JPH05223873A - 信頼性試験装置 - Google Patents
信頼性試験装置Info
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- JPH05223873A JPH05223873A JP2961092A JP2961092A JPH05223873A JP H05223873 A JPH05223873 A JP H05223873A JP 2961092 A JP2961092 A JP 2961092A JP 2961092 A JP2961092 A JP 2961092A JP H05223873 A JPH05223873 A JP H05223873A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、誤った判定による故障率や寿命の
変動を抑えることにより、新規試料などでも精度よく故
障を判定し、試験対象試料に対して正確な信頼性評価を
行うことにある。 【構成】 試料１２の特性値と故障判定基準とに基づい
て前記試料の故障を判定する故障判定手段１４と、この
故障判定手段によって故障と判定されたとき、過去の特
性値，今回の特性値を選択的に用いて増加率，分散およ
び偏差値の何れか１つ以上を算出する再評価値算出手段
１６〜１８と、この再評価値算出手段によって算出され
た値から故障判定手段による故障判定が適切であるか否
かを評価し、当該故障判定が適切でないと評価したとき
故障判定基準を変更する再評価手段１９とを設けた信頼
性試験装置である。
変動を抑えることにより、新規試料などでも精度よく故
障を判定し、試験対象試料に対して正確な信頼性評価を
行うことにある。 【構成】 試料１２の特性値と故障判定基準とに基づい
て前記試料の故障を判定する故障判定手段１４と、この
故障判定手段によって故障と判定されたとき、過去の特
性値，今回の特性値を選択的に用いて増加率，分散およ
び偏差値の何れか１つ以上を算出する再評価値算出手段
１６〜１８と、この再評価値算出手段によって算出され
た値から故障判定手段による故障判定が適切であるか否
かを評価し、当該故障判定が適切でないと評価したとき
故障判定基準を変更する再評価手段１９とを設けた信頼
性試験装置である。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、まとまった数の半導体
デバイス，電子部品，機構部品等の故障率やを寿命など
を検証するときに利用される信頼性試験装置に係わり、
特に試料の故障判定基準を適応的に変化させて正確な信
頼性評価を行う信頼性試験装置に関する。
デバイス，電子部品，機構部品等の故障率やを寿命など
を検証するときに利用される信頼性試験装置に係わり、
特に試料の故障判定基準を適応的に変化させて正確な信
頼性評価を行う信頼性試験装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、半導体デバイスや電子部品などの
信頼性を評価する場合、例えば半導体デバイスの場合に
は数１０個まとめてそれらの漏れ電流（特性値データ）
を測定し、また電子部品である例えばリレーの場合には
同じく数１０個まとめてそれらの接触抵抗（特性値デー
タ）を測定し、それら試料の信頼性を評価することが行
われている。
信頼性を評価する場合、例えば半導体デバイスの場合に
は数１０個まとめてそれらの漏れ電流（特性値データ）
を測定し、また電子部品である例えばリレーの場合には
同じく数１０個まとめてそれらの接触抵抗（特性値デー
タ）を測定し、それら試料の信頼性を評価することが行
われている。
【０００３】通常，この種の信頼性試験装置には２種類
の試験があり、その１つは試料の特性値の状態変化量か
ら当該試料の劣化傾向や物性を調査する試験であり、他
の１つは試料の故障率などを求めて信頼性を評価する試
験である。なお、後者の故障率を求める場合には、予め
試験対象となる試料について過去の経験値やカタログで
定めた基準値などを用いて故障判定基準を設定し、実際
の特性値データと故障判定基準データとに基づいて試験
対象試料の故障率を評価している。
の試験があり、その１つは試料の特性値の状態変化量か
ら当該試料の劣化傾向や物性を調査する試験であり、他
の１つは試料の故障率などを求めて信頼性を評価する試
験である。なお、後者の故障率を求める場合には、予め
試験対象となる試料について過去の経験値やカタログで
定めた基準値などを用いて故障判定基準を設定し、実際
の特性値データと故障判定基準データとに基づいて試験
対象試料の故障率を評価している。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし、以上のような
信頼性の試験は、比較的短期間に同一製造工程で製造さ
れた試料について試験する場合には前回と同じ故障判定
基準を用いて故障率を求めてもそれほど問題はないが、
例えば新規開発試料やある一定期間放置または経過後の
試料を試験する場合は、特性値が未だ未知だったり、或
いは特性値が経時変化したりすることが多く、このため
適正な故障判定基準を設定することが困難である。しか
も、故障判定基準の値が不適切であると試料の故障率や
寿命を正確に求められない問題がある。
信頼性の試験は、比較的短期間に同一製造工程で製造さ
れた試料について試験する場合には前回と同じ故障判定
基準を用いて故障率を求めてもそれほど問題はないが、
例えば新規開発試料やある一定期間放置または経過後の
試料を試験する場合は、特性値が未だ未知だったり、或
いは特性値が経時変化したりすることが多く、このため
適正な故障判定基準を設定することが困難である。しか
も、故障判定基準の値が不適切であると試料の故障率や
寿命を正確に求められない問題がある。
【０００５】そこで、通常，故障率を求める信頼性評価
試験では、故障数が一定数以上になると試験を打ち切
り、試験対象試料について種々の設計改良を施すことが
行われている。
試験では、故障数が一定数以上になると試験を打ち切
り、試験対象試料について種々の設計改良を施すことが
行われている。
【０００６】ところで、実際上の信頼性試験では、故障
判定基準の感度が高すぎる場合や低くすぎる場合があ
り、例えば感度が高すぎると試料の特性値データが変動
したとき故障と判定してしまい、本当の故障が発生する
前に試験が終了し、真の故障率を得ることが難しくな
る。
判定基準の感度が高すぎる場合や低くすぎる場合があ
り、例えば感度が高すぎると試料の特性値データが変動
したとき故障と判定してしまい、本当の故障が発生する
前に試験が終了し、真の故障率を得ることが難しくな
る。
【０００７】また、試験対象試料の故障判定基準は、ユ
ーザなどから要求されるカタログの規格値に基づいて定
める場合が多いが、実際に製品を作る場合にはかなりの
マージンをもって設計することが多い。このため、安易
に規格値を故障判定基準に用いると、その試料の真の故
障率や寿命を求めることができない。従って、かかる信
頼性試験装置は、適正な故障判定基準を見い出し難く、
故障率や寿命の推定値が実際の値から大きく外れてしま
う問題がある。
ーザなどから要求されるカタログの規格値に基づいて定
める場合が多いが、実際に製品を作る場合にはかなりの
マージンをもって設計することが多い。このため、安易
に規格値を故障判定基準に用いると、その試料の真の故
障率や寿命を求めることができない。従って、かかる信
頼性試験装置は、適正な故障判定基準を見い出し難く、
故障率や寿命の推定値が実際の値から大きく外れてしま
う問題がある。
【０００８】本発明は上記実情に鑑みてなされたもの
で、試料の故障判定結果に基づいて再評価を試みながら
誤った判定による故障率や寿命の変動を抑えることによ
り、新規試料などでも精度よく故障判定を行い、試験対
象試料について正確に信頼性評価を行う信頼性試験装置
を提供することを目的とする。
で、試料の故障判定結果に基づいて再評価を試みながら
誤った判定による故障率や寿命の変動を抑えることによ
り、新規試料などでも精度よく故障判定を行い、試験対
象試料について正確に信頼性評価を行う信頼性試験装置
を提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明は上記課題を解決
するために、試験対象試料の特性値データと予め定めた
故障判定基準データとに基づいて前記試料の故障を判定
する故障判定手段の他、この故障判定手段によって故障
と判定されたとき、過去の特性値データおよび今回の特
性値データを選択的に用いて増加率，分散および偏差値
の何れか１つ以上を算出する再評価値算出手段およびこ
の再評価値算出手段によって算出された値から前記故障
判定手段による故障判定が適切であるか否かを評価し、
当該故障判定が適切でないと評価したとき、前記故障判
定基準データを変更するする再評価手段とを設けた信頼
性試験装置である。
するために、試験対象試料の特性値データと予め定めた
故障判定基準データとに基づいて前記試料の故障を判定
する故障判定手段の他、この故障判定手段によって故障
と判定されたとき、過去の特性値データおよび今回の特
性値データを選択的に用いて増加率，分散および偏差値
の何れか１つ以上を算出する再評価値算出手段およびこ
の再評価値算出手段によって算出された値から前記故障
判定手段による故障判定が適切であるか否かを評価し、
当該故障判定が適切でないと評価したとき、前記故障判
定基準データを変更するする再評価手段とを設けた信頼
性試験装置である。
【００１０】
【作用】従って、本発明は以上のような手段を講じたこ
とにより、故障判定手段にて試験対象試料の特性値と過
去の経験値またはカタログの規格値などから定めた故障
判定基準との大小関係から当該試料の故障を判定する
が、新規開発試料の場合には適切な故障判定基準でなか
ったり、或いは同種の試料でも特性値が経時変化するこ
とがあ。そこで、故障判定手段において故障と判定され
たとき、再評価値算出手段において増加率，分散および
偏差値などを算出した後、再評価手段にて特性値の経時
変化や変化率の増大や偏差値の増大などを考慮しつつ故
障判定が適切か否かを再評価し、ここで故障判定が適切
でない場合には増加率，分散および偏差値に基づいて故
障判定基準を適応的に変更するので、誤った判定による
故障率や寿命の変動がなくなり、効率よく、かつ、高い
精度で信頼性を評価することができる。
とにより、故障判定手段にて試験対象試料の特性値と過
去の経験値またはカタログの規格値などから定めた故障
判定基準との大小関係から当該試料の故障を判定する
が、新規開発試料の場合には適切な故障判定基準でなか
ったり、或いは同種の試料でも特性値が経時変化するこ
とがあ。そこで、故障判定手段において故障と判定され
たとき、再評価値算出手段において増加率，分散および
偏差値などを算出した後、再評価手段にて特性値の経時
変化や変化率の増大や偏差値の増大などを考慮しつつ故
障判定が適切か否かを再評価し、ここで故障判定が適切
でない場合には増加率，分散および偏差値に基づいて故
障判定基準を適応的に変更するので、誤った判定による
故障率や寿命の変動がなくなり、効率よく、かつ、高い
精度で信頼性を評価することができる。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１２】図１は本発明に係わる信頼性試験装置の一
実施例を示す機能ブロック図である。同図において１１
は同種の複数の試料からなる試料群１２の各試料の特性
値を測定するセンサー群であって、これらセンサー群１
２で測定された特性値データはデータベース１３に格納
され、さらに故障判定手段１４に送られて故障判定に用
いられる。この故障判定手段１４は、各試料の特性値デ
ータと故障判定基準用メモリ１５に予め記憶されている
故障判定基準データとの大小比較を行い、各試料の故障
有無を判定する。
実施例を示す機能ブロック図である。同図において１１
は同種の複数の試料からなる試料群１２の各試料の特性
値を測定するセンサー群であって、これらセンサー群１
２で測定された特性値データはデータベース１３に格納
され、さらに故障判定手段１４に送られて故障判定に用
いられる。この故障判定手段１４は、各試料の特性値デ
ータと故障判定基準用メモリ１５に予め記憶されている
故障判定基準データとの大小比較を行い、各試料の故障
有無を判定する。
【００１３】この故障判定手段１４によって試料群１２
の中に故障試料がある場合、図示していないが必要に応
じて例えば試料の種類ごとのカウンタに故障回数をセッ
トする一方、増加率算出手段１６、分散算出手段１７お
よび偏差値算出手段１８により所定の演算処理を実行す
る。
の中に故障試料がある場合、図示していないが必要に応
じて例えば試料の種類ごとのカウンタに故障回数をセッ
トする一方、増加率算出手段１６、分散算出手段１７お
よび偏差値算出手段１８により所定の演算処理を実行す
る。
【００１４】前記増加率算出手段１６は、故障判定手段
１４から故障有りの判定を受けるとデータベース１３か
ら過去の特性値データおよび今回の特性値データを読み
出して特性値の増加率を算出する機能をもっている。ま
た、分散算出手段１７は、試料群１２から測定された例
えば数１０個の試料の特性値（母集団）がどのように散
らばっているかを算出するものであり、また偏差値演算
手段１８は同じく試料群１２から測定された例えば数１
０個の試料の母集団から各特性値がどの位離れているか
を算出する機能をもっている。
１４から故障有りの判定を受けるとデータベース１３か
ら過去の特性値データおよび今回の特性値データを読み
出して特性値の増加率を算出する機能をもっている。ま
た、分散算出手段１７は、試料群１２から測定された例
えば数１０個の試料の特性値（母集団）がどのように散
らばっているかを算出するものであり、また偏差値演算
手段１８は同じく試料群１２から測定された例えば数１
０個の試料の母集団から各特性値がどの位離れているか
を算出する機能をもっている。
【００１５】これら増加率算出手段１６、分散算出手段
１７および偏差値算出手段１８によって算出された増加
率，分散および偏差値はそれぞれ故障再評価手段１９に
送られる。
１７および偏差値算出手段１８によって算出された増加
率，分散および偏差値はそれぞれ故障再評価手段１９に
送られる。
【００１６】この故障再評価手段１９は、各手段１６〜
１８で算出された値をもとに前記故障判定手段１４で判
定された内容が適切であったか否かを再評価し、適切で
ないと判定したとき故障判定基準用メモリ１５の故障判
定基準を適切な方向に変更し、一方、故障判定手段１４
による判定が適切であると判定したとき、当該試料群１
２の特性値データを消去し、以後、当該試料群１２の特
性値データを使用しないようにする。
１８で算出された値をもとに前記故障判定手段１４で判
定された内容が適切であったか否かを再評価し、適切で
ないと判定したとき故障判定基準用メモリ１５の故障判
定基準を適切な方向に変更し、一方、故障判定手段１４
による判定が適切であると判定したとき、当該試料群１
２の特性値データを消去し、以後、当該試料群１２の特
性値データを使用しないようにする。
【００１７】次に、以上のように構成された装置の動作
について図２を参照して説明する。先ず、故障判定手段
１４において試料群１２から測定された特性値データを
収集し（ＳＴ１）、この特性値データと故障判定基準と
を比較する（ＳＴ２）。ここで、各特性値データが故障
判定基準よりも小さく故障なしの試料と判定するとステ
ップＳＴ１に戻り、次の試料の特性値データについて故
障判定を行い、以後，ステップＳＴ１，ＳＴ２の処理を
繰り返し継続する。
について図２を参照して説明する。先ず、故障判定手段
１４において試料群１２から測定された特性値データを
収集し（ＳＴ１）、この特性値データと故障判定基準と
を比較する（ＳＴ２）。ここで、各特性値データが故障
判定基準よりも小さく故障なしの試料と判定するとステ
ップＳＴ１に戻り、次の試料の特性値データについて故
障判定を行い、以後，ステップＳＴ１，ＳＴ２の処理を
繰り返し継続する。
【００１８】ステップＳＴ２において試料が故障である
と判定したとき、同種の試料について以前にも同様の故
障が検出されたか否かを判断する（ＳＴ３）。ここで、
当該試料が以前にも例えば２回以上故障したと判定した
とき当該故障の試料を除外し、ステップＳＴ１に戻る。
と判定したとき、同種の試料について以前にも同様の故
障が検出されたか否かを判断する（ＳＴ３）。ここで、
当該試料が以前にも例えば２回以上故障したと判定した
とき当該故障の試料を除外し、ステップＳＴ１に戻る。
【００１９】一方、ステップＳＴ３において以前に故障
が検出されていない試料であると判定すると、引き続
き、例えば増加率算出，分散値算出および偏差値算出の
処理に移行する。つまり、増加率算出手段１６は、デー
タベース１３から同種の試料の過去の特性値（例えば平
均値）を取り出し（ＳＴ４）、この特性値と今回の当該
試料の特性値との間で増加率を算出し（ＳＴ５）、増加
率が小さいか大きいかを判断する（ＳＴ６）。増加率が
小さいと判断したとき、試料群１２全体の特性値の分散
を算出する（ＳＴ７）。但し、この分散の算出に当た
り、一度でも故障が検出された試料についてはその試料
の特性値を母集団の分散の算出には用いない。分散の算
出に用いると、結果として真の母集団の形が現れないだ
めである。つまり、突発的なデータの変動による母集団
の分散の乱れを抑えることができる。
が検出されていない試料であると判定すると、引き続
き、例えば増加率算出，分散値算出および偏差値算出の
処理に移行する。つまり、増加率算出手段１６は、デー
タベース１３から同種の試料の過去の特性値（例えば平
均値）を取り出し（ＳＴ４）、この特性値と今回の当該
試料の特性値との間で増加率を算出し（ＳＴ５）、増加
率が小さいか大きいかを判断する（ＳＴ６）。増加率が
小さいと判断したとき、試料群１２全体の特性値の分散
を算出する（ＳＴ７）。但し、この分散の算出に当た
り、一度でも故障が検出された試料についてはその試料
の特性値を母集団の分散の算出には用いない。分散の算
出に用いると、結果として真の母集団の形が現れないだ
めである。つまり、突発的なデータの変動による母集団
の分散の乱れを抑えることができる。
【００２０】以上のようにして分散を求めたならば、次
にステップＳＴ８で分散が小さいか否かを判断し、ここ
で分散が小さいと判断したとき、次のステップＳＴ９に
移行し故障判定手段１４で故障と判定された試料単体の
特性値について試料群全体の特性値との偏差値を算出す
る。そして、ステップＳＴ１０において偏差値が小さい
か否かを判断し、偏差値が小さいと判断したときには故
障判定手段１４の故障判定が適切でないと判定し、前記
故障判定基準用メモリ１５の故障判定基準を変更する
（ＳＴ１１）。
にステップＳＴ８で分散が小さいか否かを判断し、ここ
で分散が小さいと判断したとき、次のステップＳＴ９に
移行し故障判定手段１４で故障と判定された試料単体の
特性値について試料群全体の特性値との偏差値を算出す
る。そして、ステップＳＴ１０において偏差値が小さい
か否かを判断し、偏差値が小さいと判断したときには故
障判定手段１４の故障判定が適切でないと判定し、前記
故障判定基準用メモリ１５の故障判定基準を変更する
（ＳＴ１１）。
【００２１】なお、ステップＳＴ６，ＳＴ８，ＳＴ１０
において増加率，分散および偏差値がそれぞれ小さくな
いと判断されたときには、その試料は完全な故障である
と断定する。また、ここで、一度でも故障と断定された
試料については故障判定基準を変更した後でも再度判定
を変更しない。
において増加率，分散および偏差値がそれぞれ小さくな
いと判断されたときには、その試料は完全な故障である
と断定する。また、ここで、一度でも故障と断定された
試料については故障判定基準を変更した後でも再度判定
を変更しない。
【００２２】従って、以上のようなデータ処理を行え
ば、突発的な故障や試験途中で復帰してしまう故障も的
確に捕えることができ、信頼性試験の精度を向上するこ
とができる。なお、ステップＳＴ１２において故障と断
定した試料数が所定数に達したとき試験は終了する。
ば、突発的な故障や試験途中で復帰してしまう故障も的
確に捕えることができ、信頼性試験の精度を向上するこ
とができる。なお、ステップＳＴ１２において故障と断
定した試料数が所定数に達したとき試験は終了する。
【００２３】次に、具体的に故障判定基準を変更する例
について図３を参照して説明する。同図において横軸は
試験時間ないしは経過時間を表し、縦軸は各試料の特性
値を表す。また、Ｌ1 は故障判定前に予めメモリ１５に
格納されている故障判定基準を示す。
について図３を参照して説明する。同図において横軸は
試験時間ないしは経過時間を表し、縦軸は各試料の特性
値を表す。また、Ｌ1 は故障判定前に予めメモリ１５に
格納されている故障判定基準を示す。
【００２４】今、例えば時刻Ｔ1 においてセンサー群１
１で測定した試料群１２の特性値が図示Ｓ1 のごとく分
布しており、その他，ＡおよびＢの特性値を持つ試料が
存在していたとする。一方，メモリ１５には故障判定基
準Ｌ1 が格納されているものとする。その結果、故障判
定手段１４は、上記特性値と故障判定基準Ｌ1 とに基づ
いて故障判定を実施したところ、ＡおよびＢの特性値を
持つ試料が故障であると判定される。
１で測定した試料群１２の特性値が図示Ｓ1 のごとく分
布しており、その他，ＡおよびＢの特性値を持つ試料が
存在していたとする。一方，メモリ１５には故障判定基
準Ｌ1 が格納されているものとする。その結果、故障判
定手段１４は、上記特性値と故障判定基準Ｌ1 とに基づ
いて故障判定を実施したところ、ＡおよびＢの特性値を
持つ試料が故障であると判定される。
【００２５】ところが、同種の試料群１２について時刻
Ｔ2 において特性値を測定したところ、特性値の経時変
化により分布が図示Ｓ2 のような変化したとする。ゆえ
に、このような分布Ｓ2 の場合にはその多くの試料の特
性値が故障判定基準を越えてしまい、その多くの試料が
故障であると判定されてしまう。しかし、これは経時変
化による特性値の変動であって、真の意味での故障であ
るとは言えない。つまり、試料の特性値の変化によって
故障を判定するには、増加率算出手段１６、分散算出手
段１７および偏差値算出手段１８などの算出結果に基づ
き、故障再評価手段１９により母集団の経時変化や突発
性（変化率の増大，偏差値の増大など）を考慮し、適正
な故障判定基準を設定する必要がある。
Ｔ2 において特性値を測定したところ、特性値の経時変
化により分布が図示Ｓ2 のような変化したとする。ゆえ
に、このような分布Ｓ2 の場合にはその多くの試料の特
性値が故障判定基準を越えてしまい、その多くの試料が
故障であると判定されてしまう。しかし、これは経時変
化による特性値の変動であって、真の意味での故障であ
るとは言えない。つまり、試料の特性値の変化によって
故障を判定するには、増加率算出手段１６、分散算出手
段１７および偏差値算出手段１８などの算出結果に基づ
き、故障再評価手段１９により母集団の経時変化や突発
性（変化率の増大，偏差値の増大など）を考慮し、適正
な故障判定基準を設定する必要がある。
【００２６】このことは、故障再評価手段１９において
以上のような評価を加えながら故障判定手段１４の判定
結果が適切でないとき、母集団がＳ2 のごとく経時的に
変動した場合、図示Ｌ2 のように故障判定基準を変更す
るものであ。但し、Ｂの試料のように一度故障と判定さ
れた試料については、母集団が変動し故障判定基準が変
化しても故障が復帰したことにはならない。従って、か
かる場合には当該試料に関する特性値データは処理対象
から除く必要がある。
以上のような評価を加えながら故障判定手段１４の判定
結果が適切でないとき、母集団がＳ2 のごとく経時的に
変動した場合、図示Ｌ2 のように故障判定基準を変更す
るものであ。但し、Ｂの試料のように一度故障と判定さ
れた試料については、母集団が変動し故障判定基準が変
化しても故障が復帰したことにはならない。従って、か
かる場合には当該試料に関する特性値データは処理対象
から除く必要がある。
【００２７】なお、上記実施例では半導体デバイス，電
子部品，機構部品等の試験対象を想定しているが、これ
らの試験対象に限らないこと、また本装置では増加率，
分散および偏差値以外の値でも適宜適用できることは言
うまでもない。その他、本発明はその要旨を逸脱しない
範囲で種々変形して実施できる。
子部品，機構部品等の試験対象を想定しているが、これ
らの試験対象に限らないこと、また本装置では増加率，
分散および偏差値以外の値でも適宜適用できることは言
うまでもない。その他、本発明はその要旨を逸脱しない
範囲で種々変形して実施できる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、試
験中に故障と判定されたとき、その試験途中で得られる
試料の特性値から変化率や分散などを求め、故障判定さ
れた試料に対して再評価を行い、故障判定基準を変更す
ることにより、誤った判定による故障率や寿命の変動を
抑えることができ、よって新規試料などでも精度よく故
障を判定でき、試験対象試料に対して正確な信頼性評価
を行うことができる。
験中に故障と判定されたとき、その試験途中で得られる
試料の特性値から変化率や分散などを求め、故障判定さ
れた試料に対して再評価を行い、故障判定基準を変更す
ることにより、誤った判定による故障率や寿命の変動を
抑えることができ、よって新規試料などでも精度よく故
障を判定でき、試験対象試料に対して正確な信頼性評価
を行うことができる。
【図１】 本発明に係わる信頼性試験装置の一実施例を
示す機能ブロック図。
示す機能ブロック図。
【図２】 故障判定された試料について再評価を行うた
めの動作フローを示す図。
めの動作フローを示す図。
【図３】 試料の特性値の経時変化と故障判定基準との
関係を示す図。
関係を示す図。
１１…センサー群、１２…試料群、１３…データベー
ス、１４…故障判定手段、１５…故障判定基準用メモ
リ、１６…増加率算出手段、１７…分散算出手段、１８
…偏差値算出手段、１９…故障再評価手段。
ス、１４…故障判定手段、１５…故障判定基準用メモ
リ、１６…増加率算出手段、１７…分散算出手段、１８
…偏差値算出手段、１９…故障再評価手段。
Claims (1)
- 【請求項１】 試験対象試料の特性値データと予め定め
た故障判定基準データとに基づいて前記試料の故障を判
定する故障判定手段と、この故障判定手段によって故障
と判定されたとき、過去の特性値データおよび今回の特
性値データを選択的に用いて増加率，分散および偏差値
の何れか１つ以上を算出する再評価値算出手段と、この
再評価値算出手段によって算出された値から前記故障判
定手段による故障判定が適切であるか否かを評価し、当
該故障判定が適切でないと評価したとき、前記故障判定
基準データを変更する再評価手段とを備えたことを特徴
とする信頼性試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2961092A JPH05223873A (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 信頼性試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2961092A JPH05223873A (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 信頼性試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05223873A true JPH05223873A (ja) | 1993-09-03 |
Family
ID=12280839
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2961092A Pending JPH05223873A (ja) | 1992-02-17 | 1992-02-17 | 信頼性試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05223873A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112276937A (zh) * | 2019-07-25 | 2021-01-29 | 发那科株式会社 | 故障预测系统 |
-
1992
- 1992-02-17 JP JP2961092A patent/JPH05223873A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112276937A (zh) * | 2019-07-25 | 2021-01-29 | 发那科株式会社 | 故障预测系统 |
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