JPH0519212B2 - - Google Patents
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- JPH0519212B2 JPH0519212B2 JP58138256A JP13825683A JPH0519212B2 JP H0519212 B2 JPH0519212 B2 JP H0519212B2 JP 58138256 A JP58138256 A JP 58138256A JP 13825683 A JP13825683 A JP 13825683A JP H0519212 B2 JPH0519212 B2 JP H0519212B2
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Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の技術分野
本発明は、電子ビームを利用して情報の記録及
び再生をなす電子ビーム記録装置に関する。Detailed Description of the Invention (1) Technical Field of the Invention The present invention relates to an electron beam recording device that records and reproduces information using an electron beam.
(2) 技術の背景
電気パルス信号等の形で与えられる情報を記録
再生する装置として、磁気デイスク装置、光デイ
スク装置、更には、レーザデイスク装置等が知ら
れている。(2) Background of the Technology Magnetic disk devices, optical disk devices, and even laser disk devices are known as devices for recording and reproducing information given in the form of electrical pulse signals and the like.
これらの情報記録再生装置は、電気信号として
入力された情報を磁束信号、光信号、レーザ信号
等に変換して、これらの変換された信号をもつて
デイスク状の情報記録媒体に物理的化学的変化を
与えて情報の書き込みをなし、この物理的化学的
変化に起因する何らかの物理量の変化を検出して
情報の読み出しをなすことを基本原理とする。 These information recording and reproducing devices convert information input as electrical signals into magnetic flux signals, optical signals, laser signals, etc., and physically and chemically transfer these converted signals to disk-shaped information recording media. The basic principle is to write information by applying a change, and to read the information by detecting a change in some physical quantity caused by this physical or chemical change.
上記の情報書き込み・読み出し媒体をもつてし
ては情報記録媒体たる情報記録デイスクの単位面
積当り記録容量が満足すべきものでなかつた。 With the above-mentioned information writing/reading medium, the recording capacity per unit area of the information recording disk, which is the information recording medium, is not satisfactory.
この欠点は上記各種の信号媒体、すなわち、磁
束、光、レーザ等をもつて微細なビームを形成し
たときその断面積の下限に限界があることに起因
する点に着目して、より細いビームとなしうる電
子ビームを信号媒体となした電子ビーム記録再生
装置が提案されており、この電子ビーム記録再生
装置においては、１ビツトの所要面積を500Å×
500Å程度に減少しうることが確認されている。
この電子ビーム記録再生装置は、情報を化体した
微細な電子ビームをもつて情報記録デイスクに物
理的化学的変化例えば電子ビーム照射点の溶融に
もとづく微細開口の形成を実現して情報を書き込
み、一方、情報の書き込まれた領域から得られる
ある種の物理量と書き込まれていない領域から得
られる同種の物理量との差例えば二次電子放出
量、反射電子放出量、Ｘ線放出量、けい光量、リ
ン光量等の差を検出して情報の読み出しをなすも
のである。 This drawback is due to the fact that there is a limit to the lower limit of the cross-sectional area when a fine beam is formed using the various signal media mentioned above, that is, magnetic flux, light, laser, etc. An electron beam recording/reproducing device using an electron beam as a signal medium has been proposed, and in this electron beam recording/reproducing device, the area required for one bit is 500 Å×
It has been confirmed that it can be reduced to about 500 Å.
This electron beam recording/reproducing device uses a fine electron beam that embodies information to write information on an information recording disk by creating a fine aperture through physical and chemical changes such as melting of the electron beam irradiation point. On the other hand, the difference between a certain physical quantity obtained from an area where information is written and the same physical quantity obtained from an area where information is not written, such as the amount of secondary electron emission, the amount of backscattered electron emission, the amount of X-ray emission, the amount of fluorescence, Information is read out by detecting differences in the amount of phosphorescence, etc.
３ 従来技術の問題点
ただ、従来技術における電子ビーム記録用デイ
スクは、その表面に凹凸のない平面状のデイスク
を使用していたので、電子ビームを微細な幅のト
ラツク上にガイドすることが容易でなく、結果と
して、その上に情報が記録される情報記録トラツ
クの幅を1μm程度以下に減少することが困難で、
電子ビーム自身がその径50Å程度まで減少するこ
とが可能であるにかかわらず、電子ビーム情報記
録デイスクの単位面積当り記録容量を十分向上す
ることができないという欠点があつた。3 Problems with the prior art However, since the electron beam recording disk in the prior art used a flat disk with no irregularities on its surface, it was easy to guide the electron beam onto a track with a minute width. However, as a result, it is difficult to reduce the width of the information recording track on which information is recorded to about 1 μm or less.
Although the diameter of the electron beam itself can be reduced to about 50 Å, there is a drawback that the recording capacity per unit area of the electron beam information recording disk cannot be sufficiently improved.
(4) 発明の目的
本発明の目的はこの欠点を解消することにあ
り、電子ビームをトラツク上にガイドすることが
容易であり、単位面積当り記録容量が大きな電子
ビーム記録装置を提供することにある。(4) Purpose of the Invention The purpose of the present invention is to eliminate this drawback, and to provide an electron beam recording device in which it is easy to guide an electron beam onto a track and has a large recording capacity per unit area. be.
(5) 発明の構成
上記の目的は、シリコンデイスク１上に、フオ
トリソグラフイー法によりパターニングされた、
テルル、セレン、または、アンチモンの薄膜より
なり、断面形状が台形でありこの台形の傾斜面が
正確な平面である帯状凸部または凹部の渦巻き状
または同心円状の情報記録トラツク２′が形成さ
れた電子ビーム記録用デイスクと、情報記録トラ
ツク２′に向かつて照射されるべき情報記録用ま
たは情報読み出し用の電子ビーム１２が前記の台
形の凸部または凹部よりなる情報記録トラツク
２′の傾斜面に照射されたときは、電子ビーム照
射にもとづく二次電子、反射電子、Ｘ線、りん
光、または、けい光の強度が、前記の台形の左右
において不同一となることを検出する二つの電子
線、Ｘ線、または、光線を検出する手段Ｃ，
C′と、この検出手段Ｃ，C′の出力を比較し、出力
の小さい値に電子ビームを偏向させ、電子ビーム
がトラツク上に照射されるようにフイードバツク
制御する制御手段とを有する電子ビーム記録装置
によつて達成される。(5) Structure of the invention The above object is to provide a silicon disk patterned by photolithography on the silicon disk 1.
A spiral or concentric information recording track 2' made of a thin film of tellurium, selenium, or antimony and having a trapezoidal cross-sectional shape and an inclined surface of the trapezoid being a precise plane is formed. An electron beam 12 for recording or reading information that is to be irradiated toward the electron beam recording disk and the information recording track 2' is applied to the inclined surface of the information recording track 2' consisting of the trapezoidal convex portion or concave portion. When irradiated, two electron beams are used to detect that the intensity of secondary electrons, reflected electrons, X-rays, phosphorescence, or fluorescence based on electron beam irradiation is unequal on the left and right sides of the trapezoid. , means C for detecting X-rays or light rays,
C', and a control means that compares the outputs of the detection means C and C', deflects the electron beam to a value with a smaller output, and performs feedback control so that the electron beam is irradiated onto the track. This is achieved by means of a device.
そして、その効果は、上記の情報記録トラツク
２′に向かつて照射されるべき情報記録用または
情報読み出し用の電子ビーム１２が前記の台形の
凸部または凹部よりなる情報記録トラツク２′の
傾斜面に照射されたとき、前記の電子ビーム照射
にもとづく二次電子、反射電子、Ｘ線、りん光、
または、けい光の強度が、前記の台形の左右にお
いて不同一となつて、オフトラツクが検出される
ことである。 The effect is that the information recording or information reading electron beam 12 to be irradiated toward the information recording track 2' is directed to the inclined surface of the information recording track 2' consisting of the trapezoidal convex portion or concave portion. When irradiated with the electron beam, secondary electrons, reflected electrons, X-rays, phosphorescence,
Alternatively, the intensity of the fluorescent light becomes unequal on the left and right sides of the trapezoid, and off-track is detected.
本発明に係る電子ビーム記録装置には、第１図
に示すように、デイスクの半径方向の断面形状が
台形である帯状凸部（または凹部）よりなり渦巻
状または同心円状のトラツクＡが形成されてお
り、一方、電子ビームＢが電子ビーム記録用デイ
スクに照射される位置の近傍に上記のトラツクＡ
を挟んで少なくとも２個の電子線、Ｘ線、また
は、光線を検出する手段Ｃ，C′を設けておき、図
示するように電子ビームＢがトラツクＡ上に照射
されているときは２個の検出手段Ｃ，C′の出力の
差はないが、電子ビームＢがB′と図示するよう
に図において左にずれたときは検出手段Ｃの入力
が検出手段C′の入力より大きくなるので、常時、
検出手段Ｃ，C′の出力を比較しておき、その出力
の小さい側（図においては右側）に電子ビームを
偏向させて常時電子ビームＢがトラツクＡに照射
されるようにしたものである。電子ビームＢが
B″と図示するように図において右側にずれたと
きは上記の関係は全く逆となり電子ビームＢは図
において左側に引きもどされる。 As shown in FIG. 1, in the electron beam recording device according to the present invention, a spiral or concentric track A is formed of band-shaped convex portions (or concave portions) having a trapezoidal cross-sectional shape in the radial direction of the disk. On the other hand, the above track A is located near the position where the electron beam B is irradiated onto the electron beam recording disk.
At least two means C and C' for detecting electron beams, X-rays, or light rays are provided on both sides of the track. There is no difference in the outputs of the detection means C and C', but when the electron beam B shifts to the left in the figure as shown by B', the input of the detection means C becomes larger than the input of the detection means C'. Always,
The outputs of the detection means C and C' are compared and the electron beam is deflected to the side with the smaller output (to the right in the figure) so that the track A is always irradiated with the electron beam B. electron beam B
When the electron beam B is shifted to the right in the figure, as shown by B'', the above relationship is completely reversed, and the electron beam B is pulled back to the left in the figure.
電子ビームは直径が50Å程度まで集束しうるの
で、トラツク１の頂部の幅は0.1μm程度まで縮小
することができる。なお、トラツクとトラツクと
の間隔も0.1μm程度に縮小しうるから、単位面積
当りの記録容量は108ビツト／mm2程度まで拡大し
うるから、デイスク一枚当り記録容量は1011ビツ
ト程度となしうる。また、蛇足ながら、トラツク
は帯状凸部ではなく凹部をもつて構成することも
可能である。 Since the electron beam can be focused to a diameter of about 50 Å, the width of the top of the track 1 can be reduced to about 0.1 μm. Furthermore, since the distance between tracks can be reduced to about 0.1 μm, the recording capacity per unit area can be increased to about 10 8 bits/mm 2 , so the recording capacity per disk is about 10 11 bits. It can be done. Furthermore, it is also possible for the track to have a concave portion instead of a band-like convex portion.
(6) 発明の実施例
以下、図面を参照しつつ、本発明の一実施例に
係る電子ビーム記録装置に使用される電子ビーム
記録用デイスクについて更に説明する。(6) Embodiments of the Invention Hereinafter, an electron beam recording disk used in an electron beam recording apparatus according to an embodiment of the present invention will be further described with reference to the drawings.
第２図参照
厚さ2.0mmのシリコンよりなり、直径20cmの円
板１上にマグネトロンスパツタを使用して厚さ
500Åのテルル薄膜２を形成し、この円板上にレ
ジスト（PMMA）を溶剤（MEK）に溶解してス
ピンコートし、0.1μmの厚さのレジスト膜３を形
成する。Refer to Figure 2. It is made of silicone with a thickness of 2.0 mm, and is made of silicon with a thickness of 2.0 mm.
A tellurium thin film 2 with a thickness of 500 Å is formed, and a resist (PMMA) dissolved in a solvent (MEK) is spin-coated on this disk to form a resist film 3 with a thickness of 0.1 μm.
この円板を170℃程度の温度で30分程度プリベ
ークして、レジスト膜３とテルル薄膜２とを十分
接着する。 This disk is prebaked at a temperature of about 170° C. for about 30 minutes to sufficiently bond the resist film 3 and the tellurium thin film 2.
第３図、第４図参照
電子線リソグラフイー法を使用して、レジスト
膜３を、幅が0.1μmであり、間隔が0.1μmの同心
円状または渦巻き状に露光した後露光領域をイソ
プロピルアルコールとメチルイソプロピルアルコ
ールとの３：１混合液をもつて溶解除去してこの
形状のエツチングマスク3′を形成する。Refer to Figures 3 and 4. After exposing the resist film 3 in a concentric or spiral shape with a width of 0.1 μm and an interval of 0.1 μm using electron beam lithography, the exposed area is coated with isopropyl alcohol. An etching mask 3' having this shape is formed by dissolving and removing it with a 3:1 mixture of methyl isopropyl alcohol.
第５図参照
130℃程度の温度で30分程度ポストベークをし
た後、プラズマエツチング法を実行してテルル薄
膜２をエツチングして、渦巻き状または同心円上
の帯状凸部よりなるテルル層２′を形成する。こ
のとき、テルル層２′の側面は図示するように斜
面になつていることが必須であるが、上記の手法
をもつてエツチングをなすときは特別の配慮する
ことなく、上記の要請は満足する。Refer to Figure 5. After post-baking at a temperature of about 130°C for about 30 minutes, the tellurium thin film 2 is etched by a plasma etching method to form a tellurium layer 2' consisting of spiral or concentric band-shaped protrusions. Form. At this time, it is essential that the side surface of the tellurium layer 2' be sloped as shown in the figure, but when etching is performed using the above method, the above requirements are satisfied without any special consideration. .
アセトンに約５分間浸漬してレジストマスク
３′を溶解除去する。 The resist mask 3' is dissolved and removed by immersion in acetone for about 5 minutes.
上記のようにして製造した電子ビーム記録用デ
イスクを使用すれば、第６図に図示する、本発明
の１実施例に係る電子ビーム記録装置を構成する
ことができる。 By using the electron beam recording disk manufactured as described above, an electron beam recording apparatus according to an embodiment of the present invention shown in FIG. 6 can be constructed.
第６図参照
図において、１１はタングステンフイラメント
型電子銃であり、50KeV程度に加速された電子
ビーム１２を放出する。１３は電子ビーム集束装
置であり、電子ビーム１２の直径を500Å程度に
集束する。１４は偏向器であり、クロツク１５に
追従して情報記録トラツクを追跡または変更す
る。１６は情報記録デイスクであり、上述せると
おり、直径20cmのシリコンウエーハ上に厚さ500
Åにテルル膜を形成したものであり、渦巻き状ま
たは同心円状に情報記録デイスクが設けられてい
る。１７はデイスク回転用モータでありクロツク
１５に追従して回転する。１８は情報読み出し制
御装置であり電子線、Ｘ線、光等１２′を検出し
情報信号をクロツク１５と同期して出力する。Refer to FIG. 6 In the figure, 11 is a tungsten filament type electron gun, which emits an electron beam 12 accelerated to about 50 KeV. Reference numeral 13 denotes an electron beam focusing device, which focuses the electron beam 12 to a diameter of about 500 Å. Reference numeral 14 denotes a deflector, which follows the clock 15 to track or change the information recording track. 16 is an information recording disk, which, as mentioned above, is a 500mm thick disk placed on a silicon wafer with a diameter of 20cm.
A tellurium film is formed on the disk, and information recording disks are provided in a spiral or concentric pattern. Reference numeral 17 denotes a disk rotation motor, which rotates in accordance with the clock 15. Reference numeral 18 denotes an information readout control device which detects electron beams, X-rays, light, etc. 12' and outputs information signals in synchronization with the clock 15.
１９，１９′は電子線、Ｘ線、または、光線を
検出する手段であり、電子ビーム１２がデイスク
１６に照射される領域の近傍にトラツクを挟んで
設けられ、この出力は比較回路２０をもつて比較
され、その差にしたがつて変向器１４が制御され
て電子ビーム１２は常にトラツク上に保持され
る。 Reference numerals 19 and 19' denote means for detecting electron beams, X-rays, or light beams, which are provided near the region where the electron beam 12 is irradiated onto the disk 16 with a track in between, and whose output is provided with a comparator circuit 20. The deflector 14 is controlled according to the difference, so that the electron beam 12 is always kept on track.
なお、この装置の内部圧力は10-3Pa程度の真
空状態に保たれる。そのため、真空ポンプ２２と
バルブ２２′が設けられている。 Note that the internal pressure of this device is maintained at a vacuum state of about 10 -3 Pa. For this purpose, a vacuum pump 22 and a valve 22' are provided.
なお、情報の書き込みは、情報を化体した二進
情報をクロツク１５の信号に同期して電子銃１１
から、同じくクロツク１５の信号に同期して回転
しているデイスク１６に向つて電子ビーム１２を
照射してデイスク１６上に開口を形成することに
よりなす。一方、情報の読み出しはクロツク１５
の信号と同期して回転しているデイスク１６に向
つて電子銃１１から電子ビーム１２を照射し、こ
の電子ビーム１２にもとづいて発生する２次電
子、反射電子、Ｘ線、けい光、リン光等をやはり
クロツク１５と同期して動作している検出器１８
をもつて検出して出力する。いづれの動作におい
ても、検出器１９，１９′はデイスク１６の反射
信号を検出し、これらの差を求めて、偏光器１４
に向つて修正信号を印加し、電子ビーム１２′が
常にトラツク上に保持されるように機能する。 Note that writing of information is performed by writing binary information that embodies information into the electron gun 11 in synchronization with the signal of the clock 15.
Then, the electron beam 12 is irradiated toward the disk 16 which is also rotating in synchronization with the signal of the clock 15 to form an aperture on the disk 16. On the other hand, information is read using clock 15.
An electron beam 12 is irradiated from an electron gun 11 toward a disk 16 that is rotating in synchronization with the signal of The detector 18 also operates in synchronization with the clock 15.
Detect and output. In either operation, the detectors 19 and 19' detect the reflected signals of the disk 16, determine the difference between them, and transmit the signals to the polarizer 14.
It functions to keep the electron beam 12' on track at all times.
(7) 発明の効果
以上説明せるとおり、本発明に係る電子ビーム
記録装置は、シリコンデイスク上に、フオトリソ
グラフイー法によりパターニングされた、テル
ル、セレン、または、アンチモンの薄膜よりな
り、断面形状が台形でありこの台形の傾斜面が正
確な平面である帯状凸部または凹部の渦巻き状ま
たは同心円状の情報記録トラツクが形成された電
子ビーム記録用デイスクと、情報記録トラツクに
向かつて照射されるべき情報記録用または情報読
み出し用の電子ビームが台形の凸部または凹部よ
りなる情報記録トラツクの傾斜面に照射されたと
きは、電子ビーム照射にもとづく二次電子、反射
電子、Ｘ線、りん光、または、けい光の強度が、
台形の左右において不同一となることを検出する
二つの電子線、Ｘ線、または、光線を検出する手
段と、この検出手段の出力を比較し、出力の小さ
い値に電子ビームを偏向させ、電子ビームがトラ
ツク上に照射されるようにフイードバツク制御す
る制御手段とを有するように構成されているの
で、この情報記録トラツクに向かつて照射される
べき情報記録用または情報読み出し用の電子ビー
ムが前記の台形の凸部または凹部よりなる情報記
録トラツクの傾斜面に照射されたとき、前記の電
子ビーム照射にもとづく二次電子、反射電子、Ｘ
線、りん光、または、けい光の強度が、前記の台
形の左右において不同一となり、オフトラツクを
検出することができ、電子ビームをトラツク上に
ガイドすることが容易であり、単位面積当り記録
容量が大きくできる。(7) Effects of the Invention As explained above, the electron beam recording device according to the present invention is made of a thin film of tellurium, selenium, or antimony patterned by photolithography on a silicon disk, and has a cross-sectional shape. An electron beam recording disk has a trapezoidal shape and an information recording track in the form of a spiral or concentric circle of band-like convex portions or concave portions with the sloped surface of the trapezoid being a precise plane, and an electron beam recording disk that is to be irradiated toward the information recording track. When an electron beam for information recording or information reading is irradiated onto the inclined surface of an information recording track consisting of a trapezoidal convex or concave portion, secondary electrons, reflected electrons, X-rays, phosphorescence, Or, the intensity of the fluorescence is
The output of this detection means is compared with a means for detecting two electron beams, Since the electron beam is configured to have a control means for performing feedback control so that the beam is irradiated onto the track, the information recording or information reading electron beam to be irradiated toward the information recording track is controlled as described above. When the slanted surface of the information recording track consisting of a trapezoidal convex or concave portion is irradiated, secondary electrons, reflected electrons,
The intensity of the line, phosphorescence, or fluorescence is unequal on the left and right sides of the trapezoid, making it possible to detect off-track, making it easy to guide the electron beam onto the track, and increasing the recording capacity per unit area. can be made larger.
第１図は本発明の構成を説明するための説明図
である。第２，３，４，５図は本発明の実施例に
係る電子ビーム記録装置に使用される電子ビーム
記録用デイスクの主要製造工程完了後のそれぞれ
断面図、断面図、平面図、断面図である。第６図
は本発明の実施例に係る電子ビーム記録装置の概
念的構成図である。
Ａ……電子ビーム記録用デイスクのトラツク、
Ｂ……電子ビーム、Ｃ，C′……電子線、Ｘ線、光
線を検出する手段、１……シリコン基板、２……
テルル薄膜、２′……テルル層、３……レジスト
膜、３′……レジストマスク、１１……電子銃、
１２……電子ビーム、１３……電子ビーム集束装
置、１４……偏向器、１５……クロツク、１６…
…情報記録デイスク、１７……デイスク回転用モ
ータ、１８……情報読み出し制御装置、１９，１
９′……電子線、Ｘ線、光等を検出する検出器、
２２……真空ポンプ、２２′……バルブ。
FIG. 1 is an explanatory diagram for explaining the configuration of the present invention. Figures 2, 3, 4, and 5 are a cross-sectional view, a cross-sectional view, a plan view, and a cross-sectional view, respectively, after completion of the main manufacturing process of an electron beam recording disk used in an electron beam recording apparatus according to an embodiment of the present invention. be. FIG. 6 is a conceptual diagram of an electron beam recording apparatus according to an embodiment of the present invention. A... Track of electron beam recording disk,
B... Electron beam, C, C'... Means for detecting electron beams, X-rays, and light rays, 1... Silicon substrate, 2...
Tellurium thin film, 2'...Tellurium layer, 3...Resist film, 3'...Resist mask, 11...Electron gun,
12...Electron beam, 13...Electron beam focusing device, 14...Deflector, 15...Clock, 16...
...Information recording disk, 17...Disk rotation motor, 18...Information reading control device, 19,1
9'...Detector that detects electron beams, X-rays, light, etc.
22...Vacuum pump, 22'...Valve.
Claims (1)
イー法によりパターニングされた、テルル、セレ
ン、または、アンチモンの薄膜よりなり、断面形
状が台形であり該台形の傾斜面が正確な平面であ
る帯状凸部または凹部の渦巻き状または同心円状
の情報記録トラツク２′が形成された電子ビーム
記録用デイスクと、 前記情報記録トラツク２′に向かつて照射され
るべき情報記録用または情報読み出し用の電子ビ
ーム１２が前記台形の凸部または凹部よりなる情
報記録トラツク２′の傾斜面に照射されたときは、
前記電子ビーム照射にもとづく二次電子、反射電
子、Ｘ線、りん光、または、けい光の強度が、前
記台形の左右において不同一となることを検出す
る二つの電子線、Ｘ線、または、光線を検出する
手段Ｃ，C′と、 該検出手段Ｃ，C′の出力を比較し、出力の小さ
い値に電子ビームを偏向させ、電子ビームがトラ
ツク上に照射されるようにフイードバツク制御す
る制御手段と を有することを特徴とする電子ビーム記録装置。[Claims] 1. A thin film of tellurium, selenium, or antimony patterned by photolithography on a silicon disk 1, with a trapezoidal cross-sectional shape and an inclined surface of the trapezoid being a precise plane. An electron beam recording disk on which a spiral or concentric information recording track 2' of a certain band-shaped convex portion or concave portion is formed, and an electron beam for recording or reading information to be irradiated toward the information recording track 2'. When the electron beam 12 is irradiated onto the inclined surface of the information recording track 2' consisting of the trapezoidal convex portion or concave portion,
Two electron beams, X-rays, or Comparing the outputs of the detection means C and C' with the means C and C' for detecting the light beam, deflecting the electron beam to a value with a smaller output, and performing feedback control so that the electron beam is irradiated onto the track. An electron beam recording device comprising: means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13825683A JPS6029952A (en) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | Electron beam recording disk |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13825683A JPS6029952A (en) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | Electron beam recording disk |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6029952A JPS6029952A (en) | 1985-02-15 |
| JPH0519212B2 true JPH0519212B2 (en) | 1993-03-16 |
Family
ID=15217694
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13825683A Granted JPS6029952A (en) | 1983-07-28 | 1983-07-28 | Electron beam recording disk |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6029952A (en) |
Families Citing this family (4)
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|---|---|---|---|---|
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| JPS62245530A (en) * | 1986-04-18 | 1987-10-26 | Hitachi Ltd | Ultrahigh density recording system utilizing fine beam |
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| JP2715069B2 (en) * | 1986-08-26 | 1998-02-16 | キヤノン株式会社 | Information recording / reproducing device |
Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
| JPS52110634A (en) * | 1976-03-15 | 1977-09-16 | Hitachi Ltd | Information recording material |
| JPS5614914A (en) * | 1979-07-14 | 1981-02-13 | Sentorarunii Osrodek Badaukuzo | Liquid flowrate measuring apparatus |
| JPS57130240A (en) * | 1981-02-05 | 1982-08-12 | Olympus Optical Co Ltd | Optical information recording and reproducing device and information recording medium for it |
-
1983
- 1983-07-28 JP JP13825683A patent/JPS6029952A/en active Granted
Patent Citations (3)
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|---|---|---|---|---|
| JPS52110634A (en) * | 1976-03-15 | 1977-09-16 | Hitachi Ltd | Information recording material |
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| JPS57130240A (en) * | 1981-02-05 | 1982-08-12 | Olympus Optical Co Ltd | Optical information recording and reproducing device and information recording medium for it |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6029952A (en) | 1985-02-15 |
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