JPH05203598A - 混合ガス検出装置 - Google Patents
混合ガス検出装置Info
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- JPH05203598A JPH05203598A JP3443592A JP3443592A JPH05203598A JP H05203598 A JPH05203598 A JP H05203598A JP 3443592 A JP3443592 A JP 3443592A JP 3443592 A JP3443592 A JP 3443592A JP H05203598 A JPH05203598 A JP H05203598A
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- Japan
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- gas
- concentration
- component
- sensitivity
- sensor
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 混合ガスの成分ガスの濃度を簡便に検出す
る。 【構成】 混合ガスの少なくとも１つの成分ガスに対し
て異なる感度を有する成分ガスの数と等しい数の複数の
ガスセンサを混合ガス中に配置し、一方、各ガスセンサ
ごとに感度に対する混合ガスの各成分ガスの濃度データ
を用意しておき、混合ガスに対する各ガスセンサの感度
に基づいて求めた濃度データの組合せから各成分ガスの
濃度を演算する。
る。 【構成】 混合ガスの少なくとも１つの成分ガスに対し
て異なる感度を有する成分ガスの数と等しい数の複数の
ガスセンサを混合ガス中に配置し、一方、各ガスセンサ
ごとに感度に対する混合ガスの各成分ガスの濃度データ
を用意しておき、混合ガスに対する各ガスセンサの感度
に基づいて求めた濃度データの組合せから各成分ガスの
濃度を演算する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は空気中に異なる成分ガス
を含んで成る混合ガスの成分ガスの濃度を簡便に検出す
る混合ガス検出装置に関する。
を含んで成る混合ガスの成分ガスの濃度を簡便に検出す
る混合ガス検出装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、大気、燃焼排ガス、各種工場排ガ
ス、化成品やＩＣなどの製造用ガスなどに含まれる特定
のガス成分を検知し、その量を計測するガスセンサが広
く用いられており、検出対象となるガスに対する感度
（ガス選択性と呼ばれている）も次第に向上している。
ス、化成品やＩＣなどの製造用ガスなどに含まれる特定
のガス成分を検知し、その量を計測するガスセンサが広
く用いられており、検出対象となるガスに対する感度
（ガス選択性と呼ばれている）も次第に向上している。
【０００３】いま、このような特定ガスの検出用に開発
されたガスセンサを用いて混合ガス中のその特定ガスの
成分を検出しようとすると、ガスセンサがその特定ガス
とは別の成分ガスに対して高い感度を有することがあ
り、本来の特定ガスの成分が正確に検出できないという
問題がある。
されたガスセンサを用いて混合ガス中のその特定ガスの
成分を検出しようとすると、ガスセンサがその特定ガス
とは別の成分ガスに対して高い感度を有することがあ
り、本来の特定ガスの成分が正確に検出できないという
問題がある。
【０００４】従来、このような場合は大がかりで高価な
分析装置を用いて長い時間をかけてその特定ガス成分を
分析していた。
分析装置を用いて長い時間をかけてその特定ガス成分を
分析していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、用途に
よっては混合ガス中の特定ガス成分を簡便な装置で大ま
かに検出できれば十分である場合もある。
よっては混合ガス中の特定ガス成分を簡便な装置で大ま
かに検出できれば十分である場合もある。
【０００６】そこで本発明は混合ガス中の特定ガス成分
を簡便に検出できる混合ガス検出装置を提供することを
目的とする。
を簡便に検出できる混合ガス検出装置を提供することを
目的とする。
【０００７】
【課題を解決するための手段】混合ガスの少なくとも１
つの成分ガスに対して異なる感度を有する成分ガスの数
に等しい数のガスセンサと、各ガスセンサごとに感度に
対する混合ガスの各成分ガスの濃度データの組み合わせ
を記憶する記憶手段と、前記各ガスセンサの感度に基づ
いて前記記憶手段から求めた濃度データを用いて各成分
ガスの濃度を演算する処理手段とにより混合ガス検出装
置を構成した。
つの成分ガスに対して異なる感度を有する成分ガスの数
に等しい数のガスセンサと、各ガスセンサごとに感度に
対する混合ガスの各成分ガスの濃度データの組み合わせ
を記憶する記憶手段と、前記各ガスセンサの感度に基づ
いて前記記憶手段から求めた濃度データを用いて各成分
ガスの濃度を演算する処理手段とにより混合ガス検出装
置を構成した。
【０００８】
【作用】各ガスセンサの感度に基づいて記憶手段から混
合ガスの各成分ガスの濃度データの組合せを求め、この
組合せを用いて各成分ガス濃度を演算する。
合ガスの各成分ガスの濃度データの組合せを求め、この
組合せを用いて各成分ガス濃度を演算する。
【０００９】
【実施例】以下本発明を図面に基づいて説明する。
【００１０】図１は本発明による混合ガス検出装置の一
実施例のブロック線図、図２は本実施例で用いるガスセ
ンサの模式的感度特性図である。なお、本実施例は空気
中にガスＡとガスＢとを含む混合ガスの濃度を検出する
ものである。
実施例のブロック線図、図２は本実施例で用いるガスセ
ンサの模式的感度特性図である。なお、本実施例は空気
中にガスＡとガスＢとを含む混合ガスの濃度を検出する
ものである。
【００１１】図１において、１Ｘおよび１Ｙはガスセン
サで、従来広く用いられている酸化スズ（ＳｎＯ2)、酸
化第２鉄（２−Ｆｅ2 Ｏ3 ヘマタイト）あるいは酸化亜
鉛（ＺｎＯ）などの金属酸化物のｎ型半導体を用いたも
のであり、ガスの濃度に応じて電気抵抗が変化する。
サで、従来広く用いられている酸化スズ（ＳｎＯ2)、酸
化第２鉄（２−Ｆｅ2 Ｏ3 ヘマタイト）あるいは酸化亜
鉛（ＺｎＯ）などの金属酸化物のｎ型半導体を用いたも
のであり、ガスの濃度に応じて電気抵抗が変化する。
【００１２】本実施例で用いるガスセンサ１Ｘおよび１
Ｙの感度特性は、図２に示すように、ガスＡの濃度をパ
ラメータとして０ppm、２０ppm、４０ppm、６０ppm、８０pp
m と変化させたときのガスＢの濃度に対する感度がガス
センサ１Ｘについては感度特性曲線ａ〜ｅ（実線）とな
り、ガスセンサ１Ｙについては感度特性曲線がｆ〜ｊ
（破線）となる。これらの感度特性曲線は、それぞれの
ガスセンサ１Ｘ、１Ｙに対して特定のガスＡおよびガス
Ｂの濃度の組み合わせに応じた感度出力を測定し、得る
ことができる。たとえば、ガスセンサ１Ｘの感度特性曲
線は、その感度が０．９のときのガスＡの濃度とガスＢ
の濃度がそれぞれ（２０ppm:０ppm)、(４０ppm:１６０pp
m)、(６０ppm:３２０ppm)、(８０ppm:４８０ppm)と求まる
ので、図中にｐ1、ｐ2、ｐ3 ｐ4 としてプロットすること
により求めることができる。
Ｙの感度特性は、図２に示すように、ガスＡの濃度をパ
ラメータとして０ppm、２０ppm、４０ppm、６０ppm、８０pp
m と変化させたときのガスＢの濃度に対する感度がガス
センサ１Ｘについては感度特性曲線ａ〜ｅ（実線）とな
り、ガスセンサ１Ｙについては感度特性曲線がｆ〜ｊ
（破線）となる。これらの感度特性曲線は、それぞれの
ガスセンサ１Ｘ、１Ｙに対して特定のガスＡおよびガス
Ｂの濃度の組み合わせに応じた感度出力を測定し、得る
ことができる。たとえば、ガスセンサ１Ｘの感度特性曲
線は、その感度が０．９のときのガスＡの濃度とガスＢ
の濃度がそれぞれ（２０ppm:０ppm)、(４０ppm:１６０pp
m)、(６０ppm:３２０ppm)、(８０ppm:４８０ppm)と求まる
ので、図中にｐ1、ｐ2、ｐ3 ｐ4 としてプロットすること
により求めることができる。
【００１３】また、ガスセンサ１Ｙの感度特性曲線は、
その感度が、１．１５５のときのガスＡの濃度とガスＢ
の濃度がそれぞれ（０ppm:７０ppm)、(２０ppm:１１５pp
m)、(４０ppm:１６０ppm)…と求まるので、図中にｑ1、ｑ
2、ｑ3 …してプロットすることにより求めることができ
る。
その感度が、１．１５５のときのガスＡの濃度とガスＢ
の濃度がそれぞれ（０ppm:７０ppm)、(２０ppm:１１５pp
m)、(４０ppm:１６０ppm)…と求まるので、図中にｑ1、ｑ
2、ｑ3 …してプロットすることにより求めることができ
る。
【００１４】メモリ２Ｘおよび２Ｙはそれぞれガスセン
サ１Ｘおよび１Ｙの感度特性データを記憶している。感
度特性データは、ガスセンサ１Ｘ、１Ｙの１つの感度値
に対するガスＡとガスＢの濃度の組合せであり、たとえ
ばガスセンサ１Ｘについて上の例でいえば、感度が０．
９のときの感度特性データは、（２０ppm:０ppm)、(４０
ppm:１６０ppm)、(６０ppm:３２０ppm)、(８０ppm:４８０
ppm)の４つである。本発明においては、後述するよう
に、ガスセンサ１Ｘ、１Ｙから出力する感度に基づいて
メモリ２Ｘ、２Ｙに記憶されている感度特性デ−タを用
いて、ガスＡ、ガスＢの両方の濃度を求めるものである
から、以後の説明では、メモリ２Ｘ、２Ｙに記憶されて
いる感度特性データを「濃度データ」と呼ぶことにす
る。
サ１Ｘおよび１Ｙの感度特性データを記憶している。感
度特性データは、ガスセンサ１Ｘ、１Ｙの１つの感度値
に対するガスＡとガスＢの濃度の組合せであり、たとえ
ばガスセンサ１Ｘについて上の例でいえば、感度が０．
９のときの感度特性データは、（２０ppm:０ppm)、(４０
ppm:１６０ppm)、(６０ppm:３２０ppm)、(８０ppm:４８０
ppm)の４つである。本発明においては、後述するよう
に、ガスセンサ１Ｘ、１Ｙから出力する感度に基づいて
メモリ２Ｘ、２Ｙに記憶されている感度特性デ−タを用
いて、ガスＡ、ガスＢの両方の濃度を求めるものである
から、以後の説明では、メモリ２Ｘ、２Ｙに記憶されて
いる感度特性データを「濃度データ」と呼ぶことにす
る。
【００１５】３はガスセンサ１Ｘ，１Ｙの出力に基づい
てメモリ２Ｘおよび２Ｙから読み出される濃度データを
逐次比較し、最も値の接近したデータの組合せを平均化
して出力する比較処理回路である。
てメモリ２Ｘおよび２Ｙから読み出される濃度データを
逐次比較し、最も値の接近したデータの組合せを平均化
して出力する比較処理回路である。
【００１６】比較処理回路３はマイコンで構成してもよ
いし、サンプルホールド回路や加減乗除算器その他を用
いて構成してもよいが、この実施例ではマイコンで構成
したものを用い、以下にその動作を図３および図４のフ
ローチャートを用いて説明する。
いし、サンプルホールド回路や加減乗除算器その他を用
いて構成してもよいが、この実施例ではマイコンで構成
したものを用い、以下にその動作を図３および図４のフ
ローチャートを用いて説明する。
【００１７】混合ガス中に置いたガスセンサ１Ｘおよび
１Ｙから出力される感度に基づいてメモリ２Ｘおよび２
Ｙに記憶されている濃度データの数ｐおよびｑが決定さ
れる（Ｆ−１）。
１Ｙから出力される感度に基づいてメモリ２Ｘおよび２
Ｙに記憶されている濃度データの数ｐおよびｑが決定さ
れる（Ｆ−１）。
【００１８】ここでｊ＝１、ｋ＝１、ｎ＝１，ｅ（０）
＝∞として（Ｆ−２）、メモリ２Ｘおよび２Ｙからそれ
ぞれ濃度データ［ＸA(j)，ＸB(j)］および［ＹA(k)，Ｙ
B(k)］が読み出される（Ｆ−３）。ＸA(j)、 ＹA(k)はガ
スＡの濃度データであり、ＸB(j)、 ＹB(k)はガスＢの濃
度データである。次に２つのメモリ２Ｘおよび２Ｙから
出力されるガスＡについての濃度データの平均値Ａv お
よびガスＢについての濃度データの平均値Ｂv を数１に
より求める（Ｆ−４）。
＝∞として（Ｆ−２）、メモリ２Ｘおよび２Ｙからそれ
ぞれ濃度データ［ＸA(j)，ＸB(j)］および［ＹA(k)，Ｙ
B(k)］が読み出される（Ｆ−３）。ＸA(j)、 ＹA(k)はガ
スＡの濃度データであり、ＸB(j)、 ＹB(k)はガスＢの濃
度データである。次に２つのメモリ２Ｘおよび２Ｙから
出力されるガスＡについての濃度データの平均値Ａv お
よびガスＢについての濃度データの平均値Ｂv を数１に
より求める（Ｆ−４）。
【００１９】
【数１】 続いて、メモリ１Ｘから読み出された濃度データＸA(j)
およびＸB(j)の上で求めた平均値Ａv 、Ｂv からの偏差
割合ｅA 、ｅB を数２により求める（Ｆ−５）。
およびＸB(j)の上で求めた平均値Ａv 、Ｂv からの偏差
割合ｅA 、ｅB を数２により求める（Ｆ−５）。
【００２０】
【数２】 こうして求めた偏差割合ｅA とｅB の和ｅ（ｎ）を求め
るとともに、両メモリ２Ｘ，２Ｙの濃度データを単純平
均してガスＡおよびガスＢの濃度データＡ（ｎ）および
Ｂ（ｎ）を数３により求める（Ｆ−６）。
るとともに、両メモリ２Ｘ，２Ｙの濃度データを単純平
均してガスＡおよびガスＢの濃度データＡ（ｎ）および
Ｂ（ｎ）を数３により求める（Ｆ−６）。
【００２１】
【数３】 ステップ（Ｆ−６）で求めたｅ（ｎ）をｅ（ｎ−１）と
比較すると、この場合ｅ（１）＜ｅ（０）＝∞が成立す
るので（Ｆ−７）、ステップ（Ｆ−６）で求めた濃度デ
ータＡ（ｎ）およびＢ（ｎ）を比較処理回路３の内部メ
モリにそれぞれＡＯ、ＢＯとして一時的に保存する（Ｆ
−８）。
比較すると、この場合ｅ（１）＜ｅ（０）＝∞が成立す
るので（Ｆ−７）、ステップ（Ｆ−６）で求めた濃度デ
ータＡ（ｎ）およびＢ（ｎ）を比較処理回路３の内部メ
モリにそれぞれＡＯ、ＢＯとして一時的に保存する（Ｆ
−８）。
【００２２】次にｋを１だけ増加することにより（Ｆ−
９）、ｋがｑ（メモリ２Ｙから読み出した濃度データの
数）に達するまでステップ（Ｆ−３）から（Ｆ−８）ま
での処理を繰り返す。ただし、１回の演算が終了するご
とにｎを１だけ増加する（Ｆ−１１）。
９）、ｋがｑ（メモリ２Ｙから読み出した濃度データの
数）に達するまでステップ（Ｆ−３）から（Ｆ−８）ま
での処理を繰り返す。ただし、１回の演算が終了するご
とにｎを１だけ増加する（Ｆ−１１）。
【００２３】ステップ（Ｆ−７）で毎回ｅ（ｎ）とｅ
（ｎ−１）とを比較し、常に小さい方の濃度データを比
較処理回路３の内部メモリにＡＯ、ＢＯとして保存して
おく。すなわち、ｅ（ｎ）＜ｅ（ｎ−１）ならば、保存
中のＡＯ、ＢＯをステップ（Ｆ−６）の演算結果Ａ
（ｎ）、Ｂ（ｎ）と書き換えるが、ｅ（ｎ）＞ｅ（ｎ−
１）ならばそのまま保存し続ける。
（ｎ−１）とを比較し、常に小さい方の濃度データを比
較処理回路３の内部メモリにＡＯ、ＢＯとして保存して
おく。すなわち、ｅ（ｎ）＜ｅ（ｎ−１）ならば、保存
中のＡＯ、ＢＯをステップ（Ｆ−６）の演算結果Ａ
（ｎ）、Ｂ（ｎ）と書き換えるが、ｅ（ｎ）＞ｅ（ｎ−
１）ならばそのまま保存し続ける。
【００２４】こうしてｋ＝ｑになるまで同じ演算を繰り
返し、ｋ＝ｑになったときｋ＝１、ｊ＝ｊ＋１として
（Ｆ−１２）、ｊ＝ｐになるまで（Ｆ−１３）ステップ
（Ｆ−３）から（Ｆ−１２）までの演算を繰り返し、や
はりｅ（ｎ）をｅ（ｎ−１）と比較して小さい方の濃度
データを保存しておく。ｊ＝ｐとなったところでそのと
き比較演算回路３の内部メモリに保存されたＡＯ、ＢＯ
が最終濃度データとして出力される（Ｆ−１４）。
返し、ｋ＝ｑになったときｋ＝１、ｊ＝ｊ＋１として
（Ｆ−１２）、ｊ＝ｐになるまで（Ｆ−１３）ステップ
（Ｆ−３）から（Ｆ−１２）までの演算を繰り返し、や
はりｅ（ｎ）をｅ（ｎ−１）と比較して小さい方の濃度
データを保存しておく。ｊ＝ｐとなったところでそのと
き比較演算回路３の内部メモリに保存されたＡＯ、ＢＯ
が最終濃度データとして出力される（Ｆ−１４）。
【００２５】ここで比較処理回路３による処理を具体例
で説明する。
で説明する。
【００２６】たとえば、一例としてガスＡの実際の濃度
を５０ppm 、ガスＢの実際の濃度を１５０ppm とする
と、ガスセンサ１Ｘおよび１Ｙの感度は図２のグラフか
らそれぞれ０．８４５および１．０８となる。
を５０ppm 、ガスＢの実際の濃度を１５０ppm とする
と、ガスセンサ１Ｘおよび１Ｙの感度は図２のグラフか
らそれぞれ０．８４５および１．０８となる。
【００２７】そこでいまガスセンサ１Ｘから感度０．８
４５が、またガスセンサ１Ｙから感度１．０８が出力し
たとすると、この感度に対して比較処理回路３はメモリ
２Ｘおよびメモリ２Ｙから次のような濃度データを読み
出す（Ｆ−１） （ｉ）メモリ２Ｘから読み出された３組の濃度データ (40ppm:70ppm) 、(60ppm:235ppm)、(80ppm:390ppm) （ii）メモリ２Ｙから読み出された５組の濃度データ (0ppm:35ppm)、(20ppm:80ppm) 、(40ppm:125ppm) (60ppm:175ppm)、(80ppm:215ppm) これらの濃度データの各組合せについて、図３のステッ
プ（Ｆ−４）で平均値を求め、ステップ（Ｆ−５）で偏
差割合ｅA 、ｅB を求めると、次の表１のようになる。
４５が、またガスセンサ１Ｙから感度１．０８が出力し
たとすると、この感度に対して比較処理回路３はメモリ
２Ｘおよびメモリ２Ｙから次のような濃度データを読み
出す（Ｆ−１） （ｉ）メモリ２Ｘから読み出された３組の濃度データ (40ppm:70ppm) 、(60ppm:235ppm)、(80ppm:390ppm) （ii）メモリ２Ｙから読み出された５組の濃度データ (0ppm:35ppm)、(20ppm:80ppm) 、(40ppm:125ppm) (60ppm:175ppm)、(80ppm:215ppm) これらの濃度データの各組合せについて、図３のステッ
プ（Ｆ−４）で平均値を求め、ステップ（Ｆ−５）で偏
差割合ｅA 、ｅB を求めると、次の表１のようになる。
【００２８】
【表１】 表中のデータのうち、上段はガスＡ、下段はガスＢにつ
いての偏差割合（％）を示している。
いての偏差割合（％）を示している。
【００２９】たとえば、濃度データセンサ１Ｘ側（４０
ppm 、７０ppm ）とセンサ１Ｙ側（０ppm 、３５ppm ）
とを比較する場合について説明すると、ガスＡについて
の平均値は（４０＋０）／２＝２０となり、この平均値
からの偏差２０の平均値２０に対する割合すなわち偏差
割合は２０／２０＝１００％となる。同様にガスＢにつ
いての平均値は（７０＋３５）／２＝５２．５となり、
この平均値からの偏差の平均値５２．５に対する割合す
なわち偏差割合は１７．５／５２．５＝３３％となる。
ppm 、７０ppm ）とセンサ１Ｙ側（０ppm 、３５ppm ）
とを比較する場合について説明すると、ガスＡについて
の平均値は（４０＋０）／２＝２０となり、この平均値
からの偏差２０の平均値２０に対する割合すなわち偏差
割合は２０／２０＝１００％となる。同様にガスＢにつ
いての平均値は（７０＋３５）／２＝５２．５となり、
この平均値からの偏差の平均値５２．５に対する割合す
なわち偏差割合は１７．５／５２．５＝３３％となる。
【００３０】こうして求めたガスＡおよびガスＢについ
ての偏差割合の和が最小となる組合せを求めると、メモ
リ２Ｘからの濃度データが（６０ppm 、２３５ppm ）
で、メモリ２Ｙからの濃度データが（６０ppm ，１７５
ppm ）の組合せとなる。そこで両濃度データを単純平均
して得られる値 ガスＡについては １．５ppm ガスＢについては ２０５ppm が濃度値として出力される。検出されるガス濃度の精度
を上げるためには、ガスＡの濃度パラメータの間隔を細
かくし、メモリに濃度データをできるだけ多く記憶させ
ておくのが好ましい。
ての偏差割合の和が最小となる組合せを求めると、メモ
リ２Ｘからの濃度データが（６０ppm 、２３５ppm ）
で、メモリ２Ｙからの濃度データが（６０ppm ，１７５
ppm ）の組合せとなる。そこで両濃度データを単純平均
して得られる値 ガスＡについては １．５ppm ガスＢについては ２０５ppm が濃度値として出力される。検出されるガス濃度の精度
を上げるためには、ガスＡの濃度パラメータの間隔を細
かくし、メモリに濃度データをできるだけ多く記憶させ
ておくのが好ましい。
【００３１】本発明で用いるガスセンサ１Ｘ、１Ｙはガ
スＡおよびガスＢのそれぞれに対して感度が異なるかま
たは何れか一方に対して感度が異なることが必要である
が、構造や製作法はどのようなものであってもよく、ま
た触媒の添加物が異なるかセンサの加熱温度が異なるな
どの理由により感度特性を異にしているものでもよい。
スＡおよびガスＢのそれぞれに対して感度が異なるかま
たは何れか一方に対して感度が異なることが必要である
が、構造や製作法はどのようなものであってもよく、ま
た触媒の添加物が異なるかセンサの加熱温度が異なるな
どの理由により感度特性を異にしているものでもよい。
【００３２】上記実施例においては比較処理回路３によ
り比較的単純な平均化処理を行なって最終濃度値を求め
たが、その他の処理方法たとえば最小二乗法による処理
を用いることもできる。またガスセンサとしては半導体
センサに限らず、たとえばガス成分の濃度に応じて発生
電圧が異なる固体電解質センサなどその他の原理および
構造のセンサを用いてもよい。
り比較的単純な平均化処理を行なって最終濃度値を求め
たが、その他の処理方法たとえば最小二乗法による処理
を用いることもできる。またガスセンサとしては半導体
センサに限らず、たとえばガス成分の濃度に応じて発生
電圧が異なる固体電解質センサなどその他の原理および
構造のセンサを用いてもよい。
【００３３】また、上記実施例においては比較処理回路
３をマイコンで構成したが、その代りに、サンプルホー
ルド回路、加減乗除算器、コンパレータ、カウンタ、オ
ペアンプ、Ａ／ＤおよびＤ／Ａコンバータを用いて回路
構成してもよい。
３をマイコンで構成したが、その代りに、サンプルホー
ルド回路、加減乗除算器、コンパレータ、カウンタ、オ
ペアンプ、Ａ／ＤおよびＤ／Ａコンバータを用いて回路
構成してもよい。
【００３４】さらに、上記実施例は、空気中にガスＡお
よびガスＢの２種類のガスが混在した混合ガスについて
例示したが、本発明は空気中に３種類以上のガス成分を
有する混合ガスについても適用することができることは
もちろんで、その場合には成分ガスの数だけガスセンサ
が必要になる。
よびガスＢの２種類のガスが混在した混合ガスについて
例示したが、本発明は空気中に３種類以上のガス成分を
有する混合ガスについても適用することができることは
もちろんで、その場合には成分ガスの数だけガスセンサ
が必要になる。
【００３５】一般にガスセンサの感度特性は経時変化や
温度、湿度などの環境条件によって変化するので、経時
変化や環境変化を予め調べておきタイマ−や温度または
湿度センサの出力に応じてガスセンサの感度特性を補正
することにより、常に正確な成分ガスの濃度を検出する
ことができる。
温度、湿度などの環境条件によって変化するので、経時
変化や環境変化を予め調べておきタイマ−や温度または
湿度センサの出力に応じてガスセンサの感度特性を補正
することにより、常に正確な成分ガスの濃度を検出する
ことができる。
【００３６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、混合ガスの少なくとも１つの成分ガスに対して異な
る感度を有する成分ガスの数と等しい数の複数のガスセ
ンサを混合ガス中に配置し、各ガスセンサごとに感度に
対する混合ガスの各成分ガス濃度データの組合せを用意
し、混合ガスに対する各ガスセンサの感度に基づいて求
めた濃度データを用いて各成分ガスの濃度を演算するよ
うに構成したので、従来のように大がかりで高価な分析
装置を用いずに簡便な装置で成分ガスの濃度を検出する
ことができる。
は、混合ガスの少なくとも１つの成分ガスに対して異な
る感度を有する成分ガスの数と等しい数の複数のガスセ
ンサを混合ガス中に配置し、各ガスセンサごとに感度に
対する混合ガスの各成分ガス濃度データの組合せを用意
し、混合ガスに対する各ガスセンサの感度に基づいて求
めた濃度データを用いて各成分ガスの濃度を演算するよ
うに構成したので、従来のように大がかりで高価な分析
装置を用いずに簡便な装置で成分ガスの濃度を検出する
ことができる。
【００３７】通常ガス濃度の検出は、検出濃度がある範
囲に入るか否かの判断ができれば充分である場合が多い
ので、本発明による簡便な検出の用途は極めて広く有効
である。
囲に入るか否かの判断ができれば充分である場合が多い
ので、本発明による簡便な検出の用途は極めて広く有効
である。
【図１】本発明による混合ガス検出装置の構成を示すブ
ロック線図である。
ロック線図である。
【図２】本発明で用いるガスセンサの感度特性曲線を示
す。
す。
【図３】本発明におけるガス検出処理のフローチャート
の一部である。
の一部である。
【図４】図３のフロ−チャ−トに続く本発明におけるガ
ス検出処理のフローチャートである。
ス検出処理のフローチャートである。
１Ｘ、１Ｙ ガスセンサ ２Ｘ、２Ｙ メモリ ３ 比較処理回路
Claims (1)
- 【請求項１】 混合ガスの少なくとも１つの成分ガスに
対して異なる感度を有する成分ガスの数に等しい数のガ
スセンサと、各ガスセンサごとに感度に対する混合ガス
の各成分ガスの濃度データの組み合わせを記憶する記憶
手段と、前記各ガスセンサの感度に基づいて前記記憶手
段から求めた濃度データを用いて各成分ガスの濃度を演
算する処理手段とを有することを特徴とする混合ガス検
出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3443592A JPH05203598A (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 混合ガス検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3443592A JPH05203598A (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 混合ガス検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05203598A true JPH05203598A (ja) | 1993-08-10 |
Family
ID=12414149
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3443592A Withdrawn JPH05203598A (ja) | 1992-01-23 | 1992-01-23 | 混合ガス検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05203598A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008275383A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Hitachi Engineering & Services Co Ltd | 混合成分系の濃度測定方法及び装置、及びその装置を用いた省エネルギー或いは排気浄化設備の運転制御システム。 |
| WO2012165182A1 (ja) | 2011-05-27 | 2012-12-06 | 株式会社 エヌ・ティ・ティ・ドコモ | 生体ガス検知装置及び生体ガス検知方法 |
| WO2018043549A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 京セラ株式会社 | センサ素子及びセンサ装置 |
-
1992
- 1992-01-23 JP JP3443592A patent/JPH05203598A/ja not_active Withdrawn
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008275383A (ja) * | 2007-04-26 | 2008-11-13 | Hitachi Engineering & Services Co Ltd | 混合成分系の濃度測定方法及び装置、及びその装置を用いた省エネルギー或いは排気浄化設備の運転制御システム。 |
| WO2012165182A1 (ja) | 2011-05-27 | 2012-12-06 | 株式会社 エヌ・ティ・ティ・ドコモ | 生体ガス検知装置及び生体ガス検知方法 |
| US9410912B2 (en) | 2011-05-27 | 2016-08-09 | Ntt Docomo, Inc. | Biological gas detection apparatus and biological gas detection method |
| WO2018043549A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2018-03-08 | 京セラ株式会社 | センサ素子及びセンサ装置 |
| JPWO2018043549A1 (ja) * | 2016-08-31 | 2019-06-24 | 京セラ株式会社 | センサ素子及びセンサ装置 |
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