス容器を含むガス供給回路の全体構成を示す模式図
である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an overall configuration of a gas supply circuit including a gas container equipped with a valve for a compressed gas container according to the present invention.
【図２】本願考案に係る圧縮ガス容器用バルブの断面図
である。FIG. 2 is a sectional view of a valve for a compressed gas container according to the present invention.
【図３】図２における要部の拡大図であるFIG. 3 is an enlarged view of a main part in FIG.
【図４】図３におけるIV−IV線に沿う断面図である。FIG. 4 is a sectional view taken along line IV-IV in FIG.
１ 圧縮ガス容器用バルブ ２ 圧縮ガス容器 ５ 吐出口 ６ 容器側連結部 ７ 外部配管 ８ 配管側連結部 ９ ガス通路 １０ バルブ機構 ２４ オリフィスプラグ ２５ 内周ねじ部 ２６ 外周ねじ部 ２７ 軸孔 ２８ オリフィス開口 ２９ 工具係合穴 1 Valve for Compressed Gas Container 2 Compressed Gas Container 5 Discharge Port 6 Container Side Connection Part 7 External Piping 8 Pipe Side Connection Part 9 Gas Passage 10 Valve Mechanism 24 Orifice Plug 25 Inner Threaded Part 26 Outer Threaded Part 27 Shaft Hole 28 Orifice Opening 29 Tool engagement hole
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)考案者 佐々木 等 東京都世田谷区船橋５−24−４ 有限会社 幸田シリンダーバルブ工場内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Sasaki et al. Koda Cylinder Valve Factory, 5-24-4 Funabashi, Setagaya-ku, Tokyo
Claims (2)
口に連結される容器側連結部と、上記圧縮ガスを吐出す
る外部配管に連結される配管側連結部と、上記容器側連
結部から配管側連結部にいたるガス通路の中間部を遮断
しうるバルブ機構とを備える圧縮ガス容器用バルブであ
って、 上記バルブ機構ないし上記配管側連結部におけるガス通
路に、外部配管に吐出される圧縮ガスの流量を制限する
オリフィスを備えるオリフィスプラグを着脱可能に設け
たことを特徴とする、圧縮ガス容器用バルブ。1. A container-side connecting portion connected to a discharge port of a compressed gas container for storing compressed gas, a pipe-side connecting portion connected to an external pipe for discharging the compressed gas, and the container-side connecting portion. A valve for a compressed gas container, comprising: a valve mechanism capable of shutting off an intermediate portion of a gas passage leading to a pipe side connecting part, wherein the valve mechanism or the gas passage in the pipe side connecting part discharges the compressed gas to an external pipe. A valve for a compressed gas container, which is detachably provided with an orifice plug having an orifice for limiting a gas flow rate.
定径のオリフィス開口と、一端が上記オリフィス開口出
口側に連通するとともに他端がガス通路に開口する断面
六角形状の工具係合穴とを備える一方、 外周部に、上記バルブ機構ないし上記配管側連結部にお
けるガス通路内周部に形成した内周ネジ部に螺合させら
れる外周ネジ部を備えることを特徴とする、請求項１に
記載した圧縮ガス容器用バルブ。2. The orifice plug includes an orifice opening having a predetermined diameter in an axial hole, and a tool engaging hole having a hexagonal cross section, one end of which communicates with the outlet side of the orifice opening and the other end of which opens into a gas passage. On the other hand, the outer peripheral portion is provided with an outer peripheral threaded portion that is screwed into an inner peripheral threaded portion formed on the inner peripheral portion of the gas passage in the valve mechanism or the pipe side connecting portion. The valve for the compressed gas container described.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1994012244U JP3019787U (en) | 1994-10-04 | 1994-10-04 | Valve for compressed gas container |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1994012244U JP3019787U (en) | 1994-10-04 | 1994-10-04 | Valve for compressed gas container |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3019787U true JP3019787U (en) | 1996-01-12 |
Family
ID=43155188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1994012244U Expired - Lifetime JP3019787U (en) | 1994-10-04 | 1994-10-04 | Valve for compressed gas container |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3019787U (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009542988A (en) * | 2006-06-30 | 2009-12-03 | プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド | Low discharge flow rate cylinder unit |
| JP2011512498A (en) * | 2008-02-14 | 2011-04-21 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | Gas filling and dispensing device, container equipped with the device, and operating circuit |
-
1994
- 1994-10-04 JP JP1994012244U patent/JP3019787U/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009542988A (en) * | 2006-06-30 | 2009-12-03 | プラクスエア・テクノロジー・インコーポレイテッド | Low discharge flow rate cylinder unit |
| JP2011512498A (en) * | 2008-02-14 | 2011-04-21 | レール・リキード−ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード | Gas filling and dispensing device, container equipped with the device, and operating circuit |
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