JP3081454B2 - 光アクチュエ−タ装置 - Google Patents
光アクチュエ−タ装置Info
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、光ファイバを利用し
た光アクチュエ−タ装置に関し、より詳しくは狭領域で
の機械的動作が要求される技術分野への利用に好適な光
アクチュエ−タ装置に関する。
た光アクチュエ−タ装置に関し、より詳しくは狭領域で
の機械的動作が要求される技術分野への利用に好適な光
アクチュエ−タ装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年医療用や航空機器類、或いは原子力
発電所での点検・修理用に極めて限られた空間内におい
て機能的な機械的動作を行い得るいわゆるマイクロマシ
ン装置の採用が検討されている。従来から知られている
マイクロマシン装置用のモ−タとボ−ルスクリュ等から
成る駆動機構はメカニズムが複雑で部品の小型化や組立
作業にも限界があるためそれらの機構に代え本出願人は
図４に示すようなレ−ザ−ピストン装置を提案した。こ
のレ−ザ−ピストン装置は、シリンダ１１と該シリンダ
１１内の一方に被着した光ファイバ６と光吸収性流体Ｓ
を収容した伸縮自在な袋体１２とその頭部が該袋体１２
と接し且つばね７によって付勢されるピストン１３とを
配置した構造とするものである。そして光ファイバ６で
レ−ザ−光を投射したり遮断したりして袋体１２内の光
吸収性流体Ｓを膨張、収縮させピストン１３を動かすよ
うにしたものである。また、袋体１２を用いずシリンダ
１１内に光吸収性流体を充填したものも知られている。
発電所での点検・修理用に極めて限られた空間内におい
て機能的な機械的動作を行い得るいわゆるマイクロマシ
ン装置の採用が検討されている。従来から知られている
マイクロマシン装置用のモ−タとボ−ルスクリュ等から
成る駆動機構はメカニズムが複雑で部品の小型化や組立
作業にも限界があるためそれらの機構に代え本出願人は
図４に示すようなレ−ザ−ピストン装置を提案した。こ
のレ−ザ−ピストン装置は、シリンダ１１と該シリンダ
１１内の一方に被着した光ファイバ６と光吸収性流体Ｓ
を収容した伸縮自在な袋体１２とその頭部が該袋体１２
と接し且つばね７によって付勢されるピストン１３とを
配置した構造とするものである。そして光ファイバ６で
レ−ザ−光を投射したり遮断したりして袋体１２内の光
吸収性流体Ｓを膨張、収縮させピストン１３を動かすよ
うにしたものである。また、袋体１２を用いずシリンダ
１１内に光吸収性流体を充填したものも知られている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記するようにモ−タ
やボ−ルスクリュ等を用いるマイクロマシンは微細化す
る場合、高精度で部品を作製し更に高精度で組立なけれ
ばならないので１ｍｍ以下にマイクロ化するのは極めて
困難である（殆ど無理）。また、図４に示すような構成
のものは袋体１２を介して光吸収性流体を膨張させたり
収縮させるため温度や動作圧力範囲も限られ、袋体を用
いない方式のものは流体への光エネルギ投入による流体
の気化等で安定した動作が難しい。
やボ−ルスクリュ等を用いるマイクロマシンは微細化す
る場合、高精度で部品を作製し更に高精度で組立なけれ
ばならないので１ｍｍ以下にマイクロ化するのは極めて
困難である（殆ど無理）。また、図４に示すような構成
のものは袋体１２を介して光吸収性流体を膨張させたり
収縮させるため温度や動作圧力範囲も限られ、袋体を用
いない方式のものは流体への光エネルギ投入による流体
の気化等で安定した動作が難しい。
【０００４】この発明は上記する課題に鑑みてなされた
ものであり、組立作業が比較的容易でピストンの動作も
安定化させ且つ動作温度や動作圧力を広い範囲で選択す
ることの可能な光アクチュエ−タ装置を提供することを
目的とする。
ものであり、組立作業が比較的容易でピストンの動作も
安定化させ且つ動作温度や動作圧力を広い範囲で選択す
ることの可能な光アクチュエ−タ装置を提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は上記す
る課題を解決するために、請求項１に記載の発明の光ア
クチュエ−タ装置は、一端側に光ファイバが接続された
シリンダの内部に伸縮自在な弾性膜を固定することによ
り区画される密閉空間を設けると共に該空間内に水素吸
蔵合金を収納し、シリンダの他端側には、出没自在なピ
ストンを前記弾性膜に直結せずに近接させて配置して成
ることを特徴としている。
る課題を解決するために、請求項１に記載の発明の光ア
クチュエ−タ装置は、一端側に光ファイバが接続された
シリンダの内部に伸縮自在な弾性膜を固定することによ
り区画される密閉空間を設けると共に該空間内に水素吸
蔵合金を収納し、シリンダの他端側には、出没自在なピ
ストンを前記弾性膜に直結せずに近接させて配置して成
ることを特徴としている。
【０００６】請求項２に記載の発明の光アクチュエ−タ
装置は、一方の側に出没自在なピストンを配置したシリ
ンダの他方の側に、一方の端部に伸縮自在な弾性膜を止
着すると共に他方の端部に光ファイバを嵌挿し該弾性膜
と光ファイバとで形成される密閉空間に水素吸蔵合金を
収納した筒体を該弾性膜と前記ピストンとが直結せずに
近接するよう嵌め入れて成ることを特徴としている。
装置は、一方の側に出没自在なピストンを配置したシリ
ンダの他方の側に、一方の端部に伸縮自在な弾性膜を止
着すると共に他方の端部に光ファイバを嵌挿し該弾性膜
と光ファイバとで形成される密閉空間に水素吸蔵合金を
収納した筒体を該弾性膜と前記ピストンとが直結せずに
近接するよう嵌め入れて成ることを特徴としている。
【０００７】更に、請求項３に記載の発明の光アクチュ
エ−タ装置は、前記弾性膜をベロ−ズとしたことを特徴
とする。
エ−タ装置は、前記弾性膜をベロ−ズとしたことを特徴
とする。
【０００８】
【作用】光アクチュエ−タ装置を上記手段とした時の作
用について添付図の図１乃至図３の符号を用いて説明す
る。請求項１に記載の手段とした光アクチュエ−タ装置
では、光ファイバ６から水素吸蔵合金５にレ−ザ−光を
投射すると該水素吸蔵合金５の温度が上昇してシリンダ
１内に止着された弾性膜４と水素吸蔵合金５とによって
形成される密閉空間１０に水素を放出し、弾性膜４を膨
張させる。このとき弾性膜４はピストン２を押して移動
させる。また、レ−ザ−光の投射を停止すると水素吸蔵
合金５の温度が下降して密閉空間１０に放出していた水
素を吸蔵すると共に該密閉空間１０の容積も減少しばね
７が弾性膜４を付勢して押し返しピストン２を元の位置
に復帰させる。このように水素吸蔵合金が低温時水素を
吸蔵し高温時に放出するという性質を利用して弾性膜４
を介してピストン２を動かすことが出来る。
用について添付図の図１乃至図３の符号を用いて説明す
る。請求項１に記載の手段とした光アクチュエ−タ装置
では、光ファイバ６から水素吸蔵合金５にレ−ザ−光を
投射すると該水素吸蔵合金５の温度が上昇してシリンダ
１内に止着された弾性膜４と水素吸蔵合金５とによって
形成される密閉空間１０に水素を放出し、弾性膜４を膨
張させる。このとき弾性膜４はピストン２を押して移動
させる。また、レ−ザ−光の投射を停止すると水素吸蔵
合金５の温度が下降して密閉空間１０に放出していた水
素を吸蔵すると共に該密閉空間１０の容積も減少しばね
７が弾性膜４を付勢して押し返しピストン２を元の位置
に復帰させる。このように水素吸蔵合金が低温時水素を
吸蔵し高温時に放出するという性質を利用して弾性膜４
を介してピストン２を動かすことが出来る。
【０００９】また、請求項２に記載のの手段とした光ア
クチュエ−タ装置では、光ファイバ６から水素吸蔵合金
５にレ−ザ−光を投射すると該水素吸蔵合金５の温度が
上昇して筒体３の端部に止着された弾性膜４と筒体３と
光ファイバ６とによって形成される空間、特に弾性膜４
と水素吸蔵合金５との間の密閉空間１０に水素を放出し
て筒体３端部に止着された弾性膜４を膨張させる。この
とき弾性膜４はピストン２を押して移動させる。また、
レ−ザ−光の投射を停止すると水素吸蔵合金５が水素を
吸蔵すると共に密閉空間１０の容積も減少しばね７が弾
性膜４を付勢して押し返しピストン２を元の位置に復帰
させる。
クチュエ−タ装置では、光ファイバ６から水素吸蔵合金
５にレ−ザ−光を投射すると該水素吸蔵合金５の温度が
上昇して筒体３の端部に止着された弾性膜４と筒体３と
光ファイバ６とによって形成される空間、特に弾性膜４
と水素吸蔵合金５との間の密閉空間１０に水素を放出し
て筒体３端部に止着された弾性膜４を膨張させる。この
とき弾性膜４はピストン２を押して移動させる。また、
レ−ザ−光の投射を停止すると水素吸蔵合金５が水素を
吸蔵すると共に密閉空間１０の容積も減少しばね７が弾
性膜４を付勢して押し返しピストン２を元の位置に復帰
させる。
【００１０】請求項３に記載の手段とした光アクチュエ
−タ装置でも請求項１及び２の手段と同様である。
−タ装置でも請求項１及び２の手段と同様である。
【００１１】
【実施例】図１は、この発明の光アクチュエ−タ装置の
実施例を示す縦断面図である。この光アクチュエ−タ装
置は、シリンダ１の一方の端部に光ファイバ６を嵌着す
ると共に中間部の内部に弾性膜４を固定して設け、該光
ファイバ６と弾性膜４とによって区画される密閉空間１
０に水素吸蔵合金５を配置し、更にシリンダ１の他端部
にピストン２が、弾性膜４と直結せずに近接するよう配
置され、該ピストン２の移動時該ばね７の付勢力が作用
し出没自在となるように配置してある。
実施例を示す縦断面図である。この光アクチュエ−タ装
置は、シリンダ１の一方の端部に光ファイバ６を嵌着す
ると共に中間部の内部に弾性膜４を固定して設け、該光
ファイバ６と弾性膜４とによって区画される密閉空間１
０に水素吸蔵合金５を配置し、更にシリンダ１の他端部
にピストン２が、弾性膜４と直結せずに近接するよう配
置され、該ピストン２の移動時該ばね７の付勢力が作用
し出没自在となるように配置してある。
【００１２】この光アクチュエ−タ装置を構成する前記
水素吸蔵合金５はその温度により水素を貯蔵、放出する
特性があり、この光アクチュエ−タ装置ではこの特性を
利用するものである。即ち、光ファイバ６から水素吸蔵
合金５にレ−ザ−光を投射すると該水素吸蔵合金５は温
度が上昇し、シリンダ１内に止着された弾性膜４と水素
吸蔵合金５とによって形成される密閉空間１０に水素を
放出し、弾性膜４を膨張させる。このとき弾性膜４はば
ね７の付勢力に抗してピストン２を押して移動させる。
次に、レ−ザ−光の投射を停止すると水素吸蔵合金５の
温度は下降して放出した水素を吸収し密閉空間１０に放
出していた水素を吸蔵すると共に該密閉空間１０の容積
も減少し、ばね７が弾性膜４を付勢して押し返しピスト
ン２を元の位置に復帰させる。このように水素吸蔵合金
５が低温時水素を吸蔵し高温時に放出するという性質を
利用して弾性膜４を介してピストン２を動かすものであ
る。
水素吸蔵合金５はその温度により水素を貯蔵、放出する
特性があり、この光アクチュエ−タ装置ではこの特性を
利用するものである。即ち、光ファイバ６から水素吸蔵
合金５にレ−ザ−光を投射すると該水素吸蔵合金５は温
度が上昇し、シリンダ１内に止着された弾性膜４と水素
吸蔵合金５とによって形成される密閉空間１０に水素を
放出し、弾性膜４を膨張させる。このとき弾性膜４はば
ね７の付勢力に抗してピストン２を押して移動させる。
次に、レ−ザ−光の投射を停止すると水素吸蔵合金５の
温度は下降して放出した水素を吸収し密閉空間１０に放
出していた水素を吸蔵すると共に該密閉空間１０の容積
も減少し、ばね７が弾性膜４を付勢して押し返しピスト
ン２を元の位置に復帰させる。このように水素吸蔵合金
５が低温時水素を吸蔵し高温時に放出するという性質を
利用して弾性膜４を介してピストン２を動かすものであ
る。
【００１３】前記水素吸蔵合金５としては解離温度（水
素放出温度）が室温以上で解離圧の比較的高い水素吸蔵
合金、例えばＬａＮｉ5 、ＭｍＮｉ5 （但し、Ｍｍはミ
ッシュメタル（発火合金）の略称である）、ＣａＮ
ｉ5 、ＭｍＮｉ4.7 Ａｌ0.3 、ＭｍＮｉＣｏＡｌや、解
離度が室温程度で解離圧が非常に高いＴｉＭｎ1.5 、Ｔ
ｉＺｒＭｎＶＣｒ、或いは一般式ＰｄＨx で表される水
素化パラジウムが用いられる。尚、水素化パラジウム
（ＰｄＨx ）の場合Ｘは０．０３〜０．６９が好適に用
いられる。そしてこの水素化パラジウムは、比較的常
温、常圧に近い条件での可逆的な水素との反応速度も大
きく体積比で９３５倍の水素を吸蔵し得るものである。
このように水素吸蔵合金は吸蔵しうる水素の量（体積
量）が大きく弾性膜４の膨張量も大きいのでピストン２
も比較的大きく移動させることが出来る。
素放出温度）が室温以上で解離圧の比較的高い水素吸蔵
合金、例えばＬａＮｉ5 、ＭｍＮｉ5 （但し、Ｍｍはミ
ッシュメタル（発火合金）の略称である）、ＣａＮ
ｉ5 、ＭｍＮｉ4.7 Ａｌ0.3 、ＭｍＮｉＣｏＡｌや、解
離度が室温程度で解離圧が非常に高いＴｉＭｎ1.5 、Ｔ
ｉＺｒＭｎＶＣｒ、或いは一般式ＰｄＨx で表される水
素化パラジウムが用いられる。尚、水素化パラジウム
（ＰｄＨx ）の場合Ｘは０．０３〜０．６９が好適に用
いられる。そしてこの水素化パラジウムは、比較的常
温、常圧に近い条件での可逆的な水素との反応速度も大
きく体積比で９３５倍の水素を吸蔵し得るものである。
このように水素吸蔵合金は吸蔵しうる水素の量（体積
量）が大きく弾性膜４の膨張量も大きいのでピストン２
も比較的大きく移動させることが出来る。
【００１４】図２は、この発明の光アクチュエ−タ装置
の第２の実施例の縦断面図である。この光アクチュエ−
タ装置は、一方の側にピストン２を配置したシリンダ１
の他方の端部に、一方の端部に伸縮自在な弾性膜４を止
着すると共に他方の端部に光ファイバ６を嵌挿し且つ該
弾性膜４と光ファイバ６との間に形成される密閉空間に
水素吸蔵合金５を配置した筒体３を嵌め入れて構成され
る。この場合、図２に示すように、筒体３は、弾性膜４
とピストン２とが直結せず近接するようにシリンダ１に
嵌め込まれる。前記シリンダ１内部に配置したピストン
２は出没自在となるようシリンダ１内で一定範囲移動可
能に配置されているが、特に該シリンダ１には内壁にス
トッパ１ａを設けると共にピストン２が移動する際該ピ
ストン２に付勢力を作用させるばね７が配置してある。
の第２の実施例の縦断面図である。この光アクチュエ−
タ装置は、一方の側にピストン２を配置したシリンダ１
の他方の端部に、一方の端部に伸縮自在な弾性膜４を止
着すると共に他方の端部に光ファイバ６を嵌挿し且つ該
弾性膜４と光ファイバ６との間に形成される密閉空間に
水素吸蔵合金５を配置した筒体３を嵌め入れて構成され
る。この場合、図２に示すように、筒体３は、弾性膜４
とピストン２とが直結せず近接するようにシリンダ１に
嵌め込まれる。前記シリンダ１内部に配置したピストン
２は出没自在となるようシリンダ１内で一定範囲移動可
能に配置されているが、特に該シリンダ１には内壁にス
トッパ１ａを設けると共にピストン２が移動する際該ピ
ストン２に付勢力を作用させるばね７が配置してある。
【００１５】この実施例では、光ファイバ６から水素吸
蔵合金５にレ−ザ−光を投射すると該水素吸蔵合金５の
温度が上昇して筒体３の端部に止着された弾性膜４と筒
体３と光ファイバ６とによって形成される空間、特に弾
性膜４と水素吸蔵合金５との間の密閉空間１０に水素を
放出して筒体３端部に止着された弾性膜４を膨張させ
る。このとき弾性膜４はピストン２を押して移動させ
る。また、レ−ザ−光の投射を停止すると水素吸蔵合金
５が水素を吸蔵すると共に密閉空間１０の容積も減少し
ばね７が弾性膜４を付勢して押し返しピストン２を元の
位置に復帰させる。
蔵合金５にレ−ザ−光を投射すると該水素吸蔵合金５の
温度が上昇して筒体３の端部に止着された弾性膜４と筒
体３と光ファイバ６とによって形成される空間、特に弾
性膜４と水素吸蔵合金５との間の密閉空間１０に水素を
放出して筒体３端部に止着された弾性膜４を膨張させ
る。このとき弾性膜４はピストン２を押して移動させ
る。また、レ−ザ−光の投射を停止すると水素吸蔵合金
５が水素を吸蔵すると共に密閉空間１０の容積も減少し
ばね７が弾性膜４を付勢して押し返しピストン２を元の
位置に復帰させる。
【００１６】図３は、この光アクチュエ−タ装置の第３
の実施例を示す縦断面図である。この実施例ではピスト
ン２を、ばね７により復帰可能に配置したシリンダ１端
部に、内部に水素吸蔵合金５を嵌着し端部にベロ−ズ
（マイクロベロ−ズ）８を止着した筒体３を嵌着し、該
筒体３の端部に光ファイバ６を嵌着した構成としてあ
る。この場合、光ファイバ６によりレ−ザ−光を水素吸
蔵合金５に投射すると水素吸蔵合金５の温度上昇により
水素が放出されベロ−ズ（マイクロベロ−ズ）８の内部
空間容積が大きくなってピストン２を押し、レ−ザ−光
の投射を中止すると水素吸蔵合金５の温度下降により水
素が再び吸蔵されベロ−ズ８内の容積は小さくなりばね
７によりピストン２は逆方向に押されて元の位置に復帰
する。
の実施例を示す縦断面図である。この実施例ではピスト
ン２を、ばね７により復帰可能に配置したシリンダ１端
部に、内部に水素吸蔵合金５を嵌着し端部にベロ−ズ
（マイクロベロ−ズ）８を止着した筒体３を嵌着し、該
筒体３の端部に光ファイバ６を嵌着した構成としてあ
る。この場合、光ファイバ６によりレ−ザ−光を水素吸
蔵合金５に投射すると水素吸蔵合金５の温度上昇により
水素が放出されベロ−ズ（マイクロベロ−ズ）８の内部
空間容積が大きくなってピストン２を押し、レ−ザ−光
の投射を中止すると水素吸蔵合金５の温度下降により水
素が再び吸蔵されベロ−ズ８内の容積は小さくなりばね
７によりピストン２は逆方向に押されて元の位置に復帰
する。
【００１７】上記実施例において、シリンダ１及び筒体
３の材料はプラスチックチュ−ブ、金属チュ−ブ等種々
の材料が利用可能であるが、熱により容易に変形しない
ことが望ましく、薄肉のＳＵＳ管を好適な例として挙げ
ることが出来る。また、シリンダ１内の中間部や筒体３
の内面に嵌着する水素吸蔵合金５は接着材等によりしっ
かり固定し且つ密着させるようにしなければならない。
また、シリンダ１内の中間部や筒体３の先端部に止着す
る弾性膜４は伸縮性と耐熱性があるもの、具体的にはシ
リコン、ポリアミド、ポリエチレン、ポリテトラフルオ
ロエチレン、ポリカ−ボネ−ト、ポリエステル、ポリス
チレン、アセチルセルロ−ス、ラテックス等が利用可能
である。
３の材料はプラスチックチュ−ブ、金属チュ−ブ等種々
の材料が利用可能であるが、熱により容易に変形しない
ことが望ましく、薄肉のＳＵＳ管を好適な例として挙げ
ることが出来る。また、シリンダ１内の中間部や筒体３
の内面に嵌着する水素吸蔵合金５は接着材等によりしっ
かり固定し且つ密着させるようにしなければならない。
また、シリンダ１内の中間部や筒体３の先端部に止着す
る弾性膜４は伸縮性と耐熱性があるもの、具体的にはシ
リコン、ポリアミド、ポリエチレン、ポリテトラフルオ
ロエチレン、ポリカ−ボネ−ト、ポリエステル、ポリス
チレン、アセチルセルロ−ス、ラテックス等が利用可能
である。
【００１８】
【発明の効果】以上詳述したようにこの発明によれば、
安定したピストン動作を得ることが出来る光アクチュエ
−タ装置とすることが出来る。また、水素吸蔵合金を適
当に選択することにより動作温度、動作圧力を広い範囲
で選択することが出来るので使用目的に対応した適正な
光アクチュエ−タ装置を提供することが出来る。
安定したピストン動作を得ることが出来る光アクチュエ
−タ装置とすることが出来る。また、水素吸蔵合金を適
当に選択することにより動作温度、動作圧力を広い範囲
で選択することが出来るので使用目的に対応した適正な
光アクチュエ−タ装置を提供することが出来る。
【図１】この発明の光アクチュエ−タ装置の縦断面図で
ある。
ある。
【図２】この発明の光アクチュエ−タ装置の第２の実施
例を示す縦断面図である。
例を示す縦断面図である。
【図３】この発明の光アクチュエ−タ装置の第３の実施
例を示す縦断面図である。
例を示す縦断面図である。
【図４】従来の光アクチュエ−タ装置（レ−ザ−ピスト
ン装置）の縦断面図である。
ン装置）の縦断面図である。
１ シリンダ ２ ピストン ３ 筒体 ４ 弾性膜 ５ 水素吸蔵合金 ６ 光ファイバ ７ ばね ８ ベロ−ズ（マイクロベロ−ズ） １０ 空間
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 山本 啓介 兵庫県伊丹市池尻４丁目３番地 三菱電 線工業株式会社伊丹製作所内 (56)参考文献 特開 昭62−80307（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−283949（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−180396（ＪＰ，Ａ) 特開 平５−180148（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−50311（ＪＰ，Ａ) 特開 平６−101627（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F15B 21/06
Claims (3)
- 【請求項１】 一端側に光ファイバが接続されたシリン
ダの内部に伸縮自在な弾性膜を固定することにより区画
される密閉空間を設けると共に該空間内に水素吸蔵合金
を収納し、シリンダの他端側には、出没自在なピストン
を前記弾性膜に直結せずに近接させて配置して成る光ア
クチュエ−タ装置。 - 【請求項２】 一方の側に出没自在なピストンを配置し
たシリンダの他方の側に、一方の端部に伸縮自在な弾性
膜を止着すると共に他方の端部に光ファイバを嵌挿し該
弾性膜と光ファイバとで形成される密閉空間に水素吸蔵
合金を収納した筒体を該弾性膜と前記ピストンとが直結
せずに近接するよう嵌め入れて成る光アクチュエ−タ装
置。 - 【請求項３】 弾性膜をベロ−ズとした請求項１若しく
は請求項２に記載の光アクチュエ−タ装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06173341A JP3081454B2 (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 光アクチュエ−タ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP06173341A JP3081454B2 (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 光アクチュエ−タ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0814214A JPH0814214A (ja) | 1996-01-16 |
| JP3081454B2 true JP3081454B2 (ja) | 2000-08-28 |
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ID=15958634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP06173341A Expired - Fee Related JP3081454B2 (ja) | 1994-06-30 | 1994-06-30 | 光アクチュエ−タ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3081454B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110259539A (zh) * | 2019-06-06 | 2019-09-20 | 上海柯来浦能源科技有限公司 | 利用金属储氢材料氢能发电系统 |
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|---|---|---|---|---|
| KR101518490B1 (ko) * | 2014-02-14 | 2015-05-12 | 삼성디스플레이 주식회사 | 전자 장치 및 이의 정보 제공 방법 |
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1994
- 1994-06-30 JP JP06173341A patent/JP3081454B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JPH0814214A (ja) | 1996-01-16 |
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