JPH05151632A - Magneto-optical disk - Google Patents

Magneto-optical disk

Info

Publication number
JPH05151632A
JPH05151632A JP13842892A JP13842892A JPH05151632A JP H05151632 A JPH05151632 A JP H05151632A JP 13842892 A JP13842892 A JP 13842892A JP 13842892 A JP13842892 A JP 13842892A JP H05151632 A JPH05151632 A JP H05151632A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
magneto
protective layer
filler
optical disk
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP13842892A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Kyoda
豪 京田
Toshiyuki Shibata
俊幸 柴田
Hisao Arimune
久雄 有宗
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kyocera Corp filed Critical Kyocera Corp
Priority to JP13842892A priority Critical patent/JPH05151632A/en
Publication of JPH05151632A publication Critical patent/JPH05151632A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Abstract

PURPOSE:To decrease the vacuum-suction and the friction coefft. of a flying head by forming a protective layer whose surface is roughened by a simple process without using a stamper. CONSTITUTION:In a magneto-optical disk A-1 which is successively laminated with an optical recording layer 2a and a protective layer 3a on a main surface of a substrate 1, the protective layer 3a forms a two-layer structure which is successively laminated with layers incorporating fillers in an insulator layer, and also the surface roughness of the protective layer 3a is 1-100nm Ra in the central line mean roughness. Thus floating characteristics of a flying head are improved. Also the corrosion of the optical recording layer 2a is prevented, and further the sticking of the flying head is prevented.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、基板の一主面上に光記
録層と保護層とを順次積層させた光磁気ディスクに関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magneto-optical disk in which an optical recording layer and a protective layer are sequentially laminated on one main surface of a substrate.

【0002】[0002]

【従来の技術とその問題点】現在、光磁気ディスクは民
生用途では音楽用、画像用として広く普及されており、
さらにデータ用のものとして例えばWO型光磁気ディス
クがコンピュータや情報処理装置の外部記憶装置等に利
用され始めている。また、何度でも読み書きが可能なR
W型光磁気ディスクも開発されつつある。これらは基板
上に光記録層と保護層とを順次積層したものが一般的に
使用される。
2. Description of the Related Art At present, magneto-optical discs are widely used for music and images for consumer use.
Further, for example, a WO type magneto-optical disk has begun to be used as an external storage device of a computer or an information processing device for data. In addition, you can read and write as many times as you like
W-type magneto-optical disks are also being developed. These are generally used by sequentially stacking an optical recording layer and a protective layer on a substrate.

【0003】最近、光磁気ディスクの保護層に平均粒径
0.7 μm のアルミナ粒子とステアリン酸系の潤滑剤とを
添加するものが報告されている(1990〜年3 月、第37回
応用物理学会関係連合講演会予稿集の923 頁( 講演番号
29a- G-9) 等参照)。また、表面をフロスト化したス
タンパーを用いて樹脂を光記録層上にパターン転写し、
表面を粗面状態にした保護層を転写形成する報告もなさ
れている(前記予稿集の922 頁( 講演番号29a- G-8)
等参照)。
Recently, the average particle size of the protective layer of a magneto-optical disk is
It has been reported that 0.7 μm of alumina particles and a stearic acid-based lubricant are added (Page 923 (Presentation number of 37th Joint Symposium on Applied Physics)
29a-G-9) etc.). Also, using a stamper with a frosted surface, transfer the pattern of the resin onto the optical recording layer,
It has also been reported that a protective layer having a roughened surface is formed by transfer (page 922 of the aforementioned proceedings (lecture number 29a-G-8)).
Etc.).

【0004】上記両報告は、いわゆる磁界変調記録方式
の光磁気ディスクに関し、特に情報の記録を行うフライ
ングヘッドとの摩擦による保護層の磨耗や剥離の問題を
解決するために提案されたものである。なおここで、保
護層にアルミナを添加する理由は、保護層の強度を増し
てその磨耗や剥離を防止するためである。また、スタン
パーで保護層表面を粗面化するのは、フライングヘッド
の保護層への貼り付きを防止し、フライングヘッドが光
磁気ディスクから滑らかに浮上できるようにするためで
ある。
Both of the above reports relate to a so-called magnetic field modulation recording type magneto-optical disk, and have been proposed in particular to solve the problems of abrasion and peeling of the protective layer due to friction with a flying head for recording information. .. The reason for adding alumina to the protective layer is to increase the strength of the protective layer and prevent its abrasion and peeling. Further, the reason why the surface of the protective layer is roughened by the stamper is to prevent the flying head from sticking to the protective layer and enable the flying head to fly smoothly from the magneto-optical disk.

【0005】しかしながら、保護層にアルミナを添加す
るだけでは、ヘッドとの摩擦係数は変わらないので、潤
滑剤を添加することが考えられるが、このようにすれば
保護層の硬度が低下したり、信頼性が低下するという問
題が生じる。また、スタンパーによる保護層の転写では
スタンパーの作製と樹脂の転写とが複雑化し生産工程が
著しく煩雑となるなど問題である。
However, the addition of alumina to the protective layer does not change the coefficient of friction with the head, so it is conceivable to add a lubricant, but if this is done, the hardness of the protective layer will decrease, There is a problem that reliability is lowered. In addition, the transfer of the protective layer by the stamper has a problem that the production of the stamper and the transfer of the resin are complicated and the production process is significantly complicated.

【0006】[0006]

【発明の目的】この発明は、上記スタンパー等の使用を
不要とし、簡単な工程で表面を粗面化した保護層を形成
することができ、さらにフライングヘッドの真空吸着と
摩擦係数とを減少させる光磁気ディスクを提供すること
を目的とする。
An object of the present invention is to eliminate the use of the stamper or the like, to form a roughened protective layer in a simple process, and further to reduce the vacuum adsorption and friction coefficient of the flying head. It is an object to provide a magneto-optical disk.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明の光磁気ディスク
は、基板の一主面上に光記録層と保護層とを順次積層し
た光磁気ディスクにおいて、前記保護層は絶縁体層にフ
ィラーを含有した層(フィラー含有層)を順次積層させ
た2層構造を成し、かつ該保護層の表面粗さが中心線平
均粗さで1 〜100nmRa であることを特徴とする。
The magneto-optical disk of the present invention is a magneto-optical disk in which an optical recording layer and a protective layer are sequentially laminated on one main surface of a substrate, wherein the protective layer comprises an insulating layer and a filler. It is characterized in that it has a two-layer structure in which the contained layers (filler-containing layers) are sequentially laminated, and the surface roughness of the protective layer is 1 to 100 nmRa in terms of center line average roughness.

【0008】なお、ここで光記録層とは少なくとも光磁
気記録層を含む多層構造をなす層をいう。また、絶縁体
層には電気的絶縁性を有する材料を用いればよく、例え
ば樹脂層や無機質誘電体層などを用いることができ、1
種の層もしくは2 種以上の多重構成の層で使用される。
Here, the optical recording layer means a layer having a multilayer structure including at least a magneto-optical recording layer. A material having electrical insulation may be used for the insulating layer, and for example, a resin layer or an inorganic dielectric layer can be used.
Used in seed layers or layers of more than one species.

【0009】[0009]

【作用】通常、フィラーが光記録層に接すると、フィラ
ーと光記録層との酸化還元反応により、光記録層の酸化
による腐食が発生し、さらに、フィラーが導電性であれ
ば、その導電性により酸化がいっそう促進される。
In general, when the filler is in contact with the optical recording layer, the redox reaction between the filler and the optical recording layer causes corrosion due to the oxidation of the optical recording layer. Further accelerates the oxidation.

【0010】ところが、本発明の光磁気ディスクによれ
ば、保護層の上部層であるフィラー含有層と光記録層と
の間に絶縁体層を介在させるので、光記録層の腐食を極
力防止することができる。しかもフィラー含有層に導電
性を付与すると帯電防止も行える。
However, according to the magneto-optical disk of the present invention, since the insulating layer is interposed between the filler-containing layer which is the upper layer of the protective layer and the optical recording layer, corrosion of the optical recording layer is prevented as much as possible. be able to. Moreover, if the filler-containing layer is made electrically conductive, it can also be prevented from charging.

【0011】さらに、保護層の表面を適度に粗面化すれ
ば、フライングヘッドの貼り付きを極力防止し良好な浮
上を実現させることができる。すなわち、保護層表面の
中心線平均粗さが1 nmRa未満ではフライングヘッドのデ
ィスクとの静止摩擦係数が大きく、フライングヘッドの
真空吸着が発生するためにフライングヘッドの浮上着地
時にディスクの保護層を傷つけ、信頼性が低下し、表面
粗さが100 nmRaより大きいとディスクが所定の回転数で
もフライングヘッドが浮上せず、ディスクの保護層を傷
つけ信頼性が低下するため、1 〜100nmRa の範囲内にあ
ることが最適であることが判明した。
Further, by appropriately roughening the surface of the protective layer, sticking of the flying head can be prevented as much as possible and good flying can be realized. That is, when the center line average roughness of the protective layer surface is less than 1 nmRa, the coefficient of static friction with the flying head disk is large, and the vacuum adsorption of the flying head occurs, which damages the protective layer of the disk when the flying head floats and lands. However, if the surface roughness is higher than 100 nmRa, the flying head will not fly even if the disk rotates at a specified speed, and the protective layer of the disk will be damaged, reducing reliability. It turned out to be optimal.

【0012】また、絶縁体層を介在させることは、上記
フィラー含有層のフィラーの存在する位置で、ディスク
の読出し面側に複屈折異常が発生することが防止でき
る。すなわち、フィラーを含有した樹脂が硬化する際に
樹脂のみが収縮するため、このときフィラーが基板に外
力を与えることがあるが、絶縁層の介在はこれを回避さ
せることができる。なお、フィラー含有層の下部層は樹
脂層とすることで緩衝の効果を期待することができ、こ
の膜厚は本発明者らの研究により約2 μm 以上が望まし
いことが判明した。
The interposition of the insulating layer can prevent the occurrence of birefringence abnormality on the read surface side of the disk at the position where the filler of the filler-containing layer is present. That is, since only the resin shrinks when the resin containing the filler is cured, the filler may exert an external force on the substrate at this time, but the interposition of the insulating layer can avoid this. It should be noted that the lower layer of the filler-containing layer can be expected to have a buffering effect by forming it as a resin layer, and it has been found by research by the present inventors that this thickness is preferably about 2 μm or more.

【0013】また、貼り合わせ型の光磁気ディスクに本
発明を適用する場合には、貼り合わせに用いるホットメ
ルト接着剤と保護層との馴染みを改善し、貼り合わせの
信頼性を向上させることができる。
Further, when the present invention is applied to a laminated magneto-optical disk, it is possible to improve the familiarity between the hot melt adhesive used for bonding and the protective layer and improve the reliability of the bonding. it can.

【0014】[0014]

【実施例】本発明に係る一実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図1に示す光磁気ディスクA-1 は、ポリカ
ーボネート等の樹脂から成る基板1( 厚み1.2 mm) の一
主面上に、光記録層2aをスパッタリングで形成し、さ
らにスピンコーティングにより保護層3aを形成したも
のである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment according to the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In the magneto-optical disk A-1 shown in FIG. 1, an optical recording layer 2a is formed on a main surface of a substrate 1 (having a thickness of 1.2 mm) made of a resin such as polycarbonate by sputtering, and a protective layer 3a is further formed by spin coating. It was formed.

【0015】ここで、光記録層2aは、非晶質イットリ
ウムサイアロンの第1誘電体層(約100 nm厚) 、非晶質
Gd-Dy-Fe系の光磁気記録層( 約20nm厚) 、非晶質イット
リウムサイアロンの第2誘電体層( 約30nm厚) 、及び金
属アルミニウムの反射層( 約100 nm厚) を順次積層した
ものである。なお、第1及び第2誘電体層の材質として
は他に窒化シリコン、窒化アルミニウム、炭化シリコ
ン、硫化カドミウム、窒化チタン、硫化亜鉛、フッ化マ
グネシウム、酸化カドミウム、酸化ビスマスなどが単体
あるいは組合せて用いることができる。また、反射層の
材質としては、他にCr,Ti,Cu,Ag,SUS などが単体あるい
は組合わせて用いることができる。また、特に光磁気記
録層の材料としてはGd-Dy-Fe系の他に例えばGd-Dy-Fe,G
d-Tb-Fe,Tb-Fe-Co,Dy-Fe-Co,Gd-Tb-Dy-Fe,Gd-Tb-Fe-Co,
Tb-Dy-Fe-Co,Gd-Dy-Fe-Co,Nd-Gd-Dy-Fe,Nd-Dy-Fe-Co,Nd
-Gd-Dy-Fe-Co系など多種多様の合金系が用いらることが
できる。
Here, the optical recording layer 2a is composed of a first dielectric layer of amorphous yttrium sialon (thickness of about 100 nm), amorphous.
A Gd-Dy-Fe-based magneto-optical recording layer (about 20 nm thick), a second dielectric layer of amorphous yttrium sialon (about 30 nm thick), and a reflective layer of metallic aluminum (about 100 nm thick) were sequentially laminated. It is a thing. Other materials used for the first and second dielectric layers include silicon nitride, aluminum nitride, silicon carbide, cadmium sulfide, titanium nitride, zinc sulfide, magnesium fluoride, cadmium oxide, and bismuth oxide, either alone or in combination. be able to. As the material of the reflective layer, Cr, Ti, Cu, Ag, SUS, etc. can be used alone or in combination. Further, especially as the material of the magneto-optical recording layer, in addition to Gd-Dy-Fe system, for example, Gd-Dy-Fe, G
d-Tb-Fe, Tb-Fe-Co, Dy-Fe-Co, Gd-Tb-Dy-Fe, Gd-Tb-Fe-Co,
Tb-Dy-Fe-Co, Gd-Dy-Fe-Co, Nd-Gd-Dy-Fe, Nd-Dy-Fe-Co, Nd
A wide variety of alloy systems such as -Gd-Dy-Fe-Co system can be used.

【0016】また、保護層3aは下部層の絶縁体層4と
上部層のフィラー含有層5とから成り、絶縁体層4はウ
レタンアクリレート系の紫外線硬化型樹脂(大日本イン
キ(株)製;商品名SD-301)を約10μm 厚に塗布形成し
たものである。ここで、絶縁体層4の材料としては、電
気的な絶縁性を有するものであれば足り、上記材料の他
に例えば樹脂としてはアクリル系、エポキシ系、ポリエ
ステル系、アクリル酸エステル系、ウレタンアクリル
系、ポリエーテル系、シリコン系等の紫外線硬化型、熱
硬化型、嫌気性硬化型、湿気性硬化型などが使用可能で
ある。また、無機材質としては窒化シリコン、窒化アル
ミニウム、炭化シリコン、硫化カドミウム、窒化チタ
ン、硫化亜鉛、フッ化マグネシウム、酸化カドミウム、
酸化ビスマスなどの誘電体材料を1種もしくは2種以上
の混合物として使用可能であり、これら混合物を多層構
成にしてもよい。なお、フライングヘッドと光記録層2
aとの距離が実際上25μm 程度以下であることから、絶
縁体層4の膜厚は樹脂などの有機質材料では信頼性を得
るために2 〜24μm 、好ましくは4 〜15μm が最適とな
る。また、無機質材料では膜厚が0.05μm よりも薄いと
信頼性が得られず、0.5μm より厚いとディスクの反り
を大きくするので、0.05〜0.5 μm とする。
The protective layer 3a comprises an insulating layer 4 as a lower layer and a filler-containing layer 5 as an upper layer. The insulating layer 4 is a urethane acrylate-based UV curable resin (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals; The product name SD-301) is applied and formed to a thickness of about 10 μm. Here, as the material of the insulator layer 4, any material having electrical insulation may be used, and in addition to the above materials, examples of the resin include acrylic resin, epoxy resin, polyester resin, acrylic ester resin, and urethane acryl. A UV-curable type, a thermosetting type, an anaerobic-curing type, a moisture-curing type such as a system, a polyether type, or a silicon type can be used. Further, as the inorganic material, silicon nitride, aluminum nitride, silicon carbide, cadmium sulfide, titanium nitride, zinc sulfide, magnesium fluoride, cadmium oxide,
Dielectric materials such as bismuth oxide can be used as one kind or as a mixture of two or more kinds, and these mixtures may have a multilayer structure. The flying head and the optical recording layer 2
Since the distance from a is actually about 25 μm or less, the thickness of the insulator layer 4 is optimally 2 to 24 μm, preferably 4 to 15 μm for reliability in organic materials such as resin. If the thickness of the inorganic material is less than 0.05 μm, reliability cannot be obtained. If the thickness is more than 0.5 μm, the warp of the disk is increased, so the thickness is set to 0.05 to 0.5 μm.

【0017】一方、フィラー含有層5は、アクリル酸エ
ステル系の紫外線硬化型樹脂( 大日本インキ(株)製;
商品名SD-17 )に、平均粒径約0.15μm のSb添加SnO 2
のフィラーを厚さ約0.15μm に塗布形成したものであ
る。ここで、フィラー6はSb添加のSnO 2 系などを用い
ているが、特に導電性でなくても良く、SiO 2 ,Al 2 O
3 ,Si 3 N 4 ,SiC,CdS,ZnS,SiO等の絶縁性セラミックを
用いてもよい。また、導電性のあるセラミック等でもよ
く、例えばITO( SnO2 添加のIn2 O 3 ),Sb2 O 3 ,Ir
O2 ,MoO2 ,NbO2 ,PtO2 ,RuO2 ,WO 2 等の酸化物、MoC,N
bC,TaC,TiC,WC等の炭化物、NbN,Ta2 N,TiN,ZrN,VN等の
窒化物等であれば、帯電防止も行え、単独または上記の
絶縁性フィラーと混合しても良い。
On the other hand, the filler-containing layer 5 is composed of an acrylic acid ester type ultraviolet curable resin (manufactured by Dainippon Ink and Chemicals;
SnO 2 with an average particle size of about 0.15 μm added to the product name SD-17)
It is formed by coating the above-mentioned filler to a thickness of about 0.15 μm. Here, the filler 6 is made of Sb-added SnO 2 system or the like, but it does not have to be electrically conductive and may be SiO 2 or Al 2 O.
Insulating ceramics such as 3 , Si 3 N 4 , SiC, CdS, ZnS, and SiO may be used. Further, it may be a conductive ceramic or the like, for example, ITO (In 2 O 3 with SnO 2 added), Sb 2 O 3 , Ir
O 2, MoO 2, NbO 2 , PtO 2, RuO 2, WO oxides such as 2, MoC, N
Carbides such as bC, TaC, TiC, and WC, and nitrides such as NbN, Ta 2 N, TiN, ZrN, and VN can also be antistatic, and may be used alone or in combination with the above-mentioned insulating filler.

【0018】また、図2に示す光磁気ディスクB-1 は、
光磁気ディスクA-1 と同様な材質の基板1の一主面上
に、非晶質イットリウムサイアロンの第1誘電体層(約
75nm厚) 、非晶質Gd-Dy-Fe系の光磁気記録層( 約100nm
厚) を順次スパッタリングして積層形成した光記録層2
bを設け、さらにこの上に保護層3bを設けたものであ
り、保護層3bの下部層として非晶質イットリウムサイ
アロンの絶縁体層7をスパッタリングで形成し、上部層
は光磁気ディスクA-1 と同様にしてフィラー含有層5を
形成したものである。
The magneto-optical disk B-1 shown in FIG.
On the main surface of the substrate 1 made of the same material as the magneto-optical disk A-1, the first dielectric layer of amorphous yttrium sialon (about
75 nm thick), amorphous Gd-Dy-Fe-based magneto-optical recording layer (about 100 nm
Optical recording layer 2 formed by sequentially sputtering (thickness)
b, and a protective layer 3b is further provided thereon. An amorphous yttrium sialon insulator layer 7 is formed by sputtering as the lower layer of the protective layer 3b, and the upper layer is the magneto-optical disk A-1. The filler-containing layer 5 is formed in the same manner as in.

【0019】また、図3に示す光磁気ディスクC-1 は比
較例であって、光磁気ディスクA-1における保護層3a
の代わりに上部層のフィラー含有層5のみを設けて保護
層3cとしたものである。
The magneto-optical disk C-1 shown in FIG. 3 is a comparative example, and the protective layer 3a in the magneto-optical disk A-1 is used.
Instead of the above, only the filler-containing layer 5 as the upper layer is provided to form the protective layer 3c.

【0020】次に、これら光磁気ディスクA-1,B-1,C-1
を常温常湿の環境下から80℃,90 %RHの環境中に約1000
時間投入して、投入前後の記録ビットの誤り率(ビット
エラーレイト; 以下BER と略す)を測定した結果を表1
に示す。
Next, these magneto-optical disks A-1, B-1, C-1
Approximately 1000 at normal temperature and humidity and 80 ℃, 90% RH
Table 1 shows the results of measuring the error rate (bit error rate; hereinafter abbreviated as BER) of the recording bit before and after inputting the time.
Shown in.

【0021】[0021]

【表1】 [Table 1]

【0022】表1から明らかなように、光磁気ディスク
C-1 では腐食が発生したため、BERが悪化したが、試料A
-1,B-1 では腐食は全く発生せず、環境試験の投入前後
でのBER の変化は見られなかった。このように、下部層
に絶縁体層があることによって光記録層の腐食が防止さ
れた。
As is clear from Table 1, the magneto-optical disk
Corrosion occurred in C-1 and the BER deteriorated.
No corrosion occurred at -1, B-1 and no change in BER was observed before and after the environmental test. Thus, the presence of the insulating layer in the lower layer prevented corrosion of the optical recording layer.

【0023】さらに、これら試料の読出し面側を光学顕
微鏡で観察したところ、表2に示すように、下部層が無
いC-1 では読出し面側に複屈折異常が発生し、下部層が
無機質であるB-1 でも読出し面側に軽微であるが複屈折
異常が発生していた。一方、下部層が樹脂であるA-1 に
おいては下部樹脂層の膜厚が 2μm 以上であれば、複屈
折異常が全く認められないことが判明した。
Further, when the reading surface side of these samples was observed with an optical microscope, as shown in Table 2, in C-1 without the lower layer, birefringence abnormality occurred on the reading surface side, and the lower layer was an inorganic material. Even B-1 had a slight birefringence anomaly on the reading surface side. On the other hand, it was found that in A-1 in which the lower layer is resin, no birefringence abnormality was observed when the thickness of the lower resin layer was 2 μm or more.

【0024】[0024]

【表2】 [Table 2]

【0025】次に、試料A-1,B-1,及び試料A-1 と同様に
してフィラー含有層5の膜厚とフィラー6の平均粒径と
を変えて塗布形成したA-2 〜A-9 について最適な表面粗
さを求めた結果を表3に示す。
Next, in the same manner as in Samples A-1, B-1, and Sample A-1, coating thicknesses of the filler-containing layer 5 and the average particle diameter of the filler 6 were changed to form A-2 to A. Table 3 shows the results of obtaining the optimum surface roughness for -9.

【0026】[0026]

【表3】 [Table 3]

【0027】ここで、フィラー含有層5の樹脂中のフィ
ラー6の含有量は約6wt%である。また、試料A-6 はフ
ィラー6にさらに平均粒径0.65μm のSiO 2 フィラーを
約6wt%加えたものであり、試料A-9 は上部層にフィラ
ーを全く含まないものである。なお、表面粗さは触針式
の表面粗さ計で測定した。また、摩擦測定器でフライン
グヘッドに対する保護層の表面の動摩擦係数と静止摩擦
係数とを測定し、フライングヘッド浮上時のディスク回
転数は同じ摩擦測定器を用いて、ヘッド音のしない時の
ディスク回転数を測定した。フライングヘッドにはMn-Z
n フェライト系のフライングヘッドを用いた。表面粗さ
は光磁気ディスクの直径方向に沿った中心線平均粗さ
(Ra,測定長さ=0.2 mm)の平均値を表し、フィラー6
の径はフィラーの平均粒径を示す。
Here, the content of the filler 6 in the resin of the filler-containing layer 5 is about 6 wt%. Further, Sample A-6 is the one in which about 6 wt% of SiO 2 filler having an average particle size of 0.65 μm is further added to Filler 6, and Sample A-9 has no filler in the upper layer. The surface roughness was measured with a stylus type surface roughness meter. Also, measure the coefficient of dynamic friction and the coefficient of static friction of the surface of the protective layer against the flying head with a friction measuring device, and use the same friction measuring device to measure the disk rotation speed when the flying head floats. The number was measured. Mn-Z for flying head
n Ferrite flying head was used. The surface roughness represents the average value of the centerline average roughness (Ra, measurement length = 0.2 mm) along the diameter direction of the magneto-optical disk, and the filler 6
Indicates the average particle size of the filler.

【0028】上記いずれの試料でもフィラー6を添加す
ると無添加の試料A-9 より表面粗さが増加し、摩擦係数
が減少する。試料A-1 〜A-5 は適当な表面粗さを1 〜10
0nmRa を有するために、ディスク回転数1800rpm 以下で
フライングヘッドのクラッシュがなくなり良好な結果が
得られた。また、試料B-1 では下部層が無機質膜でも試
料A-1 と同等の特性が得られ、試料A-6 では絶縁性のフ
ィラーを加えても同様な特性が得られた。
In all of the above samples, when the filler 6 is added, the surface roughness is increased and the coefficient of friction is decreased as compared with the sample A-9 which is not added. Samples A-1 to A-5 have an appropriate surface roughness of 1 to 10
Since it has 0 nmRa, the flying head crashes at a disk rotation speed of 1800 rpm or less and good results are obtained. Further, in Sample B-1, even when the lower layer was an inorganic film, the same characteristics as in Sample A-1 were obtained, and in Sample A-6, similar characteristics were obtained even when an insulating filler was added.

【0029】一方、試料A-8 では表面粗さが大きいた
め、フライングヘッドが浮上しきれず、ディスク回転数
が1800rpm を越えてもクラッシュが発生した。以上のこ
とから、このようなクラッシュを防止する表面粗さは1
〜100 nmRaが良く、好適には1〜80nmRaが良いことが判
明した。
On the other hand, since the surface roughness of sample A-8 was large, the flying head could not be fully floated up, and a crash occurred even when the disk rotation speed exceeded 1800 rpm. From the above, the surface roughness to prevent such a crash is 1
It was found that ~ 100 nmRa is good, and preferably 1-80 nmRa.

【0030】次に、フィラー6の平均粒径を約0.65μm
、塗布厚を約0.6 μm 程度として保護層の上部層中の
フィラーの濃度の最適値を求めた結果を表4に示す。
Next, the average particle size of the filler 6 is about 0.65 μm.
Table 4 shows the result of obtaining the optimum value of the concentration of the filler in the upper layer of the protective layer with the coating thickness being about 0.6 μm.

【0031】[0031]

【表4】 [Table 4]

【0032】表4から明らかなように、フィラーの濃度
が3 wt%以下では急激に表面粗さが低下し1 nmRa未満と
なるので問題であり、またフィラーの濃度が40wt%を越
えると粘性が高すぎスピンコートが不能となることが判
明した。そして、塗布厚を一定に保ちながら、しかも適
度な表面粗さを維持するためのフィラー6の好ましい濃
度は3 〜40wt%であり、より好ましくは3 〜30wt%であ
ることが判明した。
As is clear from Table 4, when the concentration of the filler is 3 wt% or less, the surface roughness sharply decreases and becomes less than 1 nmRa, which is a problem, and when the concentration of the filler exceeds 40 wt%, the viscosity becomes large. It was found that the spin coat was too high to be possible. Then, it was found that the preferable concentration of the filler 6 is 3 to 40 wt%, and more preferably 3 to 30 wt% for keeping the coating thickness constant and maintaining an appropriate surface roughness.

【0033】なお、上述した実施例の保護層表面におけ
る粗面化は、磁界変調記録方式の光磁気ディスクに限る
ものではなく、例えば光変調方式のいわゆる貼り合わせ
型光磁気ディスクにおいて、貼り合わせに用いるホット
メルト等の接着剤と保護層との馴染みを改善し、貼り合
わせ強度を改善させることも可能であり、本発明の要旨
を逸脱しない範囲内で適宜変更し実施可能である。
The surface roughening on the surface of the protective layer in the above-described embodiment is not limited to the magneto-optical disk of the magnetic field modulation recording system, and for example, in the so-called bonded magneto-optical disk of the optical modulation system, the bonding is performed. It is also possible to improve the familiarity between the adhesive agent such as hot melt used and the protective layer, and to improve the bonding strength, and it is possible to carry out appropriate modification within the scope not departing from the gist of the present invention.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上述べたように、本発明の光磁気ディ
スクによれば、保護層は絶縁体層にフィラー含有の層を
順次積層させた2層構造を成し、かつ該保護層の表面粗
さが中心線平均粗さで1 〜100nmRa であることを特徴と
するので、スタンパーを用いずにスピンコート法等によ
る簡便な方法で粗面化した保護層を形成できる。また、
保護層表面を適度に粗面化すればフライングヘッドの貼
り付きを極力防止し、さらに、保護層に導電性を持たせ
ることにより、埃等の付着を防止するとともに、帯電の
防止により、さらにフライングヘッドの吸着を防止で
き、フライングヘッドの良好な浮上作動を実現させるこ
とが可能となる。
As described above, according to the magneto-optical disk of the present invention, the protective layer has a two-layer structure in which the insulating layer and the layer containing the filler are sequentially laminated, and the surface of the protective layer is formed. Since the centerline average roughness is 1 to 100 nmRa, the roughened protective layer can be formed by a simple method such as spin coating without using a stamper. Also,
By appropriately roughening the surface of the protective layer, sticking of the flying head is prevented as much as possible, and by making the protective layer conductive, dust and other substances are prevented from adhering, and by preventing static electricity, flying It is possible to prevent the head from adsorbing and realize a good flying operation of the flying head.

【0035】また、下部層を樹脂層とすることで上部層
に対する緩衝効果を持たせることができ、さらに下部層
の膜厚を2 μm 以上とすることで、複屈折異常を極力防
止することができ信頼性の高い光磁気ディスクを提供で
きる。
Further, by using a resin layer as the lower layer, a buffering effect on the upper layer can be provided, and by setting the thickness of the lower layer to 2 μm or more, birefringence abnormality can be prevented as much as possible. It is possible to provide a highly reliable magneto-optical disk.

【0036】また、貼り合わせ型の光磁気ディスクに本
発明を適用する場合には、貼り合わせ用のホットメルト
等の接着剤と保護層との馴染みを改善し、貼り合わせの
信頼性を向上させることができる。
Further, when the present invention is applied to a laminated type magneto-optical disk, the familiarity between the adhesive such as hot melt for laminating and the protective layer is improved, and the reliability of the laminating is improved. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る一実施例の光磁気ディスクA-1 の
一部断面図である。
FIG. 1 is a partial sectional view of a magneto-optical disk A-1 according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明に係る一実施例の光磁気ディスクB-1 の
一部断面図である。
FIG. 2 is a partial cross-sectional view of a magneto-optical disk B-1 according to an embodiment of the present invention.

【図3】比較例の光磁気ディスクC-1 の一部断面図であ
る。
FIG. 3 is a partial cross-sectional view of a magneto-optical disk C-1 of a comparative example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ・・・ 基板 2a,2b ・・
・ 光記録層 3a,3b,3c ・・・ 保護層 4,7 ・・
・ 絶縁体層 5 ・・・ フィラー含有層 6 ・・・ フィラー A-1,B-1,C-1 ・・・ 光磁気ディスク
1 ... Substrate 2a, 2b ...
.Optical recording layers 3a, 3b, 3c ... Protective layers 4, 7 ...
・ Insulator layer 5 ・ ・ ・ Filler-containing layer 6 ・ ・ ・ Filler A-1, B-1, C-1 ・ ・ ・ Magneto-optical disk

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板の一主面上に光記録層と保護層とを
順次積層した光磁気ディスクにおいて、前記保護層は絶
縁体層とフィラーを含有した層とを順次積層させた2層
構造を成し、かつ該保護層の表面粗さが中心線平均粗さ
で1 〜100nmRa であることを特徴とする光磁気ディス
ク。
1. A magneto-optical disk in which an optical recording layer and a protective layer are sequentially laminated on one main surface of a substrate, wherein the protective layer has a two-layer structure in which an insulating layer and a layer containing a filler are sequentially laminated. And a surface roughness of the protective layer as a centerline average roughness of 1 to 100 nmRa.
【請求項2】 前記絶縁体層とフィラーを含有した層と
から成る保護層は、下部樹脂層とフィラーを含有した上
部樹脂層とで形成されていることを特徴とする請求項1
に記載の光磁気ディスク。
2. The protective layer comprising the insulator layer and a layer containing a filler is formed of a lower resin layer and an upper resin layer containing a filler.
The magneto-optical disk described in.
【請求項3】 前記下部樹脂層は2 μm 以上の厚さを有
することを特徴とする請求項2に記載の光磁気ディス
ク。
3. The magneto-optical disk according to claim 2, wherein the lower resin layer has a thickness of 2 μm or more.
JP13842892A 1991-06-27 1992-05-29 Magneto-optical disk Pending JPH05151632A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP13842892A JPH05151632A (en) 1991-06-27 1992-05-29 Magneto-optical disk

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP15721591 1991-06-27
JP3-157215 1991-06-27
JP13842892A JPH05151632A (en) 1991-06-27 1992-05-29 Magneto-optical disk

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH05151632A true JPH05151632A (en) 1993-06-18

Family

ID=26471455

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP13842892A Pending JPH05151632A (en) 1991-06-27 1992-05-29 Magneto-optical disk

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH05151632A (en)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5805380A (en) Overcoat magnetic head slider having overcoat and magnetic disk device
EP0240088A2 (en) A structure for use in magnetic induction recording and method of forming a magnetic storage device
US4808463A (en) Substrate for magnetic disks
US6245417B1 (en) Magnetic recording medium comprising multilayered carbon-containing protective overcoats
US5981017A (en) Magnetic disk having a heat sink layer above the substrate and method of making
JPH05151632A (en) Magneto-optical disk
WO2004008450A1 (en) Protective overcoatings
US6670032B2 (en) Oriented magnetic medium on a nonmetallic substrate
JPH04251448A (en) Optical disk
JP3244068B2 (en) Magnetic head and its production
US20110058279A1 (en) Overcoat having a low silicon/carbon ratio
JP3450178B2 (en) Method of manufacturing substrate for thin film magnetic head
JPH0589523A (en) Optical disk
JP2882656B2 (en) optical disk
JP2789101B2 (en) optical disk
JP2001176059A (en) Magnetic recording medium
JP2851719B2 (en) Magnetic head for magnetic field modulation overwrite
JP2974555B2 (en) Magneto-optical recording medium
JPH01500626A (en) magnetic information storage medium
JPH1049850A (en) Magnetic disc recording apparatus
JPH0714336A (en) Magnetic recorder
JPH05242538A (en) Production of magneto-optical recording medium
JP2770806B2 (en) Magnetic recording media
JPH0652585A (en) Magneto-optic disk
JPH07182628A (en) Magnetic head, magnetic memory, and magnetic disc memory