JPH05173078A - System microscope - Google Patents
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- JPH05173078A JPH05173078A JP7788191A JP7788191A JPH05173078A JP H05173078 A JPH05173078 A JP H05173078A JP 7788191 A JP7788191 A JP 7788191A JP 7788191 A JP7788191 A JP 7788191A JP H05173078 A JPH05173078 A JP H05173078A
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- field
- bright
- illumination
- dark
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、試料の光学的観察を行
うために用いられるシステム顕微鏡に関するFIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a system microscope used for optical observation of a sample.
【０００２】。[0002].
【従来の技術】従来、この種のシステム顕微鏡には、例
えば、半導体製造工程中に、半導体を目視検査する明視
野系（偏光、微分干渉、蛍光を含む）投光管がある。図
７には、明視野系投光管４を備えた落射明視野系顕微鏡
の全体が概略的に示されている。 この顕微鏡におい
て、ランプハウス１のランプ２から出射された照明光
は、コレクタレンズ３で集光された後、明視野系投光管
４内に導光される。この明視野系投光管４に入射された
照明光は、第１の照明レンズ６で集光され、開口絞り
７、視野絞り８及び第２の照明レンズ９を介してハーフ
ミラー１０に照射される。このハーフミラー１０は、入
射光に対して４５°傾斜して配置されており、このハー
フミラー１０で反射された照明光は、明視野系レボルバ
ー１１を通って明視野系対物レンズ１２に入射される。
そして、照明光は、この明視野系対物レンズ１２によっ
て、ステージ１３０上に配置された試料１３に集光され
る。試料１３表面で反射された反射光は、再び明視野系
対物レンズ１２、明視野系レボルバー１１及びハーフミ
ラー１０を介して結像レンズ１４に入射される。この結
像レンズ１４で結像された像を接眼レンズ１４０を介し
て観察することにより、試料１３表面の観察が行われ
る。2. Description of the Related Art Conventionally, in this type of system microscope, for example, there is a bright field system (including polarized light, differential interference, and fluorescence) projection tube for visually inspecting a semiconductor during a semiconductor manufacturing process. FIG. 7 schematically shows the entire epi-illumination bright-field microscope equipped with the bright-field illumination tube 4. In this microscope, the illumination light emitted from the lamp 2 of the lamp house 1 is condensed by the collector lens 3 and then guided into the bright field system light projecting tube 4. The illumination light incident on the bright-field system light-projecting tube 4 is condensed by the first illumination lens 6 and is applied to the half mirror 10 via the aperture stop 7, the field stop 8 and the second illumination lens 9. It The half mirror 10 is arranged at an angle of 45 ° with respect to the incident light, and the illumination light reflected by the half mirror 10 passes through the bright field system revolver 11 and enters the bright field system objective lens 12. It
Then, the illumination light is focused on the sample 13 arranged on the stage 130 by the bright field objective lens 12. The reflected light reflected by the surface of the sample 13 is incident on the imaging lens 14 again via the bright-field objective lens 12, the bright-field revolver 11 and the half mirror 10. The surface of the sample 13 is observed by observing the image formed by the image forming lens 14 through the eyepiece lens 140.
【０００３】なお、前記ランプハウス１は、ハロゲンラ
ンプ、水銀ランプ、キセノンランプ等を選択的に配置可
能であり、夫々の使用目的に応じて、明視野系投光管４
及び顕微鏡本体５に夫々選択的に接続可能である。この
ランプハウス１の接続は、ランプハウス１及び明視野系
投光管４及び顕微鏡本体５に夫々形成された係合部１０
０を係合することによって行われる。A halogen lamp, a mercury lamp, a xenon lamp and the like can be selectively arranged in the lamp house 1, and a bright field type projection tube 4 can be used depending on the purpose of use.
, And the microscope body 5 can be selectively connected. The lamp house 1 is connected to an engaging portion 10 formed on the lamp house 1, the bright field system light projecting tube 4 and the microscope body 5, respectively.
This is done by engaging 0s.
【０００４】ところで、半導体の製造工程では、半導体
表面の微細な傷や塵等を目視検査するため、明視野系観
察に加えて暗視野観察が行われる。この暗視野観察は、
前述した明視野系投光管４をそのまま用いることができ
ない。このため、別に、明／暗視野投光管４００が用い
られる。図８には、この明／暗視野投光管４００を備え
た落射明／暗視野顕微鏡が概略的に示されている。な
お、前述の落射明視野系顕微鏡と同一の構成には、同一
の参照符号を付して、その説明を省略する。By the way, in the semiconductor manufacturing process, dark field observation is performed in addition to bright field system observation in order to visually inspect for fine scratches and dust on the semiconductor surface. This dark field observation
The bright field system light projection tube 4 described above cannot be used as it is. Therefore, the bright / dark field light projecting tube 400 is separately used. FIG. 8 schematically shows an epi-illumination / dark-field microscope equipped with the bright / dark-field light projecting tube 400. The same components as those of the epi-illumination bright-field microscope described above are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
【０００５】この顕微鏡において、ランプ２から第２の
照明レンズ９に導光された照明光は、この第２の照明レ
ンズ９によって、平行光束に変換され、第９図に示すよ
うな暗視野リング１５に照射される。この暗視野リング
１５は、照射された照明光の中央部分の平行光束を遮断
し、その周囲の平行光束のみを透過させる。暗視野リン
グ１５を透過した照明光は、穴あきミラー１６に照射さ
れる。この穴あきミラー１６で反射されたリング状照明
光は、明／暗視野レボルバー１７を通り、対物レンズ鏡
筒１８０の下部に設けられた環状レンズ１８２を介して
ステージ１３０上の試料１３に集光される。In this microscope, the illumination light guided from the lamp 2 to the second illumination lens 9 is converted into a parallel light flux by the second illumination lens 9, and the dark field ring as shown in FIG. It is irradiated to 15. The dark-field ring 15 blocks the parallel luminous flux in the central portion of the illuminated illumination light and transmits only the parallel luminous flux in the periphery thereof. The illumination light transmitted through the dark field ring 15 is applied to the perforated mirror 16. The ring-shaped illumination light reflected by the perforated mirror 16 passes through the bright / dark field revolver 17, and is focused on the sample 13 on the stage 130 via an annular lens 182 provided below the objective lens barrel 180. To be done.
【０００６】試料１３表面で反射された回折光は、対物
レンズ鏡筒１８０内に設けられた明／暗視野対物レンズ
１８を介し、明／暗視野レボルバー１７及び穴あきミラ
ー１６を経て結像レンズ１４に照射される。この結像レ
ンズ１４で結像された像を接眼レンズ１４０を介して観
察することにより、試料１３表面の暗視野観察が行われ
る。The diffracted light reflected on the surface of the sample 13 passes through a bright / dark field objective lens 18 provided in an objective lens barrel 180, passes through a bright / dark field revolver 17 and a perforated mirror 16, and forms an imaging lens. 14 is illuminated. By observing the image formed by the image forming lens 14 through the eyepiece lens 140, dark field observation of the surface of the sample 13 is performed.
【０００７】なお、穴あきミラー１６の穴内には、この
穴あきミラー１６から反射したリング状照明光が観察光
路内に混入しないように、観察光軸と同心の中空遮光筒
１９が挿着されている。また、この遮光筒１９と明／暗
視野対物レンズ１８との間には、観察光軸方向に延出し
た中空の遮光筒２０が設けられている。この遮光筒２０
を設けることで、穴あきミラー１６から反射したリング
状照明光は、観察光路内に混入することなく、前記環状
レンズ１８２に導光される。A hollow light-shielding tube 19 concentric with the observation optical axis is inserted into the hole of the perforated mirror 16 so that the ring-shaped illumination light reflected from the perforated mirror 16 does not enter the observation optical path. ing. A hollow light-shielding cylinder 20 extending in the observation optical axis direction is provided between the light-shielding cylinder 19 and the bright / dark field objective lens 18. This light blocking tube 20
By providing, the ring-shaped illumination light reflected from the perforated mirror 16 is guided to the annular lens 182 without being mixed in the observation optical path.
【０００８】図１０の（ａ），（ｂ）には、夫々、明視
野観察と暗視野観察との切換器が拡大して示されてい
る。In FIGS. 10A and 10B, a switcher for bright-field observation and a switch for dark-field observation are enlarged and shown, respectively.
【０００９】この切換器は、ハーフミラー１０と穴あき
ミラー１６（図８参照）とを内蔵している。ハーフミラ
ー１０と穴あきミラー１６とは、光軸に対して直交して
設けられた摺動溝２１に沿って、摺動移動可能な支持部
材２３に支持されている。この支持部材２３は、切換器
外部に設けられた操作ノブ２２を移動させることによっ
て、矢印Ｓ方向に移動される。この結果、ハーフミラー
１０と穴あきミラー１６との光軸に対する切換えが行わ
れる。This switch includes a half mirror 10 and a perforated mirror 16 (see FIG. 8). The half mirror 10 and the perforated mirror 16 are supported by a support member 23 that is slidably movable along a sliding groove 21 provided orthogonal to the optical axis. The support member 23 is moved in the arrow S direction by moving the operation knob 22 provided outside the switch. As a result, the half mirror 10 and the perforated mirror 16 are switched with respect to the optical axis.
【００１０】また、近年、暗視野観察において、より大
きな照度でムラなく照明するために、光ファイバー束を
用いて暗視野観察を行う方法が、実開昭５０−７３４４
６号公報に記載されている。また、顕微鏡のシステム性
を考慮し、光ファイバー束に接続されたリング状光源を
レボルバーに着脱可能に固定し、暗視野観察を行うシス
テム顕微鏡が、特願平２−２５７１０５号（未公開）に
記載されている。Further, in recent years, in dark field observation, a method for performing dark field observation using an optical fiber bundle has been proposed in order to illuminate with a larger illuminance without unevenness.
No. 6 publication. Also, in consideration of the system property of the microscope, a system microscope for dark field observation in which a ring-shaped light source connected to an optical fiber bundle is detachably fixed to a revolver is described in Japanese Patent Application No. 2-257105 (unpublished). Has been done.
【００１１】[0011]
【発明が解決しようとする課題】上述したように、明視
野系投光管４と明／暗視野投光管４００とは検鏡方法の
違いにより構造上、明／暗視野投光管４００の方が複雑
になるため高価である。このため、初めに明視野系投光
管４を購入した後、落射暗視野検鏡を行いたい場合、落
射暗視野検鏡の部材を明視野系投光管４に取り付けるこ
とは構造上不可能なため、新たに明／暗視野投光管４０
０を購入する必要がある。これは落射明視野系検鏡が明
視野系投光管４で可能であるのに、落射暗視野検鏡のた
めだけに新たに高価な明／暗視野投光管４００を購入し
なければならず、明視野系投光管４が無駄になるという
問題がある。As described above, the bright-field type light-projecting tube 4 and the bright / dark-field light-emitting tube 400 are structurally different from each other due to the difference in the spectroscopic method. It is more expensive and more expensive. Therefore, if the epi-illumination / dark-field speculum is to be purchased after first purchasing the bright-field illuminator 4, it is structurally impossible to attach the member of the epi-illumination / dark-field spectroscope to the bright-field illuminator 4. Therefore, a new bright / dark field projection tube 40
Need to buy 0. This is possible even if the epi-illumination bright-field spectroscope is the bright-field spectroscope 4, but a new expensive bright / dark-field spectroscope 400 must be purchased only for the epi-illumination dark-field speculum. In other words, there is a problem that the bright-field type projection tube 4 is wasted.
【００１２】また、上述した実開昭５０−７３４４６号
及び特願平２−２５７１０５号に記載された方法を、落
射明視野顕微鏡に適用する場合には、ランプハウスの光
源とは別に暗視野観察用の光源を設ける必要がある。こ
のため、顕微鏡の製造コストが上昇するという問題があ
る。When the methods described in Japanese Utility Model Application Laid-Open No. 50-73446 and Japanese Patent Application No. 2-257105 are applied to an epi-illumination bright-field microscope, dark-field observation is performed separately from the light source of the lamp house. It is necessary to provide a light source for. Therefore, there is a problem that the manufacturing cost of the microscope increases.
【００１３】本発明は、このような問題を解決するため
になされ、その目的は、光ファイバー束を用いた暗視野
観察において、落射明視野顕微鏡をそのまま用いて、暗
視野観察と他の光学的観察とを同時又は選択して行うこ
とができると共に、操作性も高く、且つ、製造コストも
安価なシステム性の高いシステム顕微鏡を提供すること
にある。The present invention has been made in order to solve such a problem, and its object is to perform dark field observation and other optical observation by using an epi-illumination bright field microscope as it is in dark field observation using an optical fiber bundle. It is an object of the present invention to provide a system microscope which can be simultaneously or selectively performed and has high operability and a low manufacturing cost and which has a high system property.
【００１４】[0014]
【課題を解決するための手段】このような課題を解決す
るために、本発明は、ランプハウスとレボルバーとが着
脱可能なシステム顕微鏡において、前記レボルバー内に
リング状光源を着脱可能に設け、前記ランプハウスに内
蔵された光源からの光束を偏向する偏向素子を備え、こ
の偏向素子により偏向された光束を光ファイバー束を介
して前記リング状光源に導光する暗視野ユニットを、前
記ランプハウスと顕微鏡本体との間及び前記ランプハウ
スと落射用投光管との間の少なくとも一方の間に着脱可
能に設けたことを特徴とする。In order to solve such a problem, the present invention provides a system microscope in which a lamp house and a revolver can be attached and detached, and a ring-shaped light source is detachably provided in the revolver. The lamp house and the microscope are equipped with a deflection element for deflecting a light flux from a light source built in the lamp house, and guiding the light flux deflected by the deflection element to the ring-shaped light source through an optical fiber bundle. It is characterized in that it is detachably provided between the main body and at least one of the lamp house and the epi-illumination projection tube.
【００１５】[0015]
【作用】ランプハウスの光源からの光束は、暗視野ユニ
ットに設けられた偏向素子によって偏向され、光ファイ
バー束を介してレボルバーに内蔵されたリング状光源に
導光される。The luminous flux from the light source of the lamp house is deflected by the deflecting element provided in the dark field unit, and is guided to the ring-shaped light source incorporated in the revolver through the optical fiber bundle.
【００１６】[0016]
【実施例】以下、本発明の第１の実施例に係るシステム
顕微鏡について、図１ないし図３を参照して説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A system microscope according to a first embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.
【００１７】図１に示すように、本実施例のシステム顕
微鏡が用いられる顕微鏡は、顕微鏡本体３０と、この顕
微鏡本体３０の上部に設けられた明視野系投光管３１
と、を備えている。この明視野系投光管３１の一端に
は、例えば、丸アリ係合部６００が形成されており、こ
の係合部６００に暗視野照明ユニット２９、が着脱自在
に取付けられている。このような明視野系投光管３１の
他端は、顕微鏡の鏡筒スリーブ８０に接続されている。
鏡筒スリーブ８０の上部からは鏡筒８２が突設され、こ
の鏡筒８２の先端には、接眼レンズ８４が取付けられて
いる。顕微鏡本体３０のアーム部５１は、各種レボルバ
ーを着脱できる構成を有している。本実施例の場合、こ
の部分に、後述する明／暗視野レボルバー４９が着脱自
在に取付けられている。また、前記暗視野照明ユニット
２９には、例えば、丸アリ係合部６００を介してランプ
３８を内蔵したランプハウス３２が着脱自在に取付けら
れている。As shown in FIG. 1, the microscope in which the system microscope of the present embodiment is used is a microscope main body 30 and a bright-field system light projection tube 31 provided above the microscope main body 30.
And are equipped with. For example, a round dovetail engagement portion 600 is formed at one end of the brightfield system light projection tube 31, and the darkfield illumination unit 29 is detachably attached to the engagement portion 600. The other end of such a bright field system light projection tube 31 is connected to a lens barrel sleeve 80 of the microscope.
A lens barrel 82 is provided so as to project from an upper portion of the lens barrel sleeve 80, and an eyepiece lens 84 is attached to the tip of the lens barrel 82. The arm portion 51 of the microscope body 30 has a structure in which various revolvers can be attached and detached. In this embodiment, a bright / dark field revolver 49 described later is detachably attached to this portion. Further, for example, a lamp house 32 incorporating a lamp 38 is detachably attached to the dark field illumination unit 29 via a round dovetail engagement portion 600.
【００１８】次に、暗視野照明ユニット２９について、
図２を参照しつつ説明する。Next, regarding the dark field illumination unit 29,
This will be described with reference to FIG.
【００１９】この暗視野照明ユニット２９は、明視野系
投光管３１とランプハウス３２との間に前記係合部６０
０、６００を介して取付けられた切換ユニット３３と、
この切換ユニット３３に取付けられたアタッチメント３
４と、を備えている。The dark field illumination unit 29 includes the engaging portion 60 between the bright field system light projecting tube 31 and the lamp house 32.
A switching unit 33 attached via 0, 600;
Attachment 3 attached to this switching unit 33
4 and 4 are provided.
【００２０】切換ユニット３３内は、ランプハウス３２
からの照明光が通過可能な空洞が設けられている。この
空洞内には、全反射ミラー４１が設けられている。この
全反射ミラー４１は、ミラー座４２に支持されている。
このミラー座４２は、その一端部が回動軸４３に揺動自
在に支持されている。この回動軸４３は、空洞内に、前
記照明光の光軸と直交する方向に延出し、その両端は、
切換ユニット３３に回動自在に支持されている。このよ
うに支持されたミラー座４２は、図中（ａ）に示された
Ａ位置（光軸に対して４５°の位置）とＢ位置（光路か
ら外れた位置）との間を揺動し、クリック４４（図中
（ａ）参照）を介してＡ位置又はＢ位置で保持される。
なお、切換ユニット３３の外部には、回動軸４３を回動
させるための操作つまみ４５が設けられている。また、
前記ミラー座４２の中央部は、所定の大きさの孔が形成
されている。このため、例えば、前記ミラー座４２にハ
ーフミラー等を支持させた場合、このハーフミラー等に
入射した照明光の一部が、前記明視野系投光管３１方向
に透過可能となる。Inside the switching unit 33, the lamp house 32
There is a cavity through which the illumination light from. A total reflection mirror 41 is provided in this cavity. The total reflection mirror 41 is supported by the mirror seat 42.
One end of the mirror seat 42 is swingably supported by the rotary shaft 43. The rotating shaft 43 extends in the cavity in a direction orthogonal to the optical axis of the illumination light, and both ends thereof are
It is rotatably supported by the switching unit 33. The mirror seat 42 supported in this way swings between the A position (position of 45 ° with respect to the optical axis) and the B position (position out of the optical path) shown in FIG. , And is held at the A position or the B position via the click 44 (see (a) in the figure).
An operation knob 45 for rotating the rotation shaft 43 is provided outside the switching unit 33. Also,
A hole having a predetermined size is formed in the central portion of the mirror seat 42. Therefore, for example, when a half mirror or the like is supported by the mirror seat 42, a part of the illumination light incident on the half mirror or the like can be transmitted in the direction of the bright field system light projection tube 31.
【００２１】アタッチメント３４は、前記全反射ミラー
４１で反射された照明光を受光する集光レンズ３５を内
蔵している。この集光レンズ３５の下方には、暗視野系
照明用のフィルタ４６、４６（例えば、色温度変化フィ
ルタ、ＮＤフィルタ等）が設けられている。このフィル
タ４６は、アタッチメント３４の内周面に設けられた切
欠部４７を介して着脱自在に支持されている。このよう
なアタッチメント３４の最下部には、光ファイバのジョ
イント部３６が、ビス３７で固定されている。このジョ
イント部３６から延出した光ファイバチューブ４８は、
顕微鏡本体３０のアーム部５１を貫通して明／暗視野レ
ボルバー４９内に着脱可能に設けられたリング状光源部
５２（図３参照）に接続されている。The attachment 34 contains a condenser lens 35 for receiving the illumination light reflected by the total reflection mirror 41. Below the condenser lens 35, filters 46, 46 for dark field illumination (for example, a color temperature change filter, an ND filter, etc.) are provided. The filter 46 is detachably supported via a notch 47 provided on the inner peripheral surface of the attachment 34. An optical fiber joint portion 36 is fixed to the lowermost portion of the attachment 34 with screws 37. The optical fiber tube 48 extending from this joint portion 36 is
It is connected to a ring-shaped light source unit 52 (see FIG. 3) detachably provided in the bright / dark field revolver 49 through the arm unit 51 of the microscope main body 30.
【００２２】なお、このような暗視野照明ユニット２９
は、前述した係合部６００、６００によって、光軸を中
心に３６０°回転可能に設けられている。このため、種
々の鏡基に取付けたとき、光ファイバー出射端が干渉し
ないように、回転することができると共に、暗視野照明
ユニット２９の操作部を操作しやすい位置にセットする
ことができる。Incidentally, such a dark field illumination unit 29
Is provided so as to be rotatable by 360 ° about the optical axis by the engaging portions 600, 600 described above. For this reason, when it is attached to various mirror bases, it can rotate so that the optical fiber emission end does not interfere, and the operation portion of the dark field illumination unit 29 can be set at a position where it is easy to operate.
【００２３】次に、このような本実施例のシステム顕微
鏡の作用について説明する。Next, the operation of the system microscope of this embodiment will be described.
【００２４】まず、明視野系レボルバーを取外し、明／
暗視野レボルバー４９を取付ける。明視野系投光管３１
からランプハウス３２を取外し、明視野系投光管３１に
暗視野照明ユニット２９を取付けた後、ランプハウス３
２を暗視野照明ユニット２９に取り付ける。そして、前
記光ファイバチューブ４８を前記アーム部５１内に挿通
し、そのジョイント部３６をアタッチメント３４に接続
する。First, the bright field system revolver was removed, and the bright /
Attach the dark field revolver 49. Brightfield system light projection tube 31
The lamp house 32 is removed from the lamp house, and the dark field illumination unit 29 is attached to the bright field system projection tube 31.
2 is attached to the dark field illumination unit 29. Then, the optical fiber tube 48 is inserted into the arm portion 51, and the joint portion 36 thereof is connected to the attachment 34.
【００２５】このような装置のセットが終了した後、ま
ず、明視野系観察を行う場合について図１ないし図３を
参照して説明する。After the setting of such an apparatus is completed, first, a case of performing bright field observation will be described with reference to FIGS. 1 to 3.
【００２６】まず、操作つまみ４５を回動し、ミラー座
４２をクリック４４で付勢して、Ｂ位置（図２の（ｂ）
参照）に固定する。この位置では、ミラー座４２に支持
された全反射ミラー４１は、照明光の光路から外れてい
る。このため、ランプ３８からコレクタレンズ３９及び
フィルタ４０を通って供給される所定波長の平行光束の
照明光は、暗視野系ユニット２９及び明視野系投光管３
１を通って鏡筒スリーブ８０（図１参照）に導光され
る。図１に示すように、導光された照明光は、鏡筒スリ
ーブ８０内に配置されたハーフミラー８５に照射され
る。ハーフミラー８５は、入射光に対して４５°の角度
に配置されている。このハーフミラー８５で反射された
照明光は、明／暗視野レボルバー４９を通って明／暗視
野対物レンズ５０に入射され、ステージ８６上に配置さ
れた試料８７（図３参照）に集光される。試料８７表面
で反射された反射光は、再び明／暗視野対物レンズ５
０、明／暗視野レボルバー４９及びハーフミラー８５を
介して結像レンズ（図示しない）に照射される。この結
像レンズで結像された像を接眼レンズ８４を介して観察
することにより、試料８７表面の明視野系観察が行われ
る。First, the operation knob 45 is rotated, and the mirror seat 42 is urged by the click 44 to move to the B position ((b) in FIG. 2).
Fixed). At this position, the total reflection mirror 41 supported by the mirror seat 42 is out of the optical path of the illumination light. Therefore, the illumination light of the parallel light flux of the predetermined wavelength, which is supplied from the lamp 38 through the collector lens 39 and the filter 40, is included in the dark field system unit 29 and the bright field system projector tube 3.
The light is guided through the lens barrel sleeve 80 (see FIG. 1). As shown in FIG. 1, the guided illumination light is applied to the half mirror 85 arranged in the barrel sleeve 80. The half mirror 85 is arranged at an angle of 45 ° with respect to the incident light. The illumination light reflected by the half mirror 85 passes through the bright / dark field revolver 49, enters the bright / dark field objective lens 50, and is condensed on the sample 87 (see FIG. 3) arranged on the stage 86. It The reflected light reflected on the surface of the sample 87 is again the bright / dark field objective lens 5
0, a bright / dark field revolver 49 and a half mirror 85 illuminate an imaging lens (not shown). By observing the image formed by this image forming lens through the eyepiece lens 84, the bright field system observation of the surface of the sample 87 is performed.
【００２７】次に、暗視野観察を行う場合について図１
ないし図３を参照して説明する。Next, a case of performing dark field observation is shown in FIG.
Or, it demonstrates with reference to FIG.
【００２８】まず、操作つまみ４５を回動し、ミラー座
４２をクリック４４で付勢して、Ａ位置（図２の（ｂ）
参照）に固定する。この位置では、ミラー座４２に支持
された全反射ミラー４１は、照明光の光軸に対して４５
°の角度で配置される。このため、ランプ３８からコレ
クタレンズ３９及びフィルタ４０を通って供給される平
行光束の照明光は、全反射ミラー４１を介して集光レン
ズ３５に照射される。照射された照明光は、集光レンズ
３５によって、フィルタ４６に集光される。集光された
照明光は、光ファイバのジョイント部３６に入射され
る。図１及び図３に示すように、入射された暗視野照明
光は、光ファイバチューブ４８を介して明／暗視野レボ
ルバー４９内に設けられたリング状光源部５２に導光さ
れる。導光された暗視野照明光は、前記リング状光源部
５２に対向したリング状レンズ９０を介して平行光束に
変換される。変換された暗視野照明光は、対物レンズ鏡
筒８８内に設けられた暗視野照明用光路８９を通ってリ
ング状集光レンズ９１に照射される。そして、リング状
集光レンズ９１によって、ステージ８６上の試料８７に
暗視野照明光が照射される。試料８７表面で反射された
回折光は、対物レンズ鏡筒８８内の明／暗視野対物レン
ズ５０を介し、明／暗視野レボルバー４９及びハーフミ
ラー８５を経て結像レンズ（図示しない）に照射され
る。この結像レンズで結像された像を接眼レンズ８４を
介して観察することにより、試料８７表面の暗視野観察
が行われる。First, the operation knob 45 is rotated, and the mirror seat 42 is urged by the click 44 to move to the A position ((b) in FIG. 2).
Fixed). At this position, the total reflection mirror 41 supported by the mirror seat 42 is positioned at 45 ° with respect to the optical axis of the illumination light.
Placed at an angle of °. Therefore, the illumination light of the parallel light flux supplied from the lamp 38 through the collector lens 39 and the filter 40 is applied to the condenser lens 35 via the total reflection mirror 41. The illuminated illumination light is condensed on the filter 46 by the condenser lens 35. The collected illumination light is incident on the joint section 36 of the optical fiber. As shown in FIGS. 1 and 3, the incident dark-field illumination light is guided to the ring-shaped light source unit 52 provided in the bright / dark-field revolver 49 via the optical fiber tube 48. The guided dark-field illumination light is converted into a parallel light flux via the ring-shaped lens 90 facing the ring-shaped light source unit 52. The converted dark-field illumination light passes through the dark-field illumination optical path 89 provided in the objective lens barrel 88 and is applied to the ring-shaped condenser lens 91. Then, the ring-shaped condenser lens 91 irradiates the sample 87 on the stage 86 with dark-field illumination light. The diffracted light reflected by the surface of the sample 87 is applied to the imaging lens (not shown) via the bright / dark field objective lens 50 in the objective lens barrel 88, the bright / dark field revolver 49 and the half mirror 85. It By observing the image formed by this image forming lens through the eyepiece lens 84, dark field observation of the surface of the sample 87 is performed.
【００２９】ここで、ランプハウス３２に内蔵されたコ
レクタレンズ３９から供給される照明光は、平行光束に
なっているため、コレクタレンズ３９と第１の照明レン
ズ６（図７参照）との間の距離をのばして暗視野照明ユ
ニット２９を挿入しても、明視野系投光管３１側の光学
系に影響を与えることはない。Here, since the illumination light supplied from the collector lens 39 built in the lamp house 32 is a parallel light flux, it is between the collector lens 39 and the first illumination lens 6 (see FIG. 7). Even if the dark field illumination unit 29 is inserted at a longer distance, the optical system on the side of the bright field system projection tube 31 is not affected.
【００３０】このように、本実施例のシステム顕微鏡
は、明視野系投光管３１をそのまま用いて暗視野観察を
行うことができる。このため、顕微鏡のシステム性を向
上させることができる。この結果、従来のように高価な
明／暗視野投光管を別に購入する必要がないため、余分
な出費もなくなる。As described above, the system microscope of this embodiment can perform dark-field observation using the bright-field system light projection tube 31 as it is. Therefore, the system property of the microscope can be improved. As a result, it is not necessary to separately purchase an expensive bright / dark field light projecting tube as in the conventional case, so that extra expense is eliminated.
【００３１】また、暗視野照明ユニット２９を用いるこ
とにより、ランプハウス３２の光源を落射投光管と併用
してそのまま用いることができる。このため、高価な外
部光源を別に購入する必要がない。By using the dark field illumination unit 29, the light source of the lamp house 32 can be used as it is in combination with the epi-illumination tube. Therefore, it is not necessary to purchase an expensive external light source separately.
【００３２】なお、本発明は、上述した第１の実施例に
限定されることはない。全反射ミラー４１の代りに、他
の偏向素子として、例えば透過率を変化させたハーフミ
ラーやビームスプリッタ等を配置してもよい。このよう
なハーフミラー等を用いることによって、暗視野観察と
他の光学的観察（例えば明視野観察）とを同時に行うこ
とができる。従って、例えば、生物分野で行われている
蛍光観察と暗視野観察とを同時に行うことができ、多重
に染色された標本の観察時間の短縮及び観察精度の向上
を達成することができる。The present invention is not limited to the above-mentioned first embodiment. Instead of the total reflection mirror 41, as another deflecting element, for example, a half mirror or a beam splitter whose transmittance is changed may be arranged. By using such a half mirror, dark field observation and other optical observation (for example, bright field observation) can be performed at the same time. Therefore, for example, it is possible to simultaneously perform the fluorescence observation and the dark field observation that are performed in the biological field, and it is possible to shorten the observation time and improve the observation accuracy of the multiple-stained specimen.
【００３３】また、暗視野観察と他の光学的観察との切
換え方法を、電気的手段とメカニカルな手段とを組合せ
て遠隔操作させる方法にしてもよい。Further, the method of switching the dark-field observation and the other optical observation may be a method of performing remote control by combining electrical means and mechanical means.
【００３４】また、顕微鏡本体３０と明視野系投光管３
１とを一体化させてもよい。Further, the microscope main body 30 and the bright field system light projection tube 3
1 and 1 may be integrated.
【００３５】次に、本発明の第２の実施例に係るシステ
ム顕微鏡について、図４を参照して説明する。なお、本
実施例の説明に際し、前述した第１の実施例のシステム
顕微鏡と同一の構成には、同一の参照符号を付してその
説明を省略する。Next, a system microscope according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the description of this embodiment, the same components as those of the system microscope of the first embodiment described above are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００３６】図４に示すように、本実施例のシステム顕
微鏡は、明視野系投光管３１とランプハウス３２との間
に、スライダ５７を備えている。このスライダ５７は、
光軸に対して直交する方向に延出し、スライダ支持体５
８中を光軸に直交する方向に摺動自在に支持されてい
る。このような摺動移動は、スライダ５７の端部に設け
られた操作つまみ５６を、光軸に直交する方向に押す又
は引くことにより容易に行われる。そして、スライダ５
７は、スライダ支持体５８に設けられたクリック５５に
よって、所定の位置に保持される。このようなスライダ
５７は、全反射ミラー４１とフィルターボックス５４と
を備えている。これらの間には、ランプハウス３２から
の照明光を通過させるための孔部１５１が設けられてい
る。全反射ミラー４１は、この全反射ミラー４１に照射
される照明光の光軸に対して４５°の角度に配置されて
いる。また、フィルターボックス５４内には、前記照明
光に所定の光学的特性を与えるフィルタ１５２（例え
ば、色温度変化フィルタ、ＮＤフィルタ等）が、所定の
切欠溝５３によって、着脱可能に支持されている。この
ため、所望のフィルタ１５２を適宜配置させることがで
きる。また、前記スライダ支持体５８には、前述したア
タッチメント３４が固定されている。As shown in FIG. 4, the system microscope of the present embodiment is provided with a slider 57 between the bright field system projection tube 31 and the lamp house 32. This slider 57
The slider support 5 extends in a direction orthogonal to the optical axis.
8 is slidably supported in a direction orthogonal to the optical axis. Such sliding movement is easily performed by pushing or pulling the operation knob 56 provided at the end of the slider 57 in the direction orthogonal to the optical axis. And the slider 5
7 is held in place by a click 55 provided on the slider support 58. Such a slider 57 includes a total reflection mirror 41 and a filter box 54. A hole 151 for passing the illumination light from the lamp house 32 is provided between them. The total reflection mirror 41 is arranged at an angle of 45 ° with respect to the optical axis of the illumination light with which the total reflection mirror 41 is irradiated. Further, in the filter box 54, a filter 152 (for example, a color temperature change filter, an ND filter, etc.) that gives the illumination light a predetermined optical characteristic is detachably supported by a predetermined notch groove 53. .. Therefore, the desired filter 152 can be appropriately arranged. The attachment 34 described above is fixed to the slider support 58.
【００３７】なお、このようなスライダ支持体５８は、
前述した係合部６００、６００によって、光軸を中心に
３６０°回転可能に設けられている。このため、操作つ
まみ５６を所望の位置に変えることができる。この結
果、観察時での、顕微鏡の操作性が向上する。Incidentally, such a slider support 58 is
The engaging portions 600, 600 described above are provided so as to be rotatable by 360 ° about the optical axis. Therefore, the operation knob 56 can be changed to a desired position. As a result, the operability of the microscope during observation is improved.
【００３８】次に、このような構成のスライダ５７を備
えたシステム顕微鏡の作用について説明する。Next, the operation of the system microscope provided with the slider 57 having such a configuration will be described.
【００３９】まず、操作つまみ５６を介してスライダ５
７を移動させる。前記クリック５５によって前記スライ
ダ５７を固定し、全反射ミラー４１を光軸上に保持させ
る。ランプハウス３２からの照明光は、全反射ミラー４
１で反射され、集光レンズ３５に照射される。照射され
た照明光は、集光レンズ３５によって、ジョイント部３
６に集光される。図１及び図３に示すように、光ファイ
バのジョイント部３６に入射された暗視野照明光は、光
ファイバチューブ４８を介して明／暗視野レボルバー４
９内に設けられたリング状光源部５２に導光される。導
光された暗視野照明光は、前記リング状光源部５２に対
向したリング状レンズ９０を介してリング状集光レンズ
９１に照射される。このリング状集光レンズ９１によっ
て、ステージ８６上の試料８７に暗視野照明光が照射さ
れる。試料８７表面で反射された回折光は、明／暗視野
対物レンズ５０を介し、明／暗視野レボルバー４９及び
ハーフミラー８５を経て結像レンズ（図示しない）に照
射される。この結像レンズで結像された像を接眼レンズ
８４を介して観察することにより、試料８７表面の暗視
野観察が行われる。First, the slider 5 is moved through the operation knob 56.
Move 7. The slider 57 is fixed by the click 55, and the total reflection mirror 41 is held on the optical axis. The illumination light from the lamp house 32 is reflected by the total reflection mirror 4.
It is reflected at 1, and is irradiated onto the condenser lens 35. The illuminated illumination light is passed through the condenser lens 35 to the joint portion 3
It is focused on 6. As shown in FIGS. 1 and 3, the dark-field illumination light incident on the joint portion 36 of the optical fiber is transmitted through the optical fiber tube 48 to the bright / dark-field revolver 4.
The light is guided to the ring-shaped light source unit 52 provided in the inside 9. The guided dark-field illumination light is applied to the ring-shaped condenser lens 91 via the ring-shaped lens 90 facing the ring-shaped light source unit 52. The ring-shaped condenser lens 91 illuminates the sample 87 on the stage 86 with dark-field illumination light. The diffracted light reflected on the surface of the sample 87 is applied to the imaging lens (not shown) via the bright / dark field objective lens 50, the bright / dark field revolver 49 and the half mirror 85. By observing the image formed by the image forming lens through the eyepiece lens 84, dark field observation of the surface of the sample 87 is performed.
【００４０】次に、操作つまみ５６を介してスライダ５
７を移動させる。クリック５５によって前記スライダ５
７を固定し、孔部１５１を光軸上に保持させる。ランプ
ハウス３２からの照明光は、孔部１５１を通過して明視
野系投光管３１に照射される。図１及び図３に示すよう
に、この明視野系投光管３１で所定の光学的特性が与え
られた前記照明光は、ハーフミラー８５を介して明／暗
視野対物レンズ５０に入射され、ステージ８６上に配置
された試料８７（図３参照）に集光される。試料８７表
面で反射された反射光は、再び明／暗視野対物レンズ５
０、明／暗視野レボルバー４９及びハーフミラー８５を
介して結像レンズ（図示しない）に照射される。この結
像レンズで結像された像を接眼レンズ８４を介して観察
することにより、試料８７表面の明視野観察が行われ
る。Next, the slider 5 is moved through the operation knob 56.
Move 7. Click 55 to move the slider 5
7 is fixed and the hole 151 is held on the optical axis. Illumination light from the lamp house 32 passes through the hole 151 and is applied to the bright field system light projection tube 31. As shown in FIG. 1 and FIG. 3, the illumination light, which has been given the predetermined optical characteristics by the bright field system projection tube 31, enters the bright / dark field objective lens 50 through the half mirror 85, The sample 87 (see FIG. 3) placed on the stage 86 is focused. The reflected light reflected on the surface of the sample 87 is again the bright / dark field objective lens 5
0, a bright / dark field revolver 49 and a half mirror 85 illuminate an imaging lens (not shown). By observing the image formed by this image forming lens through the eyepiece lens 84, bright field observation of the surface of the sample 87 is performed.
【００４１】更に、操作つまみ５６を介してスライダ５
７を移動させる。クリック５５によって前記スライダ５
７を固定し、フィルターボックス５４を光軸上に保持さ
せる。このため、ランプハウス３２からの照明光は、所
定の光学的特性を与えられた状態で、試料８７（図３参
照）表面に照射される。そして、所定の光学的観察が行
われる。Further, the slider 5 is operated via the operation knob 56.
Move 7. Click 55 to move the slider 5
7 is fixed, and the filter box 54 is held on the optical axis. Therefore, the illumination light from the lamp house 32 is applied to the surface of the sample 87 (see FIG. 3) in a state where the predetermined optical characteristics are given. Then, predetermined optical observation is performed.
【００４２】このようなシステム顕微鏡は、第１の実施
例と同様な効果が得られる上に、更に、スライダ５７に
フィルターボックス５４が取付けられているので、落射
明視野系投光管３１の照明光路に挿入されたフィルター
１５２以外の補助フィルタを追加して照明光路に挿入で
きると共に、スライダ５７を移動させることによって、
暗視野観察、明視野観察及びその他の光学的観察の切換
えが短時間に行える。In such a system microscope, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and further, since the filter box 54 is attached to the slider 57, the illumination of the epi-illumination bright-field system projection tube 31 is performed. By adding an auxiliary filter other than the filter 152 inserted in the optical path to the illumination optical path, and by moving the slider 57,
Switching between dark-field observation, bright-field observation, and other optical observations can be performed in a short time.
【００４３】次に、本発明の第３の実施例に係るシステ
ム顕微鏡について、図５を参照して説明する。なお、本
実施例の説明に際し、前述した第１の実施例のシステム
顕微鏡と同一の構成には、同一の参照符号を付してその
説明を省略する。Next, a system microscope according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the description of this embodiment, the same components as those of the system microscope of the first embodiment described above are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００４４】図５に示すように、本実施例のシステム顕
微鏡が用いられる顕微鏡は、顕微鏡本体３０の上部に明
視野系投光管３１を設け、この明視野系投光管３１一端
に、鏡筒スリーブ８０が光学的に接続され、他端に、ラ
ンプハウス３２が光学的に接続されている。顕微鏡本体
３０下部には、暗視野照明用の暗視野照明ユニット２９
が接続されている。この暗視野照明ユニット２９には、
ランプ６１を内蔵した透過照明用ランプハウス６０が接
続されている。このランプハウス６０には、顕微鏡本体
３０内の電源回路（図示しない）から電圧を印加するた
めの接続コード６２が接続されている。また、顕微鏡本
体３０には、ランプハウス６０に印加される電圧を調節
するための調節つまみ６３が設けられている。また、暗
視野照明ユニット２９からは光ファイバチューブ４８
が、顕微鏡本体３０を貫通してリング状光源部５２（図
３参照）まで延出している。As shown in FIG. 5, the microscope in which the system microscope of the present embodiment is used is provided with a bright field system light projecting tube 31 on the upper part of the microscope body 30, and one end of the bright field system projecting tube 31 is provided with a mirror. The tube sleeve 80 is optically connected, and the lamp house 32 is optically connected to the other end. A dark field illumination unit 29 for dark field illumination is provided below the microscope body 30.
Are connected. In this dark field illumination unit 29,
A transillumination lamp house 60 having a lamp 61 built therein is connected. A connection cord 62 for applying a voltage from a power supply circuit (not shown) in the microscope body 30 is connected to the lamp house 60. Further, the microscope body 30 is provided with an adjusting knob 63 for adjusting the voltage applied to the lamp house 60. Further, from the dark field illumination unit 29, the optical fiber tube 48
, Penetrates the microscope body 30 and extends to the ring-shaped light source unit 52 (see FIG. 3).
【００４５】なお、前述と同様に、暗視野照明ユニット
２９は、係合部６００、６００によって、光軸を中心に
３６０°回転可能に設けられている。As described above, the dark field illumination unit 29 is provided by the engaging portions 600, 600 so as to be rotatable by 360 ° about the optical axis.
【００４６】このように構成されたシステム顕微鏡で
は、明視野系投光管３１に接続されたランプハウス３２
からの照明光によって、試料８７（図３参照）の明視野
観察が行われ、また、透過照明用ランプハウス６０から
の照明光によって、試料８７の暗視野観察が行われる。In the system microscope constructed as described above, the lamp house 32 connected to the bright field system light projecting tube 31 is used.
The bright-field observation of the sample 87 (see FIG. 3) is performed by the illumination light from, and the dark-field observation of the sample 87 is performed by the illumination light from the transmission illumination lamp house 60.
【００４７】この結果、試料８７の明視野観察と暗視野
観察とを同時もしくは選択的に行うことができる。ま
た、調節つまみ６３で透過照明用ランプハウス６０に印
加される電圧を変化させることで、このランプハウス６
０からの照明光の光量を所望の値に調節することができ
る。このため、例えば、ＩＣウエハーの表面検査等にお
いて、実装パターンに応じた光量を照射させることがで
きる。この結果、検査精度及び検査の作業性能を向上さ
せることができる。なお、本実施例の暗視野照明ユニッ
ト２９のミラーは、全反射ミラーを使って同時検鏡がで
きるので、製造コストが安価となる。As a result, the bright field observation and the dark field observation of the sample 87 can be performed simultaneously or selectively. Further, by changing the voltage applied to the transillumination lamp house 60 with the adjusting knob 63, the lamp house 6
The amount of illumination light from 0 can be adjusted to a desired value. Therefore, for example, in the surface inspection of the IC wafer or the like, it is possible to irradiate the light amount according to the mounting pattern. As a result, the inspection accuracy and inspection work performance can be improved. Since the mirror of the dark field illumination unit 29 of the present embodiment can be simultaneously inspected by using the total reflection mirror, the manufacturing cost is low.
【００４８】次に、本発明の第４の実施例に係るシステ
ム顕微鏡について、図６を参照して説明する。なお、本
実施例の説明に際し、前述した第１の実施例のシステム
顕微鏡と同一の構成には、同一の参照符号を付してその
説明を省略する。Next, a system microscope according to the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. In the description of this embodiment, the same components as those of the system microscope of the first embodiment described above are designated by the same reference numerals and the description thereof will be omitted.
【００４９】図６に示すように、本実施例のシステム顕
微鏡が用いられる顕微鏡は、明視野系投光管３１が除か
れている。顕微鏡本体３０下部には、上述した第３の実
施例の場合と同様に、暗視野照明ユニット２９、透過照
明用ランプハウス６０、接続コード６２、調節つまみ６
３等が、夫々、設けられている。また、暗視野照明ユニ
ット２９には、その透過率を変えたミラー５００が内蔵
されている。従って、ランプ６１から発光し、コレクタ
レンズ６４を介してミラー５００に照射された照明光
は、その一部はミラー５００で反射してアタッチメント
３４に入射される。他の一部はミラー５００を透過し、
顕微鏡本体３０内に導光される。この顕微鏡本体３０に
は、導光された照明光を反射ミラー７０に案内する一対
のレンズ７１、７２と、反射ミラー７０と、視野絞り７
３及び開口絞り７４と、を備えている。照明光は、コン
デンサレンズ７５を介してステージ８６上に配置された
試料８７（図３参照）に集光される。ここで、レンズ７
１は、ランプ６１からの照明光が平行光束の時にケーラ
ー照明となるように構成されている。As shown in FIG. 6, the microscope in which the system microscope of this embodiment is used does not include the bright-field system projection tube 31. In the lower part of the microscope body 30, as in the case of the third embodiment described above, the dark field illumination unit 29, the transmitted illumination lamp house 60, the connection cord 62, and the adjustment knob 6 are provided.
3 etc. are provided respectively. Further, the dark field illumination unit 29 has a built-in mirror 500 whose transmittance is changed. Therefore, the illumination light emitted from the lamp 61 and applied to the mirror 500 via the collector lens 64 is partially reflected by the mirror 500 and is incident on the attachment 34. The other part is transmitted through the mirror 500,
The light is guided into the microscope body 30. The microscope body 30 includes a pair of lenses 71 and 72 for guiding the guided illumination light to the reflection mirror 70, the reflection mirror 70, and the field stop 7.
3 and an aperture stop 74. The illumination light is focused on the sample 87 (see FIG. 3) arranged on the stage 86 via the condenser lens 75. Where lens 7
1 is configured so as to be Koehler illumination when the illumination light from the lamp 61 is a parallel light flux.
【００５０】また、アタッチメント３４に入射された照
明光は、光ファイバチューブ４８を介してリング状光源
部５２に導光され、リング状集光レンズ９１（図３参
照）を介してステージ８６上の試料８７に照射される。
この結果、試料８７の透過明視野系観察と落射暗視野観
察とを同時に行うことができる。The illumination light incident on the attachment 34 is guided to the ring-shaped light source section 52 via the optical fiber tube 48, and on the stage 86 via the ring-shaped condenser lens 91 (see FIG. 3). The sample 87 is irradiated.
As a result, the transmission bright-field system observation and the epi-illumination dark-field observation of the sample 87 can be performed simultaneously.
【００５１】なお、本実施例の暗視野照明ユニット２９
も、前述した係合部６００、６００によって、光軸を中
心に３６０°回転可能に設けられている。The dark field illumination unit 29 of this embodiment is used.
Also, the above-mentioned engaging portions 600 are provided so as to be rotatable about the optical axis by 360 °.
【００５２】本実施例の場合、明視野系投光管３１を用
いずに、透過照明用ランプハウス６０の光源を暗視野系
照明用の光源と共用させることにより、安価な製造コス
トを達成することができる。In the case of this embodiment, the light source of the transmissive illumination lamp house 60 is shared with the light source for the dark field illumination without using the bright field illumination tube 31, thereby achieving a low manufacturing cost. be able to.
【００５３】なお、本発明は、上述した各実施例の構成
に限定されず、種々変更可能であることはいうまでもな
い。Needless to say, the present invention is not limited to the configuration of each of the above-described embodiments and can be variously modified.
【００５４】[0054]
【発明の効果】ランプハウスとレボルバーとが着脱可能
なシステム顕微鏡に、暗視野ユニットをランプハウスと
顕微鏡本体との間、及び、ランプハウスと落射用投光管
との間の少なくとも一方の間に着脱可能に取付けること
ができる。また、レボルバーにリング状光源を着脱可能
に取付けることができる。この結果、光ファイバー束を
用いた暗視野観察において、システム顕微鏡をそのまま
用いて、暗視野観察と他の光学的観察とを同時又は選択
して行うことができる。更に、暗視野観察において暗視
野ユニットを用いることで、落射暗視野照明は、システ
ム顕微鏡のランプハウスの光源と共用して使用すること
ができるので、高価な外部光源を別に必要とせず製造コ
ストも安価となる。In the system microscope in which the lamp house and the revolver are detachable, a dark field unit is provided between the lamp house and the microscope main body, and between at least one of the lamp house and the epi-illuminator for epi-illumination. Can be detachably attached. Further, the ring-shaped light source can be detachably attached to the revolver. As a result, in the dark-field observation using the optical fiber bundle, the dark-field observation and other optical observations can be performed simultaneously or selectively using the system microscope as it is. Furthermore, by using a dark field unit in dark field observation, epi-illumination dark field illumination can be used in common with the light source of the lamp house of the system microscope, so an expensive external light source is not required separately and the manufacturing cost is low. It will be cheaper.
【図１】本発明の第１の実施例に係り、明視野系投光管
とランプハウスとの間に暗視野照明ユニットが介挿さ
れ、この暗視野照明ユニットから光ファイバーチューブ
が明／暗視野レボルバーに接続されたシステム顕微鏡の
全体を概略的に示す図。FIG. 1 relates to a first embodiment of the present invention, in which a dark field illumination unit is interposed between a bright field system light projecting tube and a lamp house, and a fiber optic tube is used for bright / dark field illumination from this dark field illumination unit. The figure which shows schematically the whole system microscope connected to the revolver.
【図２】図１のシステム顕微鏡に取付けられた暗視野照
明ユニットの構成を概略的に示す断面図であり、（ａ）
はその上面図、（ｂ）はその側面図、（ｃ）は暗視野照
明ユニットに内蔵されたミラー座の平面図。2 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a dark field illumination unit attached to the system microscope of FIG. 1, (a)
Is a top view thereof, (b) is a side view thereof, and (c) is a plan view of a mirror seat incorporated in the dark field illumination unit.
【図３】図１に示すシステム顕微鏡の明／暗視野レボル
バーにリング状光源部を取付け、このリング状光源部に
光ファイバーチューブが接続された状態を概略的に示す
断面図。FIG. 3 is a cross-sectional view schematically showing a state in which a ring-shaped light source unit is attached to the bright / dark field revolver of the system microscope shown in FIG. 1 and an optical fiber tube is connected to the ring-shaped light source unit.
【図４】本発明の第２の実施例に係るシステム顕微鏡の
うち、ランプハウスと明視野系投光管との間に取付けら
れたスライダ支持体中に摺動自在に設けられたスライダ
の構成を概略的に示す断面図であり、（ａ）はその上面
図、（ｂ）はその側面図。FIG. 4 is a schematic diagram of a slider of a system microscope according to a second embodiment of the present invention, the slider being slidably provided in a slider support mounted between a lamp house and a bright field system light projection tube. FIG. 2 is a cross-sectional view schematically showing, where (a) is a top view thereof and (b) is a side view thereof.
【図５】本発明の第３の実施例に係り、顕微鏡本体の下
部に、この顕微鏡本体とランプハウスとの間に暗視野照
明ユニットが介挿され、ランプハウスには、その光量を
調節するように、接続コードが接続されたシステム顕微
鏡の全体を概略的に示す図。FIG. 5 relates to a third embodiment of the present invention, in which a dark-field illumination unit is inserted between the microscope body and the lamp house in the lower part of the microscope body, and the amount of light is adjusted in the lamp house. Diagrammatically showing the whole of the system microscope to which the connection cord is connected.
【図６】本発明の第４の実施例に係り、顕微鏡本体の下
部に、この顕微鏡本体とランプハウスとの間に暗視野照
明ユニットが介挿され、ランプハウスには、その光量を
調節するように接続コードが接続され、顕微鏡本体に
は、暗視野照明ユニットを透過した照明光をステージに
導光する構成が施されたシステム顕微鏡の全体を概略的
に示す図。FIG. 6 relates to a fourth embodiment of the present invention, in which a dark-field illumination unit is inserted under the microscope body between the microscope body and the lamp house, and the amount of light is adjusted in the lamp house. FIG. 3 is a diagram schematically showing the entire system microscope in which the connection cords are connected as described above, and the microscope main body is configured to guide the illumination light that has passed through the dark field illumination unit to the stage.
【図７】従来の明視野観察を行うためのシステム顕微鏡
の全体を概略的に示す図。FIG. 7 is a diagram schematically showing an entire conventional system microscope for performing bright-field observation.
【図８】従来の暗視野観察を行うためのシステム顕微鏡
の全体を概略的に示す図。FIG. 8 is a diagram schematically showing an entire system microscope for performing conventional dark field observation.
【図９】図８の顕微鏡に設けられた暗視野リング１５の
平面図。9 is a plan view of the dark field ring 15 provided in the microscope of FIG.
【図１０】従来の明視野系観察と暗視野観察との切換器
の構成を概略的に示す図であり、（ａ）はその側面図、
（ｂ）はその正面図。FIG. 10 is a diagram schematically showing a configuration of a conventional switcher for bright-field observation and dark-field observation, in which (a) is a side view thereof.
(B) is the front view.
２９…暗視野照明ユニット、３０…顕微鏡本体、３１…
明視野系投光管、３２…ランプハウス、３５…集光レン
ズ、３８…ランプ、４１…全反射ミラー、４６…フィル
タ、４８…光ファイバチューブ、４９…明／暗視野レボ
ルバー、５２…リング状光源部。29 ... Dark field illumination unit, 30 ... Microscope body, 31 ...
Bright-field type light-projecting tube, 32 ... Lamp house, 35 ... Condensing lens, 38 ... Lamp, 41 ... Total reflection mirror, 46 ... Filter, 48 ... Optical fiber tube, 49 ... Bright / dark field revolver, 52 ... Ring shape Light source part.
【手続補正書】[Procedure amendment]
【提出日】平成４年３月１１日[Submission date] March 11, 1992
【手続補正１】[Procedure Amendment 1]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００２[Name of item to be corrected] 0002
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のシステム顕微鏡には、例
えば、半導体製造工程中に、半導体を目視検査する落射
明視野系（偏光、微分干渉、蛍光を含む）投光管があ
る。図７には、明視野系投光管４を備えた落射明視野系
顕微鏡の全体が概略的に示されている。この顕微鏡にお
いて、ランプハウス１のランプ２から出射された照明光
は、コレクタレンズ３で集光された後、明視野系投光管
４内に導光される。この明視野系投光管４に入射された
照明光は、第１の照明レンズ６で集光され、開口絞り
７、視野絞り８及び第２の照明レンズ９を介してハーフ
ミラー１０に照射される。このハーフミラー１０は、入
射光に対して４５°傾斜して配置されており、このハー
フミラー１０で反射された照明光は、顕微鏡本体５に対
して着脱可能な明視野系レボルバー１１を通って明視野
系対物レンズ１２に入射される。そして、照明光は、こ
の明視野系対物レンズ１２によって、ステージ１３０上
に配置された試料１３に集光される。試料１３表面で反
射された反射光は、再び明視野系対物レンズ１２、明視
野系レボルバー１１及びハーフミラー１０を介して結像
レンズ１４に入射される。この結像レンズ１４で結像さ
れた像を接眼レンズ１４０を介して観察することによ
り、試料１３表面の観察が行われる。2. Description of the Related Art Conventionally, in this type of system microscope, for example, an epi- illumination system (including polarized light, differential interference, and fluorescence) projection tube for visually inspecting a semiconductor during a semiconductor manufacturing process is used. is there. FIG. 7 schematically shows the entire epi-illumination bright-field microscope equipped with the bright-field illumination tube 4. In this microscope, the illumination light emitted from the lamp 2 of the lamp house 1 is condensed by the collector lens 3 and then guided into the bright field system light projecting tube 4. The illumination light incident on the bright-field system light-projecting tube 4 is condensed by the first illumination lens 6 and is applied to the half mirror 10 via the aperture stop 7, the field stop 8 and the second illumination lens 9. It The half mirror 10 is arranged at an angle of 45 ° with respect to the incident light, and the illumination light reflected by the half mirror 10 is directed to the microscope body 5.
Then, the light enters the bright field objective lens 12 through the removable bright field revolver 11. Then, the illumination light is focused on the sample 13 arranged on the stage 130 by the bright field objective lens 12. The reflected light reflected by the surface of the sample 13 is incident on the imaging lens 14 again via the bright-field objective lens 12, the bright-field revolver 11 and the half mirror 10. The surface of the sample 13 is observed by observing the image formed by the image forming lens 14 through the eyepiece lens 140.
【手続補正２】[Procedure Amendment 2]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００４[Correction target item name] 0004
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００４】ところで、半導体の製造工程では、半導体
表面の微細な傷や塵等を目視検査するため、落射明視野
系観察に加えて落射暗視野観察が行われる。この暗視野
観察は、前述した明視野系投光管４をそのまま用いるこ
とができない。このため、別に、明／暗視野投光管４０
０が用いられる。図８には、この明／暗視野投光管４０
０を備えた落射明／暗視野顕微鏡が概略的に示されてい
る。なお、前述の落射明視野系顕微鏡と同一の構成に
は、同一の参照符号を付して、その説明を省略する。By the way, in the semiconductor manufacturing process, in order to visually inspect for fine scratches and dust on the surface of the semiconductor, epi- illumination dark-field observation is performed in addition to epi- illumination bright-field system observation. For this dark-field observation, the bright-field system light projecting tube 4 described above cannot be used as it is. For this reason, a separate bright / dark field projection tube 40
0 is used. FIG. 8 shows this light / dark field projector tube 40.
An epi-illumination / dark field microscope with 0 is shown schematically. The same components as those of the epi-illumination bright-field microscope described above are designated by the same reference numerals, and the description thereof will be omitted.
【手続補正３】[Procedure 3]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００７[Correction target item name] 0007
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００７】なお、穴あきミラー１６の穴内には、この
穴あきミラー１６から反射したリング状照明光が観察光
路内に混入しないように、観察光軸と同心の中空遮光筒
１９が挿着されている。また、この遮光筒１９と明／暗
視野対物レンズ１８との間には、観察光軸方向に延出し
た中空の遮光筒２０が設けられている。この遮光筒２０
を設けることで、穴あきミラー１６から反射したリング
状照明光は、観察光路内に混入することなく、前記環状
レンズ１８２に導光される。更に、対物レンズ鏡筒１８
０（図８参照）内にも、照明光と観察光とを分離するた
めの中空の遮光筒２００（図３参照）が設けられてい
る。 A hollow light-shielding tube 19 concentric with the observation optical axis is inserted into the hole of the perforated mirror 16 so that the ring-shaped illumination light reflected from the perforated mirror 16 does not enter the observation optical path. ing. A hollow light-shielding cylinder 20 extending in the observation optical axis direction is provided between the light-shielding cylinder 19 and the bright / dark field objective lens 18. This light blocking tube 20
By providing, the ring-shaped illumination light reflected from the perforated mirror 16 is guided to the annular lens 182 without being mixed in the observation optical path. Furthermore, the objective lens barrel 18
0 (see FIG. 8) also separates the illumination light and the observation light.
A hollow light-shielding cylinder 200 (see FIG. 3) for
It
【手続補正４】[Procedure amendment 4]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】０００８[Correction target item name] 0008
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【０００８】図１０の（ａ），（ｂ）は、落射明／暗視
野落射投光管の１例として、夫々、明視野観察と暗視野
観察との切換器を拡大して示す。FIGS. 10A and 10B are epi-illumination / night vision.
As an example of the field the vertical illuminator, respectively, to indicate the enlarged switcher and dark field observation and bright field observation.
【手続補正５】[Procedure Amendment 5]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１０[Correction target item name] 0010
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１０】また、近年、暗視野観察において、より大
きな照度でムラなく照明するために、光ファイバー束を
用いて暗視野観察を行う方法が、実開昭５０−７３４４
６号公報に記載されている。また、顕微鏡のシステム性
を考慮し、光ファイバー束に接続されたリング状光源を
レボルバーに設け、暗視野観察を行うシステム顕微鏡
が、特願平２−２５７１０５号（未公開）に記載されて
いる。Further, in recent years, in dark field observation, a method for performing dark field observation using an optical fiber bundle has been proposed in order to illuminate with a larger illuminance without unevenness.
No. 6 publication. Further, in consideration of the system property of the microscope, Japanese Patent Application No. 2-257105 (unpublished) describes a system microscope in which a ring-shaped light source connected to an optical fiber bundle is provided in a revolver to perform dark field observation.
【手続補正６】[Procedure correction 6]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１３[Correction target item name] 0013
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１３】本発明は、このような問題を解決するため
になされ、その目的は、光ファイバー束を用いた落射暗
視野観察において、落射明視野顕微鏡をそのまま用い
て、落射暗視野観察と他の光学的観察とを同時又は選択
して行うことができると共に、操作性も高く、且つ、製
造コストも安価なシステム性の高いシステム顕微鏡を提
供することにある。The present invention has been made to solve such a problem, and an object thereof is to perform episcopic dark-field observation and other optical techniques in epi- illumination dark-field observation using an optical fiber bundle by using an epi- illumination bright-field microscope as it is. It is an object of the present invention to provide a system microscope having a high system property, which can perform simultaneous observation or selective observation, has high operability, and has a low manufacturing cost.
【手続補正７】[Procedure Amendment 7]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００１７[Correction target item name] 0017
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００１７】図１の（ａ）に示すように、本実施例のシ
ステム顕微鏡が用いられる顕微鏡は、顕微鏡本体３０
と、この顕微鏡本体３０の上部に設けられた明視野系投
光管３１と、を備えている。この明視野系投光管３１の
一端には、例えば、丸アリ係合部６００が形成されてお
り、この係合部６００に暗視野照明ユニット２９、が着
脱自在に取付けられている。このような明視野系投光管
３１の他端は、顕微鏡の鏡筒スリーブ８０に接続されて
いる。鏡筒スリーブ８０の上部からは鏡筒８２が突設さ
れ、この鏡筒８２の先端には、接眼レンズ８４が取付け
られている。また、図１の（ｂ）に示すように、顕微鏡
本体３０のアーム部５１には、直線摺動溝５１ａが形成
されている。この直線摺動溝５１ａに沿って、各種のレ
ボルバ４９のアリ部４９ａを挿脱（図中矢印Ｓ方向に挿
脱）させることによって、各種のレボルバ４９をアーム
部５１に着脱させることができる。本実施例の場合、こ
の部分に、後述する明／暗視野レボルバー４９が着脱自
在に取付けられる。また、前記暗視野照明ユニット２９
には、例えば、丸アリ係合部６００を介してランプ３８
を内蔵したランプハウス３２が着脱自在に取付けられて
いる。As shown in FIG. 1 (a) , the microscope in which the system microscope of this embodiment is used is a microscope main body 30.
And a bright-field system light projection tube 31 provided on the upper part of the microscope body 30. For example, a round dovetail engagement portion 600 is formed at one end of the brightfield system light projection tube 31, and the darkfield illumination unit 29 is detachably attached to the engagement portion 600. The other end of such a bright field system light projection tube 31 is connected to a lens barrel sleeve 80 of the microscope. A lens barrel 82 is provided so as to project from an upper portion of the lens barrel sleeve 80, and an eyepiece lens 84 is attached to the tip of the lens barrel 82. In addition, as shown in FIG.
A linear sliding groove 51a is formed on the arm portion 51 of the main body 30.
Has been done. Along the linear sliding groove 51a, various types of marks are
Insert and remove the dovetail portion 49a of the bolver 49 (insert in the direction of arrow S in the figure).
Arm) to revolve various revolvers 49.
It can be attached to and detached from the portion 51. In the case of the present embodiment, a bright / dark field revolver 49 described later is detachably attached to this portion. In addition, the dark field illumination unit 29
For example, the lamp 38 is connected via the round dovetail engagement portion 600.
A lamp house 32 having a built-in is detachably attached.
【手続補正８】[Procedure Amendment 8]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２０[Correction target item name] 0020
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２０】切換ユニット３３内は、ランプハウス３２
からの照明光が通過可能な空洞が設けられている。この
空洞内には、全反射ミラー４１が設けられている。この
全反射ミラー４１は、ミラー座４２に固定されている。
このミラー座４２は、その一端部が回動軸４３に揺動自
在に支持されている。この回動軸４３は、空洞内に、前
記照明光の光軸と直交する方向に延出し、その両端は、
切換ユニット３３に回動自在に支持されている。このよ
うに支持されたミラー座４２は、図中（ａ）に示された
Ａ位置（光軸に対して４５°の位置）とＢ位置（光路か
ら外れた位置）との間を揺動し、クリック４４（図中
（ａ）参照）を介してＡ位置又はＢ位置で保持される。
なお、切換ユニット３３の外部には、回動軸４３を回動
させるための操作つまみ４５が設けられている。また、
前記ミラー座４２の中央部は、所定の大きさの孔が形成
されている。このため、例えば、前記ミラー座４２にハ
ーフミラー等を支持させた場合、このハーフミラー等に
入射した照明光の一部が、前記明視野系投光管３１方向
に透過可能となる。Inside the switching unit 33, the lamp house 32
There is a cavity through which the illumination light from. A total reflection mirror 41 is provided in this cavity. The total reflection mirror 41 is fixed to the mirror seat 42.
One end of the mirror seat 42 is swingably supported by the rotary shaft 43. The rotating shaft 43 extends in the cavity in a direction orthogonal to the optical axis of the illumination light, and both ends thereof are
It is rotatably supported by the switching unit 33. The mirror seat 42 supported in this way swings between the A position (position of 45 ° with respect to the optical axis) and the B position (position out of the optical path) shown in FIG. , And is held at the A position or the B position via the click 44 (see (a) in the figure).
An operation knob 45 for rotating the rotation shaft 43 is provided outside the switching unit 33. Also,
A hole having a predetermined size is formed in the central portion of the mirror seat 42. Therefore, for example, when a half mirror or the like is supported by the mirror seat 42, a part of the illumination light incident on the half mirror or the like can be transmitted in the direction of the bright field system light projection tube 31.
【手続補正９】[Procedure Amendment 9]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２１[Correction target item name] 0021
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２１】アタッチメント３４は、前記全反射ミラー
４１で反射された照明光を受光する集光レンズ３５を内
蔵している。この集光レンズ３５の下方には、暗視野系
照明用のフィルタ４６（例えば、色温度変化フィルタ、
ＮＤフィルタ等）が設けられている。このフィルタ４６
は、アタッチメント３４の内周面に設けられた切欠部４
７を介して着脱自在に支持されている。このようなアタ
ッチメント３４の最下部には、光ファイバのジョイント
部３６が、ビス３７で固定されている。このジョイント
部３６から延出した光ファイバチューブ４８は、顕微鏡
本体３０のアーム部５１を貫通して明／暗視野レボルバ
ー４９内に着脱可能に設けられたリング状光源部５２
（図３参照）に接続されている。The attachment 34 contains a condenser lens 35 for receiving the illumination light reflected by the total reflection mirror 41. Below the condenser lens 35, a dark field illumination filter 46 (for example, a color temperature change filter,
ND filter). This filter 46
Is a cutout portion 4 provided on the inner peripheral surface of the attachment 34.
It is detachably supported via 7. An optical fiber joint portion 36 is fixed to the lowermost portion of the attachment 34 with screws 37. The optical fiber tube 48 extending from the joint portion 36 penetrates the arm portion 51 of the microscope body 30 and is detachably provided in the bright / dark field revolver 49.
(See FIG. 3).
【手続補正１０】[Procedure Amendment 10]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２４[Correction target item name] 0024
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２４】まず、明視野系レボルバーを取外し、明／
暗視野レボルバー４９を顕微鏡本体３０に取付ける。明
視野系投光管３１からランプハウス３２を取外し、明視
野系投光管３１に暗視野照明ユニット２９を取付けた
後、ランプハウス３２を暗視野照明ユニット２９に取り
付ける。そして、前記光ファイバチューブ４８を前記ア
ーム部５１内に挿通し、そのジョイント部３６をアタッ
チメント３４に接続する。First, the bright field system revolver was removed, and the bright /
The dark field revolver 49 is attached to the microscope body 30 . The lamp house 32 is detached from the bright field system light emitting tube 31, the dark field illumination unit 29 is attached to the bright field system light emitting tube 31, and then the lamp house 32 is attached to the dark field illumination unit 29. Then, the optical fiber tube 48 is inserted into the arm portion 51, and the joint portion 36 thereof is connected to the attachment 34.
【手続補正１１】[Procedure Amendment 11]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２７[Name of item to be corrected] 0027
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２７】次に、暗視野系観察を行う場合について図
１ないし図３を参照して説明する。Next, the case of performing the dark field observation will be described with reference to FIGS.
【手続補正１２】[Procedure Amendment 12]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００２８[Correction target item name] 0028
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００２８】まず、操作つまみ４５を回動し、ミラー座
４２をクリック４４で付勢して、Ａ位置（図２の（ｂ）
参照）に固定する。この位置では、ミラー座４２に支持
された全反射ミラー４１は、照明光の光軸に対して４５
°の角度で配置される。このため、ランプ３８からコレ
クタレンズ３９及びフィルタ４０を通って供給される平
行光束の照明光は、全反射ミラー４１を介して集光レン
ズ３５に照射される。照射された照明光は、集光レンズ
３５によって、フィルタ４６に集光される。集光された
照明光は、光ファイバのジョイント部３６に入射され
る。図１及び図３に示すように、入射された暗視野照明
光は、光ファイバチューブ４８を介して明／暗視野レボ
ルバー４９内に設けられ、レボルバ４９に対して着脱可
能に設けられたリング状光源部５２に導光される。導光
された暗視野照明光は、前記リング状光源部５２に対向
したリング状レンズ９０を介して平行光束に変換され
る。変換された暗視野照明光は、対物レンズ鏡筒８８内
に設けられた暗視野照明用光路８９を通ってリング状集
光レンズ９１に照射される。そして、リング状集光レン
ズ９１によって、ステージ８６上の試料８７に暗視野照
明光が照射される。試料８７表面で反射された回折光
は、対物レンズ鏡筒８８内の明／暗視野対物レンズ５０
を介し、明／暗視野レボルバー４９及びハーフミラー８
５を経て結像レンズ（図示しない）に照射される。この
結像レンズで結像された像を接眼レンズ８４を介して観
察することにより、試料８７表面の暗視野系観察が行わ
れる。First, the operation knob 45 is rotated, and the mirror seat 42 is urged by the click 44 to move to the A position ((b) in FIG. 2).
Fixed). At this position, the total reflection mirror 41 supported by the mirror seat 42 is positioned at 45 ° with respect to the optical axis of the illumination light.
Placed at an angle of °. Therefore, the illumination light of the parallel light flux supplied from the lamp 38 through the collector lens 39 and the filter 40 is applied to the condenser lens 35 via the total reflection mirror 41. The illuminated illumination light is condensed on the filter 46 by the condenser lens 35. The collected illumination light is incident on the joint section 36 of the optical fiber. As shown in FIGS. 1 and 3, the incident dark-field illumination light is provided in a bright / dark-field revolver 49 via an optical fiber tube 48 and is attachable to and detachable from the revolver 49.
The light is guided to the ring-shaped light source unit 52 provided in the function . The guided dark-field illumination light is converted into a parallel light flux via the ring-shaped lens 90 facing the ring-shaped light source unit 52. The converted dark-field illumination light passes through the dark-field illumination optical path 89 provided in the objective lens barrel 88 and is applied to the ring-shaped condenser lens 91. Then, the ring-shaped condenser lens 91 irradiates the sample 87 on the stage 86 with dark-field illumination light. The diffracted light reflected on the surface of the sample 87 is the bright / dark field objective lens 50 in the objective lens barrel 88.
Bright / dark field revolver 49 and half mirror 8 via
It is irradiated onto the imaging lens (not shown) via 5. By observing the image formed by this image forming lens through the eyepiece lens 84, the dark field system observation of the surface of the sample 87 is performed.
【手続補正１３】[Procedure Amendment 13]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００３０[Name of item to be corrected] 0030
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００３０】このように、本実施例のシステム顕微鏡
は、明視野系投光管３１をそのまま用いて落射暗視野観
察を行うことができる。このため、顕微鏡のシステム性
を向上させることができる。この結果、従来のように高
価な明／暗視野投光管を別に購入する必要がないため、
余分な出費もなくなる。As described above, the system microscope of this embodiment can perform episcopic dark-field observation using the bright-field system light projection tube 31 as it is. Therefore, the system property of the microscope can be improved. As a result, there is no need to purchase an expensive bright / dark field projection tube separately as in the conventional case.
There is no extra expense.
【手続補正１４】[Procedure Amendment 14]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００３２[Name of item to be corrected] 0032
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００３２】なお、本発明は、上述した第１の実施例に
限定されることはない。全反射ミラー４１の代りに、他
の偏向素子として、例えば透過率を変化させたハーフミ
ラーやビームスプリッタ等を配置してもよい。このよう
なハーフミラー等を用いることによって、落射暗視野観
察と他の光学的観察（例えば落射明視野観察）とを同時
に行うことができる。従って、例えば、生物分野で行わ
れている落射蛍光観察と落射暗視野観察とを同時に行う
ことができ、多重に染色された標本の観察時間の短縮及
び観察精度の向上を達成することができる。The present invention is not limited to the above-mentioned first embodiment. Instead of the total reflection mirror 41, as another deflecting element, for example, a half mirror or a beam splitter whose transmittance is changed may be arranged. By using such a half mirror or the like, epi-illumination dark-field observation and other optical observation (for example, epi-illumination bright-field observation) can be performed simultaneously. Therefore, for example, it is possible to simultaneously perform epi- fluorescence observation and epi-illumination dark-field observation that are performed in the biological field, and it is possible to shorten the observation time and improve the observation accuracy of a multiply stained specimen.
【手続補正１５】[Procedure Amendment 15]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００３３[Correction target item name] 0033
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００３３】また、図１８の（ｃ）に示すように、暗視
野観察と他の光学的観察との切換え方法としては、暗視
野照明ユニット２９に設けられた回動軸２０１に電気的
手段（例えば、モータ２０２）を接続させて遠隔操作さ
せる方法がある。 As shown in FIG. 18 (c), a method for switching between dark-field observation and other optical observations is night-vision.
The rotary shaft 201 provided in the field lighting unit 29 is electrically connected to the rotary shaft 201.
Remote control by connecting a means (for example, motor 202).
There is a way to do it.
【手続補正１６】[Procedure 16]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００３９[Correction target item name] 0039
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００３９】まず、操作つまみ５６を介してスライダ５
７を移動させる。前記クリック５５によって前記スライ
ダ５７を固定し、全反射ミラー４１を光軸上に保持させ
る。ランプハウス３２からの照明光は、全反射ミラー４
１で反射され、集光レンズ３５に照射される。照射され
た照明光は、集光レンズ３５によって、ジョイント部３
６に集光される。図１及び図３に示すように、光ファイ
バのジョイント部３６に入射された暗視野照明光は、光
ファイバチューブ４８を介して明／暗視野レボルバー４
９内に設けられ、顕微鏡本体３０に対して着脱可能なリ
ング状光源部５２に導光される。導光された暗視野照明
光は、前記リング状光源部５２に対向したリング状レン
ズ９０を介してリング状集光レンズ９１に昭射される。
このリング状集光レンズ９１によって、ステージ８６上
の試料８７に暗視野照明光が照射される。試料８７表面
で反射された回折光は、明／暗視野対物レンズ５０を介
し、明／暗視野レボルバー４９及びハーフミラー８５を
経て結像レンズ（図示しない）に照射される。この結像
レンズで結像された像を接眼レンズ８４を介して観察す
ることにより、試料８７表面の暗視野系観察が行われ
る。First, the slider 5 is moved through the operation knob 56.
Move 7. The slider 57 is fixed by the click 55, and the total reflection mirror 41 is held on the optical axis. The illumination light from the lamp house 32 is reflected by the total reflection mirror 4.
It is reflected at 1, and is irradiated onto the condenser lens 35. The illuminated illumination light is passed through the condenser lens 35 to the joint portion 3
It is focused on 6. As shown in FIGS. 1 and 3, the dark-field illumination light that has entered the joint section 36 of the optical fiber is transmitted through the optical fiber tube 48 to the bright / dark-field revolver 4.
Light is guided to a ring-shaped light source unit 52 that is provided inside the microscope body 9 and is detachable from the microscope body 30 . The guided dark-field illumination light is projected onto the ring-shaped condenser lens 91 via the ring-shaped lens 90 facing the ring-shaped light source unit 52.
The ring-shaped condenser lens 91 illuminates the sample 87 on the stage 86 with dark-field illumination light. The diffracted light reflected on the surface of the sample 87 is applied to the imaging lens (not shown) via the bright / dark field objective lens 50, the bright / dark field revolver 49 and the half mirror 85. By observing the image formed by this image forming lens through the eyepiece lens 84, the dark field system observation of the surface of the sample 87 is performed.
【手続補正１７】[Procedure Amendment 17]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４０[Item name to be corrected] 0040
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００４０】次に、操作つまみ５６を介してスライダ５
７を移動させる。クリック５５によって前記スライダ５
７を固定し、孔部１５１を光軸上に保持させる。ランプ
ハウス３２からの照明光は、孔部１５１を通過して明視
野系投光管３１に照射される。図１及び図３に示すよう
に、この明視野系投光管３１で所定の光学的特性が与え
られた前記照明光は、ハーフミラー８５を介して明／暗
視野対物レンズ５０に入射され、ステージ８６上に配置
された試料８７（図３参照）に集光される。試料８７表
面で反射された反射光は、再び明／暗視野対物レンズ５
０、明／暗視野レボルバー４９及びハーフミラー８５を
介して結像レンズ（図示しない）に照射される。この結
像レンズで結像された像を接眼レンズ８４を介して観察
することにより、試料８７表面の明視野系観察が行われ
る。Next, the slider 5 is moved through the operation knob 56.
Move 7. Click 55 to move the slider 5
7 is fixed and the hole 151 is held on the optical axis. Illumination light from the lamp house 32 passes through the hole 151 and is applied to the bright field system light projection tube 31. As shown in FIG. 1 and FIG. 3, the illumination light, which has been given the predetermined optical characteristics by the bright field system projection tube 31, enters the bright / dark field objective lens 50 through the half mirror 85, The sample 87 (see FIG. 3) placed on the stage 86 is focused. The reflected light reflected on the surface of the sample 87 is again the bright / dark field objective lens 5
0, a bright / dark field revolver 49 and a half mirror 85 illuminate an imaging lens (not shown). By observing the image formed by this image forming lens through the eyepiece lens 84, the bright field system observation of the surface of the sample 87 is performed.
【手続補正１８】[Procedure 18]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４２[Correction target item name] 0042
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００４２】このようなシステム顕微鏡は、第１の実施
例と同様な効果が得られる上に、更に、スライダ５７に
フィルターボックス５４が取付けられているので、落射
明視野系投光管３１の照明光路に挿入されたフィルター
以外の補助フィルタ１５２を追加して照明光路に挿入で
きると共に、スライダ５７を移動させることによって、
落射暗視野観察、落射明視野観察及びその他の光学的観
察の切換えが短時間に行える。In such a system microscope, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and further, since the filter box 54 is attached to the slider 57, the illumination of the epi-illumination bright-field system projection tube 31 is performed. By adding the auxiliary filter 152 other than the filter inserted in the optical path to the illumination optical path and moving the slider 57,
Switching between epi- illumination dark-field observation, epi-illumination bright-field observation, and other optical observations can be performed in a short time.
【手続補正１９】[Procedure Amendment 19]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４６[Correction target item name] 0046
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００４６】このように構成されたシステム顕微鏡で
は、明視野系投光管３１に接続されたランプハウス３２
からの照明光によって、試料８７（図３参照）の明視野
系観察が行われ、また、透過照明用ランプハウス６０か
らの照明光によって、試料８７の落射暗視野観察が行わ
れる。In the system microscope constructed as described above, the lamp house 32 connected to the bright field system light projecting tube 31 is used.
Bright field of sample 87 (see FIG. 3) by illumination light from
The system observation is performed, and the incident dark-field observation of the sample 87 is performed by the illumination light from the transmissive illumination lamp house 60.
【手続補正２０】[Procedure amendment 20]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００４７[Correction target item name] 0047
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００４７】この結果、試料８７の落射明視野観察と落
射暗視野観察とを同時もしくは選択的に行うことができ
る。また、調節つまみ６３で透過照明用ランプハウス６
０に印加される電圧を変化させることで、このランプハ
ウス６０からの照明光の光量を所望の値に調節すること
ができる。このため、例えば、ＩＣウエハーの表面検査
等において、実装パターンに応じた光量を照射させるこ
とができる。この結果、検査精度及び検査の作業性能を
向上させることができる。なお、本実施例の暗視野照明
ユニット２９のミラーは、全反射ミラーを使って同時検
鏡ができるので、第１の実施例のようにハーフミラーを
設ける場合に比べて製造コストが安価となる。[0047] As a result, the incident-light bright field observation and the drop of the sample 87
The dark field observation can be performed simultaneously or selectively. In addition, the adjustment knob 63 is used for the transillumination lamp house 6.
By changing the voltage applied to 0, the amount of illumination light from the lamp house 60 can be adjusted to a desired value. Therefore, for example, in the surface inspection of the IC wafer or the like, it is possible to irradiate the light amount according to the mounting pattern. As a result, the inspection accuracy and inspection work performance can be improved. Since the mirrors of the dark field illumination unit 29 of this embodiment can be simultaneously inspected using a total reflection mirror , a half mirror is used as in the first embodiment.
The manufacturing cost is lower than that in the case where it is provided .
【手続補正２１】[Procedure correction 21]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】００５４[Correction target item name] 0054
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【００５４】[0054]
【発明の効果】ランプハウスとレボルバーとが着脱可能
なシステム顕微鏡に、暗視野ユニットをランプハウスと
顕微鏡本体との間、及び、ランプハウスと落射用投光管
との間の少なくとも一方の間に着脱可能に取付けること
ができる。また、レボルバーにリング状光源を着脱可能
に取付けることができる。この結果、光ファイバー束を
用いた暗視野観察において、システム顕微鏡をそのまま
用いて、落射暗視野観察と他の光学的観察とを同時又は
選択して行うことができる。更に、暗視野観察において
暗視野ユニットを用いることで、落射暗視野照明は、シ
ステム顕微鏡のランプハウスの光源と共用して使用する
ことができるので、高価な外部光源を別に必要とせず製
造コストも安価となる。In the system microscope in which the lamp house and the revolver are detachable, a dark field unit is provided between the lamp house and the microscope main body, and between at least one of the lamp house and the epi-illuminator for epi-illumination. Can be detachably attached. Further, the ring-shaped light source can be detachably attached to the revolver. As a result, in the dark-field observation using the optical fiber bundle, it is possible to perform the epi-illumination dark-field observation and other optical observations simultaneously or selectively by using the system microscope as it is. Furthermore, by using a dark field unit in dark field observation, epi-illumination dark field illumination can be used in common with the light source of the lamp house of the system microscope, so an expensive external light source is not required separately and the manufacturing cost is low. It will be cheaper.
【手続補正２２】[Procedure correction 22]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図１[Name of item to be corrected] Figure 1
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図１】（ａ）は、本発明の第１の実施例に係り、明視
野系投光管とランプハウスとの間に暗視野照明ユニット
が介挿され、この暗視野照明ユニットから光ファイバー
チューブが明／暗視野レボルバーに接続されたシステム
顕微鏡の全体を概略的に示す図、（ｂ）は、顕微鏡本体
のアーム部にレボルバを装着させる状態を示す斜視図、
（ｃ）は、（ａ）に示すＡ−Ａ線に沿う断面図。FIG. 1 (a) relates to a first embodiment of the present invention, in which a dark field illumination unit is inserted between a bright field system projection tube and a lamp house, and the dark field illumination unit is connected to an optical fiber tube. Is a diagram schematically showing the entire system microscope connected to a bright / dark field revolver, (b) is a microscope body
Perspective view showing a state in which the revolver is attached to the arm part of the
(C) is sectional drawing which follows the AA line shown to (a) .
【手続補正２３】[Procedure amendment 23]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図７[Name of item to be corrected] Figure 7
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図７】従来の落射明視野観察を行うためのシステム顕
微鏡の全体を概略的に示す図。FIG. 7 is a diagram schematically showing the entire system microscope for performing conventional epi-illumination bright-field observation.
【手続補正２４】[Procedure amendment 24]
【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement
【補正対象項目名】図８[Correction target item name] Figure 8
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図８】従来の落射暗視野観察を行うためのシステム顕
微鏡の全体を概略的に示す図。FIG. 8 is a diagram schematically showing an entire conventional system microscope for performing epi-illumination dark field observation.
【手続補正２５】[Procedure Amendment 25]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図１[Name of item to be corrected] Figure 1
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図１】 [Figure 1]
【手続補正２６】[Procedure Amendment 26]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図３[Name of item to be corrected] Figure 3
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図３】 [Figure 3]
【手続補正２７】[Procedure Amendment 27]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図４[Name of item to be corrected] Fig. 4
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図４】 [Figure 4]
【手続補正２８】[Procedure correction 28]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図７[Name of item to be corrected] Figure 7
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図７】 [Figure 7]
【手続補正２９】[Procedure correction 29]
【補正対象書類名】図面[Document name to be corrected] Drawing
【補正対象項目名】図１０[Name of item to be corrected] Fig. 10
【補正方法】変更[Correction method] Change
【補正内容】[Correction content]
【図１０】 [Figure 10]
Claims (1)
なシステム顕微鏡において、 前記レボルバー内にリング状光源を着脱可能に設け、 前記ランプハウスに内蔵された光源からの光束を偏向す
る偏向素子を備え、 この偏向素子により偏向された光束を光ファイバー束を
介して前記リング状光源に導光する暗視野ユニットを、
前記ランプハウスと顕微鏡本体との間及び前記ランプハ
ウスと落射用投光管との間の少なくとも一方の間に着脱
可能に設けたことを特徴とするシステム顕微鏡。1. A system microscope in which a lamp house and a revolver are attachable / detachable, wherein a ring-shaped light source is detachably provided in the revolver, and a deflection element for deflecting a light beam from the light source incorporated in the lamp house is provided. A dark field unit that guides the light beam deflected by the deflecting element to the ring-shaped light source through an optical fiber bundle,
A system microscope, which is detachably provided between the lamp house and a microscope main body and between at least one of the lamp house and an epi-illumination projection tube.
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7788191A JPH05173078A (en) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | System microscope |
| US07/854,333 US5325231A (en) | 1991-03-22 | 1992-03-19 | Microscope illuminating apparatus |
| AT92104924T ATE183589T1 (en) | 1991-03-22 | 1992-03-20 | ILLUMINATION DEVICE FOR A MICROSCOPE |
| EP92104924A EP0504940B1 (en) | 1991-03-22 | 1992-03-20 | Microscope illuminating apparatus |
| DE69229808T DE69229808T2 (en) | 1991-03-22 | 1992-03-20 | Illumination device for a microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7788191A JPH05173078A (en) | 1991-04-10 | 1991-04-10 | System microscope |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05173078A true JPH05173078A (en) | 1993-07-13 |
Family
ID=13646419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7788191A Withdrawn JPH05173078A (en) | 1991-03-22 | 1991-04-10 | System microscope |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05173078A (en) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003005082A (en) * | 2001-06-18 | 2003-01-08 | Olympus Optical Co Ltd | Microscopic system |
| US6621065B1 (en) | 1999-11-30 | 2003-09-16 | Mitutoyo Corporation | Imaging probe |
| JP2004226985A (en) * | 2003-01-21 | 2004-08-12 | Leica Microsystems (Schweiz) Ag | Surgical microscope |
| JP2007532982A (en) * | 2004-04-16 | 2007-11-15 | オーバーン ユニバーシティ | Microscope illumination device and adapter for microscope illumination device |
| JP2014211633A (en) * | 2013-04-19 | 2014-11-13 | カール ツァイス マイクロスコピー ゲーエムベーハーＣａｒｌ Ｚｅｉｓｓ Ｍｉｃｒｏｓｃｏｐｙ Ｇｍｂｈ | Method for illuminating object in digital optical microscope, digital optical microscope and bright field reflection light illumination device for digital optical microscope |
| CN113455993A (en) * | 2021-07-05 | 2021-10-01 | 南宁市第一人民医院 | Endoscope performance inspection device |
-
1991
- 1991-04-10 JP JP7788191A patent/JPH05173078A/en not_active Withdrawn
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|---|---|---|---|
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