JPH05160314A - 集積回路の冷却構造 - Google Patents
集積回路の冷却構造Info
- Publication number
- JPH05160314A JPH05160314A JP32329491A JP32329491A JPH05160314A JP H05160314 A JPH05160314 A JP H05160314A JP 32329491 A JP32329491 A JP 32329491A JP 32329491 A JP32329491 A JP 32329491A JP H05160314 A JPH05160314 A JP H05160314A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- chamber
- integrated circuit
- sealed container
- liquid refrigerant
- integrated circuits
- Prior art date
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- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 構造を大型化することなく多数の集積回路を
冷却することができる構造とする。 【構成】 間隔をおいて対向配置された２枚の配線基板
５の、互いに対向する部位にはそれぞれ複数個の集積回
路４が配設される。互いに対向した集積回路４の間には
チャンバー１が配置され、チャンバー１の両端面は熱伝
導性コンパウンドを介して集積回路４に面接触してい
る。チャンバー１の側壁には、チャンバー１の液体冷媒
室１ａを、隣接するチャンバー１の液体冷媒室１ａと連
通させるノズル２が設けられる。液体冷媒は、ノズル２
より液体冷媒室１ａに順次供給され、チャンバー１の両
端面に接触する集積回路４を冷却する。
冷却することができる構造とする。 【構成】 間隔をおいて対向配置された２枚の配線基板
５の、互いに対向する部位にはそれぞれ複数個の集積回
路４が配設される。互いに対向した集積回路４の間には
チャンバー１が配置され、チャンバー１の両端面は熱伝
導性コンパウンドを介して集積回路４に面接触してい
る。チャンバー１の側壁には、チャンバー１の液体冷媒
室１ａを、隣接するチャンバー１の液体冷媒室１ａと連
通させるノズル２が設けられる。液体冷媒は、ノズル２
より液体冷媒室１ａに順次供給され、チャンバー１の両
端面に接触する集積回路４を冷却する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、集積回路の熱を、水等
の液体冷媒を利用して冷却させる、集積回路の冷却構造
に関する。
の液体冷媒を利用して冷却させる、集積回路の冷却構造
に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種の冷却構造としては、図３
に示すものが知られている。
に示すものが知られている。
【０００３】図３は、従来の、集積回路の冷却構造の一
部を破断した側面図である。図３に示すように、配線基
板１０５には複数個の集積回路１０４が並設されてお
り、各集積回路１０４には、それぞれ低融点金属からな
る伝熱体１０３を介して、内部が密封されたチャンバー
１０１が固定されている。各チャンバー１０１の上端面
には、それぞれ一端がチャンバー１０１の内部に開口す
るとともに、他端が、隣接するチャンバー１０１の内部
に延び、互いに隣接するチャンバー１０１の内部同志を
連通させるホース１０２が設けられている。水等の液体
冷媒は、各ホース１０２を介して、矢印で示すように順
次各チャンバー１０１に供給され、各チャンバー１０１
を冷却することによって各集積回路を冷却する。
部を破断した側面図である。図３に示すように、配線基
板１０５には複数個の集積回路１０４が並設されてお
り、各集積回路１０４には、それぞれ低融点金属からな
る伝熱体１０３を介して、内部が密封されたチャンバー
１０１が固定されている。各チャンバー１０１の上端面
には、それぞれ一端がチャンバー１０１の内部に開口す
るとともに、他端が、隣接するチャンバー１０１の内部
に延び、互いに隣接するチャンバー１０１の内部同志を
連通させるホース１０２が設けられている。水等の液体
冷媒は、各ホース１０２を介して、矢印で示すように順
次各チャンバー１０１に供給され、各チャンバー１０１
を冷却することによって各集積回路を冷却する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述し
た従来の冷却構造においては、各チャンバーの一端にそ
れぞれ集積回路を面接触させる構造となっているので、
集積回路の配線基板への高密度実装が困難であり、配線
基板に多数の集積回路が並設されている場合には、構造
が大型化してしまうという問題点があった。
た従来の冷却構造においては、各チャンバーの一端にそ
れぞれ集積回路を面接触させる構造となっているので、
集積回路の配線基板への高密度実装が困難であり、配線
基板に多数の集積回路が並設されている場合には、構造
が大型化してしまうという問題点があった。
【０００５】本発明の目的は、構造を大型化することな
く多数の集積回路を冷却することができる、集積回路の
冷却構造を提供することにある。
く多数の集積回路を冷却することができる、集積回路の
冷却構造を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明は、間隔をおいて互いに対向配置された２枚の配
線基板と、前記２枚の配線基板の、互いに対向する部位
にそれぞれ並設された複数個の集積回路と、前記互いに
対向する各集積回路について、それぞれの互いに対向す
る面に、熱伝導性コンパウンドを介して両端面が面接触
し、内部に液体冷媒が供給される各密封容器と、前記各
密封容器の側壁にそれぞれ設けられた、互いに隣接する
密封容器の内部同志を連通する液体冷媒流路とを有する
ことを特徴とする。
本発明は、間隔をおいて互いに対向配置された２枚の配
線基板と、前記２枚の配線基板の、互いに対向する部位
にそれぞれ並設された複数個の集積回路と、前記互いに
対向する各集積回路について、それぞれの互いに対向す
る面に、熱伝導性コンパウンドを介して両端面が面接触
し、内部に液体冷媒が供給される各密封容器と、前記各
密封容器の側壁にそれぞれ設けられた、互いに隣接する
密封容器の内部同志を連通する液体冷媒流路とを有する
ことを特徴とする。
【０００７】また、液体冷媒流路は、一端が密封容器の
内壁に開口するとともに、他端部は前記密封容器に隣接
する密封容器の内部に延び、さらに前記隣接する密封容
器の内部の両端面に向かって延びるように２つの分岐し
たノズルであるものであってもよい。
内壁に開口するとともに、他端部は前記密封容器に隣接
する密封容器の内部に延び、さらに前記隣接する密封容
器の内部の両端面に向かって延びるように２つの分岐し
たノズルであるものであってもよい。
【０００８】
【作用】液体冷媒は、液体冷媒流路より密封容器の内部
に供給され、密封容器を冷却する。このことによって、
密封容器の両端面にそれぞれ面接触する集積回路で発生
する熱は密封容器に伝達され、前記各集積回路が冷却さ
れる。密封容器の内部に供給された液体冷媒は、次の液
体冷媒流路を介して、隣接する密封容器の内部に供給さ
れ、以下同様にして順次集積回路が冷却される。
に供給され、密封容器を冷却する。このことによって、
密封容器の両端面にそれぞれ面接触する集積回路で発生
する熱は密封容器に伝達され、前記各集積回路が冷却さ
れる。密封容器の内部に供給された液体冷媒は、次の液
体冷媒流路を介して、隣接する密封容器の内部に供給さ
れ、以下同様にして順次集積回路が冷却される。
【０００９】また、各密封容器の両端面には、熱伝導性
コンパウンドを介して集積回路を面接触させることで、
配線基板への集積回路の配設（実装）時に集積回路の傾
きのばらつきが発生しても、熱伝導性コンパウンドが変
形し、互いに対向する集積回路は密封容器に確実に面接
触する。このため、集積回路で発生した熱が効率的に密
封容器に伝達される。
コンパウンドを介して集積回路を面接触させることで、
配線基板への集積回路の配設（実装）時に集積回路の傾
きのばらつきが発生しても、熱伝導性コンパウンドが変
形し、互いに対向する集積回路は密封容器に確実に面接
触する。このため、集積回路で発生した熱が効率的に密
封容器に伝達される。
【００１０】さらに、液体冷媒流路を、一端が密封容器
の内壁に開口するとともに、他端部は隣接する密封容器
の内部に延び、さらに前記隣接する密封容器の内部の両
端面に向かって延びるように２つに分岐したノズルとす
ることで、液体冷媒は密封容器の内部の両端面に直接噴
出され、集積回路の冷却効率が向上する。
の内壁に開口するとともに、他端部は隣接する密封容器
の内部に延び、さらに前記隣接する密封容器の内部の両
端面に向かって延びるように２つに分岐したノズルとす
ることで、液体冷媒は密封容器の内部の両端面に直接噴
出され、集積回路の冷却効率が向上する。
【００１１】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。
て説明する。
【００１２】図１は、本発明の、集積回路の冷却構造の
一実施例の一部を破断した斜視図であり、図２は、図１
に示した集積回路の冷却構造の断面図である。
一実施例の一部を破断した斜視図であり、図２は、図１
に示した集積回路の冷却構造の断面図である。
【００１３】図１および図２に示すように、２枚の配線
基板５は、その４隅にそれぞれ設けられた支柱６によっ
て、間隔をおいて互いに平行に配置されており、各配線
基板５の互いに対向する部位には、それぞれマトリクス
状に配列された複数個の集積回路４が配設されている。
各配線基板５にそれぞれ配設された集積回路４のうち、
互いに対向する集積回路４の間には、それぞれ内部に液
体冷媒が供給される密封容器としての円柱状のチャンバ
ー１が設けられており、各チャンバー１の両端面には、
それぞれ熱伝導性コンパウンド３を介して、互いに対向
する集積回路４が面接触している。
基板５は、その４隅にそれぞれ設けられた支柱６によっ
て、間隔をおいて互いに平行に配置されており、各配線
基板５の互いに対向する部位には、それぞれマトリクス
状に配列された複数個の集積回路４が配設されている。
各配線基板５にそれぞれ配設された集積回路４のうち、
互いに対向する集積回路４の間には、それぞれ内部に液
体冷媒が供給される密封容器としての円柱状のチャンバ
ー１が設けられており、各チャンバー１の両端面には、
それぞれ熱伝導性コンパウンド３を介して、互いに対向
する集積回路４が面接触している。
【００１４】熱伝導性コンパウンド３は、シリコーンオ
イル等の基材に、金属酸化物や窒化ホウ素等の絶縁性熱
伝導性材料をフィラーとして混入させたものであり、可
塑性に優れたものである。このように、チャンバー１の
両端面に、熱伝導性コンパウンド３を介して集積回路４
を面接触させることで、配線基板５に集積回路４を配設
（実装）したときに集積回路４の傾きのばらつきが発生
しても、熱伝導性コンパウンド３が変形することによっ
て、チャンバー１と集積回路４とは確実に面接触するの
で、集積回路４で発生した熱を効率的にチャンバー１に
伝達させることができる。
イル等の基材に、金属酸化物や窒化ホウ素等の絶縁性熱
伝導性材料をフィラーとして混入させたものであり、可
塑性に優れたものである。このように、チャンバー１の
両端面に、熱伝導性コンパウンド３を介して集積回路４
を面接触させることで、配線基板５に集積回路４を配設
（実装）したときに集積回路４の傾きのばらつきが発生
しても、熱伝導性コンパウンド３が変形することによっ
て、チャンバー１と集積回路４とは確実に面接触するの
で、集積回路４で発生した熱を効率的にチャンバー１に
伝達させることができる。
【００１５】また、各チャンバー１の側壁には、互いに
隣接するチャンバー１の内部である液体冷媒室１ａを連
通する、液体冷媒流路としてのノズル２が設けられてい
る。各ノズル２は、一端がチャンバー１の液体冷媒室１
ａに開口するとともに、他端部は隣接するチャンバー１
の側壁を貫通して隣接するチャンバー１の液体冷媒室１
ａに延び、さらにその先端部はＴ字状に２つに分岐し
て、隣接するチャンバー１の軸線方向に延びている。こ
のことにより、一端よりノズル２に供給された液体冷媒
は、ノズル２の先端部で２つに分岐され、液体冷媒室１
ａの両端面に向けて噴出される。
隣接するチャンバー１の内部である液体冷媒室１ａを連
通する、液体冷媒流路としてのノズル２が設けられてい
る。各ノズル２は、一端がチャンバー１の液体冷媒室１
ａに開口するとともに、他端部は隣接するチャンバー１
の側壁を貫通して隣接するチャンバー１の液体冷媒室１
ａに延び、さらにその先端部はＴ字状に２つに分岐し
て、隣接するチャンバー１の軸線方向に延びている。こ
のことにより、一端よりノズル２に供給された液体冷媒
は、ノズル２の先端部で２つに分岐され、液体冷媒室１
ａの両端面に向けて噴出される。
【００１６】次に、本実施例の動作について説明する。
ノズル２の一端から供給された、水やフロリナート等の
液体冷媒は、ノズル２の２つに分岐した先端より、それ
ぞれチャンバー１の液体冷媒室１ａの両端面に噴出さ
れ、チャンバー１を冷却する。このことにより、チャン
バー１の両端面に熱伝導性コンパウンド３を介して面接
触する集積回路４で発生する熱は、それぞれ熱伝導性コ
ンパウンド３を介してチャンバー１に伝達され、前記集
積回路４が冷却される。そして、液体冷媒室１ａの両端
面に噴出れた液体冷媒は、チャンバー１の側壁に開口す
る次のノズル２を介して、隣接するチャンバー１の液体
冷媒室に供給され、以下同様にして順次液体冷媒室１ａ
に噴出される。
ノズル２の一端から供給された、水やフロリナート等の
液体冷媒は、ノズル２の２つに分岐した先端より、それ
ぞれチャンバー１の液体冷媒室１ａの両端面に噴出さ
れ、チャンバー１を冷却する。このことにより、チャン
バー１の両端面に熱伝導性コンパウンド３を介して面接
触する集積回路４で発生する熱は、それぞれ熱伝導性コ
ンパウンド３を介してチャンバー１に伝達され、前記集
積回路４が冷却される。そして、液体冷媒室１ａの両端
面に噴出れた液体冷媒は、チャンバー１の側壁に開口す
る次のノズル２を介して、隣接するチャンバー１の液体
冷媒室に供給され、以下同様にして順次液体冷媒室１ａ
に噴出される。
【００１７】以上説明したように、本実施例において
は、チャンバー１の両端面に集積回路４が面接触され、
１つのチャンバー１で２つの集積回路４を冷却するの
で、従来の冷却構造に比較して、構造を大型化すること
なく２倍の集積回路を冷却することができる。また、液
体冷媒流路として、先端部が２つに分岐したノズル２を
用いることで、液体冷媒は、集積回路４が面接触してい
るチャンバー１の両端面に向かって噴出されるので、よ
り冷却効率が向上する。
は、チャンバー１の両端面に集積回路４が面接触され、
１つのチャンバー１で２つの集積回路４を冷却するの
で、従来の冷却構造に比較して、構造を大型化すること
なく２倍の集積回路を冷却することができる。また、液
体冷媒流路として、先端部が２つに分岐したノズル２を
用いることで、液体冷媒は、集積回路４が面接触してい
るチャンバー１の両端面に向かって噴出されるので、よ
り冷却効率が向上する。
【００１８】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、内部に液
体冷媒が供給される密封容器の両端面にそれぞれ集積回
路を面接触させることで、１つの密封容器で２つの集積
回路が冷却されるので、従来の冷却構造に比較して構造
を大きくすることなく２倍の数の集積回路を冷却するこ
とができるという効果を奏する。
体冷媒が供給される密封容器の両端面にそれぞれ集積回
路を面接触させることで、１つの密封容器で２つの集積
回路が冷却されるので、従来の冷却構造に比較して構造
を大きくすることなく２倍の数の集積回路を冷却するこ
とができるという効果を奏する。
【００１９】また、密封容器の両端面には、熱伝導性コ
ンパウンドを介して集積回路を面接触させることで、配
線基板への集積回路の配設（実装）時に集積回路の傾き
のばらつきが発生しても、密封容器と集積回路とは確実
に面接触するので、集積回路で発生した熱を効率的に密
封容器に伝達させることができる。
ンパウンドを介して集積回路を面接触させることで、配
線基板への集積回路の配設（実装）時に集積回路の傾き
のばらつきが発生しても、密封容器と集積回路とは確実
に面接触するので、集積回路で発生した熱を効率的に密
封容器に伝達させることができる。
【００２０】さらに、液体冷媒流路を、他端部が２つに
分岐して密封容器の両端面に向かって延びるノズルとす
ることで、液体冷媒は密封容器の両端面に向かって噴出
され、集積回路の冷却効率を向上させることができる。
分岐して密封容器の両端面に向かって延びるノズルとす
ることで、液体冷媒は密封容器の両端面に向かって噴出
され、集積回路の冷却効率を向上させることができる。
【図１】本発明の、集積回路の冷却構造の一実施例の一
部を破断した斜視図である。
部を破断した斜視図である。
【図２】図１に示した集積回路の冷却構造の断面図であ
る。
る。
【図３】従来の、集積回路の冷却構造の一部を破断した
側面図である。
側面図である。
１ チャンバー ２ ノズル ３ 熱伝導性コンパウンド ４ 集積回路 ５ 配線基板 ６ 支柱
Claims (2)
- 【請求項１】 間隔をおいて互いに対向配置された２枚
の配線基板と、 前記２枚の配線基板の、互いに対向する部位にそれぞれ
並設された複数個の集積回路と、 前記互いに対向する各集積回路について、それぞれの互
いに対向する面に、熱伝導性コンパウンドを介して両端
面が面接触し、内部に液体冷媒が供給される各密封容器
と、 前記各密封容器の側壁にそれぞれ設けられた、互いに隣
接する密封容器の内部同志を連通する液体冷媒流路とを
有することを特徴とする、集積回路の冷却構造。 - 【請求項２】 液体冷媒流路は、一端が密封容器の内壁
に開口するとともに、他端部は前記密封容器に隣接する
密封容器の内部に延び、さらに前記隣接する密封容器の
内部に両端面に向かって延びるように２つの分岐したノ
ズルである請求項１に記載の、集積回路の冷却構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32329491A JPH05160314A (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 集積回路の冷却構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32329491A JPH05160314A (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 集積回路の冷却構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05160314A true JPH05160314A (ja) | 1993-06-25 |
Family
ID=18153183
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32329491A Pending JPH05160314A (ja) | 1991-12-06 | 1991-12-06 | 集積回路の冷却構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05160314A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110828403A (zh) * | 2019-10-24 | 2020-02-21 | 上海理工大学 | 一种组合式半导体单元控温盒 |
-
1991
- 1991-12-06 JP JP32329491A patent/JPH05160314A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110828403A (zh) * | 2019-10-24 | 2020-02-21 | 上海理工大学 | 一种组合式半导体单元控温盒 |
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