JPH05190827A - 固体撮像装置 - Google Patents
固体撮像装置Info
- Publication number
- JPH05190827A JPH05190827A JP4001711A JP171192A JPH05190827A JP H05190827 A JPH05190827 A JP H05190827A JP 4001711 A JP4001711 A JP 4001711A JP 171192 A JP171192 A JP 171192A JP H05190827 A JPH05190827 A JP H05190827A
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- Japan
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- photoelectric conversion
- solid
- conversion unit
- charge transfer
- sensing device
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は固体リニアイメージセンサ等の固体
撮像装置に係り、特に、製造工程における歩留りを改善
できる固体撮像装置に関し、製造工程における歩留りの
改善された固体撮像装置を提供することを目的とする。 【構成】 直線的に設けられた光電変換部１ｉと、前記
光電変換部１ｉと並行して設けられ、前記光電変換部１
ｉで得られる信号電荷を転送する電荷転送部２ｉと、前
記光電変換部１ｉ及び前記電荷転送部２ｉの間に設けら
れた転送ゲート電極３ｉの３つの構成要素を１組（ｉ）
として、同一半導体基板上の同一チップ内に前記組を複
数（ｉ＝ａ、ｂ）構成し、当該装置の製造過程におい
て、任意の１組（ｉ）を選別する。
撮像装置に係り、特に、製造工程における歩留りを改善
できる固体撮像装置に関し、製造工程における歩留りの
改善された固体撮像装置を提供することを目的とする。 【構成】 直線的に設けられた光電変換部１ｉと、前記
光電変換部１ｉと並行して設けられ、前記光電変換部１
ｉで得られる信号電荷を転送する電荷転送部２ｉと、前
記光電変換部１ｉ及び前記電荷転送部２ｉの間に設けら
れた転送ゲート電極３ｉの３つの構成要素を１組（ｉ）
として、同一半導体基板上の同一チップ内に前記組を複
数（ｉ＝ａ、ｂ）構成し、当該装置の製造過程におい
て、任意の１組（ｉ）を選別する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は固体リニアイメージセン
サ等の固体撮像装置に係り、特に製造工程における歩留
りを改善できる固体撮像装置に関する。
サ等の固体撮像装置に係り、特に製造工程における歩留
りを改善できる固体撮像装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の固体撮像装置（白黒）は、図３に
示すように、１チップ内に、１ラインの光電変換部１
１、光電変換部１１で得られた信号電荷を転送する電荷
転送部１２と、光電変換部１１と電荷転送部１２との間
に設けられた転送ゲート電極１３、電荷転送部１２から
の信号電荷を増幅出力する出力増幅器１５を持つ構成と
なっていた。
示すように、１チップ内に、１ラインの光電変換部１
１、光電変換部１１で得られた信号電荷を転送する電荷
転送部１２と、光電変換部１１と電荷転送部１２との間
に設けられた転送ゲート電極１３、電荷転送部１２から
の信号電荷を増幅出力する出力増幅器１５を持つ構成と
なっていた。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】このような構成による
従来の固体撮像装置では、基板の濃度むらのために感度
が均一でなくなるＰＲＮＵ（感度不均一性）不良等、装
置を構成する各要素に関する一部分の欠陥が、不良チッ
プになる要因となっていた。
従来の固体撮像装置では、基板の濃度むらのために感度
が均一でなくなるＰＲＮＵ（感度不均一性）不良等、装
置を構成する各要素に関する一部分の欠陥が、不良チッ
プになる要因となっていた。
【０００４】従って、製造工程における歩留りが低下す
るという問題があった。本発明は、上記問題点を解決す
るもので、製造工程における歩留りの改善された固体撮
像装置を提供することを目的とする。
るという問題があった。本発明は、上記問題点を解決す
るもので、製造工程における歩留りの改善された固体撮
像装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明の第１の特徴の固体撮像装置は、図１に示す
如く、直線的に設けられた光電変換部１ｉと、前記光電
変換部１ｉと並行して設けられ、前記光電変換部１ｉで
得られる信号電荷を転送する電荷転送部２ｉと、前記光
電変換部１ｉ及び前記電荷転送部２ｉの間に設けられた
転送ゲート電極３ｉの３つの構成要素を１組（ｉ）とし
て、同一半導体基板上の同一チップ内に前記組を複数
（ｉ＝ａ、ｂ、…）構成し、当該装置の製造過程におい
て、任意の１組（ｉ）を選別する。
に、本発明の第１の特徴の固体撮像装置は、図１に示す
如く、直線的に設けられた光電変換部１ｉと、前記光電
変換部１ｉと並行して設けられ、前記光電変換部１ｉで
得られる信号電荷を転送する電荷転送部２ｉと、前記光
電変換部１ｉ及び前記電荷転送部２ｉの間に設けられた
転送ゲート電極３ｉの３つの構成要素を１組（ｉ）とし
て、同一半導体基板上の同一チップ内に前記組を複数
（ｉ＝ａ、ｂ、…）構成し、当該装置の製造過程におい
て、任意の１組（ｉ）を選別する。
【０００６】また本発明の第２の特徴の固体撮像装置
は、請求項１に記載の固体撮像装置において、前記複数
の組の内、選別されなかった組の光電変換部１ｊ（ｊ≠
ｉ）及び電荷転送部２ｊを、選別された組（ｉ）の光電
変換部１ｉにおける過剰信号電荷を外部へ掃き出す為の
オーバーフロードレイン領域として使用する。
は、請求項１に記載の固体撮像装置において、前記複数
の組の内、選別されなかった組の光電変換部１ｊ（ｊ≠
ｉ）及び電荷転送部２ｊを、選別された組（ｉ）の光電
変換部１ｉにおける過剰信号電荷を外部へ掃き出す為の
オーバーフロードレイン領域として使用する。
【０００７】
【作用】本発明の固体撮像装置では、図１に示す如く、
光電変換部１ｉ、電荷転送部２ｉ、及び転送ゲート電極
３ｉの３つの構成要素を１組（ｉ）として、同一半導体
基板上の同一チップ内にこの組を複数個（ｉ＝ａ、ｂ、
…）構成し、当該装置の製造過程において、任意の１組
（ｉ）を選別して、装置として使用するようにしてい
る。
光電変換部１ｉ、電荷転送部２ｉ、及び転送ゲート電極
３ｉの３つの構成要素を１組（ｉ）として、同一半導体
基板上の同一チップ内にこの組を複数個（ｉ＝ａ、ｂ、
…）構成し、当該装置の製造過程において、任意の１組
（ｉ）を選別して、装置として使用するようにしてい
る。
【０００８】従って、ある組（ｊ）の光電変換部１ｊに
基板の濃度むらの為に起こる感度不均一性不良等の不良
要因が発生した場合には、他の任意の１組（ｉ）を選別
して、装置として使用することができ、製造工程におけ
る歩留りを改善することができる。
基板の濃度むらの為に起こる感度不均一性不良等の不良
要因が発生した場合には、他の任意の１組（ｉ）を選別
して、装置として使用することができ、製造工程におけ
る歩留りを改善することができる。
【０００９】
【実施例】次に、本発明に係る実施例を図面に基づいて
説明する。図１に本発明の一実施例に係る固体撮像装置
の構成図を示す。
説明する。図１に本発明の一実施例に係る固体撮像装置
の構成図を示す。
【００１０】同図において、本実施例の固体撮像装置
は、光電変換部１ａ及び１ｂ、信号電荷を転送する電荷
転送部２ａ及び２ｂ、光電変換部１ａで得られた信号電
荷を電荷転送部２ａへ転送する転送ゲート電極３ａ、光
電変換部１ｂで得られた信号電荷を電荷伝送部２ｂへ転
送する転送ゲート電極３ｂ、光電変換部１ａ及び１ｂ間
で信号電荷を転送する転送ゲート電極４、電荷転送部２
ａ及び２ｂからの信号電荷を増幅出力する出力増幅器５
ａ及び５ｂから構成されている。
は、光電変換部１ａ及び１ｂ、信号電荷を転送する電荷
転送部２ａ及び２ｂ、光電変換部１ａで得られた信号電
荷を電荷転送部２ａへ転送する転送ゲート電極３ａ、光
電変換部１ｂで得られた信号電荷を電荷伝送部２ｂへ転
送する転送ゲート電極３ｂ、光電変換部１ａ及び１ｂ間
で信号電荷を転送する転送ゲート電極４、電荷転送部２
ａ及び２ｂからの信号電荷を増幅出力する出力増幅器５
ａ及び５ｂから構成されている。
【００１１】このような構成の固体撮像装置において、
製造工程中に、光電変換部１ｂに基板の濃度むらのため
に感度が均一でなくなるＰＲＮＵ不良等の不良要因が発
生した場合、光電変換部１ａ及び電化転送部２ａをそれ
ぞれ選別して装置を構成することにより、当該チップを
良品として救済する。
製造工程中に、光電変換部１ｂに基板の濃度むらのため
に感度が均一でなくなるＰＲＮＵ不良等の不良要因が発
生した場合、光電変換部１ａ及び電化転送部２ａをそれ
ぞれ選別して装置を構成することにより、当該チップを
良品として救済する。
【００１２】一方、選別しなかった光電変換部１ｂ、電
荷転送部２ｂ、及び転送ゲート電極３ｂは、選別した光
電変換部１ａにおける過剰信号電荷を外部へ掃き出す手
段として使用する。
荷転送部２ｂ、及び転送ゲート電極３ｂは、選別した光
電変換部１ａにおける過剰信号電荷を外部へ掃き出す手
段として使用する。
【００１３】図２（１）に図１のＩ−Ｉ’で切断したと
きの断面図を、図２（２）にエネルギレベル図をそれぞ
れ示す。同図において選別した光電変換部１ａに強い光
が入射した場合、過剰に発生した電荷が転送部２ａに溢
れだす前に選別しなかった光電変換部１ｂに流すために
は、電極３ｂおよび４に一定電圧をバイアスし、図２
（２）に示すようにエネルギーレベルがＶａ＞Ｖｂ＞Ｖ
ｃとなるように設定する。信号電荷蓄積期間中には、選
別した光電変換部１ａおよび選別しなかった光電変換部
１ｂの両方で電荷が発生するが、前記の設定により選別
しなかった光電変換部１ｂで発生した電荷６１は、電極
３ｂが一定の値にバイアスされているため、図のように
電荷転送部２ｂへ移動（図２（２）中）し、エネルギ
ーレベルはＶｂより低くなる。この時、選別した光電変
換部１ａで発生した電荷のうち過剰電荷５１は、選別し
なかった光電変換部１ｂおよび電荷転送部２ｂへ流れ込
む（図２（２）中）。このように、選別しなかった光
電変換部１ｂおよび電荷転送部２ｂをオーバーフロード
レイン領域として活用することで、過剰電荷を外部へ掃
き出すことができる。
きの断面図を、図２（２）にエネルギレベル図をそれぞ
れ示す。同図において選別した光電変換部１ａに強い光
が入射した場合、過剰に発生した電荷が転送部２ａに溢
れだす前に選別しなかった光電変換部１ｂに流すために
は、電極３ｂおよび４に一定電圧をバイアスし、図２
（２）に示すようにエネルギーレベルがＶａ＞Ｖｂ＞Ｖ
ｃとなるように設定する。信号電荷蓄積期間中には、選
別した光電変換部１ａおよび選別しなかった光電変換部
１ｂの両方で電荷が発生するが、前記の設定により選別
しなかった光電変換部１ｂで発生した電荷６１は、電極
３ｂが一定の値にバイアスされているため、図のように
電荷転送部２ｂへ移動（図２（２）中）し、エネルギ
ーレベルはＶｂより低くなる。この時、選別した光電変
換部１ａで発生した電荷のうち過剰電荷５１は、選別し
なかった光電変換部１ｂおよび電荷転送部２ｂへ流れ込
む（図２（２）中）。このように、選別しなかった光
電変換部１ｂおよび電荷転送部２ｂをオーバーフロード
レイン領域として活用することで、過剰電荷を外部へ掃
き出すことができる。
【００１４】本実施例では、２ラインの光電変換部１ａ
及び１ｂで構成したが、１ラインの光電変換部１、電荷
転送部２、転送ゲート電極３、及び出力増幅器５の組み
合わせを複数個チップ内に構成し、製造工程で任意の組
み合わせを選別することで、組み合わせの数だけ歩留り
を更に改善できる。また、複数個のラインセンサが全て
不良になることは稀であり、歩留りは大幅に改善され
る。
及び１ｂで構成したが、１ラインの光電変換部１、電荷
転送部２、転送ゲート電極３、及び出力増幅器５の組み
合わせを複数個チップ内に構成し、製造工程で任意の組
み合わせを選別することで、組み合わせの数だけ歩留り
を更に改善できる。また、複数個のラインセンサが全て
不良になることは稀であり、歩留りは大幅に改善され
る。
【００１５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
光電変換部、電荷転送部、及び転送ゲート電極の３つの
構成要素を１組として、同一半導体基板上の同一チップ
内にこの組を複数個構成し、当該装置の製造過程におい
て、ある組の光電変換部に感度不均一性不良等の不良要
因が発生した場合には、他の任意の１組を選別して、装
置として使用することとしたので、製造工程における歩
留りを改善することが可能な固体撮像装置を提供するこ
とができる。
光電変換部、電荷転送部、及び転送ゲート電極の３つの
構成要素を１組として、同一半導体基板上の同一チップ
内にこの組を複数個構成し、当該装置の製造過程におい
て、ある組の光電変換部に感度不均一性不良等の不良要
因が発生した場合には、他の任意の１組を選別して、装
置として使用することとしたので、製造工程における歩
留りを改善することが可能な固体撮像装置を提供するこ
とができる。
【図１】本発明の一実施例に係る固体撮像装置の構成図
である。
である。
【図２】本発明の固体撮像装置の断面図（同図（１））
及びエネルギレベル図（同図（２））である。
及びエネルギレベル図（同図（２））である。
【図３】従来の固体撮像装置の構成図である。
１、１ａ、１ｂ、１１…光電変換部 ２、２ａ、２ｂ、１２…電荷転送部 ３、３ａ、３ｂ、４、１３…転送ゲート電極 ５、５ａ、５ｂ、１５…出力増幅器
Claims (2)
- 【請求項１】 直線的に設けられた光電変換部（１ｉ）
と、前記光電変換部（１ｉ）と並行して設けられ、前記
光電変換部（１ｉ）で得られる信号電荷を転送する電荷
転送部（２ｉ）と、前記光電変換部（１ｉ）及び前記電
荷転送部（２ｉ）の間に設けられた転送ゲート電極（３
ｉ）の３つの構成要素を１組（ｉ）として、同一半導体
基板上の同一チップ内に前記組を複数（ｉ＝ａ、ｂ、
…）構成し、当該装置の製造過程において、任意の１組
（ｉ）を選別することを特徴とする固体撮像装置。 - 【請求項２】 前記複数の組の内、選別されなかった組
の光電変換部（１ｊ；ｊ≠ｉ）及び電荷転送部（２ｊ）
を、選別された組（ｉ）の光電変換部（１ｉ）における
過剰信号電荷を外部へ掃き出す為のオーバーフロードレ
イン領域として使用することを特徴とする請求項１に記
載の固体撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4001711A JPH05190827A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 固体撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4001711A JPH05190827A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 固体撮像装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05190827A true JPH05190827A (ja) | 1993-07-30 |
Family
ID=11509141
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4001711A Withdrawn JPH05190827A (ja) | 1992-01-08 | 1992-01-08 | 固体撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05190827A (ja) |
-
1992
- 1992-01-08 JP JP4001711A patent/JPH05190827A/ja not_active Withdrawn
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19990408 |