JPH05180148A - 光アクチュエーター装置 - Google Patents

光アクチュエーター装置

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Publication number
JPH05180148A
JPH05180148A JP35948091A JP35948091A JPH05180148A JP H05180148 A JPH05180148 A JP H05180148A JP 35948091 A JP35948091 A JP 35948091A JP 35948091 A JP35948091 A JP 35948091A JP H05180148 A JPH05180148 A JP H05180148A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
cap body
optical fiber
actuator device
bellows
space
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP35948091A
Other languages
English (en)
Inventor
Hirotaka Ito
弘孝 伊藤
Atsushi Uchiumi
厚 内海
Kazuyuki Tadatomo
一行 只友
Masahisa Sugihara
正久 杉原
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Cable Industries Ltd
Original Assignee
Mitsubishi Cable Industries Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Cable Industries Ltd filed Critical Mitsubishi Cable Industries Ltd
Priority to JP35948091A priority Critical patent/JPH05180148A/ja
Publication of JPH05180148A publication Critical patent/JPH05180148A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Micromachines (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電動機構を使用すること無く、且つ簡単な構
成でマイクロ化も容易である、光ファイバを利用した全
く新しいタイプのアクチュエーター装置を提供するこ
と。 【構成】 光源1からレーザ光を光ファイバ2により伝
送させて端面23から放射させた場合、キャップ体3内
の空間4に存在する流体がレーザ光により加熱されて熱
膨張し、その結果該熱膨張力によってキャップ体のマイ
クロベローズ32が変形し、先端部33がピストン運動
する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、光ファイバを利用した
アクチュエーター装置に関し、特に狭領域での機械的動
作が要求されるマイクロマシン技術への適用に好適な光
アクチュエーター装置に関する。
【0002】
【発明の背景】近年医療用や、或いは航空機エンジンや
原子力発電所の点検・補修用に、極めて限られた空間内
において機能的な機械的動作を行い得る、いわゆるマイ
クロマシン装置の採用が検討されている。一方、機能的
な機械的動作を行わせる装置としてはアクチュエーター
装置が挙げられるが、一般的にアクチュエーター装置
は、モーターとボールスクリュー等からなる駆動機構に
駆動片を連結してなる電動タイプである。
【0003】しかしながら電動アクチュエーターはその
メカニズムが複雑であり、縮小化を図ろうとするとモー
ター等の各構成部品全般を微小化せねばならず、部品の
製作や組み立て作業が非常に困難で、マイクロ化が要求
される分野への適用には不向きであった。
【0004】
【発明の目的】従って本発明は、電動機構を使用するこ
と無く、且つ簡単な構成でマイクロ化も容易である、光
ファイバを利用した全く新しいタイプのアクチュエータ
ー装置を提供することを目的とする。
【0005】
【発明の構成】本発明の光アクチュエーター装置は、一
端が光源に接続された光ファイバの他端に密閉空間を具
備させてキャップ体を被着してなり、該キャップ体の一
部または全部がマイクロベローズで構成されていること
を特徴とするものである。
【0006】
【実施例】以下図面に基づいて本発明の実施例を詳細に
説明する。図1は本発明の構成を示す概略断面図であ
り、コア21及びクラッド22を有する光ファイバ2の
一端に光源1が、他端側の端部20(拡大図にて表示)
に嵌合部31及びマイクロベローズ部32からなるキャ
ップ体3が空間4を設けて被着されている。該キャップ
体3は、嵌合部31により光ファイバ端部20の外周に
密に固着されており、キャップ体3内部の空間4は気密
状態とされている。
【0007】動作を説明すると、光源1からレーザ光等
の光パワーを光ファイバ2により伝送させて端面23か
ら放射させた場合、キャップ体3内の空間4に存在する
流体Sがレーザ光により加熱されて熱膨張し、その結果
該熱膨張力によってキャップ体3のマイクロベローズ部
32が伸長することになる。すなわちベローズ部32の
先端部33が前方へ移動することになる。またレーザ光
の供給を停止すると、空間4内の流体Sが収縮しベロー
ズ部32は元の状態まで戻ることになる。すなわち、マ
イクロベローズ部32は密閉空間4の流体Sの熱膨張・
収縮によりその形状が変形され、光源1からの光の供給
のON−OFFによりベローズ先端部33がピストン運
動を行うものである。
【0008】光源1としては各種のレーザ光源が好適で
あり、例えばYAGレーザ、Arレーザ、He−Neレ
ーザ、Nd−YAGレーザ、Ho−YAGレーザ等が使
用できる。光ファイバ2としてはガラス系光ファイバ、
プラスチック系光ファイバ等各種のものが使用可能であ
る。就中、純石英コアを有するマルチモードタイプの光
ファイバが、レーザパワーを高効率で伝送させることが
できるので好ましい。また光ファイバは通常一本で充分
であるが、複数本の光ファイバを集束したものであって
も良い。さらに光ファイバの外周に補強の目的で樹脂被
覆層等を設けることが望ましい。
【0009】キャップ体3マイクロベローズ部32とし
ては各種ゴム・プラスチックからなるものが使用可能で
あるが、流体Sの熱膨張力によっても容易に破壊しない
程度の強度を有していることが必要である。本発明にお
いては、キャップ体3全体をベローズにて構成しても良
いが、本実施例のようにキャップ体3の一部をマイクロ
ベローズ部としても良い。この場合、嵌合部31を薄肉
のSUS管等とし、該SUS管の端縁にマイクロベロー
ズ32を取着するという構成が好適なものとして例示で
きる。かかる構成であれば、キャップ体3の光ファイバ
端部20への被着が簡単かつ強固に行え、また流体Sの
膨張負荷がベローズ部32に集中するので効率が良いと
言う利点がある。
【0010】キャップ体3内の空間4内は単に空気が存
在しているだけであっても、別途各種気体や液体が封入
されていても良く、いずれも上記の流体Sとして適用可
能である。特に短時間の光の照射で大きな熱膨張力が得
られるよう、光吸収性の流体を封入することが好まし
い。例えば光源としてHo−YAGレーザを使用した場
合は、その波長は2.1μmであり、当該波長は水が良
好に吸収するので、空間4内に水を少量封入しておくの
も好適な例の一つである。この他に例えばカーボン粉末
等の光吸収性に優れる黒色粉末を封入するのも、熱膨張
力を向上させる好適な手段である。また、空間4の容積
は、光ファイバ2の外径や必要とするベローズ先端部3
3の押圧力等によって適宜選択されるが、具体的には容
積は0.01ml〜3.5ml程度の範囲が好適である。
【0011】図2は本発明の他の実施態様を示してお
り、マイクロベローズ32の伸縮力を間接的に利用する
例を示している。図において、キャップ体3の外周にシ
リンダー5を取り付け、該シリンダー5内に一端がベロ
ーズ端部33と当接したピストン6を前後方向に移動自
在に内装させている。シリンダー5内には係止片51,
52が突設されており、該係止片51,52とピストン
6の係止片61が当接するよう構成され、シリンダー側
係止片52とピストン側係止片61とがバネ7で連結さ
れている。
【0012】図はマイクロベローズ32が伸長した状態
を示しており、レーザ光の供給を停止するとマイクロベ
ローズ32が収縮し、その結果ピストン6はバネ7の復
元力により後方へ戻ることとなる。従ってピストン6の
先端部62はピストン運動が可能となる。本実施例構造
であれば、機械的強度の弱点部となりやすいマイクロベ
ローズ部32をシリンダー5で保護したような構造とな
るので、外力に対する耐性に優れるという利点がある。
【0013】ところで空間4内へは、可及的に全空間に
対して均一にレーザ光が照射されることが、空間4内に
存在する流体全部に熱膨張を行わせ効率良く押圧力を発
生させる点で望ましい。このため、光ファイバ端面20
を先細り状に加工しコア21を比較的長距離露出させる
ようにし、空間4内へなるべく均一に光が照射し得るよ
うな工夫をすることが望ましい。
【0014】上記したようなアクチュエーター装置は、
光ファイバ自体が通常40〜200μm程度の外径であ
り、本来的に微小なアクチュエーター装置として好適で
あるので、マイクロマシンの動力源等に利用し得る。例
えば上記実施例においてピストン6の先端部62ににギ
ア機構を介してマイクロメス等を取り付けると、人体内
に挿入して患部の切除手術が行なえる等、医療分野への
適用も容易に可能となる。
【0015】
【効果】以上説明した通りの本発明の光アクチュエータ
ー装置によれば、一本の光ファイバとマイクロベローズ
を有するキャップ体のみを基本構成とするアクチュエー
ター装置であって、電動アクチュエーター等に比較して
モーター等の駆動源が不要であると共に電源供給用リー
ド線も不要である極めて簡単な構成であり、また簡単な
構成であるのでマイクロ化も極めて容易である。しかも
電気を使用しないので、人体内等に適用する場合でも感
電等の心配が無く安全である。従って本発明は、医療用
マイクロマシン等の動力源として極めて有用なアクチュ
エーター装置である。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の実施例を示す断面図
【図2】本発明の他の実施例を示す断面図
【符号の説明】
1 光源 2 光ファイバ 20 光ファイバ端部 3 キャップ体 32 マイクロベローズ部 4 空間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 杉原 正久 兵庫県伊丹市池尻四丁目3番地 三菱電線 工業株式会社伊丹製作所内

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 一端が光源に接続された光ファイバの他
    端に密閉空間を具備させてキャップ体を被着してなり、
    該キャップ体の一部または全部がマイクロベローズで構
    成されていることを特徴とする光アクチュエーター装
    置。
JP35948091A 1991-12-26 1991-12-26 光アクチュエーター装置 Pending JPH05180148A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35948091A JPH05180148A (ja) 1991-12-26 1991-12-26 光アクチュエーター装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP35948091A JPH05180148A (ja) 1991-12-26 1991-12-26 光アクチュエーター装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05180148A true JPH05180148A (ja) 1993-07-20

Family

ID=18464718

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP35948091A Pending JPH05180148A (ja) 1991-12-26 1991-12-26 光アクチュエーター装置

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JP (1) JPH05180148A (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1554617A2 (en) * 2002-09-23 2005-07-20 Kilolambda Technologies Ltd. Optical micro-actuator
WO2008072419A1 (ja) 2006-12-15 2008-06-19 Kyushu University, National University Corporation 光駆動アクチュエーター素子
WO2014077675A1 (en) * 2012-11-14 2014-05-22 Bernard Jozef Reits Actuator and arrangement provided with such an actuator

Cited By (5)

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US7274855B2 (en) * 2002-09-23 2007-09-25 Kilolambda Technologies Ltd. Optical micro-actuator
EP1554617A4 (en) * 2002-09-23 2008-02-27 Kilolambda Tech Ltd OPTICAL MICROBEATIGATION MEMBER
WO2008072419A1 (ja) 2006-12-15 2008-06-19 Kyushu University, National University Corporation 光駆動アクチュエーター素子
WO2014077675A1 (en) * 2012-11-14 2014-05-22 Bernard Jozef Reits Actuator and arrangement provided with such an actuator

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