JPH05231429A - 圧力バランス式静圧スライド装置 - Google Patents
圧力バランス式静圧スライド装置Info
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- JPH05231429A JPH05231429A JP4072857A JP7285792A JPH05231429A JP H05231429 A JPH05231429 A JP H05231429A JP 4072857 A JP4072857 A JP 4072857A JP 7285792 A JP7285792 A JP 7285792A JP H05231429 A JPH05231429 A JP H05231429A
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- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C29/00—Bearings for parts moving only linearly
- F16C29/02—Sliding-contact bearings
- F16C29/025—Hydrostatic or aerostatic
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0603—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion
- F16C32/0614—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a gas cushion, e.g. an air cushion the gas being supplied under pressure, e.g. aerostatic bearings
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16C—SHAFTS; FLEXIBLE SHAFTS; ELEMENTS OR CRANKSHAFT MECHANISMS; ROTARY BODIES OTHER THAN GEARING ELEMENTS; BEARINGS
- F16C32/00—Bearings not otherwise provided for
- F16C32/06—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings
- F16C32/0629—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion
- F16C32/064—Bearings not otherwise provided for with moving member supported by a fluid cushion formed, at least to a large extent, otherwise than by movement of the shaft, e.g. hydrostatic air-cushion bearings supported by a liquid cushion, e.g. oil cushion the liquid being supplied under pressure
- F16C32/0651—Details of the bearing area per se
- F16C32/0659—Details of the bearing area per se of pockets or grooves
Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 加工精度，組立精度を高める必要がなく、静
圧流体の圧力を、負荷の変動にも拘らず、変動を少なく
し、かつ高く保持しうる静圧スライド装置を提供するこ
と。 【構成】 軌道台１を断面菱形状とし、スライダ２を固
定側スライダ部８と浮動側スライダ部９とに分け、両ス
ライダ部８，９を定圧予圧機構１７を介して係合する。
圧流体の圧力を、負荷の変動にも拘らず、変動を少なく
し、かつ高く保持しうる静圧スライド装置を提供するこ
と。 【構成】 軌道台１を断面菱形状とし、スライダ２を固
定側スライダ部８と浮動側スライダ部９とに分け、両ス
ライダ部８，９を定圧予圧機構１７を介して係合する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、静圧スライド装置に関
する。
する。
【０００２】
【従来の技術】従来の静圧スライド装置としては、例え
ば、実公昭６３ー４８８１０号公報がある。該公報に
は、図７，図８に示すごとく、断面長方形の移動テーブ
ルガイド３０を抱持して、断面長方形状の移動テーブル
３１が設けられ、前記テーブルガイド３０と移動テーブ
ル３１との間に微小な軸受すきま３２，３２を形成し、
該軸受すきま３２，３２へ、エアホース３３または３４
から圧縮空気を導入して、荷重を負荷させた移動テーブ
ル３１を静圧で支持するスライドテーブル装置が記載さ
れている。
ば、実公昭６３ー４８８１０号公報がある。該公報に
は、図７，図８に示すごとく、断面長方形の移動テーブ
ルガイド３０を抱持して、断面長方形状の移動テーブル
３１が設けられ、前記テーブルガイド３０と移動テーブ
ル３１との間に微小な軸受すきま３２，３２を形成し、
該軸受すきま３２，３２へ、エアホース３３または３４
から圧縮空気を導入して、荷重を負荷させた移動テーブ
ル３１を静圧で支持するスライドテーブル装置が記載さ
れている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】前述の従来のスライド
テーブル装置では、テーブルガイド３０の４面のガイド
軌道面３５，３６，３７，３８は相互に定位置に形成固
定されていることは勿論であるが、該ガイド軌道面３
５，３６，３７，３８にそれぞれ対峙する移動テーブル
３１の４面のテーブル軌道面３９，４０，４１，４２も
相互に定位置に形成固定されている。
テーブル装置では、テーブルガイド３０の４面のガイド
軌道面３５，３６，３７，３８は相互に定位置に形成固
定されていることは勿論であるが、該ガイド軌道面３
５，３６，３７，３８にそれぞれ対峙する移動テーブル
３１の４面のテーブル軌道面３９，４０，４１，４２も
相互に定位置に形成固定されている。
【０００４】静圧は各軌道面３５，３６，３７，３８お
よび３９，４０，４１，４２に垂直に印加されている。
よび３９，４０，４１，４２に垂直に印加されている。
【０００５】希望する負荷範囲で希望する静圧を保持す
るためには、所定の軸受すきま３２，３２を確保するよ
うに、各軌道面３５〜４２を所定の寸法に精密に形成し
なければならず、加工精度と組立精度を高くする必要が
あり、製作コストが高くなる欠点がある。
るためには、所定の軸受すきま３２，３２を確保するよ
うに、各軌道面３５〜４２を所定の寸法に精密に形成し
なければならず、加工精度と組立精度を高くする必要が
あり、製作コストが高くなる欠点がある。
【０００６】また前述のスライドテーブル装置では、図
１１に示すごとく、移動テーブル３１に負荷Ｆが印加さ
れた場合、移動テーブル３１が下方へ変位し、負荷側の
軸受すきま３２Ａが小となり、従って、負荷と反対側の
軸受すきま３２Ｂが大となる。
１１に示すごとく、移動テーブル３１に負荷Ｆが印加さ
れた場合、移動テーブル３１が下方へ変位し、負荷側の
軸受すきま３２Ａが小となり、従って、負荷と反対側の
軸受すきま３２Ｂが大となる。
【０００７】軸受すきまが大となるに従って加圧空気の
リークが大となり、静圧を高く保持することができなく
なる。
リークが大となり、静圧を高く保持することができなく
なる。
【０００８】また図１１の場合、負荷と静圧とがある値
でバランスし移動テーブル３１の変位は止まるが、静圧
が瞬時に安定しない。静圧が安定するのに位置の変化と
時間がかかる。またこれらの問題を解決するために、自
動調整静圧軸受等もあるが、システム全体が大がかりな
ものとなりコスト高となる。
でバランスし移動テーブル３１の変位は止まるが、静圧
が瞬時に安定しない。静圧が安定するのに位置の変化と
時間がかかる。またこれらの問題を解決するために、自
動調整静圧軸受等もあるが、システム全体が大がかりな
ものとなりコスト高となる。
【０００９】前述のごとく、移動テーブル３１に負荷が
印加されて、テーブルガイド３０に対し、移動テーブル
３１が変位し、最終的に静圧が安定しテーブルガイド３
０に対するある変位位置で移動テーブル３１がバランス
し保持されるまでの時間または位置を不安定域と名付け
ると、従来のスライドテーブル装置では、不安定域が長
大であった。
印加されて、テーブルガイド３０に対し、移動テーブル
３１が変位し、最終的に静圧が安定しテーブルガイド３
０に対するある変位位置で移動テーブル３１がバランス
し保持されるまでの時間または位置を不安定域と名付け
ると、従来のスライドテーブル装置では、不安定域が長
大であった。
【００１０】また図１２に示すごとく、移動テーブル３
１の一端に負荷Ｆが印加された場合には、移動テーブル
３１は、図示のごとく、傾いて変位し、軸受すきま３２
Ｃは軸受すきま３２Ｄより小となり、軸受すきま３２Ｅ
は軸受すきま３２Ｆより大となる。
１の一端に負荷Ｆが印加された場合には、移動テーブル
３１は、図示のごとく、傾いて変位し、軸受すきま３２
Ｃは軸受すきま３２Ｄより小となり、軸受すきま３２Ｅ
は軸受すきま３２Ｆより大となる。
【００１１】この場合も、負荷と静圧とがある値でバラ
ンスし、移動テーブル３１の変位が止まる。
ンスし、移動テーブル３１の変位が止まる。
【００１２】負荷Ｆの印加前から負荷印加後移動テーブ
ル３１のバランス位置となるまである時間を要する。す
なわち、この場合でも不安定域は長大であった。
ル３１のバランス位置となるまである時間を要する。す
なわち、この場合でも不安定域は長大であった。
【００１３】負荷に対する移動テーブルの変位量（沈下
量）は、静圧を高める程小となる。
量）は、静圧を高める程小となる。
【００１４】静圧を高めるために、軸受すきまを小さく
するには、軌道面３５〜３８および３９〜４２の加工精
度と組立精度を高くする必要があり、コストが高くな
る。
するには、軌道面３５〜３８および３９〜４２の加工精
度と組立精度を高くする必要があり、コストが高くな
る。
【００１５】前記負荷に対する移動テーブルの変位量が
大であれば、静圧スライド装置の剛性が低いといえる。
大であれば、静圧スライド装置の剛性が低いといえる。
【００１６】いずれにしても従来の静圧スライド装置で
は、負荷の変動に対して静圧が安定し難く、また高い静
圧を保持することができず、剛性が低かった。
は、負荷の変動に対して静圧が安定し難く、また高い静
圧を保持することができず、剛性が低かった。
【００１７】そこで、加工精度と組立精度を余り高くす
る必要がなく、製作コストがより低く、不安定域のより
短い、しかもより高い静圧を保持することができ、剛性
のより大である静圧スライド装置が要望されていた。
る必要がなく、製作コストがより低く、不安定域のより
短い、しかもより高い静圧を保持することができ、剛性
のより大である静圧スライド装置が要望されていた。
【００１８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上２面と下２
面との４平面の軌道面が設けられている断面菱形状で杆
状の軌道台と、該軌道台を上下より抱持し、該軌道台上
を走行自在とされるスライダとよりなり、該スライダは
固定側スライダ部と浮動側スライダ部とで構成されてお
り、前記固定側スライダ部は、前記軌道台に跨架され、
前記軌道台の山形をなす上２面の軌道面上を滑動すると
ころの、前記山形の２軌道面と同一角度に形成された逆
Ｖ字形軌道面を有し、前記浮動側スライダ部は、前記軌
道台の逆山形をなす下２面の軌道面下を滑動するところ
の、前記逆山形の２軌道面と同一角度に形成されたＶ字
形軌道面を有し、前記固定側スライダ部の両側辺が下方
へ延伸され、該両側辺の下端は、前記軌道台を囲繞して
口字状に下辺で連設され、前記浮動側スライダ部は、前
記下辺上に、前記軌道台を下から抱持する方向に、定圧
予圧機構を介して、抱持力が調節可能に、かつ前記両側
辺間を昇降自在に取り付けられており、前記固定側スラ
イダ部の逆Ｖ字形をなす両軌道面と浮動側スライダ部の
Ｖ字形をなす両軌道面には、いずれもそれぞれ対峙する
軌道台の軌道面に静圧流体を介して支承されるように、
圧力調節可能な流体供給配管が施されている構成の圧力
バランス式静圧スライド装置により、前述の課題を解決
し得たものである。
面との４平面の軌道面が設けられている断面菱形状で杆
状の軌道台と、該軌道台を上下より抱持し、該軌道台上
を走行自在とされるスライダとよりなり、該スライダは
固定側スライダ部と浮動側スライダ部とで構成されてお
り、前記固定側スライダ部は、前記軌道台に跨架され、
前記軌道台の山形をなす上２面の軌道面上を滑動すると
ころの、前記山形の２軌道面と同一角度に形成された逆
Ｖ字形軌道面を有し、前記浮動側スライダ部は、前記軌
道台の逆山形をなす下２面の軌道面下を滑動するところ
の、前記逆山形の２軌道面と同一角度に形成されたＶ字
形軌道面を有し、前記固定側スライダ部の両側辺が下方
へ延伸され、該両側辺の下端は、前記軌道台を囲繞して
口字状に下辺で連設され、前記浮動側スライダ部は、前
記下辺上に、前記軌道台を下から抱持する方向に、定圧
予圧機構を介して、抱持力が調節可能に、かつ前記両側
辺間を昇降自在に取り付けられており、前記固定側スラ
イダ部の逆Ｖ字形をなす両軌道面と浮動側スライダ部の
Ｖ字形をなす両軌道面には、いずれもそれぞれ対峙する
軌道台の軌道面に静圧流体を介して支承されるように、
圧力調節可能な流体供給配管が施されている構成の圧力
バランス式静圧スライド装置により、前述の課題を解決
し得たものである。
【００１９】
【作用】本発明では、軌道台とスライダとの相対峙する
軌道面間のＶ字形角度の加工精度は必要であるが、各軌
道面の角度以外の加工精度を高める必要がない。なお前
記軌道台のＶ字形、逆Ｖ字形の角度は適当なものに定め
ることができる。
軌道面間のＶ字形角度の加工精度は必要であるが、各軌
道面の角度以外の加工精度を高める必要がない。なお前
記軌道台のＶ字形、逆Ｖ字形の角度は適当なものに定め
ることができる。
【００２０】軌道台とスライダとの各軌道面は極めて容
易に対峙せしめうるが故に、各軌道面の組立精度は考慮
する必要がなく、組立容易である。
易に対峙せしめうるが故に、各軌道面の組立精度は考慮
する必要がなく、組立容易である。
【００２１】供給静圧は定圧予圧機構（例えばばね機
構）より僅かに大きくなれば、軌道台とスライダ間にす
きまが発生し、静圧流体はリークする。従って軸受すき
まを小さくすることができる。
構）より僅かに大きくなれば、軌道台とスライダ間にす
きまが発生し、静圧流体はリークする。従って軸受すき
まを小さくすることができる。
【００２２】軌道台とスライダとに印加される静圧と定
圧予圧機構による圧力とは常にバランスして保持されて
おり、スライダに印加される荷重が変化しても、また荷
重が偏心して印加されても、固定側スライダ部に対し浮
動側スライダ部が浮動状態で保持されており、浮動側ス
ライダ部の位置を定圧予圧機構のねじによる調節との協
動により固定側スライダ部に対し必要に応じて変更する
ことにより、軌道台とスライダ間で、全体にわたり一定
の小さな軸受すきまを得ることができる。
圧予圧機構による圧力とは常にバランスして保持されて
おり、スライダに印加される荷重が変化しても、また荷
重が偏心して印加されても、固定側スライダ部に対し浮
動側スライダ部が浮動状態で保持されており、浮動側ス
ライダ部の位置を定圧予圧機構のねじによる調節との協
動により固定側スライダ部に対し必要に応じて変更する
ことにより、軌道台とスライダ間で、全体にわたり一定
の小さな軸受すきまを得ることができる。
【００２３】従って、従来の静圧スライド装置に比べて
静圧を高くとることができ、不感帯域が短く、剛性が高
い。
静圧を高くとることができ、不感帯域が短く、剛性が高
い。
【００２４】
【実施例】以下図面に示す実施例により、本発明の構成
を説明する。
を説明する。
【００２５】図１，図２に示す第１の実施例において
は、杆状の軌道台１と、該軌道台１上を走行自在とされ
るスライダ２とが設けられている。
は、杆状の軌道台１と、該軌道台１上を走行自在とされ
るスライダ２とが設けられている。
【００２６】前記軌道台１は断面菱形状（図示例では菱
形の４内角はいずれも直角で断面正方形状である。）
で、上２面の台軌道面３，４と、下２面の台軌道面５，
６はそれぞれ略平面である。
形の４内角はいずれも直角で断面正方形状である。）
で、上２面の台軌道面３，４と、下２面の台軌道面５，
６はそれぞれ略平面である。
【００２７】前記軌道台１は、図２に示すごとく、両端
をＶブロック７，７で支持されている。したがって、軌
道台単体の荷重に対するたわみが小さい。
をＶブロック７，７で支持されている。したがって、軌
道台単体の荷重に対するたわみが小さい。
【００２８】前記スライダ２は、図１に示すごとく、固
定側スライダ部８と浮動側スライダ部９とからなる。
定側スライダ部８と浮動側スライダ部９とからなる。
【００２９】前記固定側スライダ部８は、前記軌道台１
に跨架され、前記軌道台１の直角の山形をなす上２面の
台軌道面３，４上を滑動するところの、直角の逆Ｖ字谷
形のスライダ軌道面１０，１１を有する。
に跨架され、前記軌道台１の直角の山形をなす上２面の
台軌道面３，４上を滑動するところの、直角の逆Ｖ字谷
形のスライダ軌道面１０，１１を有する。
【００３０】前記浮動側スライダ部９は、前記軌道台１
の直角の逆山形をなす下２面の台軌道面５，６下を滑動
するところの、直角のＶ字谷形のスライダ軌道面１２，
１３を有する。
の直角の逆山形をなす下２面の台軌道面５，６下を滑動
するところの、直角のＶ字谷形のスライダ軌道面１２，
１３を有する。
【００３１】前記固定側スライダ部８の両スライダ軌道
面１０，１１の両側には、側辺１４，１５がそれぞれ下
方へ延伸され、該両側辺１４，１５の下端には、下辺１
６が連設されている。
面１０，１１の両側には、側辺１４，１５がそれぞれ下
方へ延伸され、該両側辺１４，１５の下端には、下辺１
６が連設されている。
【００３２】前記固定側スライダ部８は両側辺１４，１
５および下辺１６とにより、前記軌道台１を口字状に囲
繞している。
５および下辺１６とにより、前記軌道台１を口字状に囲
繞している。
【００３３】前記浮動側スライダ部９は、前記下辺１６
上に、前記軌道台１を下から抱持する方向に、定圧予圧
機構１７などを介して、抱持力の予圧調整可能に、前記
両側辺１４，１５間を昇降自在に取り付けられている。
上に、前記軌道台１を下から抱持する方向に、定圧予圧
機構１７などを介して、抱持力の予圧調整可能に、前記
両側辺１４，１５間を昇降自在に取り付けられている。
【００３４】図１に示す実施例においては、定圧予圧機
構１７はばね体特に板ばねであり、前記ばね体を支承す
る平板の座板１９と予圧調整ねじ２０の上端は球状に形
成されていて、下辺１６に螺合されている予圧調整ねじ
２０の進退により、前記座板１９および定圧予圧機構
（板ばね）１７を介して、前記抱持力の予圧調整が極め
て容易に形成されている。なお、座板１９とばね１７と
は、図示せぬリベット等で固定されている。またＪＩＳ
Ｂ２７０６（さらばね）のようなばねを１個以上用いる
こともできる。
構１７はばね体特に板ばねであり、前記ばね体を支承す
る平板の座板１９と予圧調整ねじ２０の上端は球状に形
成されていて、下辺１６に螺合されている予圧調整ねじ
２０の進退により、前記座板１９および定圧予圧機構
（板ばね）１７を介して、前記抱持力の予圧調整が極め
て容易に形成されている。なお、座板１９とばね１７と
は、図示せぬリベット等で固定されている。またＪＩＳ
Ｂ２７０６（さらばね）のようなばねを１個以上用いる
こともできる。
【００３５】前記固定側スライダ部８の逆Ｖ字形をなす
両スライダ軌道面１０，１１はそれぞれ対峙する軌道台
１の両台軌道面３，４に静圧流体を介して支承されるよ
うに、また前記浮動側スライダ部９のＶ字形をなす両ス
ライダ軌道面１２，１３はそれぞれ対峙する軌道台１の
両台軌道面５，６に静圧流体を介して支承されるよう
に、図６に示すごとく、それぞれ圧力調整弁２３を介し
て流体供給配管２４が、固定側スライダ部８および浮動
側スライダ部９に施されている。圧力調整弁２３は予圧
より僅かに高い圧力に容易に調整可能である。
両スライダ軌道面１０，１１はそれぞれ対峙する軌道台
１の両台軌道面３，４に静圧流体を介して支承されるよ
うに、また前記浮動側スライダ部９のＶ字形をなす両ス
ライダ軌道面１２，１３はそれぞれ対峙する軌道台１の
両台軌道面５，６に静圧流体を介して支承されるよう
に、図６に示すごとく、それぞれ圧力調整弁２３を介し
て流体供給配管２４が、固定側スライダ部８および浮動
側スライダ部９に施されている。圧力調整弁２３は予圧
より僅かに高い圧力に容易に調整可能である。
【００３６】前述のごとく、浮動側スライダ部９は、座
板１９および定圧予圧機構１７を介して固定側スライダ
部８に係合されているが故に、図１０に示すごとく、負
荷Ｆが固定側スライダ部８の一端に印加され、固定側ス
ライダ部８が軌道台１に対して傾き、スライダ軌道面１
０，１１と台軌道面４，５との間の軸受すきま２５Ｃが
軸受すきま２５Ｄに対して小となっても、浮動側スライ
ダ部９は軌道台１に対し傾くことがなく、スライダ軌道
面１２，１３と台軌道面５，６との間の軸受すきま２５
Ｅは全幅にわたり均一である。
板１９および定圧予圧機構１７を介して固定側スライダ
部８に係合されているが故に、図１０に示すごとく、負
荷Ｆが固定側スライダ部８の一端に印加され、固定側ス
ライダ部８が軌道台１に対して傾き、スライダ軌道面１
０，１１と台軌道面４，５との間の軸受すきま２５Ｃが
軸受すきま２５Ｄに対して小となっても、浮動側スライ
ダ部９は軌道台１に対し傾くことがなく、スライダ軌道
面１２，１３と台軌道面５，６との間の軸受すきま２５
Ｅは全幅にわたり均一である。
【００３７】前述のごとく、軌道台１とスライダ２との
間には定圧予圧機構１７を介して定圧予圧が印加されて
いるので、図９に示すごとく、固定側スライダ部８に負
荷Ｆが印加され、例えば固定側スライダ部８と軌道台１
との間の軸受すきま２５Ａがより小となる場合、浮動側
スライダ部９と軌道台１との間の軸受すきま２５Ｂは、
浮動側スライダ部９が、定圧予圧機構１７を介して浮動
状態に保持されているため、軸受すきま２５Ａの縮小と
連動することがなく、軸受すきま２５Ａの変動に拘ら
ず、軸受すきま２５Ｂは常に同一状態を保持するように
働く。
間には定圧予圧機構１７を介して定圧予圧が印加されて
いるので、図９に示すごとく、固定側スライダ部８に負
荷Ｆが印加され、例えば固定側スライダ部８と軌道台１
との間の軸受すきま２５Ａがより小となる場合、浮動側
スライダ部９と軌道台１との間の軸受すきま２５Ｂは、
浮動側スライダ部９が、定圧予圧機構１７を介して浮動
状態に保持されているため、軸受すきま２５Ａの縮小と
連動することがなく、軸受すきま２５Ａの変動に拘ら
ず、軸受すきま２５Ｂは常に同一状態を保持するように
働く。
【００３８】従来の静圧スライド装置においては、図１
１に示すごとく、負荷Ｆが印加されると、軸受すきま３
２Ａの縮小と共に軸受すきま３２Ｂの拡大を伴い、静圧
が変動し安定せず、高い静圧を保持することができず、
静圧が低いため、負荷が印加された場合の移動テーブル
３１のテーブルガイド３０に対する変位が大となり、す
なわち剛性が低い。
１に示すごとく、負荷Ｆが印加されると、軸受すきま３
２Ａの縮小と共に軸受すきま３２Ｂの拡大を伴い、静圧
が変動し安定せず、高い静圧を保持することができず、
静圧が低いため、負荷が印加された場合の移動テーブル
３１のテーブルガイド３０に対する変位が大となり、す
なわち剛性が低い。
【００３９】これに対し、本発明の定圧予圧の静圧スラ
イド装置においては、軸受すきま２５Ａが変位しても軸
受すきま２５Ｂは変動することが極めて少なく、スライ
ダ２の軌道台１に対する変位が小となる。
イド装置においては、軸受すきま２５Ａが変位しても軸
受すきま２５Ｂは変動することが極めて少なく、スライ
ダ２の軌道台１に対する変位が小となる。
【００４０】前述のごとく、本発明では静圧が変動して
も、短時間に旧に復する故に、前述の不安定域が短くな
る。
も、短時間に旧に復する故に、前述の不安定域が短くな
る。
【００４１】前述の軌道台１の台軌道面３，４，５，６
と対峙するスライダ軌道面１０，１１，１２，１３の対
峙面は略平面で、図５に示すごとくスライダ軌道面１
０，１１，１２，１３を複数の区画４３，４３に分け
（図５では８区画）、周囲の枠状面４４，４４を各台軌
道面３，４，５，６とそれぞれ対峙せしめ、各枠状面４
４，４４間をやや凹の静圧空間４５，４５とし、各静圧
空間４５，４５の中央に静圧孔４６，４６を設け、静圧
が効率よく各台軌道面３，４，５，６と各スライダ軌道
面１０，１１，１２，１３との間に保持しているが、ス
ライダ軌道面の形状は、必ずしもこの限りではない。
と対峙するスライダ軌道面１０，１１，１２，１３の対
峙面は略平面で、図５に示すごとくスライダ軌道面１
０，１１，１２，１３を複数の区画４３，４３に分け
（図５では８区画）、周囲の枠状面４４，４４を各台軌
道面３，４，５，６とそれぞれ対峙せしめ、各枠状面４
４，４４間をやや凹の静圧空間４５，４５とし、各静圧
空間４５，４５の中央に静圧孔４６，４６を設け、静圧
が効率よく各台軌道面３，４，５，６と各スライダ軌道
面１０，１１，１２，１３との間に保持しているが、ス
ライダ軌道面の形状は、必ずしもこの限りではない。
【００４２】図３に示す第２の実施例においては、定圧
予圧機構として、流体圧の印加される予圧シリンダ体を
用いるものである。
予圧機構として、流体圧の印加される予圧シリンダ体を
用いるものである。
【００４３】本実施例においては、浮動側スライダ部９
にピストン２６が設けられ、シリンダ２７は固定側スラ
イダ部８に係止されている。
にピストン２６が設けられ、シリンダ２７は固定側スラ
イダ部８に係止されている。
【００４４】前記ピストン２６とシリンダ２７との間に
は予圧流体が圧入され、軌道台１とスライダ２との間に
予圧を印加する。
は予圧流体が圧入され、軌道台１とスライダ２との間に
予圧を印加する。
【００４５】図４に示す第３の実施例も、定圧予圧機構
として、流体圧の印加される予圧シリンダ体を用いるも
のである。
として、流体圧の印加される予圧シリンダ体を用いるも
のである。
【００４６】本実施例においては、浮動側スライダ部９
にシリンダ２８が設けられ、ピストン２９は固定側スラ
イダ部８に係合されている。
にシリンダ２８が設けられ、ピストン２９は固定側スラ
イダ部８に係合されている。
【００４７】前記シリンダ２８とピストン２９との間に
予圧流体が圧入される。
予圧流体が圧入される。
【００４８】予圧流体としては、気体または液体が用い
られる。
られる。
【００４９】第１の実施例に示すと同様、固定側スライ
ダ部８と浮動側スライダ部９とは、圧力流体を介して軌
道台１に対し予圧が印加されており、定圧予圧機構全体
が最終減圧弁の作用をし、静圧流体の脈動などの圧力の
変動を押さえることができる。皿ばねも同じである。
ダ部８と浮動側スライダ部９とは、圧力流体を介して軌
道台１に対し予圧が印加されており、定圧予圧機構全体
が最終減圧弁の作用をし、静圧流体の脈動などの圧力の
変動を押さえることができる。皿ばねも同じである。
【００５０】本実施例においては、予圧の制御は、圧力
調整弁２３の調整により、極めて容易にである。他の構
成は第１の実施例と同様である。
調整弁２３の調整により、極めて容易にである。他の構
成は第１の実施例と同様である。
【００５１】前述の実施例１，実施例２のいずれにおい
ても、加工および組立が、従来品より容易である。
ても、加工および組立が、従来品より容易である。
【００５２】
【発明の効果】前述の通り、本発明においては、断面菱
形状の軌道面を有する軌道台と、該軌道台の軌道面に対
峙する軌道面を有するスライダを、固定側スライダ部と
浮動側スライダ部とにより構成し、対峙する各軌道面間
に静圧を印加する静圧スライド装置であって、前記固定
側スライダ部と浮動側スライダ部との間に定圧予圧機構
を介して抱持力の予圧調節可能に構成したものである。
形状の軌道面を有する軌道台と、該軌道台の軌道面に対
峙する軌道面を有するスライダを、固定側スライダ部と
浮動側スライダ部とにより構成し、対峙する各軌道面間
に静圧を印加する静圧スライド装置であって、前記固定
側スライダ部と浮動側スライダ部との間に定圧予圧機構
を介して抱持力の予圧調節可能に構成したものである。
【００５３】前述の構成とすることにより、本発明は、
静圧と予圧とのバランスを保つことができ、負荷の変動
如何に拘らず、常時軌道台とスライダ間の軸受すきま間
をできるだけ小とすることが可能となり、しかも圧力バ
ランスを短時間に行うことができる。
静圧と予圧とのバランスを保つことができ、負荷の変動
如何に拘らず、常時軌道台とスライダ間の軸受すきま間
をできるだけ小とすることが可能となり、しかも圧力バ
ランスを短時間に行うことができる。
【００５４】またスライダが、固定側スライダと浮動側
スライダとよりなり、静圧スライド装置としての組立が
容易で組立精度も従来のもの程高める必要がなくなり、
製品の加工コストおよび組立コストの低下が実現可能と
なった。
スライダとよりなり、静圧スライド装置としての組立が
容易で組立精度も従来のもの程高める必要がなくなり、
製品の加工コストおよび組立コストの低下が実現可能と
なった。
【００５５】また、スライダの軌道台に対する抱持力の
予圧調整は極めて容易であり、供給静圧を自由に設定す
ることができる。
予圧調整は極めて容易であり、供給静圧を自由に設定す
ることができる。
【００５６】本発明は前述のごとき諸効果を奏しうる。
【図１】第１実施例の一部断面で示すスライダ進退方向
立面図である。
立面図である。
【図２】実施例の側面図である。
【図３】第２実施例の一部断面で示すスライダ進退方向
部分立面図である。
部分立面図である。
【図４】第３実施例の一部断面で示すスライダ進退方向
部分立面図である。
部分立面図である。
【図５】定圧予圧機構が予圧シリンダ体である場合の予
圧流体の配管説明図である。
圧流体の配管説明図である。
【図６】スライダ軌道面の実施例正面図である。
【図７】従来例の斜視図である。
【図８】従来例の断面図である。
【図９】本発明の負荷に対する動作説明図である。
【図１０】負荷が偏心して印加された場合の本発明の動
作説明図である。
作説明図である。
【図１１】従来例の負荷に対する動作説明図である。
【図１２】負荷が偏心して印加された場合の従来例の動
作説明図である。
作説明図である。
１ 軌道面 ２ スライダ ３，４，５，６ 台軌道面 ８ 固定側スライダ部 ９ 浮動側スライダ部 １０，１１，１２，１３ スライダ軌道面 １４，１５ 側辺 １６ 下辺 １７ 定圧予圧機構 １９ 座板 ２０ 予圧調整ねじ ２１ 座 ２３ 圧力調整弁 ２４ 流体供給配管 ２６，２９ ピストン ２７，２８ シリンダ
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成４年５月２７日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００１８
【補正方法】変更
【補正内容】
【００１８】
【課題を解決するための手段】 本発明は、上２面と下
２面との４平面の軌道面が設けられている断面菱形状で
杆状の軌道台と、該軌道台を上下より抱持し、該軌道台
上を走行自在とされるスライダとからなり、該スライダ
は固定側スライダ部と浮動側スライダ部とで構成されて
おり、前記固定側スライダ部は、前記軌道台に跨架さ
れ、前記軌道台の山形をなす上２面の軌道面上を滑動す
るところの、前記山形の２軌道面と同一角度に形成され
た逆Ｖ字形軌道面を有し、前記浮動側スライダ部は、前
記軌道台の逆山形をなす下２面の軌道面下を滑動すると
ころの、前記逆山形の２軌道面と同一角度に形成された
Ｖ字形軌道面を有し、前記固定側スライダ部の両側辺が
下方へ延伸され、該両側辺の下端は、前記軌道台を囲繞
して口字状に下辺で連設され、前記浮動側スライダ部
は、前記下辺上に、前記軌道台を下から抱持する方向
に、定圧予圧機構を介して、抱持力が調節可能に、かつ
前記両側辺間を昇降自在に取り付けられており、前記固
定側スライダ部の逆Ｖ字形をなす両軌道面と浮動側スラ
イダ部のＶ字形をなす両軌道面には、いずれもそれぞれ
対峙する軌道台の軌道面に静圧流体を介して支承される
ように、圧力調節可能な流体供給配管が施されている構
成の圧力バランス式静圧スライド装置により、前述の課
題を解決し得たものである。
２面との４平面の軌道面が設けられている断面菱形状で
杆状の軌道台と、該軌道台を上下より抱持し、該軌道台
上を走行自在とされるスライダとからなり、該スライダ
は固定側スライダ部と浮動側スライダ部とで構成されて
おり、前記固定側スライダ部は、前記軌道台に跨架さ
れ、前記軌道台の山形をなす上２面の軌道面上を滑動す
るところの、前記山形の２軌道面と同一角度に形成され
た逆Ｖ字形軌道面を有し、前記浮動側スライダ部は、前
記軌道台の逆山形をなす下２面の軌道面下を滑動すると
ころの、前記逆山形の２軌道面と同一角度に形成された
Ｖ字形軌道面を有し、前記固定側スライダ部の両側辺が
下方へ延伸され、該両側辺の下端は、前記軌道台を囲繞
して口字状に下辺で連設され、前記浮動側スライダ部
は、前記下辺上に、前記軌道台を下から抱持する方向
に、定圧予圧機構を介して、抱持力が調節可能に、かつ
前記両側辺間を昇降自在に取り付けられており、前記固
定側スライダ部の逆Ｖ字形をなす両軌道面と浮動側スラ
イダ部のＶ字形をなす両軌道面には、いずれもそれぞれ
対峙する軌道台の軌道面に静圧流体を介して支承される
ように、圧力調節可能な流体供給配管が施されている構
成の圧力バランス式静圧スライド装置により、前述の課
題を解決し得たものである。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【００２１】 供給静圧が定圧予圧機構（例えばばね機
構）より僅かに大きな圧力になれば、軌道台とスライダ
間にすきまが発生し、静圧流体はリークする。従って軸
受すきまを小さくすることができる。
構）より僅かに大きな圧力になれば、軌道台とスライダ
間にすきまが発生し、静圧流体はリークする。従って軸
受すきまを小さくすることができる。
【手続補正３】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００５４
【補正方法】変更
【補正内容】
【００５４】 またスライダが、固定側スライダと浮動
側スライダとからなり、静圧スライド装置としての組立
が容易で組立精度も従来のもの程高める必要がなくな
り、製品の加工コストおよび組立コストの低下が実現可
能となった。
側スライダとからなり、静圧スライド装置としての組立
が容易で組立精度も従来のもの程高める必要がなくな
り、製品の加工コストおよび組立コストの低下が実現可
能となった。
Claims (3)
- 【請求項１】 上２面と下２面との４平面の軌道面が設
けられている断面菱形状で杆状の軌道台と、該軌道台を
上下より抱持し、該軌道台上を走行自在とされるスライ
ダとよりなり、該スライダは固定側スライダ部と浮動側
スライダ部とで構成されており、前記固定側スライダ部
は、前記軌道台に跨架され、前記軌道台の山形をなす上
２面の軌道面上を滑動するところの、前記山形の２軌道
面と同一角度に形成された逆Ｖ字形軌道面を有し、前記
浮動側スライダ部は、前記軌道台の逆山形をなす下２面
の軌道面下を滑動するところの、前記逆山形の２軌道面
と同一角度に形成されたＶ字形軌道面を有し、前記固定
側スライダ部の両側辺が下方へ延伸され、該両側辺の下
端は、前記軌道台を囲繞して口字状に下辺で連設され、
前記浮動側スライダ部は、前記下辺上に、前記軌道台を
下から抱持する方向に、定圧予圧機構を介して、抱持力
が調節可能に、かつ前記両側辺間を昇降自在に取り付け
られており、前記固定側スライダ部の逆Ｖ字形をなす両
軌道面と浮動側スライダ部のＶ字形をなす両軌道面に
は、いずれもそれぞれ対峙する軌道台の軌道面に静圧流
体を介して支承されるように、圧力調節可能な流体供給
配管が施されていることを特徴とする圧力バランス式静
圧スライド装置。 - 【請求項２】 定圧予圧機構がばね体である請求項１記
載の圧力バランス式静圧スライド装置。 - 【請求項３】 定圧予圧機構が流体圧の印加される予圧
シリンダ体である請求項１記載の圧力バランス式静圧ス
ライド装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4072857A JPH05231429A (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | 圧力バランス式静圧スライド装置 |
| US08/022,251 US5330270A (en) | 1992-02-24 | 1993-02-24 | Statically pressure balanced slide unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4072857A JPH05231429A (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | 圧力バランス式静圧スライド装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05231429A true JPH05231429A (ja) | 1993-09-07 |
Family
ID=13501450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4072857A Pending JPH05231429A (ja) | 1992-02-24 | 1992-02-24 | 圧力バランス式静圧スライド装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5330270A (ja) |
| JP (1) | JPH05231429A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006247641A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-09-21 | Iai:Kk | 超音波浮上装置 |
| JP2009505014A (ja) * | 2005-08-13 | 2009-02-05 | シャフラー、コマンディット、ゲゼルシャフト | 静圧異形レールガイド |
| CN112628287A (zh) * | 2020-12-15 | 2021-04-09 | 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司 | 节流器、空气静压导轨及空气静压导轨控制系统 |
| CN115383473A (zh) * | 2022-08-17 | 2022-11-25 | 中国机械总院集团海西(福建)分院有限公司 | 应用于机床的预载式液体静压导轨组件及机床 |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4445132C1 (de) * | 1994-12-17 | 1996-01-18 | Neff Antriebstech Automation | Führungseinrichtung |
| IT1289550B1 (it) * | 1996-12-31 | 1998-10-15 | Inpeco S R L | Processo per la fabbricazione di un basamento per lo scorrimento a sostentamento pneumostatico di carri mobili,particolarmente |
| IT1314315B1 (it) * | 1999-12-22 | 2002-12-09 | Cortinovis Spa | Procedimento e dispositivo per facilitare lo scorrimento,lungo unapista, di un elemento a prevalente dimensione assiale soggetto ad |
| US20110262058A1 (en) * | 2010-04-26 | 2011-10-27 | Hiwin Mikrosystem Corp. | Air-bearing slide platform having positioning module |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3484064A (en) * | 1967-07-12 | 1969-12-16 | Gray & Co G A | Plumb control for horizontal boring drilling and milling machine |
| US5064318A (en) * | 1988-02-19 | 1991-11-12 | Excellon Automation | Precision guidance apparatus |
| DE3831676C1 (ja) * | 1988-09-17 | 1990-01-04 | Ina Linear Technik Ohg, 6650 Homburg, De | |
| GB8911125D0 (en) * | 1989-05-16 | 1989-07-05 | Davy Mckee Sheffield | Force applicator |
-
1992
- 1992-02-24 JP JP4072857A patent/JPH05231429A/ja active Pending
-
1993
- 1993-02-24 US US08/022,251 patent/US5330270A/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006247641A (ja) * | 2005-02-14 | 2006-09-21 | Iai:Kk | 超音波浮上装置 |
| JP2009505014A (ja) * | 2005-08-13 | 2009-02-05 | シャフラー、コマンディット、ゲゼルシャフト | 静圧異形レールガイド |
| CN112628287A (zh) * | 2020-12-15 | 2021-04-09 | 江苏集萃精凯高端装备技术有限公司 | 节流器、空气静压导轨及空气静压导轨控制系统 |
| CN115383473A (zh) * | 2022-08-17 | 2022-11-25 | 中国机械总院集团海西(福建)分院有限公司 | 应用于机床的预载式液体静压导轨组件及机床 |
| CN115383473B (zh) * | 2022-08-17 | 2023-09-19 | 中国机械总院集团海西(福建)分院有限公司 | 应用于机床的预载式液体静压导轨组件及机床 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5330270A (en) | 1994-07-19 |
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