JPH052129U - Optical matrix switch - Google Patents
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- JPH052129U JPH052129U JP4620091U JP4620091U JPH052129U JP H052129 U JPH052129 U JP H052129U JP 4620091 U JP4620091 U JP 4620091U JP 4620091 U JP4620091 U JP 4620091U JP H052129 U JPH052129 U JP H052129U
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Abstract
(57)【要約】
［構成］ 光マトリクススイッチを、第一の光スイッチ
基板３０、光配線基板５０及び第二の光スイッチ基板４
０で構成する。基板３０には１×ｍ光スイッチ３１をｎ
個並置形成してある。基板４０には１×ｎ光スイッチ４
１をｍ個並置形成してある。基板５０には配線用のｍ×
ｎ本の導波路５１であって基板５０の第一の辺５０ａか
らこの辺と直交する第二の辺５０ｂに向かう導波路５１
を設けてある。基板３０を基板５０にその第一の辺５０
ａ側の端面で当接させ、基板４０を基板５０にその第二
の辺５０ｂ側の端面で当接させてある。
［効果］ 電気光学効果を必要としない構成成分を基板
５０に作り込める。基板３０、４０には、電気光学効果
を必要としない構成成分を除いた分光スイッチを多く作
り込めるようになる。より大規模な光マトリクススイッ
チの構築が可能になる。
(57) [Summary] [Structure] The optical matrix switch includes a first optical switch substrate 30, an optical wiring substrate 50, and a second optical switch substrate 4.
It consists of 0. The substrate 30 is provided with a 1 × m optical switch 31
They are formed side by side. 1 × n optical switch 4 on the substrate 40
M pieces of 1 are formed side by side. Mx for wiring on the substrate 50
The waveguides 51 that are n waveguides 51 and extend from the first side 50a of the substrate 50 toward the second side 50b orthogonal to the first side 50a.
Is provided. The substrate 30 and the substrate 50 on the first side 50
The end face on the a side is abutted, and the substrate 40 is abutted on the substrate 50 at the end face on the second side 50b side. [Effect] The substrate 50 can be formed with components that do not require the electro-optical effect. A large number of spectroscopic switches excluding constituents that do not require the electro-optical effect can be formed on the substrates 30 and 40. A larger-scale optical matrix switch can be constructed.
Description
【０００１】[0001]
この考案は、複数の入力ポートと複数の出力ポートとの間の光信号の経路を任 意に切り換えるための光マトリクススイッチに関するものである。 This invention provides a path for optical signals between multiple input ports and multiple output ports. The present invention relates to an optical matrix switch for switching at will.
【０００２】[0002]
光通信や光交換においては、光信号の経路を切り換えるための光マトリクスス イッチが必要になる。 In optical communication and optical switching, an optical matrix switch for switching optical signal paths You need an switch.
【０００３】 このような光マトリクススイッチは、複数の個別光スイッチとこれら個別光ス イッチ間を接続するための複数の導波路と、個別光スイッチ駆動用電極で主に構 成されている。そして、従来の光マトリクススイッチは、一般に、個別光スイッ チ、導波路及び電極が、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ3 ）基板、インジウムリ ン（ＩｎＰ）基板、砒化ガリウム（ＧａＡｓ）基板などの電気光学効果を示す基 板に作り込まれていた。Such an optical matrix switch is mainly composed of a plurality of individual optical switches, a plurality of waveguides for connecting the individual optical switches, and an individual optical switch driving electrode. In the conventional optical matrix switch, the individual optical switch, the waveguide, and the electrode generally exhibit an electro-optical effect such as a lithium niobate (LiNbO 3 ) substrate, an indium phosphide (InP) substrate, and a gallium arsenide (GaAs) substrate. It was built into the board.
【０００４】 しかし、光マトリクススイッチの作製に用い得る上述のような基板は、現在の ところ最大でも直径３インチ（１インチは約２５．４ｍｍ．）程度のものである 。このため、この種の基板を利用してより大規模な光マトリクススイッチを構築 する場合、基板の大きさが障害となるので、何らかの対策が必要になる。[0004] However, the above-mentioned substrates that can be used for manufacturing an optical matrix switch are currently available. However, the maximum diameter is about 3 inches (1 inch is about 25.4 mm.). . Therefore, a larger-scale optical matrix switch can be constructed using this type of substrate. In that case, the size of the substrate becomes an obstacle, so some measure is required.
【０００５】 このような対策のヒントとなる従来技術として、特開昭６２−２７５２３０号 公報（以下、「公報Ｉ」と略称する。）に開示の技術及び特開平２−１８１７３ １号公報（以下、「公報ＩＩ」と略称する。）に開示の技術がある。[0005] Japanese Patent Application Laid-Open No. 62-275230 discloses a conventional technique that provides a hint for such measures. The technology disclosed in the official gazette (hereinafter, abbreviated as "publication I") and Japanese Patent Laid-Open No. 2-18173. There is a technique disclosed in Japanese Patent Publication No. 1 (hereinafter, abbreviated as “publication II”).
【０００６】 公報Ｉに開示の技術とは、小型化、一体化が可能な光ゲートマトリクススイッ チを提供するための技術であった。具体的には、図８に示すように、シリコン基 板１１にガラス微粒子を堆積させてマトリクス状の光導波路１３を形成した基板 １１に光導波路１３をよぎる溝１５を設けこの溝１５に可動部によって光の開閉 を行うアレイ状の光ゲートスイッチ１７を埋め込んで成る光ゲートマトリクスス イッチに関するものであった。なお、図Ｘにおいて、１９は光ファイバ、２１は 光ファイバ接続用ガイド溝である。[0006] The technology disclosed in Publication I is an optical gate matrix switch that can be downsized and integrated. It was a technology to provide Specifically, as shown in FIG. Substrate in which glass microparticles are deposited on a plate 11 to form a matrix-shaped optical waveguide 13 11 is provided with a groove 15 crossing the optical waveguide 13, and a movable portion is provided in the groove 15 to open and close the light. An optical gate matrix switch in which an array-shaped optical gate switch 17 is embedded. It was about the switch. In FIG. X, 19 is an optical fiber and 21 is an optical fiber. It is a guide groove for connecting an optical fiber.
【０００７】 また、公報ＩＩには、複数の光マトリクススイッチの間を接続する手段として 、光段間接続回路なる概念が開示されていた。[0007] Further, in Publication II, as a means for connecting a plurality of optical matrix switches, The concept of an optical interstage connection circuit has been disclosed.
【０００８】[0008]
しかしながら、公報Ｉには、可動部によって光を開閉する光ゲートスイッチを シリコン基板に組み込む点は開示されているものの、電気光学効果を示す基板を 利用してより大規模な光マトリクススイッチを構築するための具体的な構造は示 されていない。また、公報Ｉに開示の光ゲートマトリクススイッチは、光ゲート スイッチを用いているため、電気光学効果を示す基板を利用した光スイッチを用 いる場合に比べ、光損失が大きくなってしまう。 However, in Publication I, there is an optical gate switch that opens and closes light by a movable part. Although it has been disclosed that it should be incorporated in a silicon substrate, a substrate that exhibits an electro-optical effect should be used. A concrete structure for constructing a larger-scale optical matrix switch using It has not been. Further, the optical gate matrix switch disclosed in Publication I is Since a switch is used, use an optical switch that uses a substrate that exhibits an electro-optical effect. The optical loss will be larger than that in the case where it is present.
【０００９】 また、公報ＩＩに開示の技術は、複数の光マトリクススイッチを有する光通話 路であって伝送損失の少ない光通話路を提供するための技術であり、半導体レー ザ型増幅器の設け方を特徴とした技術であった。さらに、この公報ＩＩでいう光 段間接続回路は、完成された光マトリクススイッチ間を接続するためのものであ った。このように、公報ＩＩには、電気光学効果を示す基板を利用してより大規 模な光マトリクススイッチを構築するための具体的な構造は示されていない。[0009] In addition, the technology disclosed in Publication II is an optical communication having a plurality of optical matrix switches. Is a technology for providing an optical communication path that has a low transmission loss. The technology was characterized by how to install a Z-type amplifier. Furthermore, the light referred to in this publication II The inter-stage connection circuit is for connecting between completed optical matrix switches. It was. As described above, in Publication II, a substrate that exhibits an electro-optical effect is used to make a larger rule. No specific structure for constructing a simulated optical matrix switch is shown.
【００１０】 この考案はこのような点に鑑みなされたものであり、したがってこの考案の目 的は、電気光学効果を示す基板を利用しつつより大規模な光マトリクススイッチ の構築が可能な構造を提供することにある。[0010] The present invention has been made in view of such a point, and therefore, the purpose of this invention is The objective is to use a substrate that exhibits an electro-optical effect while using a larger-scale optical matrix switch. The purpose is to provide a structure that can be constructed.
【００１１】[0011]
この目的の達成を図るため、この考案の光マトリクススイッチによれば、１× ｎ光スイッチをｍ個並列に設けてある第一の光スイッチ基板であって各光スイッ チはそのｎ個側端部が当該基板の一つの辺に並列に位置するように設けてある第 一の光スイッチ基板と、 １×ｍ光スイッチをｎ個並列に設けてある第二の光スイッチ基板であって各光 スイッチはそのｍ個側端部が当該基板の一つの辺に並列に位置するように設けて ある第二の光スイッチ基板と、 ｍ×ｎ本の導波路を有する多角形の光配線基板とを具え、 前述のｍ×ｎ本の光導波路は、各々の一方の端部が前述の光配線基板の第一の 辺に並列に位置し、各々の他方の端部が前述の光配線基板の前述の第一の辺とは 非平行な第二の辺に並列に位置するように、前述の光配線基板に設けてあり、 前述の第一の光スイッチ基板の前述の一つの辺側端面と前述の光配線基板の第 一の辺側端面とを当接させて前述の第一の光スイッチ基板の光スイッチと前述の 光配線基板の導波路とを接続し、前述の第二の光スイッチ基板の前述の一つの辺 側端面と前述の光配線基板の第二の辺側端面とを当接させて前述の第二の光スイ ッチ基板の光スイッチと前述の光配線基板の導波路とを接続して成ることを特徴 とする。 In order to achieve this purpose, the optical matrix switch of the present invention uses 1 × A first optical switch board in which n optical switches are provided in parallel, The n-th end is provided so that its n-side end portions are located in parallel with one side of the substrate. One optical switch board, A second optical switch board in which n 1 × m optical switches are provided in parallel. The switch is installed so that its m side ends are parallel to one side of the board. A second optical switch board, a polygonal optical wiring board having m × n waveguides, One end of each of the m × n optical waveguides is the first of the optical wiring board described above. Are arranged in parallel with each other, and the other end of each is the above-mentioned first side of the above-mentioned optical wiring board. It is provided on the above-mentioned optical wiring board so as to be positioned in parallel to the non-parallel second side, The above-mentioned one side edge surface of the above-mentioned first optical switch board and the above-mentioned optical wiring board The one side edge surface is brought into contact with the above-mentioned optical switch of the first optical switch substrate and the above-mentioned optical switch of the first optical switch substrate. One side of the above-mentioned second optical switch board, which is connected to the waveguide of the optical wiring board The side end face and the second side end face of the above-mentioned optical wiring board are brought into contact with each other to make the above-mentioned second optical switch. The optical switch on the switch substrate and the waveguide on the above-mentioned optical wiring substrate are connected. And
【００１２】[0012]
この考案の構成によれば、３つの基板を組み合わせて１つの光マトリクススイ ッチが構成される。そして、第一の光スイッチ基板及び第二の光スイッチ基板各 々は、電気光学効果を示す基板で構成できる。さらに、第一の光スイッチ基板に はｎ分岐された光スイッチをｍ個並置形成すれば良く、第二の光スイッチ基板に はｍ分岐された光スイッチをｎ個並置形成すれば良く、これら第一の光スイッチ 基板と第二の光スイッチ基板との間を接続するため必要な導波路は光配線用基板 に設けることができる。光配線基板側に導波路を設けた分電気光学効果を示す基 板側には光スイッチを多く設けることができるようになるので、その分光マトリ クススイッチの規模を大きくできる。 According to the configuration of this invention, three substrates are combined to form one optical matrix switch. Is configured. Then, each of the first optical switch board and the second optical switch board Each can be composed of a substrate that exhibits an electro-optical effect. Furthermore, on the first optical switch substrate Can be formed by arranging n optical switches divided into n side by side. It is sufficient to form n branching optical switches side by side. These first optical switches The waveguide required to connect the substrate and the second optical switch substrate is the optical wiring substrate Can be provided. A substrate that exhibits an electro-optical effect due to the provision of a waveguide on the optical wiring board side. Since many optical switches can be installed on the board side, the spectroscopic matrix The size of the switch can be increased.
【００１３】 また、ｎ分岐された光スイッチ（１×ｎ光スイッチ）や、ｍ分岐された光スイ ッチ（１×ｍ光スイッチ）は、例えば、１×２光スイッチを順次に接続すること により構成できる。１×２光スイッチは小型化が容易であるので、より多分岐な （ｎ，ｍが大きな）光スイッチ基板が簡易に得られる。[0013] Also, an n-branched optical switch (1 × n optical switch) or an m-branched optical switch is used. Switch (1 × m optical switch), for example, connect 1 × 2 optical switches in sequence. It can be configured by. The 1 × 2 optical switch is easy to miniaturize, so it has more branches. An optical switch substrate (large in n and m) can be easily obtained.
【００１４】 また、光配線基板と第一の光スイッチ基板との接続を光配線基板の第一の辺を 用い行い、光配線基板と第二の光スイッチ基板との接続を光配線基板の第一の辺 とは非平行な第二の辺を用い行うので、第一の光スイッチ基板、光配線基板及び 第二の光スイッチ基板が直線状に並ぶことがない。このため光マトリクススイッ チの長さを低減できる。[0014] Also, connect the optical wiring board and the first optical switch board to the first side of the optical wiring board. And connect the optical wiring board and the second optical switch board to the first side of the optical wiring board. Is performed using a second side that is not parallel to the first optical switch board, the optical wiring board, and The second optical switch substrate does not line up in a straight line. Therefore, the optical matrix switch The length of the chain can be reduced.
【００１５】[0015]
以下、図面を参照してこの考案の光マトリクススイッチの実施例について説明 する。なお、説明に用いる各図はこの考案を理解できる程度に各構成成分の寸法 、形状、配置関係を概略的に示してある。また、以下の説明において、各光スイ ッチや導波路の詳細な構造の説明及びそれらの作製法の説明は省略する。この考 案においては、従来の種々の光スイッチや導波路を利用できるからである。 An embodiment of the optical matrix switch of the present invention will be described below with reference to the drawings To do. In addition, each figure used for explanation is the dimension of each component so that this device can be understood. , The shape and the positional relationship are schematically shown. Also, in the following description, each optical switch The detailed description of the structure of the switch and the waveguide and the description of the manufacturing method thereof are omitted. This consideration This is because various conventional optical switches and waveguides can be used in the proposal.
【００１６】 １．第１実施例 図１は、第１実施例の光マトリクススイッチを概略的に示した平面図である。 特にｍ＝ｎ＝４の場合の光マトリクススイッチの平面図である。[0016] 1. First embodiment FIG. 1 is a plan view schematically showing the optical matrix switch of the first embodiment. In particular, it is a plan view of the optical matrix switch when m = n = 4.
【００１７】 図１において、３０は第一の光スイッチ基板、４０は第二の光スイッチ基板、 ５０は光配線基板、６０は入出力ポートである。第一の光スイッチ基板３０及び 第二の光スイッチ基板４０それぞれは、電気光学効果を示す基板で構成する。例 えばＬｉＮｂＯ3 基板、ＩｎＰ基板またはＧａＡｓ基板を用いることができる。 また、光配線基板５０は、導波路形成が容易でしかも光の伝播損失が小さい基板 で構成するのが良い。例えば石英基板またはガラス基板を用いることができる。 なお、光配線基板５０を、熱膨張係数を一致させる目的で、基板４０、５０と同 じ材料で構成してももちろん良い。In FIG. 1, 30 is a first optical switch board, 40 is a second optical switch board, 50 is an optical wiring board, and 60 is an input / output port. Each of the first optical switch substrate 30 and the second optical switch substrate 40 is a substrate that exhibits an electro-optical effect. For example, a LiNbO 3 substrate, an InP substrate or a GaAs substrate can be used. Further, the optical wiring substrate 50 is preferably formed of a substrate which is easy to form a waveguide and has a small propagation loss of light. For example, a quartz substrate or a glass substrate can be used. The optical wiring board 50 may of course be made of the same material as the boards 40 and 50 for the purpose of matching the thermal expansion coefficients.
【００１８】 第一の光スイッチ基板３０には、１×ｎ光スイッチに相当する１×４光スイッ チ３１（図中丸い破線で囲んだもの。）が４個適当な隙間をもって並列に設けて ある。しかも、４個の１×４光スイッチ３１各々の４つの分岐側の端部が第一の 光スイッチ基板３０の一つの辺３０ａに並列に位置するように、これら１×４光 スイッチ３１は基板３０に設けてある。そして、各１×４光スイッチ３１各々は この場合、１×２光スイッチ３３ａと、これの一方の分岐先に接続された１×２ 光スイッチ３３ｂ及び他方の分岐先に接続された１×２光スイッチ３３ｃとで構 成してある。さらに、各１×４光スイッチ３１各々は、１×２光スイッチ３３ａ 駆動用の電極３５ａ及びこの電極３５ａを外部回路（図示せず）に接続するため のパッド３５ｂと、１×２光スイッチ３３ｂ，３３ｃ駆動用の電極３７ａ及びこ の電極３７ａを外部回路（図示せず）に接続するためのパッド３７ｂと、１×２ 光スイッチ３３ａ，３３ｂ，３３ｃ用のアース電極３９ａ及びこのアース電極３ ９ａを外部回路（図示せず）に接続するためのパッド３９ｂとを具えている。こ れらのパッド３５ｂ，３７ｂ及び３９ｂは、各１×４光スイッチ３１の間の隙間 に設けてある。なお、これらパッドは光マトリクススイッチのパッケージの端子 とワイヤーボンディングにより直接接続できる。あるいは、多層配線構造を採用 しその上層配線とこれらパッドとを接続しても良い。[0018] The first optical switch board 30 has a 1 × 4 optical switch corresponding to a 1 × n optical switch. Four 31 (circled in the figure) enclosed in parallel with an appropriate gap. is there. Moreover, the four branch-side ends of each of the four 1 × 4 optical switches 31 are the first These 1 × 4 light beams are arranged so as to be parallel to one side 30a of the optical switch substrate 30. The switch 31 is provided on the substrate 30. And each 1 × 4 optical switch 31 In this case, the 1 × 2 optical switch 33a and the 1 × 2 optical switch 33a connected to one branch destination of the 1 × 2 optical switch 33a It is composed of an optical switch 33b and a 1 × 2 optical switch 33c connected to the other branch destination. I have made it. Further, each 1 × 4 optical switch 31 has a 1 × 2 optical switch 33a. To connect the driving electrode 35a and this electrode 35a to an external circuit (not shown) Pad 35b, electrodes 37a for driving 1x2 optical switches 33b and 33c, and A pad 37b for connecting the electrode 37a of the same to an external circuit (not shown) and 1 × 2 Earth electrode 39a for the optical switches 33a, 33b, 33c and the earth electrode 3 Pad 9b for connecting 9a to an external circuit (not shown). This These pads 35b, 37b and 39b are the gaps between the 1 × 4 optical switches 31. It is provided in. These pads are the terminals of the optical matrix switch package. Can be directly connected by wire bonding. Or adopt a multilayer wiring structure However, the upper layer wiring and these pads may be connected.
【００１９】 また、第二の光スイッチ基板４０には、１×ｍ光スイッチに相当する１×４光 スイッチ４１が４個適当な隙間をもって並列に設けてある。各１×４光スイッチ ４１の基板への設け方、各１×４光スイッチ４１のそれぞれの構成は、この実施 例の場合、第一の光スイッチ基板３０の１×４光スイッチ３１と同じとしてある 。[0019] In addition, the second optical switch substrate 40 has 1 × 4 light corresponding to a 1 × m optical switch. Four switches 41 are provided in parallel with an appropriate gap. Each 1 × 4 optical switch The method of providing 41 to the substrate and the configuration of each 1 × 4 optical switch 41 are as follows. In the case of the example, it is the same as the 1 × 4 optical switch 31 of the first optical switch substrate 30. .
【００２０】 また、光配線基板５０はこの場合矩形の基板としてある。そして、ｍ×ｎ本の 導波路したがってこの場合は１６本の導波路（夫々の導波路を５１で示してある 。）を具えている。そして、１６本の光導波路５１各々は、この場合、この導波 路を導波する光の光路を直角に変更する曲率導波路部分５１ａを具えると共に一 方の端部が光配線基板５０の第一の辺５０ａに並列に位置し他方の端部が第一の 辺５０ａに直交する第二の辺５０ｂに位置するように、光配線基板５０に設けて ある。しかも、第一の辺５０ａでの各導波路５１の間隔は第一の光スイッチ基板 ３０の一つの辺３０ａでの各光スイッチ３１の端部の間隔と一致させてある。ま た、第二の辺５０ｂでの各導波路５１の間隔は第二の光スイッチ基板４０の光配 線基板５０側の４０ａでの各光スイッチ４１の端部の間隔と一致させてある。さ らに、第一の光スイッチ基板３０の４個の１×４光スイッチと、第二の光スイッ チ基板４０の４個の１×４光スイッチとが、相互に接続されるように（図１に示 すように）、各導波路５１を光配線基板５０に設けてある。[0020] The optical wiring board 50 is a rectangular board in this case. And m × n Therefore, in this case 16 waveguides (each waveguide is indicated by 51) . ) Is included. Then, each of the 16 optical waveguides 51 is A curved waveguide portion 51a for changing the optical path of light guided through the path to a right angle is provided. One end is located in parallel with the first side 50a of the optical wiring substrate 50, and the other end is located first. Provided on the optical wiring board 50 so as to be located on the second side 50b orthogonal to the side 50a. is there. Moreover, the space between the waveguides 51 on the first side 50a is set to the first optical switch substrate. The distance between the ends of each optical switch 31 on one side 30 a of the optical fiber 30 is matched. Well The spacing between the waveguides 51 on the second side 50b is equal to the optical distribution of the second optical switch substrate 40. It is made to coincide with the distance between the end portions of the respective optical switches 41 on the line board 50 side 40a. It In addition, the four 1 × 4 optical switches on the first optical switch board 30 and the second optical switch So that the four 1 × 4 optical switches on the substrate 40 are connected to each other (shown in FIG. 1). As described above, each waveguide 51 is provided on the optical wiring board 50.
【００２１】 なお、第１実施例の光マトリクススイッチの光配線基板５０のように曲率導波 路５１ａを用いる場合、曲率半径Ｒ（図１参照）の分のスペースを光配線基板５ ０に設けた方が設計が容易である。曲率半径Ｒを２〜０．５或いはさらに小さく した曲率導波路の設計が可能なことが例えば文献（エレクトロニクスレターズ（ １９８８．８．４），ＶＯｌ．２４，ｐ．９９８）に報告されている。[0021] In addition, as in the optical wiring board 50 of the optical matrix switch of the first embodiment, the curvature waveguide is used. When the path 51a is used, a space corresponding to the radius of curvature R (see FIG. 1) is provided in the optical wiring board 5. It is easier to design if it is set to 0. Curvature radius R is 2 to 0.5 or smaller It is possible to design curved curvature waveguides, for example, in the literature (Electronic Letters ( 1988.8.4), VOL. 24, p. 998).
【００２２】 また、このような光配線基板５０は、曲率導波路設計のためのスペースが必要 な分その大きさが大きくなる。しかし、この光配線基板５０に接続される第一及 び第二光スイッチ基板３０、４０が、パッド３５ｂ，３７ｂ，３９ｂ用のスペー スを設けた分大きくなるので、光配線基板５０と第一及び第二光スイッチ基板３ ０、４０各々との大きさの点での整合性は問題ない。[0022] Further, such an optical wiring board 50 needs a space for designing a curvature waveguide. As much as that, the size increases. However, the first and the second connected to the optical wiring board 50 And the second optical switch substrates 30 and 40 are used for the pads 35b, 37b and 39b. The optical wiring board 50 and the first and second optical switch boards 3 become larger because the space is provided. Consistency in terms of size with respect to each of 0 and 40 is no problem.
【００２３】 上述のような第一の光スイッチ基板３０の一つの辺３０ａ側の端面と光配線基 板５０の第一の辺５０ａ側の端面とを当接させ、かつ、第二の光スイッチ基板４ ０の一つの辺４０ａ側の端面と光配線基板５０の第二の辺５０ｂ側の端面とを当 接させることにより第１実施例の光マトリクススイッチを構成する。なお、各基 板同士を当接させた後はこれら基板は好適な方法で固定する。具体的な固定方法 としては、これに限られないが、接着剤による固定法、治具による固定法などを 挙げることができる。ここで、各基板の他の基板と当接させる端面は、光損失を 低減する意味で、鏡面にかつ他の基板の端面と平行な面となるように加工してお くのが好適である。[0023] The end face on the side 30a side of the first optical switch substrate 30 and the optical wiring board as described above. The end face of the plate 50 on the first side 50a side is brought into contact with the second optical switch substrate 4 The end surface of the optical wiring board 50 on the side 40a and the end surface of the optical wiring substrate 50 on the side 50b. By making contact with each other, the optical matrix switch of the first embodiment is constructed. In addition, each group After bringing the plates into contact, the substrates are fixed in a suitable manner. Specific fixing method , But not limited to this, a fixing method using an adhesive, a fixing method using a jig, etc. Can be mentioned. Here, the end face of each substrate that comes into contact with the other substrate causes optical loss. In order to reduce it, it is processed to be a mirror surface and a surface parallel to the end surface of another substrate. Is preferred.
【００２４】 この第１実施例の光マトリクススイッチは、矩形の光配線基板５０の直交する ２辺を利用して光配線基板５０と第一及び第二の光マトリクススイッチ３０、４ ０とを接続するので、矩形の光配線基板５０の対向する２辺を利用する場合に比 べ、光マトリクススイッチの全長を短くすることができる（以下の第２〜第４実 施例及び第６実施例において同じ。）。[0024] The optical matrix switch of the first embodiment is orthogonal to the rectangular optical wiring board 50. The optical wiring substrate 50 and the first and second optical matrix switches 30, 4 are utilized by utilizing the two sides. Since 0 and 0 are connected to each other, compared to the case where two opposite sides of the rectangular optical wiring substrate 50 are used. That is, the total length of the optical matrix switch can be shortened (the following second to fourth actual The same applies to the embodiment and the sixth embodiment. ).
【００２５】 ２．第２実施例 次に、ｍ＝ｎ＝１６の場合の光マトリクススイッチの実施例を説明する。図２ はその説明に供する要部平面図であり、ｍ＝ｎ＝１６の光マトリクススイッチに 具わる第一の光スイッチ基板７０に着目して示した要部平面図である。[0025] 2. Second embodiment Next, an embodiment of the optical matrix switch in the case of m = n = 16 will be described. Figure 2 Is a plan view of an essential part used for the explanation, and shows an optical matrix switch of m = n = 16. It is a principal part top view shown paying attention to the 1st optical switch board 70 which comprises.
【００２６】 第２実施例の光マトリクススイッチの第一の光スイッチ基板７０では、第１実 施例の場合に比べ１×２光スイッチを二段増設して１×１６光スイッチ７１を構 成する。図２中にＰで示した各１×２光スイッチが増設した光スイッチに相当す る。そして、このように構成した１×１６光スイッチ７１を図２中Ｘで示す方向 に１６個並置して設けることによって、第２実施例に係る第一の光スイッチ基板 ７０が構成できる。アース電極７３や各１×２光スイッチ駆動用電極７５さらに これらを外部回路と接続するためのパッド７７は第１実施例の場合と同様に基板 ７０に設けてある。[0026] In the first optical switch substrate 70 of the optical matrix switch of the second embodiment, the first Compared with the case of the embodiment, a 1 × 16 optical switch 71 is constructed by adding two 1 × 2 optical switches in two stages. To achieve. Each 1 × 2 optical switch indicated by P in FIG. 2 corresponds to the added optical switch. It Then, the 1 × 16 optical switch 71 configured as described above is moved in the direction indicated by X in FIG. The first optical switch substrate according to the second embodiment is provided by arranging 16 of them side by side. 70 can be configured. The ground electrode 73 and each 1 × 2 optical switch driving electrode 75 The pad 77 for connecting these to the external circuit is the same as in the case of the first embodiment. 70 is provided.
【００２７】 また、第二の光スイッチ基板もこの第一の光スイッチ基板７０と同様な構成と すれば良い。[0027] Also, the second optical switch board has the same structure as the first optical switch board 70. Just do it.
【００２８】 また、光配線基板は基本構造は図１と同様とし導波路数を１６×１６＝２５６ 本としたもので構成する。[0028] The optical wiring board has the same basic structure as in FIG. 1 and the number of waveguides is 16 × 16 = 256. It consists of books.
【００２９】 次に、この第２実施例の光マトリクススイッチの寸法例について図３（Ａ）及 び（Ｂ）と図２と図１とを適宜参照して説明する。[0029] Next, regarding the dimensional example of the optical matrix switch of the second embodiment, FIG. (B) and FIGS. 2 and 1 will be described as appropriate.
【００３０】 まず、図３（Ａ）は、図２に示した１×１６光スイッチ７１中の最分岐位置（ 図２中Ｑで示す部分）の１×２光スイッチを拡大して示した平面図である。この １×２光スイッチ７１ａはスイッチ自体の寸法ｔを１０ｍｍとしてある。また、 この１×２光スイッチ７１ａは曲率ｒの曲がり導波路をつないだＳ字状の導波路 ７１ｂを具えるものとしてある。この導波路７１ｂの分岐末端の間隔をｄとする と、このＳ字状の導波路７１ｂを形成するに必要な寸法Ｌは、公知の円の公式に よりＬ＝（２ｒｄ）1/2 で与えられる。そして、１×１６光スイッチの中の各段 の１×２光スイッチの分岐末端の間隔はその１×２光スイッチがこの１×１６光 スイッチ中のどの段にあるかにより図３（Ｂ）に示すようにｄ，２ｄ，４ｄ，８ ｄとなる。したがって、各段間の導波路７１ｂを形成するに必要な各寸法は、Ｌ ＝（２ｒｄ）1/2 式中のｄをｄ，２ｄ，４ｄ，８ｄとそれぞれ代えることにより 与えられ図３（Ｂ）に示すように、Ｌ、２1/2 Ｌ、２Ｌ、２・２1/2 Ｌとなる。 この結果、１×１６光スイッチ７１全体での光導波路７１ｂを形成するに必要な 寸法Ｌ0 は、上記各段間の寸法の総和となるのでＬ0 ＝３Ｌ＋３・２1/2 Ｌで与 えられる。したがって、ｒ＝４０ｍｍ，ｄ＝５０μｍとすると、Ｌ0 ≒１４．４ ｍｍになる。また、各１×２光スイッチ７１ａの寸法は上述のごとく１０ｍｍで ありそして１×１６光スイッチ７１中には１×２光スイッチ７１ａは４段あるの で、４段分の１×２光スイッチ７１ａを形成するに必要な寸法は４０ｍｍとなる 。この結果、ｍ＝ｎ＝１６の光マトリクススイッチの第一の光スイッチ基板７０ の長さＬX （図３（Ｂ）参照）は１４．４＋４０＝５４．４ｍｍになる。First, FIG. 3A is an enlarged plan view of the 1 × 2 optical switch at the most branched position (the portion indicated by Q in FIG. 2) in the 1 × 16 optical switch 71 shown in FIG. It is a figure. The size t of the 1 × 2 optical switch 71a is 10 mm. Further, the 1 × 2 optical switch 71a is provided with an S-shaped waveguide 71b connecting curved waveguides having a curvature r. When the distance between the branch ends of the waveguide 71b is d, the dimension L required to form the S-shaped waveguide 71b is given by L = (2rd) 1/2 by the known circle formula. The distance between the branch ends of the 1 × 2 optical switches in each stage of the 1 × 16 optical switch depends on which stage in the 1 × 16 optical switch the 1 × 2 optical switch is in. As shown in, d, 2d, 4d, 8d. Therefore, the respective dimensions required to form the waveguide 71b between the respective stages are given by substituting d, 2d, 4d, 8d for d in the equation L 2 = (2rd) 1/2 . ), L, 2 1/2 L, 2 L, 2 · 2 1/2 L. As a result, the dimension L 0 required to form the optical waveguide 71b in the entire 1 × 16 optical switch 71 is the sum of the dimensions between the stages, and is therefore given by L 0 = 3L + 3 · 2 1/2 L . Therefore, if r = 40 mm and d = 50 μm, then L 0 ≈14.4 mm. Further, the size of each 1 × 2 optical switch 71a is 10 mm as described above, and since there are four 1 × 2 optical switches 71a in the 1 × 16 optical switch 71, the four 1 × 2 optical switches 71a. The dimension required to form the is 40 mm. As a result, the length L X (see FIG. 3B) of the first optical switch substrate 70 of the optical matrix switch of m = n = 16 is 14.4 + 40 = 54.4 mm.
【００３１】 また、ｄ＝５０μｍであるので１×１６光スイッチ７１の幅Ｗ（図３（Ｂ）参 照）は、０．０５×１５＝０．７５ｍｍとなる。したがって、第一の光スイッチ 基板７０ではこの１×１６光スイッチ７１が１６個並置形成されるので、第一の 光スイッチ基板７０での全１×１６光スイッチ７１を形成するに要する寸法は０ ．７５×１６＝１２ｍｍとなる。そして、各１×１６光スイッチ間のパッド形成 のための隙間を、光配線基板５０の曲率導波路５１ａ形成のための曲率半径Ｒ（ 図１参照）分のスペース寸法と考えると、ｍ＝ｎ＝１６の光マトリクススイッチ の第一の光スイッチ基板７０の幅（図２にＷX で示す。）は、Ｗx ＝１２＋１５ ×Ｒとなる。Ｒを例えば０．４ｍｍと考えるとＷx は１８ｍｍ程度になる。ｍ＝ ｎ＝１６の光マトリクススイッチの第二の光スイッチ基板についてもその長さ及 び幅は第一の光スイッチ基板７０と同様になる。Further, since d = 50 μm, the width W of the 1 × 16 optical switch 71 (see FIG. 3B) is 0.05 × 15 = 0.75 mm. Therefore, since 16 1 × 16 optical switches 71 are formed side by side on the first optical switch substrate 70, the size required to form all 1 × 16 optical switches 71 on the first optical switch substrate 70 is 0. ． It becomes 75 × 16 = 12 mm. Considering the space for forming pads between the 1 × 16 optical switches as a space dimension for the radius of curvature R (see FIG. 1) for forming the curvature waveguide 51a of the optical wiring board 50, m = n The width (indicated by W X in FIG. 2) of the first optical switch substrate 70 of the = 16 optical matrix switch is W x = 12 + 15 × R. If R is considered to be 0.4 mm, W x will be about 18 mm. The length and width of the second optical switch substrate of the optical matrix switch with m = n = 16 are the same as those of the first optical switch substrate 70.
【００３２】 また、ｍ＝ｎ＝１６の光マトリクススイッチの光配線基板は、第一及び第二の 光スイッチ基板の大きさと対応したものとなるので、この場合は１８×１８ｍｍ の大きさのものとなる。[0032] In addition, the optical wiring board of the optical matrix switch of m = n = 16 is the first and second optical wiring boards. Since it corresponds to the size of the optical switch board, in this case 18 x 18 mm Will be the size of.
【００３３】 ３．第３実施例 次に、図示は省略するが、ｍ＝ｎ＝３２の場合の光マトリクススイッチの実施 例を説明する。この場合の光マトリクススイッチでは、第一及び第二の光スイッ チ基板それぞれは、ＬｉＮｂＯ3 基板などの基板に１×３２光スイッチを３２個 並列配置したもので構成すれば良い。また、光配線基板は、ガラス基板などに第 １実施例で用いたと同様な導波路５１を３２×３２＝１０２４本設けたもので構 成すれば良い。3. Third Embodiment Next, although not shown, an embodiment of the optical matrix switch in the case of m = n = 32 will be described. In the optical matrix switch in this case, each of the first and second optical switch substrates may be configured by arranging 32 1 × 32 optical switches in parallel on a substrate such as a LiNbO 3 substrate. The optical wiring board may be composed of a glass substrate provided with 32 × 32 = 1024 waveguides 51 similar to those used in the first embodiment.
【００３４】 ｍ＝ｎ＝３２の場合の光マトリクススイッチでの第一及び第二の光マトリクス スイッチの長さＬX 及び幅ＷX は、光スイッチの段数などが増えることを考慮し ｍ＝ｎ＝１６の場合と同様な考え方で算出できる。この結果、長さＬX は７３ｍ ｍ、幅ＷX は７２ｍｍ程度になる。したがって、ｍ＝ｎ＝３２の場合の光マトリ クススイッチでの光配線基板の大きさは７３×７２ｍｍとなる。The length L X and the width W X of the first and second optical matrix switches in the optical matrix switch in the case of m = n = 32 are m = n considering that the number of optical switches increases. = 16 can be calculated in the same way of thinking. As a result, the length L X is about 73 mm and the width W X is about 72 mm. Therefore, the size of the optical wiring board in the optical matrix switch when m = n = 32 is 73 × 72 mm.
【００３５】 第３実施例から明らかなように、この考案では、現状得られる直径３インチの ＬｉＮｂＯ3 基板などを用いて３２×３２規模の光マトリクススイッチの実現が 可能なことが分かる。さらに、３２×３２規模の光マトリクススイッチでも１５ ｃｍ角の大きさに納めることができることが分かる。As is apparent from the third embodiment, in this invention, it is possible to realize an optical matrix switch of 32 × 32 scale by using the currently obtained LiNbO 3 substrate having a diameter of 3 inches. Furthermore, it can be seen that even a 32 × 32 scale optical matrix switch can be accommodated in a size of 15 cm square.
【００３６】 ４．第４実施例 次に、ｍとｎとが異なる場合の光マトリクススイッチの例を説明する。図示を 簡単にするためにｎ＝４、ｍ＝２の場合で説明する。図４はそのような光マトリ クススイッチを示した平面図である。[0036] 4. Fourth embodiment Next, an example of the optical matrix switch when m and n are different will be described. Illustration For simplification, a case of n = 4 and m = 2 will be described. Figure 4 shows such an optical matrix. It is a top view showing a switch.
【００３７】 この場合の光マトリクススイッチの第一の光スイッチ基板８０は、ＬｉＮｂＯ3 基板などの基板に第１実施例で用いたと同様な１×４光スイッチ３１を２個並 列配置したもので構成すれば良い。第二の光スイッチ基板８２は、ＬｉＮｂＯ3 基板などの基板に１×２光スイッチ８２ａを４個並列配置したもので構成すれば 良い。また、光配線基板８４は、ガラス基板などに第１実施例で用いたと同様な 導波路５１を４×２＝８本設けたもので構成すれば良い。このような考え方に従 いｍとｎとが異なる光マトリクスイッチであってさらに大規模な光マトリクスイ ッチも構成できる。The first optical switch substrate 80 of the optical matrix switch in this case is configured by arranging two 1 × 4 optical switches 31 similar to those used in the first embodiment in parallel on a substrate such as a LiNbO 3 substrate. Just do it. The second optical switch substrate 82 may be formed by arranging four 1 × 2 optical switches 82a in parallel on a substrate such as a LiNbO 3 substrate. Further, the optical wiring board 84 may be formed by providing a glass substrate or the like with 4 × 2 = 8 waveguides 51 similar to those used in the first embodiment. According to such a concept, a larger-scaled optical matrix switch can be configured as the optical matrix switch in which m and n are different.
【００３８】 ５．第５実施例 第１〜第４実施例においては光配線基板はいずれも矩形のものとしていた。し かし光配線基板の外形は矩形に限られない。この第５実施例は光配線基板の外形 を台形とした例である。図５はその説明に供する図であり、図示を簡単にするた め、ｍ＝４、ｎ＝２とした場合でかつ台形の光配線基板を具える光マトリクスス イッチを示した平面図である。[0038] 5. Fifth embodiment In each of the first to fourth embodiments, the optical wiring board is rectangular. Shi However, the outer shape of the optical wiring board is not limited to a rectangle. The fifth embodiment is the outer shape of the optical wiring board. This is an example of a trapezoid. FIG. 5 is a diagram which is used for the explanation, and the illustration is simplified. Therefore, when m = 4 and n = 2, and an optical matrix substrate having a trapezoidal optical wiring substrate It is the top view which showed the switch.
【００３９】 第一の光スイッチ基板８０及び第二の光スイッチ基板８２は、第４実施例で説 明したと同様に構成する。光配線基板８６では、各光導波路５１は、台形の各辺 のうちの上底及び下底以外の２辺８６ａ，８６ｂ間にわたって設けてある。そし て、第一の光スイッチ基板８０は光配線基板８６の辺８６ａ側の端面で光配線基 板８６と当接させ、第二の光スイッチ基板８２は光配線基板８６の辺８６ｂ側の 端面で光配線基板８６と当接させてある。[0039] The first optical switch board 80 and the second optical switch board 82 are described in the fourth embodiment. Configure as described. In the optical wiring board 86, each optical waveguide 51 has each side of a trapezoid. It is provided across the two sides 86a and 86b other than the upper bottom and the lower bottom. That Then, the first optical switch board 80 is provided with an optical wiring board at the end face of the optical wiring board 86 on the side 86a side. The second optical switch substrate 82 is brought into contact with the plate 86, and the second optical switch substrate 82 is provided on the side 86 b side of the optical wiring substrate 86. The end face is in contact with the optical wiring board 86.
【００４０】 この第５実施例の光マトリクススイッチでは、光配線基板８６内の導波路の曲 率を大きくできるのでその分光損失を低減できる。しかし、第１〜第４実施例の ものに比べ全長が長くなってしまう。[0040] In the optical matrix switch of the fifth embodiment, the bending of the waveguide in the optical wiring board 86 is performed. Since the rate can be increased, the spectral loss can be reduced. However, in the first to fourth embodiments The total length is longer than that of the one.
【００４１】 ６．第６実施例 上述の第１〜第５実施例では、光配線基板内の導波路は曲率導波路を有するも のとしていた。そして、この曲率導波路部分で光路変更を行っていた。この第６ 実施例では、曲率導波路の代わりに反射コーナーを用いる。図６、図７（Ａ）及 び（Ｂ）はその説明に供する図である。ここで、図６は、反射コーナー９１を組 み込んだ導波路９３を具える光配線基板９５を用いた光マトリクススイッチでｍ ＝ｎ＝４の場合の光マトリクススイッチを示した平面図である。なお、図６では 、図１に示した構成成分と同様な構成成分については図１で用いた番号と同一の 番号を付してある。また、図７（Ａ）は、光配線基板９５の反射コーナ９１を含 むその周辺部分（図６中のＴ部分）を切り出して拡大して示した切り欠き斜視図 、図７（Ｂ）は図７（Ａ）に示した部分を図中のＩ−Ｉ線に沿って切って示した 断面図である。[0041] 6. Sixth embodiment In the above-described first to fifth embodiments, the waveguide in the optical wiring board has a curvature waveguide. It was. Then, the optical path is changed at this curvature waveguide portion. This 6th In the embodiment, a reflection corner is used instead of the curvature waveguide. 6 and 7 (A) (B) is a diagram provided for the explanation. Here, in FIG. 6, the reflection corner 91 is assembled. An optical matrix switch using an optical wiring board 95 having a waveguide 93 embedded therein. FIG. 6 is a plan view showing an optical matrix switch in the case of = n = 4. In addition, in FIG. The same components as those shown in FIG. 1 have the same numbers as those used in FIG. Numbered. Further, FIG. 7A includes a reflection corner 91 of the optical wiring board 95. A notched perspective view showing a peripheral portion (T portion in FIG. 6) of the mucin by enlarging it. 7 (B) shows the portion shown in FIG. 7 (A) by cutting along the line I-I in the figure. FIG.
【００４２】 この第６実施例の光マトリクススイッチでは、図６に示すように、光導波路９ ３は途中で直角に方向を変更してある。そして、図７（Ａ）に示すように、光配 線基板９５の導波路９３が直角に曲がる部分に基板９５の一部を光導波路９３の 厚さより深く除去して溝９１ａを形成してある。この溝９１ａにより導波路９３ の側面９３ａが空気と接するようになるので、この側面９３ａで反射コーナ（全 反射面）を構成できる。[0042] In the optical matrix switch of the sixth embodiment, as shown in FIG. No. 3 changed the direction at right angles on the way. Then, as shown in FIG. A part of the substrate 95 is provided at a portion of the line substrate 95 where the waveguide 93 is bent at a right angle. The groove 91a is formed by removing deeper than the thickness. The waveguide 93 is formed by the groove 91a. Side surface 93a comes into contact with air, so that the reflection corner (all Reflective surface).
【００４３】 ここで、側面９３ａは、反射面としての機能を考えると、垂直であることが好 ましいので、溝９１ａの加工はドライエッチングにより行う。しかし、ドライエ ッチングでは側面９３ａが荒れるので側面９３ａは鏡面になりにくい。そこで、 ドライエッチング後にウエットエッチングを施す。しかし、ウエットエッチング によりアフターエッチングすると、溝９１ａの開口の縁部分は丸みを帯びる。導 波路９３を最上層とした状態で溝９１ａを設けるとこの丸みが導波路９３の側面 ９３ａにおよぶことになり反射面としての機能が損なわれる。そこで、この第６ 実施例の場合は、光配線基板９５上にクラッド層９７を設けこのクラッド層９７ を最上層としている。アフターエッチングで生じる丸みをクラッド層９７部分で 吸収でき丸みが導波路９３に及ぶことを防止できるからである。[0043] Here, the side surface 93a is preferably vertical in view of its function as a reflecting surface. For this reason, the groove 91a is processed by dry etching. However, drier Since the side surface 93a is roughened by etching, the side surface 93a is unlikely to be a mirror surface. Therefore, Wet etching is performed after dry etching. But wet etching After etching by, the edge portion of the opening of the groove 91a is rounded. Guide When the groove 91a is provided with the waveguide 93 as the uppermost layer, this roundness is the side surface of the waveguide 93. As it reaches 93a, the function as a reflecting surface is impaired. Therefore, this 6th In the case of the embodiment, the clad layer 97 is provided on the optical wiring substrate 95, and the clad layer 97 is provided. Is the top layer. The roundness caused by after etching is applied to the clad layer 97 This is because absorption is possible and roundness can be prevented from reaching the waveguide 93.
【００４４】 この第６実施例のように反射コーナーを用いた場合、曲率導波路を用いる場合 に基板に設けていた曲率半径Ｒ分のスペース（図１参照）が不要になるので、そ の分光配線基板の大きさを小さくできる。[0044] When a reflection corner is used as in the sixth embodiment and when a curvature waveguide is used Since the space for the radius of curvature R provided on the substrate (see FIG. 1) is unnecessary, The size of the spectral wiring board can be reduced.
【００４５】 上述においては、この考案の各実施例について説明したが、この考案はこれら 実施例に限られない。[0045] Although the respective embodiments of the present invention have been described above, the present invention It is not limited to the embodiment.
【００４６】 例えば、実施例では光配線基板をいずれも外形が四角形のものとしていた、し かし、設計によっては、三角形とか五角形以上としても良い。また、この考案で は光配線基板は多角形といっているが、この多角形には実装の都合上一部に曲率 を有するような場合も含む。[0046] For example, in the embodiments, all the optical wiring boards have a square outer shape. However, depending on the design, a triangle, a pentagon or more may be used. Also, with this device The optical wiring board is said to have a polygonal shape. Including the case of having.
【００４７】 また、実施例では、光配線基板に具わる導波路は直角に方向が変わる導波路の 例、鈍角に方向が変わる導波路の例しか説明していないが設計によっては鋭角に 方向が変わる導波路であっても良い。[0047] In the embodiment, the waveguide included in the optical wiring board is a waveguide whose direction changes at right angles. For example, only an example of a waveguide whose direction changes to an obtuse angle is explained, but depending on the design, it may be an acute angle. It may be a waveguide whose direction changes.
【００４８】 また、第一の光スイッチ基板や第二の光スイッチ基板各々はこれらをいくつか に分割した部分の結合体である場合も含む。このような構成は、例えば第一の光 スイッチ基板及び第二の光スイッチ基板と、光配線基板とを熱膨張係数の異なる 材料で構成した場合の対策として有用である。第一の光スイッチ基板及び第二の 光スイッチ基板の熱膨張係数と、光配線基板の熱膨張係数との差による歪みを軽 減できるからである。第一の光スイッチ基板や第二の光スイッチ基板を分割する 場合は、１×ｎ光スイッチ（或いは１×ｍ光スイッチ）単位で考えるのが好適で ある。[0048] In addition, each of the first optical switch board and the second optical switch board has some of these. It also includes the case where it is a combination of parts divided into. Such a configuration is, for example, the first light The switch board and the second optical switch board and the optical wiring board have different thermal expansion coefficients. It is useful as a countermeasure when it is composed of materials. The first optical switch substrate and the second Reduces distortion caused by the difference between the thermal expansion coefficient of the optical switch board and the thermal expansion coefficient of the optical wiring board. This is because it can be reduced. Split the first optical switch board and the second optical switch board In this case, it is preferable to consider in units of 1 × n optical switch (or 1 × m optical switch). is there.
【００４９】[0049]
上述した説明からも明らかなように、この考案の光マトリクススイッチによれ ば、第一の光スイッチ基板と、第二の光スイッチ基板と、光配線基板との３つの 基板を組み合わせて一つの光マトリクススイッチを構成している。そして、電気 光学効果を必要としない構成成分は光配線基板に作り込んでいる。したがって、 第一及び第二光スイッチ基板には、電気光学効果を必要としない構成成分を除い た分光スイッチを多く作り込めるようになる。このため、より大規模な光マトリ クススイッチの構築が可能になる。 As is clear from the above description, the optical matrix switch of the present invention For example, there are three optical switch boards, a first optical switch board, a second optical switch board, and an optical wiring board. The substrates are combined to form one optical matrix switch. And electricity Components that do not require optical effects are built into the optical wiring board. Therefore, The first and second optical switch boards are excluding components that do not require the electro-optical effect. You will be able to create many spectroscopic switches. Because of this, a larger light matrix It is possible to build a switch.
【図１】第１実施例の光マトリクススイッチを示す平面
図である。FIG. 1 is a plan view showing an optical matrix switch of a first embodiment.
【図２】第２実施例の光マトリクススイッチの説明に供
する要部平面図である。FIG. 2 is a plan view of relevant parts for explaining an optical matrix switch according to a second embodiment.
【図３】（Ａ）及び（Ｂ）は、実施例の光マトリクスス
イッチの寸法算出の説明に供する図である。FIGS. 3A and 3B are diagrams for explaining the dimension calculation of the optical matrix switch of the embodiment.
【図４】第４実施例の説明に供する図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a fourth embodiment.
【図５】第５実施例の説明に供する図である。FIG. 5 is a diagram for explaining a fifth embodiment.
【図６】第６実施例の説明に供する図である。FIG. 6 is a diagram for explaining a sixth embodiment.
【図７】第６実施例の説明に供する図であり、（Ａ）は
第６実施例の光マトリクススイッチの反射コーナーを含
む部分を切り出して拡大して示した切り欠き斜視図、
（Ｂ）は（Ａ）図のＩ−Ｉ線での断面図である。FIG. 7 is a diagram which is used for explaining a sixth embodiment, in which (A) is a cutaway perspective view in which a portion including a reflection corner of an optical matrix switch according to the sixth embodiment is cut out and enlarged.
(B) is a cross-sectional view taken along line I-I of (A).
【図８】従来技術の説明に供する図である。FIG. 8 is a diagram for explaining a conventional technique.
３０，７０，８０：第一の光スイッチ基板
３０ａ：第一の光スイッチ基板の一つの辺
３１：１×ｎ（１×４）光スイッチ
３３ａ〜３３ｃ：１×２光スイッチ
３５ａ，３７ａ，７５：１×２光スイッチ駆動用電極
３５ｂ，３７ｂ，３９ｂ，７７：パッド
３９ａ，７３：アース電極
４０，８２：第二の光スイッチ基板
４０ａ：第二の光スイッチ基板の一つの辺
４１：１×ｍ（１×４）光スイッチ
５０，８４，９５：光配線基板
５０ａ：第一の辺
５０ｂ：第二の辺
５１：導波路（ｍ×ｎ本の導波路）
５１ａ：曲率導波路
７１：１×１６光スイッチ
７１ｂ：Ｓ字状の導波路
８６：台形の光配線基板
８６ａ，８６ｂ：互いに非平行な辺
９１：反射コーナー
９１ａ：溝
９３：反射コーナーを有する導波路
９３ａ：溝により露出された導波路側面（反射コーナ
ー）
９７：クラッド層30, 70, 80: First optical switch substrate 30a: One side of the first optical switch substrate 31: 1 × n (1 × 4) optical switches 33a to 33c: 1 × 2 optical switches 35a, 37a, 75 1 × 2 optical switch driving electrodes 35b, 37b, 39b, 77: pads 39a, 73: ground electrodes 40, 82: second optical switch substrate 40a: one side of the second optical switch substrate 41: 1 × m (1 × 4) optical switch 50, 84, 95: optical wiring board 50a: first side 50b: second side 51: waveguide (m × n waveguides) 51a: curvature waveguide 71: 1 × 16 optical switch 71b: S-shaped waveguide 86: trapezoidal optical wiring boards 86a and 86b: sides 91 that are not parallel to each other: reflection corner 91a: groove 93: waveguide 93a having a reflection corner 93a: exposed by the groove Waveguide side (reflection corner 97: cladding layer
Claims (3)
る第一の光スイッチ基板であって各光スイッチはそのｎ
個側端部が当該基板の一つの辺に並列に位置するように
設けてある第一の光スイッチ基板と、１×ｍ光スイッチ
をｎ個並列に設けてある第二の光スイッチ基板であって
各光スイッチはそのｍ個側端部が当該基板の一つの辺に
並列に位置するように設けてある第二の光スイッチ基板
と、ｍ×ｎ本の導波路を有する多角形の光配線基板とを
具え、前記ｍ×ｎ本の光導波路は、各々の一方の端部が
前記光配線基板の第一の辺に並列に位置し、各々の他方
の端部が前記光配線基板の前記第一の辺とは非平行な第
二の辺に並列に位置するように、前記光配線基板に設け
てあり、前記第一の光スイッチ基板の前記一つの辺側端
面と前記光配線基板の第一の辺側端面とを当接させて前
記第一の光スイッチ基板の光スイッチと前記光配線基板
の導波路とを接続し、前記第二の光スイッチ基板の前記
一つの辺側端面と前記光配線基板の第二の辺側端面とを
当接させて前記第二の光スイッチ基板の光スイッチと前
記光配線基板の導波路とを接続して成ることを特徴とす
るｍ×ｎの光マトリクススイッチ（ただし、ｍ，ｎは正
の整数であり互いが同じ場合も含む。）1. A first optical switch substrate having m 1 × n optical switches provided in parallel, wherein each optical switch has n
The first optical switch substrate is provided such that the end portions on the individual side are located in parallel with one side of the substrate, and the second optical switch substrate is provided with n 1 × m optical switches in parallel. Each optical switch has a second optical switch board provided so that its m side ends are arranged in parallel with one side of the board, and a polygonal optical wiring having m × n waveguides. A substrate, wherein each of the m × n optical waveguides has one end located in parallel with a first side of the optical wiring board and the other end of each of the optical waveguides. The first side is provided on the optical wiring board so as to be parallel to the second side that is not parallel, and the one side end face of the first optical switch board and the optical wiring board are provided. The optical switch of the first optical switch board and the waveguide of the optical wiring board are connected by bringing the end face on the first side side into contact with each other. The optical switch of the second optical switch board and the waveguide of the optical wiring board by abutting the one side end surface of the second optical switch board and the second side end surface of the optical wiring board And an m × n optical matrix switch (where m and n are positive integers, including the case where they are the same).
において、前記ｍ×ｎ本の各導波路の前記第一の辺から
第二の辺への光路の変更は曲率導波路または反射コーナ
ーによって行ってあることを特徴とする光マトリクスス
イッチ。2. The optical matrix switch according to claim 1, wherein the optical path is changed from the first side to the second side of each of the m × n waveguides by a curvature waveguide or a reflection corner. The optical matrix switch is characterized by being provided.
において、前記第一の光スイッチ基板のｍ個の１×ｎ光
スイッチはこれらの並置方向において隙間をもって該第
一の光スイッチ基板に設けてあり、第二の光スイッチ基
板のｎ個の１×ｍ光スイッチはこれらの並置方向におい
て隙間をもって該第二の光スイッチ基板に設けてあり、
これら隙間に基板側の光スイッチ駆動用電極と外部の駆
動回路とを接続するためのパッド部を設けてあることを
特徴とする光マトリクススイッチ。3. The optical matrix switch according to claim 1, wherein the m 1 × n optical switches of the first optical switch board are provided on the first optical switch board with a gap in the juxtaposed direction thereof. And the n 1 × m optical switches of the second optical switch substrate are provided on the second optical switch substrate with a gap in the juxtaposed direction thereof,
An optical matrix switch characterized in that a pad portion for connecting an optical switch driving electrode on the substrate side and an external drive circuit is provided in these gaps.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4620091U JPH052129U (en) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | Optical matrix switch |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4620091U JPH052129U (en) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | Optical matrix switch |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH052129U true JPH052129U (en) | 1993-01-14 |
Family
ID=12740439
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4620091U Withdrawn JPH052129U (en) | 1991-06-19 | 1991-06-19 | Optical matrix switch |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH052129U (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017187683A (en) * | 2016-04-07 | 2017-10-12 | 住友電気工業株式会社 | Optical wiring structure |
-
1991
- 1991-06-19 JP JP4620091U patent/JPH052129U/en not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2017187683A (en) * | 2016-04-07 | 2017-10-12 | 住友電気工業株式会社 | Optical wiring structure |
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|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
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