JPH05174324A - Magnetic head and its manufacture - Google Patents
Magnetic head and its manufactureInfo
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- JPH05174324A JPH05174324A JP33747691A JP33747691A JPH05174324A JP H05174324 A JPH05174324 A JP H05174324A JP 33747691 A JP33747691 A JP 33747691A JP 33747691 A JP33747691 A JP 33747691A JP H05174324 A JPH05174324 A JP H05174324A
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- recording medium
- protrusion
- tip
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ヘッド、更に詳し
くは、シングルポール型コンタクト式垂直磁気ヘッドの
構造及びその製造方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic head, and more particularly to a structure of a single pole type contact perpendicular magnetic head and a manufacturing method thereof.
【０００２】近年、磁気ディスク装置においては、小型
化,薄型化,大容量化,低価格化,低消費電力化を満たす装
置の要望が高まっており、このためには、ヘッドや媒体
特性向上による面密度のアップをできるだけ抑え、小ス
ペースに数多くの媒体を実装すること、又は、従来と同
一枚数の媒体を実装しつつ、装置高さを極力抑えること
が要望されている。In recent years, there has been a growing demand for magnetic disk devices that meet the requirements of downsizing, thinning, large capacity, cost reduction, and low power consumption. It is desired to suppress an increase in areal density as much as possible and mount a large number of media in a small space, or to mount the same number of media as the conventional one while suppressing the height of the device as much as possible.
【０００３】[0003]
【従来の技術】次に図面を用いて従来例を説明する。図
１４は従来のシングルポール型コンタクト式垂直磁気ヘ
ッドの構成図、図１５は図１４に示す磁気ヘッドのコイ
ルコア形成工程を説明する図、図１６は図１４に示す磁
気ヘッドの摩耗保護層形成工程を説明する図、図１７は
図１４に示す磁気ヘッドの製造工程のベース部の先端面
の研磨工程を説明する図、図１８は図１７における斜視
図、図１９は図１４に示す磁気ヘッドの主磁極及び主ヨ
ークの製造工程を説明する図である。2. Description of the Related Art Next, a conventional example will be described with reference to the drawings. 14 is a configuration diagram of a conventional single pole contact type perpendicular magnetic head, FIG. 15 is a diagram for explaining a coil core forming process of the magnetic head shown in FIG. 14, and FIG. 16 is a wear protection layer forming process of the magnetic head shown in FIG. FIG. 17 is a view for explaining a polishing process of the tip end surface of the base portion in the manufacturing process of the magnetic head shown in FIG. 14, FIG. 18 is a perspective view of FIG. 17, and FIG. 19 is a view of the magnetic head shown in FIG. It is a figure explaining the manufacturing process of a main pole and a main yoke.
【０００４】先ず、図１４を用いて従来のシングルポー
ル型コンタクト式垂直磁気ヘッドの説明を行う。このタ
イプの磁気ヘッドは、米国特許5,041,932号に開示され
ている。図において、１は絶縁材で作られた薄板状のベ
ース部である。このベース部１の先端面には、記録媒体
Ｋ方向に突出するように設けられた窒化鉄（ＮｉＦｅ）
等の軟磁性材の主磁極２が設けられている。ベース部１
の材質としては、Ａｌ 2Ｏ3,ＺｒＯ3,ＳｉＯ2等が選ばれ
る。First, referring to FIG. 14, a conventional single port is used.
A le-contact vertical magnetic head will be described. This tab
Ip's magnetic head is disclosed in US Pat. No. 5,041,932
ing. In the figure, 1 is a thin plate made of insulating material.
It is the source section. A recording medium is formed on the tip surface of the base portion 1.
Iron nitride (NiFe) provided so as to project in the K direction
A main magnetic pole 2 made of a soft magnetic material such as is provided. Base part 1
As the material of Al 2O3, ZrO3, SiO2Etc. are chosen
It
【０００５】ベース部１内には、軸方向に沿って設けら
れ、先端部が主磁極２に当接するパーマロイ等の軟磁性
材のコア３が設けられている。又、ベース部１内には、
コア３の基端部より記録媒体方向に突出するように形成
されたパーマロイ等の軟磁性材のリターンヨーク４が形
成されている。そして、コア３の中間部には、銅のコイ
ル５が巻き掛けられ、更に、コイル５の両端部は、ベー
ス部１の基端部方向に延出している。Inside the base portion 1, there is provided a core 3 of a soft magnetic material such as permalloy, which is provided along the axial direction and whose tip portion abuts the main magnetic pole 2. Also, in the base part 1,
A return yoke 4 made of a soft magnetic material such as permalloy is formed so as to project from the base end of the core 3 toward the recording medium. A copper coil 5 is wound around the middle portion of the core 3, and both ends of the coil 5 extend toward the base end portion of the base portion 1.
【０００６】主磁極２のベース部１との当接面と反対側
の面には、記録媒体Ｋ方向に突出するパーマロイの主ヨ
ーク６が設けられている。更に、主ヨーク６を覆うよう
にベース部１と同一材料もしくは磨耗保護層と同一材料
の保護膜７がベース部１の先端面に形成されている。A permalloy main yoke 6 protruding in the recording medium K direction is provided on the surface of the main magnetic pole 2 opposite to the contact surface with the base portion 1. Further, a protective film 7 made of the same material as the base portion 1 or the same material as the wear protection layer is formed on the tip surface of the base portion 1 so as to cover the main yoke 6.
【０００７】又、ベース部１の記録媒体Ｋの対向面の先
端部には、記録媒体Ｋに当接する高硬度の摩耗保護層８
が形成されている。次に、上記構成の磁気ヘッドの製造
方法を図１５乃至図１８を用いて説明する。先ず、図１
５に示すように、コア３,リターンヨーク４,コイル５が
内部に形成されたベース部１を形成する。At the tip of the base portion 1 opposite to the recording medium K, a high hardness wear protection layer 8 abutting against the recording medium K is formed.
Are formed. Next, a method of manufacturing the magnetic head having the above structure will be described with reference to FIGS. First, Fig. 1
As shown in FIG. 5, the core 3, the return yoke 4, and the coil 5 form the base portion 1 formed therein.
【０００８】次に、図１６に示すように、ベース部１の
記録媒体Ｋの対向面全域に、スパッタやＣＶＤ等の方法
で、高硬度の層を形成し、エッチングにより、先端部以
外（図において破線部）を除去し、摩耗保護層８を形成
する。この時、ベース部１の先端面は荒れた状態であ
る。Next, as shown in FIG. 16, a layer of high hardness is formed on the entire surface of the base portion 1 facing the recording medium K by a method such as sputtering or CVD, and the layer other than the tip portion is formed by etching (see FIG. The broken line portion) is removed to form the wear protection layer 8. At this time, the front end surface of the base portion 1 is in a rough state.
【０００９】次に、図１７及び図１８に示すように、ベ
ース部１の先端面及び摩耗保護層８を平坦化するため
に、コア５と垂直な方向に研磨を行う。そして、研磨
後、スパッタや蒸着等の手法で、厚さ0.2〜0.5μm程度
の主磁極２を形成する。Next, as shown in FIGS. 17 and 18, in order to flatten the tip surface of the base portion 1 and the wear protection layer 8, polishing is performed in a direction perpendicular to the core 5. Then, after polishing, the main magnetic pole 2 having a thickness of about 0.2 to 0.5 μm is formed by a method such as sputtering or vapor deposition.
【００１０】最後に、図１９に示すように、主ヨーク６
及び保護膜７を形成する。次に、上記構成の作動を説明
する。コイル５に電流を流すことにより、発生する磁場
は、コア３→主磁極２→記録媒体Ｋ→リターンヨーク４
からなる閉ループを通り、記録媒体Ｋへデータのライト
を行う。Finally, as shown in FIG. 19, the main yoke 6
And the protective film 7 is formed. Next, the operation of the above configuration will be described. The magnetic field generated by passing a current through the coil 5 is: core 3 → main pole 2 → recording medium K → return yoke 4
Data is written to the recording medium K through a closed loop consisting of
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】しかし、上記構成の磁
気ヘッドにおいて、図１７に示すようにベース部１の先
端面の研磨の場合に、ベース部１と摩耗保護層８とは、
硬度が大きく異なるために、両者の境界（図１８におけ
る斜線部）で歪や欠け(クラック)が発生することがあ
る。歪や欠けが生じた状態で、ベース部１の先端面に主
磁極２を形成すると、磁気ヘッドの磁気特性に悪影響を
与えるという問題点がある。However, in the magnetic head having the above-described structure, when the tip surface of the base portion 1 is polished as shown in FIG. 17, the base portion 1 and the wear protection layer 8 are
Due to the large difference in hardness, distortion and chipping (cracks) may occur at the boundary between the two (hatched portion in FIG. 18). If the main magnetic pole 2 is formed on the tip end surface of the base portion 1 in a state where distortion or chipping occurs, there is a problem that the magnetic characteristics of the magnetic head are adversely affected.
【００１２】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
ので、その目的は、ベース部の先端面に歪や欠けが生ぜ
ず、磁気特性の良好な磁気ヘッド及びその製造方法を提
供することにある。The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide a magnetic head having good magnetic characteristics without causing distortion or chipping on the tip end surface of the base portion, and a method for manufacturing the same. It is in.
【００１３】[0013]
【課題を解決するための手段】図１は請求項１記載の発
明の原理図である。図において、１１は薄板状のベース
部である。１２はベース部１１と略同一硬度の材質で、
ベース部１１の記録媒体対向面の先端部略中央で、ベー
ス部１１の先端面と段差がないように形成された突部で
ある。１３はベース部１１の記録媒体対向面上で、突部
１２のベース部１１の基端部と対向する第１の面１４,
ベース部１１の一方の側部と対向する第２の面１５,ベ
ース部１１の他方の面と対向する第３の面１６の内の少
なくとも１つの面と隣接し、高さが突部１２と同じであ
るように形成された高硬度の摩耗保護層である。FIG. 1 is a principle view of the invention described in claim 1. In the figure, 11 is a thin plate-shaped base portion. 12 is a material having substantially the same hardness as the base portion 11,
It is a protrusion formed substantially at the center of the front end of the recording medium facing surface of the base 11 so as not to have a step with the front end of the base 11. Reference numeral 13 denotes a first surface 14, which faces the recording medium facing surface of the base portion 11, and which faces the base end portion of the base portion 11 of the protrusion 12.
Adjacent to at least one of the second surface 15 facing one side of the base portion 11 and the third surface 16 facing the other surface of the base portion 11, the height is the same as that of the protrusion 12. A high hardness wear protection layer formed to be the same.
【００１４】１７はベース部１１の先端面及び突部１２
に記録媒体方向に突出するように設けられた主磁極であ
る。１８はベース部１１内で、軸方向に沿って設けら
れ、先端部が主磁極１７に当接するするコア、１９はベ
ース部１１内で、コア１８の基端部より記録媒体方向に
突出するように形成されたリターンヨークである。そし
て、コア１８の中間部には、コイル２０が巻き掛けられ
ている。Reference numeral 17 denotes the tip end surface of the base portion 11 and the projection portion 12.
The main magnetic pole is provided so as to protrude toward the recording medium. Reference numeral 18 denotes a core that is provided in the base portion 11 along the axial direction and has a tip end portion that abuts the main magnetic pole 17. Reference numeral 19 denotes a base portion 11 that projects from the base end portion of the core 18 toward the recording medium. It is a return yoke formed on the. The coil 20 is wound around the middle portion of the core 18.
【００１５】主磁極１７のベース部１１との当接面と反
対側の面には、記録媒体方向に突出する主ヨーク（図示
せず）が形成され、更に、この主ヨークを覆うように保
護膜１０が形成されている。A main yoke (not shown) protruding in the direction of the recording medium is formed on the surface of the main magnetic pole 17 opposite to the contact surface with the base portion 11, and the main yoke is protected so as to cover the main yoke. The film 10 is formed.
【００１６】次に、請求項２記載の発明においては、コ
イル,コア,リターンヨークが内部に形成された薄板状の
ベース部を形成する工程と、該ベース部の記録媒体対向
面上に前記ベース部と同じ材質の第１の層を形成する工
程と、該第１の層を加工して、ベース部の記録媒体対向
面の先端部略中央に、突部を形成する工程と、前記ベー
ス部の記録媒体対向面上に、高硬度の第２の層を形成す
る工程と、該第２の層を加工して、前記突部近傍以外の
部分を除去して、摩耗保護層を形成する工程と、該摩耗
保護層の記録媒体対向面を加工して、前記突部の記録媒
体対向面を外部に露出させる工程と、前記ベース部の先
端面,前記突部及び前記摩耗保護層を研磨する工程と、
前記ベース部の先端面及び突部に前記記録媒体方向に突
出するように主磁極を形成する工程と、前記主磁極の前
記ベース部との当接面と反対側の面に、前記記録媒体方
向に突出するように主ヨークを形成する工程と、該主ヨ
ークを覆うように前記ベース部の先端面に保護膜を形成
する工程とを具備するものである。Next, in a second aspect of the present invention, a step of forming a thin plate-shaped base portion in which a coil, a core and a return yoke are formed, and the base portion on the recording medium facing surface of the base portion. Forming a first layer made of the same material as that of the base portion, processing the first layer to form a protrusion at substantially the center of the tip of the recording medium facing surface of the base portion; Forming a second layer having high hardness on the recording medium facing surface, and processing the second layer to remove a portion other than the vicinity of the protrusion to form a wear protection layer. And a step of processing the recording medium facing surface of the wear protection layer to expose the recording medium facing surface of the protrusion to the outside, and polishing the tip end surface of the base portion, the protrusion and the wear protection layer. Process,
A step of forming a main magnetic pole on the tip end surface and a projection of the base portion so as to project toward the recording medium; and a surface opposite to the contact surface of the main magnetic pole with the base portion, in the recording medium direction. And a step of forming a protective film on the front end surface of the base portion so as to cover the main yoke.
【００１７】[0017]
【作用】請求項１記載の発明の磁気ヘッド及び請求項２
記載の磁気ヘッドの製造方法において、ベース部１１の
先端面,突部１２及び摩耗保護層１３を研磨する際に、
次工程で主磁極１７が形成される場所、つまりベース部
１１の先端面及び突部１２は、同一材質であるので、研
磨によって欠けや歪が発生しない。A magnetic head according to claim 1 and a magnetic head according to claim 2
In the method of manufacturing a magnetic head described above, when polishing the tip end surface of the base portion 11, the protrusion 12 and the wear protection layer 13,
Since the location where the main magnetic pole 17 is formed in the next step, that is, the tip end surface of the base portion 11 and the projection 12 is made of the same material, no chipping or distortion occurs due to polishing.
【００１８】よって、良好な磁気特性の磁気ヘッドを得
ることができる。Therefore, a magnetic head having good magnetic characteristics can be obtained.
【００１９】[0019]
【実施例】次に図面を用いて本発明の一実施例を説明す
る。図２は本発明の一実施例の磁気ヘッドの構成図、図
３は図２に示す磁気ヘッドの要部斜視図、図４は図３に
示す突部及び摩耗保護層の拡大図、図５は図２に示す磁
気ヘッドのコイルコア形成工程を説明する図、図６は図
１に示す磁気ヘッドの製造工程の突部を形成する工程を
説明する図、図７は図６における斜視図、図８は図２に
示す磁気ヘッドの摩耗保護層を形成する工程を説明する
図、図９は図２に示す磁気ヘッドの摩耗保護層の記録媒
体対向面を加工する工程を説明する図、図１０は図９に
おける斜視図、図１１は図２におけるベース部端面を研
磨する工程を説明する図、図１２は図２における主磁極
を形成する工程を説明する図、図１３は図２における磁
気ヘッドの主ヨークの製造工程を説明する図である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENT An embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. 2 is a configuration diagram of a magnetic head according to an embodiment of the present invention, FIG. 3 is a perspective view of a main part of the magnetic head shown in FIG. 2, FIG. 4 is an enlarged view of a protrusion and a wear protection layer shown in FIG. 2 is a diagram for explaining a coil core forming process of the magnetic head shown in FIG. 2, FIG. 6 is a diagram for explaining a process of forming a protrusion in the manufacturing process of the magnetic head shown in FIG. 1, and FIG. 7 is a perspective view of FIG. 8 is a diagram illustrating a step of forming a wear protection layer of the magnetic head shown in FIG. 2, FIG. 9 is a diagram illustrating a step of processing a recording medium facing surface of the wear protection layer of the magnetic head shown in FIG. 2, and FIG. 9 is a perspective view of FIG. 9, FIG. 11 is a diagram illustrating a step of polishing the end surface of the base portion in FIG. 2, FIG. 12 is a diagram illustrating a step of forming the main pole in FIG. 2, and FIG. 13 is a magnetic head in FIG. FIG. 6 is a diagram illustrating a manufacturing process of the main yoke of FIG.
【００２０】先ず、図２乃至図４を用いて本実施例のシ
ングルポール型コンタクト式垂直磁気ヘッドの説明を行
う。図において、２１は弾性を有し、絶縁材で作られた
薄板状のベース部である。ここのベース部２１の先端面
には、記録媒体Ｋ方向に突出するように設けられた窒化
鉄（ＮｉＦｅ）等の軟磁性材の主磁極２２が設けられて
いる。ベース部２１の材質としては、Ａｌ2Ｏ3,Ｚｒ
Ｏ3,ＳｉＯ2等が選ばれる。First, the single pole contact type perpendicular magnetic head of this embodiment will be described with reference to FIGS. In the figure, reference numeral 21 denotes a thin plate-shaped base portion made of an insulating material having elasticity. A main magnetic pole 22 of a soft magnetic material such as iron nitride (NiFe) provided so as to project in the recording medium K direction is provided on the tip end surface of the base portion 21. The material of the base portion 21 is Al 2 O 3 , Zr.
O 3 , SiO 2, etc. are selected.
【００２１】ベース部２１内には、軸方向に沿って設け
られ、先端部が主磁極２２に当接するパーマロイのコア
２３が設けられている。又、ベース部２１内には、コア
２３の基端部より記録媒体方向に突出するように形成さ
れたパーマロイのリターンヨーク２４が形成されてい
る。そして、コア２３の中間部には、銅のコイル２５が
巻き掛けられ、更に、コイル２５の両端部は、ベース部
２１の基端部方向に延出している。Inside the base portion 21, there is provided a permalloy core 23 which is provided along the axial direction and whose front end contacts the main magnetic pole 22. A permalloy return yoke 24 is formed in the base portion 21 so as to project from the base end portion of the core 23 toward the recording medium. A copper coil 25 is wound around the middle portion of the core 23, and both ends of the coil 25 extend toward the base end portion of the base portion 21.
【００２２】主磁極２２のベース部２１との当接面と反
対側の面には、記録媒体Ｋ方向に突出するパーマロイの
主ヨーク２６が設けられている。更に、主ヨーク２６を
覆うようにアルミナの保護膜２７がベース部２１の先端
面に形成されている。A permalloy main yoke 26 protruding in the recording medium K direction is provided on the surface of the main magnetic pole 22 opposite to the contact surface with the base portion 21. Further, an alumina protective film 27 is formed on the tip surface of the base portion 21 so as to cover the main yoke 26.
【００２３】ベース部２１の記録媒体Ｋの対向面の先端
部略中央には、ベース部２１の先端面と段差が内容に形
成された突部２８が形成されている。尚、この突部２８
の材質は、ベース部２１と同一材料が選ばれている。２
９は、ベース部２１の記録媒体Ｋの対向面上で、突部２
８の基端部と対向する第１の面３０,ベース部２１の一
方の側部と対向する第２の面３１,ベース部２１の他方
の面と対向する第３の面３２の内少なくとも１つの面と
隣接するように形成された高硬度の摩耗保護層である。
尚、本実施例の摩耗保護層２９は、第１の面,第２の面
及び第３の面ともに隣接している。A protrusion 28 is formed substantially at the center of the front end of the base portion 21 facing the recording medium K, and a step 28 is formed with a step difference from the front end surface of the base portion 21. In addition, this protrusion 28
The same material as that of the base portion 21 is selected as the material. Two
Reference numeral 9 denotes the protrusion 2 on the surface of the base portion 21 facing the recording medium K.
At least one of the first surface 30 facing the base end portion of 8, the second surface 31 facing one side portion of the base portion 21, and the third surface 32 facing the other surface of the base portion 21. It is a high hardness wear protection layer formed so as to be adjacent to two surfaces.
The wear protection layer 29 of this embodiment is adjacent to the first surface, the second surface, and the third surface.
【００２４】次に、上記構成の磁気ヘッドの製造方法を
図５乃至図１３を用いて説明する。先ず、図５に示すよ
うに、コア２３,リターンヨーク２４,コイル２５が内部
に形成されたベース部２１を形成する。Next, a method of manufacturing the magnetic head having the above structure will be described with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 5, the base portion 21 in which the core 23, the return yoke 24, and the coil 25 are formed is formed.
【００２５】次に、図６及び図７に示すように、ベース
部２１の記録媒体Ｋの対向面全域に、スパッタ等の方法
で、ベース部２１と同一の材質の第１の層４１を形成
し、この第１の層４１の破線部をエッチングして、ベー
ス部２１の先端部略中央に突部２８を形成する。Next, as shown in FIGS. 6 and 7, a first layer 41 made of the same material as the base portion 21 is formed on the entire surface of the base portion 21 facing the recording medium K by a method such as sputtering. Then, the broken line portion of the first layer 41 is etched to form a protrusion 28 substantially at the center of the tip portion of the base portion 21.
【００２６】尚、本実施例において、この突部２８の大
きさは、図６において、t1寸法は10〜50μm,t2寸法は2
〜3μmとした。次に、図８に示すように、ベース部２１
の記録媒体Ｋの対向面全域に高硬度の第２の層４２を形
成し、エッチングにより、先端部以外（図において破線
部）を除去し、突部２８の基端部と対向する第１の面３
０,ベース部２１の一方の側部と対向する第２の面３１,
ベース部２１の他方の面と対向する第３の面３２と隣接
する高硬度の摩耗保護層２９を形成する。この時、ベー
ス部２１の先端面は荒れた状態である。In the present embodiment, the size of the protrusion 28 is as shown in FIG. 6 with t 1 dimension of 10 to 50 μm and t 2 dimension of 2.
˜3 μm. Next, as shown in FIG.
The second layer 42 having high hardness is formed on the entire area of the opposite surface of the recording medium K, and a portion other than the tip portion (the broken line portion in the drawing) is removed by etching, and the first layer facing the base end portion of the protrusion 28 is formed. Surface 3
0, a second surface 31 facing one side of the base portion 21,
A high hardness wear protection layer 29 is formed adjacent to the third surface 32 that faces the other surface of the base portion 21. At this time, the tip surface of the base portion 21 is in a rough state.
【００２７】次に、図９及び図１０に示すように、摩耗
保護層２９の記録媒体Ｋとの対向面を研磨により削除し
(図９における破線部)、突部２８の記録媒体Ｋとの対向
面を外部に露出させる。Next, as shown in FIGS. 9 and 10, the surface of the wear protection layer 29 facing the recording medium K is removed by polishing.
The portion of the protrusion 28 facing the recording medium K is exposed to the outside (broken line portion in FIG. 9).
【００２８】次に、図１１に示すように、ベース部２１
の先端面,突部２８及び摩耗保護層２９を平坦化するた
めに、コア２３と垂直な方向に研磨する。次に、図１２
に示すように、ベース部２１の先端面及び突部２８上
に、スパッタや蒸着等の手法で、厚さ0.2〜0.5μm程度
の主磁極２２を形成する。Next, as shown in FIG.
In order to flatten the tip surface, the protrusion 28, and the wear protection layer 29, polishing is performed in a direction perpendicular to the core 23. Next, FIG.
As shown in FIG. 5, the main magnetic pole 22 having a thickness of about 0.2 to 0.5 μm is formed on the tip end surface of the base portion 21 and the protrusion 28 by a method such as sputtering or vapor deposition.
【００２９】最後に、図１３に示すように、主磁極２２
のベース部２１との当接面と反対側の面に主ヨーク２６
を形成し、更に、主ヨーク２６を覆うように、ベース部
２１の先端面に保護膜２７を形成する。Finally, as shown in FIG. 13, the main pole 22
Of the main yoke 26 on the surface opposite to the contact surface with the base portion 21 of
And a protective film 27 is formed on the front end surface of the base portion 21 so as to cover the main yoke 26.
【００３０】次に、上記構成の作動を説明する。コイル
２５に電流を流すことにより、発生する磁場は、コア２
３→主磁極２２→記録媒体Ｋ→リターンヨーク２４から
なる閉ループを通り、記録媒体Ｋへデータのライトを行
う。Next, the operation of the above configuration will be described. The magnetic field generated by passing an electric current through the coil 25 is
Data is written to the recording medium K through a closed loop composed of 3 → main magnetic pole 22 → recording medium K → return yoke 24.
【００３１】上記構成の磁気ヘッドによれば、ベース部
２１の先端面,突部２８及び摩耗保護層２９を研磨する
際に、次工程で主磁極２２が形成される場所、つまりベ
ース部２１の先端面及び突部２８は、同一材質であるの
で、研磨によって欠けや歪が発生しない。According to the magnetic head having the above structure, when the tip end surface of the base portion 21, the protrusion 28 and the wear protection layer 29 are polished, the main magnetic pole 22 is formed in the next step, that is, the base portion 21. Since the tip surface and the protrusion 28 are made of the same material, no chipping or distortion occurs due to polishing.
【００３２】よって、良好な磁気特性の磁気ヘッドを得
ることができる。尚、本発明は上記実施例に限るもので
はない。上記実施例では、摩耗保護層２９は第１,第２,
第３の面３０,３１,３２にそれぞれ隣接するように形成
したが、少なくともこれら３つの面の内少なくともどれ
か１つの面に隣接するように形成してもよい。Therefore, it is possible to obtain a magnetic head having good magnetic characteristics. The present invention is not limited to the above embodiment. In the above embodiment, the wear protection layer 29 has the first, second, and
Although it is formed so as to be adjacent to the third surfaces 30, 31, 32, respectively, it may be formed so as to be adjacent to at least one of these three surfaces.
【００３３】[0033]
【発明の効果】以上述べたように請求項１記載の発明に
よれば、ベース部の先端面に歪や欠けが生ぜず、磁気特
性が良好な磁気ヘッドを実現できる。As described above, according to the invention described in claim 1, it is possible to realize a magnetic head having good magnetic characteristics without causing distortion or chipping on the tip end surface of the base portion.
【００３４】又、請求項２記載の発明によれば、ベース
部の先端面に歪や欠けの生じない磁気ヘッドの製造方法
を実現することができる。According to the second aspect of the invention, it is possible to realize a method of manufacturing a magnetic head in which no distortion or chipping occurs in the tip surface of the base portion.
【図１】本発明の原理図である。FIG. 1 is a principle diagram of the present invention.
【図２】本発明の一実施例の磁気ヘッドの構成図であ
る。FIG. 2 is a configuration diagram of a magnetic head according to an embodiment of the present invention.
【図３】図２に示す磁気ヘッドの要部斜視図である。FIG. 3 is a perspective view of a main part of the magnetic head shown in FIG.
【図４】図３に示す突部及び摩耗保護層の拡大図であ
る。FIG. 4 is an enlarged view of a protrusion and a wear protection layer shown in FIG.
【図５】図２に示す磁気ヘッドのコイルコア形成工程を
説明する図である。FIG. 5 is a diagram illustrating a coil core forming process of the magnetic head shown in FIG.
【図６】図１に示す磁気ヘッドの製造工程の突部を形成
する工程を説明する図である。FIG. 6 is a diagram illustrating a step of forming a protrusion in the manufacturing process of the magnetic head shown in FIG.
【図７】図６における斜視図である。FIG. 7 is a perspective view of FIG.
【図８】図２に示す磁気ヘッドの摩耗保護層を形成する
工程を説明する図である。8 is a diagram illustrating a step of forming a wear protection layer of the magnetic head shown in FIG.
【図９】図２に示す磁気ヘッドの摩耗保護層の記録媒体
対向面を加工する工程を説明する図である。FIG. 9 is a diagram illustrating a step of processing the surface of the wear protection layer of the magnetic head shown in FIG. 2 that faces the recording medium.
【図１０】図９における斜視図である。FIG. 10 is a perspective view of FIG. 9.
【図１１】図２におけるベース部端面を研磨する工程を
説明する図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a step of polishing the end surface of the base portion in FIG.
【図１２】図２における主磁極を形成する工程を説明す
る図である。FIG. 12 is a diagram illustrating a step of forming a main pole in FIG.
【図１３】図２における磁気ヘッドの主ヨークの製造工
程を説明する図である。FIG. 13 is a diagram illustrating a manufacturing process of the main yoke of the magnetic head in FIG.
【図１４】従来のシングルポール型コンタクト式垂直磁
気ヘッドの構成図である。FIG. 14 is a configuration diagram of a conventional single pole contact type perpendicular magnetic head.
【図１５】図１４に示す磁気ヘッドのコイルコア形成工
程を説明する図である。15 is a diagram illustrating a coil core forming step of the magnetic head shown in FIG.
【図１６】図１４に示す磁気ヘッドの摩耗保護層形成工
程を説明する図である。16 is a diagram illustrating a step of forming a wear protection layer of the magnetic head shown in FIG.
【図１７】図１４に示す磁気ヘッドの製造工程のベース
部の先端面の研磨工程を説明する図である。FIG. 17 is a diagram illustrating a step of polishing the tip surface of the base portion in the manufacturing process of the magnetic head shown in FIG.
【図１８】図１７における斜視図である。FIG. 18 is a perspective view of FIG.
【図１９】図１４に示す磁気ヘッドの主磁極及び主ヨー
クの製造工程を説明する図である。FIG. 19 is a diagram illustrating a manufacturing process of the main pole and the main yoke of the magnetic head shown in FIG.
１０,２７ 保護膜 １１,２１ ベース部 １２,２８ 突部 １３,２９ 摩耗保護層 １４,３１ 第１の面 １５,３１ 第２の面 １６,３２ 第３の面 １７,１７ 主磁極 １８,１８ コア １９,１９ リターンヨーク ２０,２０ コイル ２６ 主ヨーク 10,27 Protective film 11,21 Base part 12,28 Projection part 13,29 Wear protection layer 14,31 First surface 15,31 Second surface 16,32 Third surface 17,17 Main pole 18,18 Core 19,19 Return yoke 20,20 Coil 26 Main yoke
Claims (2)
部（１１）と略同一硬度の材質で、前記ベース部（１
１）の記録媒体対向面の先端部略中央で、前記ベース部
（１１）の先端面と段差がないように形成された突部
（１２）と、 前記ベース部（１１）の記録媒体対向面上で、前記突部
（１２）の前記ベース部（１１）の基端部と対向する第
１の面（１４）,前記ベース部（１１）の一方の側部と
対向する第２の面（１５）,前記ベース部（１１）の他
方の面と対向する第３の面（１６）の内の少なくとも１
つの面と隣接し、高さが前記突部（１２）と同じである
ように形成された高硬度の摩耗保護層（１３）と、 前記ベース部（１１）の先端面及び突部（１２）に前記
記録媒体方向に突出するように設けられた主磁極（１
７）と、 前記ベース部（１１）内で、軸方向に沿って設けられ、
先端部が前記主磁極（１７）に当接するするコア（１
８）と、 前記ベース部（１１）内で、前記コア（１８）の基端部
より記録媒体方向に突出するように形成されたリターン
ヨーク（１９）と、 該コア（１８）の中間部に巻き掛けられたコイル（２
０）と、 前記主磁極（１７）の前記ベース部（１１）との当接面
と反対側の面に設けられ、前記記録媒体方向に突出する
主ヨークと、 該主ヨークを覆うように前記ベース部（１１）の先端面
に形成された保護膜（１０）と、 を具備することを特徴とする磁気ヘッド。1. A thin plate-shaped base portion (11) and a material having substantially the same hardness as that of the base portion (11).
1) A protrusion (12) formed so as not to have a step with the tip surface of the base portion (11) substantially at the center of the tip portion of the recording medium facing surface; Above, the first surface (14) of the protrusion (12) facing the base end of the base portion (11) and the second surface (14) facing one side of the base portion (11) ( 15), at least one of the third surfaces (16) facing the other surface of the base portion (11)
A high hardness wear protection layer (13) adjacent to two surfaces and having the same height as the protrusion (12), and a tip surface of the base (11) and the protrusion (12). The main magnetic pole (1
7) and provided in the base portion (11) along the axial direction,
A core (1) whose tip is in contact with the main pole (17)
8), a return yoke (19) formed in the base portion (11) so as to project from the base end portion of the core (18) toward the recording medium, and an intermediate portion of the core (18). Wound coil (2
0), a main yoke that is provided on a surface of the main magnetic pole (17) opposite to the contact surface with the base portion (11), and protrudes toward the recording medium, and the main yoke covers the main yoke. A magnetic head comprising: a protective film (10) formed on a tip surface of a base portion (11).
成された薄板状のベース部を形成する工程と、 該ベース部の記録媒体対向面上に前記ベース部と同じ材
質の第１の層を形成する工程と、 該第１の層を加工して、ベース部の記録媒体対向面の先
端部略中央に、突部を形成する工程と、 前記ベース部の記録媒体対向面上に、高硬度の第２の層
を形成する工程と、 該第２の層を加工して、前記突部近傍以外の部分を除去
して、摩耗保護層を形成する工程と、 該摩耗保護層の記録媒体対向面を加工して、前記突部の
記録媒体対向面を外部に露出させる工程と、 前記ベース部の先端面,前記突部及び前記摩耗保護層を
研磨する工程と、 前記ベース部の先端面及び突部に前記記録媒体方向に突
出するように主磁極を形成する工程と、 前記主磁極の前記ベース部との当接面と反対側の面に、
前記記録媒体方向に突出するように主ヨークを形成する
工程と、 該主ヨークを覆うように前記ベース部の先端面に保護膜
を形成する工程と、 を具備することを特徴とする磁気ヘッドの製造方法。2. A step of forming a thin plate-shaped base portion in which a coil, a core and a return yoke are formed, and a first layer made of the same material as the base portion is formed on a recording medium facing surface of the base portion. A step of forming the first layer, and a step of processing the first layer to form a protrusion at substantially the center of the tip of the recording medium facing surface of the base portion; and a step of forming a high hardness on the recording medium facing surface of the base portion. A step of forming a second layer of the wear protection layer, a step of processing the second layer to remove a portion other than the vicinity of the protrusion to form a wear protection layer, and the wear protection layer facing the recording medium. Processing the surface to expose the recording medium facing surface of the protrusion to the outside, polishing the tip surface of the base portion, the protrusion and the wear protection layer, and the tip surface of the base portion and A step of forming a main magnetic pole on the protrusion so as to project in the recording medium direction; On a surface opposite to the contact surface between the serial base unit,
A magnetic head comprising: a step of forming a main yoke so as to project toward the recording medium; and a step of forming a protective film on the tip surface of the base portion so as to cover the main yoke. Production method.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33747691A JPH05174324A (en) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | Magnetic head and its manufacture |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP33747691A JPH05174324A (en) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | Magnetic head and its manufacture |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05174324A true JPH05174324A (en) | 1993-07-13 |
Family
ID=18309007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP33747691A Withdrawn JPH05174324A (en) | 1991-12-20 | 1991-12-20 | Magnetic head and its manufacture |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05174324A (en) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1087381A2 (en) * | 1999-09-24 | 2001-03-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic head, fabrication method therefor and perpendicular magnetic storage device |
-
1991
- 1991-12-20 JP JP33747691A patent/JPH05174324A/en not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1087381A2 (en) * | 1999-09-24 | 2001-03-28 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic head, fabrication method therefor and perpendicular magnetic storage device |
| EP1087381A3 (en) * | 1999-09-24 | 2003-11-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Magnetic head, fabrication method therefor and perpendicular magnetic storage device |
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