JPH05149890A - 表面検査装置 - Google Patents
表面検査装置Info
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- JPH05149890A JPH05149890A JP3316863A JP31686391A JPH05149890A JP H05149890 A JPH05149890 A JP H05149890A JP 3316863 A JP3316863 A JP 3316863A JP 31686391 A JP31686391 A JP 31686391A JP H05149890 A JPH05149890 A JP H05149890A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、目視検査エリアと検出画像エリア
とを一致させ正確且つ容易に判別アルゴリズム作成のた
めの学習訓練を行うことを目的とする。 【構成】 帯状物１の走行速度に同期した信号を発信す
る同期信号発信器２と、同期信号発信器２の発信信号と
画像検出装置３の検出信号から一定の検出画像エリア８
ｃを切出し記憶する画像認識処理装置４と、画像認識処
理装置４で切出された検出画像エリア８ｃを走行中の帯
状物１表面に一定距離トラッキング表示するライトポイ
ンタ６ｆと、ライトポインタ６ｆで表示された検出画像
エリア８ｃについて目視検査員６ａの判定結果を入力す
る目視判定入力装置６ｂとを有することを特徴とする。
とを一致させ正確且つ容易に判別アルゴリズム作成のた
めの学習訓練を行うことを目的とする。 【構成】 帯状物１の走行速度に同期した信号を発信す
る同期信号発信器２と、同期信号発信器２の発信信号と
画像検出装置３の検出信号から一定の検出画像エリア８
ｃを切出し記憶する画像認識処理装置４と、画像認識処
理装置４で切出された検出画像エリア８ｃを走行中の帯
状物１表面に一定距離トラッキング表示するライトポイ
ンタ６ｆと、ライトポインタ６ｆで表示された検出画像
エリア８ｃについて目視検査員６ａの判定結果を入力す
る目視判定入力装置６ｂとを有することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、疵種や疵等級の判定機
能をもつ表面検査装置に関し、特に判別アルゴリズム設
計のためのオンラインにおける訓練方法において、対象
とする目視検査エリアと装置の検出画像エリアを正しく
一致させ目視判定入力を正確且つ容易に入力する技術に
関するものである。
能をもつ表面検査装置に関し、特に判別アルゴリズム設
計のためのオンラインにおける訓練方法において、対象
とする目視検査エリアと装置の検出画像エリアを正しく
一致させ目視判定入力を正確且つ容易に入力する技術に
関するものである。
【０００２】
【従来の技術】走行中の帯状物（以下、走行シートとも
いう）表面の疵（欠陥）種や疵等級の判定機能を持つ表
面検査装置では、教師信号である検査員の目視判定信号
と装置の検出欠陥画像の特徴量とから欠陥の程度及び種
類の最適判別アルゴリズムが作成される。
いう）表面の疵（欠陥）種や疵等級の判定機能を持つ表
面検査装置では、教師信号である検査員の目視判定信号
と装置の検出欠陥画像の特徴量とから欠陥の程度及び種
類の最適判別アルゴリズムが作成される。
【０００３】図７は、このような表面検査装置における
オンラインでの訓練や訓練後の性能の検証方法時の目視
検査エリアと検出画像エリア（以下、単に検出エリアと
もいう）との照合方法例を示している。
オンラインでの訓練や訓練後の性能の検証方法時の目視
検査エリアと検出画像エリア（以下、単に検出エリアと
もいう）との照合方法例を示している。
【０００４】同図において、Ｍ1 は第１のエリア照合方
法を示している。目視検査員５ａが、走行シート１上の
目視判定領域である目視検査エリア８を、目視検査判定
入力装置５ｂを通じて事前に装置側に指示する。装置側
では、指示されたエリアが画像検出装置３に到達したこ
とを目視検査信号タイミングコントロール処理回路５ｃ
から受信しその検出エリア８ａの画像を画像認識処理装
置４で採取するという方法である。
法を示している。目視検査員５ａが、走行シート１上の
目視判定領域である目視検査エリア８を、目視検査判定
入力装置５ｂを通じて事前に装置側に指示する。装置側
では、指示されたエリアが画像検出装置３に到達したこ
とを目視検査信号タイミングコントロール処理回路５ｃ
から受信しその検出エリア８ａの画像を画像認識処理装
置４で採取するという方法である。
【０００５】また、Ｍ2 は第２のエリア照合方法を示し
ている。画像検出装置３が画像を検出した検査エリア８
ａを警報表示器６ｄを介して画像認識処理装置４から目
視検査員６ａに知らせる。そのタイミングで目視検査員
６ａが目視検査エリア８ｂ上の目視判定結果を目視検査
判定入力装置６ｂを操作して目視検査信号タイミングコ
ントロール処理回路６ｃで画像認識処理装置４とのタイ
ミングをとって入力し、目視検査エリア８ｂ上の目視判
定信号と検出エリア８ａ上の画像とが対応されて画像認
識処理装置４に記憶される。
ている。画像検出装置３が画像を検出した検査エリア８
ａを警報表示器６ｄを介して画像認識処理装置４から目
視検査員６ａに知らせる。そのタイミングで目視検査員
６ａが目視検査エリア８ｂ上の目視判定結果を目視検査
判定入力装置６ｂを操作して目視検査信号タイミングコ
ントロール処理回路６ｃで画像認識処理装置４とのタイ
ミングをとって入力し、目視検査エリア８ｂ上の目視判
定信号と検出エリア８ａ上の画像とが対応されて画像認
識処理装置４に記憶される。
【０００６】上記、第１、第２のエリア照合方法Ｍ1 ，
Ｍ2 では、目視検査エリアと検査エリアとの一致精度を
向上させるために図８に示すような固定形のポインタを
配置するなどの工夫をしている。
Ｍ2 では、目視検査エリアと検査エリアとの一致精度を
向上させるために図８に示すような固定形のポインタを
配置するなどの工夫をしている。
【０００７】図８（ａ）は、第１のエリア照合方法Ｍ1
の場合を示し、固定形のポインタ１０ａである目視検査
ゾーン８（Ｗ×ｌ）は、画像検出装置３と予め流れ方
向、幅方向の位置及び検出ゾーンエリア８ａが機械的に
調整されている。目視検査ゾーン８のＷ×ｌは、糸や棚
等で固定的に検査エリアを表示するものである。固定形
のポインタ１０ａと画像検出装置３とは、流れ方向にｌ
1 （ｍ）離れているのでこの距離はシート移動距離同期
信号発信器２によりトラッキングされる。
の場合を示し、固定形のポインタ１０ａである目視検査
ゾーン８（Ｗ×ｌ）は、画像検出装置３と予め流れ方
向、幅方向の位置及び検出ゾーンエリア８ａが機械的に
調整されている。目視検査ゾーン８のＷ×ｌは、糸や棚
等で固定的に検査エリアを表示するものである。固定形
のポインタ１０ａと画像検出装置３とは、流れ方向にｌ
1 （ｍ）離れているのでこの距離はシート移動距離同期
信号発信器２によりトラッキングされる。
【０００８】図８（ｂ）は第２のエリア照合方法Ｍ2 の
場合を示し、固定形ポインタ１０ｂである目視検査ゾー
ン８ｂ（Ｗ×ｌ）は、検査ゾーンエリア８ａとｌ
2 （ｍ）離れているので警報表示器６ｄにより流れ方向
の位置が合ったことを目視検査員６ａに知らせる方法が
とられる。目視検査ゾーン８ｂ（Ｗ×ｌ）及びシート幅
方向の位置は第１のエリア照合方法Ｍ1 の場合と同様に
予め機械的に合わされている。
場合を示し、固定形ポインタ１０ｂである目視検査ゾー
ン８ｂ（Ｗ×ｌ）は、検査ゾーンエリア８ａとｌ
2 （ｍ）離れているので警報表示器６ｄにより流れ方向
の位置が合ったことを目視検査員６ａに知らせる方法が
とられる。目視検査ゾーン８ｂ（Ｗ×ｌ）及びシート幅
方向の位置は第１のエリア照合方法Ｍ1 の場合と同様に
予め機械的に合わされている。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】第１、第２のエリア照
合方法では、目視検査員が走行シート表面を瞬時に判断
する必要があり、目視判定の精度が悪くなり易いという
欠点がある。これに対し、走行シート表面を直接目視に
より判定するのではなく、図７中の第３のエリア照合方
法Ｍ3 に示すように、画像認識処理装置４で、採取した
画像を記憶し、これを画像モニタ７ｃに表示する。そし
て、この表示された画像から目視検査員７ａが判定結果
を得て、これを目視検査判定入力装置７ｂより画像認識
処理装置４に入力し、検出エリアと目視検査エリアとを
一致させようとする方法が考えられている。しかし、こ
の第３のエリア照合方法Ｍ3 では、画像モニタ７ｃに表
示された走行シート表面の画像から目視検査員７ａが判
定結果を得るようにしているため、その画像モニタの表
示性能で判定精度が左右されてしまい、走行シート表面
を直接目視検査する場合に比べて判定精度が悪くなると
いう問題がある。
合方法では、目視検査員が走行シート表面を瞬時に判断
する必要があり、目視判定の精度が悪くなり易いという
欠点がある。これに対し、走行シート表面を直接目視に
より判定するのではなく、図７中の第３のエリア照合方
法Ｍ3 に示すように、画像認識処理装置４で、採取した
画像を記憶し、これを画像モニタ７ｃに表示する。そし
て、この表示された画像から目視検査員７ａが判定結果
を得て、これを目視検査判定入力装置７ｂより画像認識
処理装置４に入力し、検出エリアと目視検査エリアとを
一致させようとする方法が考えられている。しかし、こ
の第３のエリア照合方法Ｍ3 では、画像モニタ７ｃに表
示された走行シート表面の画像から目視検査員７ａが判
定結果を得るようにしているため、その画像モニタの表
示性能で判定精度が左右されてしまい、走行シート表面
を直接目視検査する場合に比べて判定精度が悪くなると
いう問題がある。
【００１０】そこで、本発明の目的は、目視検査エリア
と検出画像エリアとの位置ずれがなく正確且つ容易に判
別アルゴリズム作成のための学習訓練を行うことができ
る表面検査装置を提供することにある。
と検出画像エリアとの位置ずれがなく正確且つ容易に判
別アルゴリズム作成のための学習訓練を行うことができ
る表面検査装置を提供することにある。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、第１に、走行中の帯状物の表面欠陥を画
像検出装置で光学的に検出し、この検出された欠陥画像
の特徴量と目視検査員による目視判定情報から欠陥の程
度及び種類の判別アルゴリズムを作成する機能を持つ表
面検査装置であって、前記帯状物の走行速度に同期した
信号を発信する同期信号発信器と、該同期信号発信器の
発信信号と前記画像検出装置の検出信号から一定の検出
画像エリアを切出して記憶する画像認識処理装置と、該
画像認識処理装置で切出された検出画像エリアを前記走
行中の帯状物表面に一定距離トラッキング表示するライ
トポインタと、該ライトポインタで表示された検出画像
エリアについての前記目視検査員の判定結果を入力する
目視判定入力装置とを有することを要旨とする。
に、本発明は、第１に、走行中の帯状物の表面欠陥を画
像検出装置で光学的に検出し、この検出された欠陥画像
の特徴量と目視検査員による目視判定情報から欠陥の程
度及び種類の判別アルゴリズムを作成する機能を持つ表
面検査装置であって、前記帯状物の走行速度に同期した
信号を発信する同期信号発信器と、該同期信号発信器の
発信信号と前記画像検出装置の検出信号から一定の検出
画像エリアを切出して記憶する画像認識処理装置と、該
画像認識処理装置で切出された検出画像エリアを前記走
行中の帯状物表面に一定距離トラッキング表示するライ
トポインタと、該ライトポインタで表示された検出画像
エリアについての前記目視検査員の判定結果を入力する
目視判定入力装置とを有することを要旨とする。
【００１２】第２に、走行中の帯状物の表面欠陥を光学
的に検出し、この検出欠陥画像を当該帯状物にマークさ
れた所定の先頭位置に対応付けて記憶装置に記憶後、前
記帯状物を目視検査員による目視判定可能な速度で再搬
送し、この再搬送された帯状物についての目視検査員に
よる目視判定情報と前記記憶された検出欠陥画像の特徴
量から欠陥の程度及び種類の判別アルゴリズムを作成す
る機能をもつ表面検査装置であって、前記再搬送された
帯状物の走行速度に同期した信号を発信する同期信号発
信器と、前記帯状物の先頭位置を読取る先頭位置読取り
検出器と、該先頭位置読取り検出器の先頭位置読取り信
号と前記同期信号発信器の発信信号から前記記憶装置に
記憶された検出欠陥画像を前記帯状物の再搬送速度に同
期して読出すタイミング信号発生コントローラと、該タ
イミング信号発生コントローラにより前記記憶装置から
読出された検出欠陥画像のエリアを前記再搬送中の帯状
物表面に一定距離トラッキング表示するライトポインタ
と、該ライトポインタで表示された検出欠陥画像のエリ
アについての前記目視検査員の判定結果を入力する目視
判定入力装置とを有することを要旨とする。
的に検出し、この検出欠陥画像を当該帯状物にマークさ
れた所定の先頭位置に対応付けて記憶装置に記憶後、前
記帯状物を目視検査員による目視判定可能な速度で再搬
送し、この再搬送された帯状物についての目視検査員に
よる目視判定情報と前記記憶された検出欠陥画像の特徴
量から欠陥の程度及び種類の判別アルゴリズムを作成す
る機能をもつ表面検査装置であって、前記再搬送された
帯状物の走行速度に同期した信号を発信する同期信号発
信器と、前記帯状物の先頭位置を読取る先頭位置読取り
検出器と、該先頭位置読取り検出器の先頭位置読取り信
号と前記同期信号発信器の発信信号から前記記憶装置に
記憶された検出欠陥画像を前記帯状物の再搬送速度に同
期して読出すタイミング信号発生コントローラと、該タ
イミング信号発生コントローラにより前記記憶装置から
読出された検出欠陥画像のエリアを前記再搬送中の帯状
物表面に一定距離トラッキング表示するライトポインタ
と、該ライトポインタで表示された検出欠陥画像のエリ
アについての前記目視検査員の判定結果を入力する目視
判定入力装置とを有することを要旨とする。
【００１３】
【作用】上記構成において、第１に、画像認識処理装置
で切出した検出画像エリアが、走行中の帯状物表面に、
目視検査がし易いように光等で一定距離、帯状物の走行
に同期してその走行方向に移動するようにトラッキング
表示される。これにより検出画像エリアと目視検査エリ
アとが一致し、且つ帯状物表面の直接目視による精度の
よい目視判定結果が入力されて判別アルゴリズム作成の
ための学習訓練を正確且つ容易に行うことが可能とな
る。
で切出した検出画像エリアが、走行中の帯状物表面に、
目視検査がし易いように光等で一定距離、帯状物の走行
に同期してその走行方向に移動するようにトラッキング
表示される。これにより検出画像エリアと目視検査エリ
アとが一致し、且つ帯状物表面の直接目視による精度の
よい目視判定結果が入力されて判別アルゴリズム作成の
ための学習訓練を正確且つ容易に行うことが可能とな
る。
【００１４】第２に、実生産ラインにおける帯状物の走
行速度が速過ぎて目視検査員による目視検査判定が困難
な場合は、その実生産ラインで検出欠陥画像を採取、記
憶後、当該帯状物を目視検査員が目視判定可能な速度で
再搬送し、この再搬送時に、上記と同様に、検出欠陥画
像のエリアが再搬送中の帯状物表面に光等で一定距離、
帯状物の再搬送に同期してその再搬送方向に移動するよ
うにトラッキング表示される。これにより、後付けで精
度のよい目視判定結果が入力されて判別アルゴリズム作
成のための学習訓練を正確に行うことが可能となる。
行速度が速過ぎて目視検査員による目視検査判定が困難
な場合は、その実生産ラインで検出欠陥画像を採取、記
憶後、当該帯状物を目視検査員が目視判定可能な速度で
再搬送し、この再搬送時に、上記と同様に、検出欠陥画
像のエリアが再搬送中の帯状物表面に光等で一定距離、
帯状物の再搬送に同期してその再搬送方向に移動するよ
うにトラッキング表示される。これにより、後付けで精
度のよい目視判定結果が入力されて判別アルゴリズム作
成のための学習訓練を正確に行うことが可能となる。
【００１５】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
する。
【００１６】図１ないし図３は、本発明の第１実施例を
示す図である。
示す図である。
【００１７】なお、図１及び後述の第２実施例以下の図
において前記図７における機器等と同一ないし均等のも
のは、前記と同一符号を以って示し、重複した説明を省
略する。
において前記図７における機器等と同一ないし均等のも
のは、前記と同一符号を以って示し、重複した説明を省
略する。
【００１８】まず、図１を用いて表面検査装置の全体構
成を説明する。この実施例では、画像検出装置３からの
検出信号Ｓ1 とシート移動距離同期信号発信器２からの
走行シート１の移動に同期した単位長さ信号Ｓ2 とによ
り画像認識処理装置４で検出画像エリアが切出されて記
憶される。そしてこの切出された検出画像エリアを示す
幅方向位置信号Ｓｗ1 及び流れ方向位置信号Ｓｌ4 に基
づいて走行シート１の表面に、光マーキングによりその
検出画像エリア８ｃを一定距離トラッキング表示するラ
イトポインタ６ｆと、このライトポインタ６ｆへ光照射
する位置を指示するポインタポジションコントローラ６
ｅとが備えられている。１５は検出画像エリア等を表示
する画像モニタである。目視検査員６ａは、この画像モ
ニタ１５に表示された走行シート１表面の疵と実疵とを
対比しながら目視判定の訓練もできるようになってい
る。
成を説明する。この実施例では、画像検出装置３からの
検出信号Ｓ1 とシート移動距離同期信号発信器２からの
走行シート１の移動に同期した単位長さ信号Ｓ2 とによ
り画像認識処理装置４で検出画像エリアが切出されて記
憶される。そしてこの切出された検出画像エリアを示す
幅方向位置信号Ｓｗ1 及び流れ方向位置信号Ｓｌ4 に基
づいて走行シート１の表面に、光マーキングによりその
検出画像エリア８ｃを一定距離トラッキング表示するラ
イトポインタ６ｆと、このライトポインタ６ｆへ光照射
する位置を指示するポインタポジションコントローラ６
ｅとが備えられている。１５は検出画像エリア等を表示
する画像モニタである。目視検査員６ａは、この画像モ
ニタ１５に表示された走行シート１表面の疵と実疵とを
対比しながら目視判定の訓練もできるようになってい
る。
【００１９】図２は、画像認識処理装置４の内部構成を
示している。
示している。
【００２０】画像検出装置３からの検出信号Ｓ1 が入力
ゲート４５を通って画像メモリ４１に入力し、また、シ
ート移動距離同期信号発信器２からの単位長さ信号Ｓ2
がタイミング回路４７を通って画像メモリ４１に入力
し、画像メモリ４１には検出エリアの画像が切出されて
記憶される。記憶された検出画像は、予め定められた特
徴抽出回路４２及び類似度演算回路４３により基準パタ
ーンとの類似度演算が行われる。この演算値の大小から
判定回路４４によりその検出画像が何であるかが判定さ
れる。また、この判定回路４４から出力される幅方向位
置信号Ｓｗ1 と、タイミング回路４７から出力される流
れ方向位置信号Ｓｌ4 とがポインタポジションコントロ
ーラ６ｅに送られるようになっている。ポインタポジシ
ョンコントローラ６ｅからはライトポインタ移動開始点
信号Ｓ4 がライトポインタ６ｆへ送られる。ライトポイ
ンタ６ｆは、検出画像エリア８ｃを光マーキングにより
走行シート１上に表示しつつ、一定距離ｌ5 だけ走行シ
ート１の移動速度に同期して移動するようになってい
る。一度検出された検出画像エリア８ｃ（Ｗ×ｌ）はト
ラッキングゾーンｌ5 の区間を通過するまで次の検出信
号Ｓ1 を取り込まないように入力ゲート４５を閉じてお
く。目視判定情報（教師信号）Ｓ3 は検出画像信号と対
応つけられて、学習データ記憶演算部４８に記憶され
る。この検出画像の特徴量と基準教師信号から類似度演
算回路４３部の最適パラメータを演算し、この最適パラ
メータを基準パターン記憶部４９へ記憶する。学習デー
タ記憶演算部４８、基準パターン記憶部４９で構成され
る学習演算部は一定期間の統計データからの学習でも採
取データ毎の逐次学習の場合でも同様の構成でよい。
ゲート４５を通って画像メモリ４１に入力し、また、シ
ート移動距離同期信号発信器２からの単位長さ信号Ｓ2
がタイミング回路４７を通って画像メモリ４１に入力
し、画像メモリ４１には検出エリアの画像が切出されて
記憶される。記憶された検出画像は、予め定められた特
徴抽出回路４２及び類似度演算回路４３により基準パタ
ーンとの類似度演算が行われる。この演算値の大小から
判定回路４４によりその検出画像が何であるかが判定さ
れる。また、この判定回路４４から出力される幅方向位
置信号Ｓｗ1 と、タイミング回路４７から出力される流
れ方向位置信号Ｓｌ4 とがポインタポジションコントロ
ーラ６ｅに送られるようになっている。ポインタポジシ
ョンコントローラ６ｅからはライトポインタ移動開始点
信号Ｓ4 がライトポインタ６ｆへ送られる。ライトポイ
ンタ６ｆは、検出画像エリア８ｃを光マーキングにより
走行シート１上に表示しつつ、一定距離ｌ5 だけ走行シ
ート１の移動速度に同期して移動するようになってい
る。一度検出された検出画像エリア８ｃ（Ｗ×ｌ）はト
ラッキングゾーンｌ5 の区間を通過するまで次の検出信
号Ｓ1 を取り込まないように入力ゲート４５を閉じてお
く。目視判定情報（教師信号）Ｓ3 は検出画像信号と対
応つけられて、学習データ記憶演算部４８に記憶され
る。この検出画像の特徴量と基準教師信号から類似度演
算回路４３部の最適パラメータを演算し、この最適パラ
メータを基準パターン記憶部４９へ記憶する。学習デー
タ記憶演算部４８、基準パターン記憶部４９で構成され
る学習演算部は一定期間の統計データからの学習でも採
取データ毎の逐次学習の場合でも同様の構成でよい。
【００２１】次に、図３は、ライトポインタ６ｆの構成
及びその動作を示している。
及びその動作を示している。
【００２２】６ｇはライトポインタドライバ、６ｈはラ
イトポインタ発信器であり、ライトポインタ発信器６ｈ
に備えられたビーム発生装置ＬＢ1 〜ＬＢ4 で検出画像
エリア８ｃ（Ｗ×ｌ）の周囲の線を、光マーキングによ
り周囲よりも明るく連続照射するようになっている。照
射幅方向の位置はライトポジションコントローラ６ｅか
らのミラー角度制御信号Ｌｗｉにより指示される位置に
偏向ミラーＭ1 〜Ｍ4 を同期して回転し、幅方向の位置
に照射できるようにされている。また、ライトポインタ
６ｆは、この状態でトラッキングゾーンｌ5 （ｍ）の
間、ポインタ取付レール１０の上を走行シート１の移動
速度に同期した速さで移動する。
イトポインタ発信器であり、ライトポインタ発信器６ｈ
に備えられたビーム発生装置ＬＢ1 〜ＬＢ4 で検出画像
エリア８ｃ（Ｗ×ｌ）の周囲の線を、光マーキングによ
り周囲よりも明るく連続照射するようになっている。照
射幅方向の位置はライトポジションコントローラ６ｅか
らのミラー角度制御信号Ｌｗｉにより指示される位置に
偏向ミラーＭ1 〜Ｍ4 を同期して回転し、幅方向の位置
に照射できるようにされている。また、ライトポインタ
６ｆは、この状態でトラッキングゾーンｌ5 （ｍ）の
間、ポインタ取付レール１０の上を走行シート１の移動
速度に同期した速さで移動する。
【００２３】この実施例の表面検査装置は上述のように
構成されているので、画像認識処理装置４に切出し記憶
された検出画像エリア８ｃが、ライトポインタ６ｆによ
り走行シート１表面に目視検査員がし易いように光マー
キングで一定距離ｌ5 の間、走行シート１の移動に同期
してトラッキング表示される。この結果、検出画像エリ
ア８ｃと目視検査エリアとが一致し、且つ走行シート１
表面の直接目視による精度のよい目視判定結果が、目視
検査判定入力装置６ｂを経て画像認識処理装置４に入力
され、オンラインにおいて判別アルゴリズム作成のため
の学習訓練を正確且つ容易に行うことが可能となる。ま
た、これに加えて、生産プロセスの中において生産への
影響を大幅に損うことなく検証することが可能となる。
そして、走行シート１のラインを一定時間停止するよう
にすれば、オフラインでの静止目視検査と同等の精度の
目視判定情報の入力が可能となる。また、生産材をカッ
トしてオフラインで学習訓練を行う場合に比べ、その訓
練費用、訓練期間も大幅に短縮することができるだけで
なくカットサンプルの取扱い不良等からくるデータの誤
りも防止することが可能となる。さらに、検出画像エリ
ア８ｃをモニタ表示する画像モニタ１５を備えているの
で、目視検査員６ａは走行シート１上の実疵とモニタ上
の疵とを対比しながら目視判定の訓練を行うことができ
る。その結果、やがては画像モニタ１５上の表示のみで
正しい判定を行うことができるようになる。このように
なれば、実生産プロセスの減速、停止をすることなく学
習訓練を実施することが可能となり、従来３〜４人で数
カ月程度を費したオンラインでの判別アルゴリズム作成
期間を１人で１〜２週間の期間で実施することが可能と
なる。これにより、低コストで正確な訓練システムの構
成が可能となる。
構成されているので、画像認識処理装置４に切出し記憶
された検出画像エリア８ｃが、ライトポインタ６ｆによ
り走行シート１表面に目視検査員がし易いように光マー
キングで一定距離ｌ5 の間、走行シート１の移動に同期
してトラッキング表示される。この結果、検出画像エリ
ア８ｃと目視検査エリアとが一致し、且つ走行シート１
表面の直接目視による精度のよい目視判定結果が、目視
検査判定入力装置６ｂを経て画像認識処理装置４に入力
され、オンラインにおいて判別アルゴリズム作成のため
の学習訓練を正確且つ容易に行うことが可能となる。ま
た、これに加えて、生産プロセスの中において生産への
影響を大幅に損うことなく検証することが可能となる。
そして、走行シート１のラインを一定時間停止するよう
にすれば、オフラインでの静止目視検査と同等の精度の
目視判定情報の入力が可能となる。また、生産材をカッ
トしてオフラインで学習訓練を行う場合に比べ、その訓
練費用、訓練期間も大幅に短縮することができるだけで
なくカットサンプルの取扱い不良等からくるデータの誤
りも防止することが可能となる。さらに、検出画像エリ
ア８ｃをモニタ表示する画像モニタ１５を備えているの
で、目視検査員６ａは走行シート１上の実疵とモニタ上
の疵とを対比しながら目視判定の訓練を行うことができ
る。その結果、やがては画像モニタ１５上の表示のみで
正しい判定を行うことができるようになる。このように
なれば、実生産プロセスの減速、停止をすることなく学
習訓練を実施することが可能となり、従来３〜４人で数
カ月程度を費したオンラインでの判別アルゴリズム作成
期間を１人で１〜２週間の期間で実施することが可能と
なる。これにより、低コストで正確な訓練システムの構
成が可能となる。
【００２４】次いで、図４には、本発明の第２実施例を
示す。この実施例は、走行シート１の移動速度が速く、
検出画像エリア８ｃを一定長さのトラッキングゾーンｌ
5 だけ表示しても目視検査判定が困難な場合、走行シー
ト１の移動速度を最適の速度に減速し、このような場合
においてもオンラインにおいて正確な学習訓練ができる
ようにしたものである。
示す。この実施例は、走行シート１の移動速度が速く、
検出画像エリア８ｃを一定長さのトラッキングゾーンｌ
5 だけ表示しても目視検査判定が困難な場合、走行シー
ト１の移動速度を最適の速度に減速し、このような場合
においてもオンラインにおいて正確な学習訓練ができる
ようにしたものである。
【００２５】同図において、１３ａ，１３ｂは走行シー
ト１送り用のドライブモータ、１２はモータドライブコ
ントローラであり、画像検出を行う画像検出装置３の直
ぐ近くの位置で画像認識処理装置４からモータドライブ
コントローラ１２へ通板速度減速指令信号Ｓｄを送り、
検出画像エリア８ｃがライトポインタ作動開始点Ｐ4 か
らトラッキングゾーンｌ5 を移動する間、走行シート１
の移動速度を減速して目視検査員６ａによる目視検査判
定がし易いようになっている。
ト１送り用のドライブモータ、１２はモータドライブコ
ントローラであり、画像検出を行う画像検出装置３の直
ぐ近くの位置で画像認識処理装置４からモータドライブ
コントローラ１２へ通板速度減速指令信号Ｓｄを送り、
検出画像エリア８ｃがライトポインタ作動開始点Ｐ4 か
らトラッキングゾーンｌ5 を移動する間、走行シート１
の移動速度を減速して目視検査員６ａによる目視検査判
定がし易いようになっている。
【００２６】図５には、本発明の第３実施例を示す。こ
の実施例は、実生産ラインにおける走行シート１の移動
速度が速く、目視検査判定が困難な場合で、且つ実生産
ラインではその移動速度が生産設備の事情により減速不
可能の場合に、実生産ラインで生の検出欠陥画像を採
取、記憶後、この検出欠陥画像に対応する目視判定デー
タ（教師信号）を後付けで正しく入力し、判別アルゴリ
ズム作成のための学習訓練及び性能検証を正確に行える
ようにしたものである。
の実施例は、実生産ラインにおける走行シート１の移動
速度が速く、目視検査判定が困難な場合で、且つ実生産
ラインではその移動速度が生産設備の事情により減速不
可能の場合に、実生産ラインで生の検出欠陥画像を採
取、記憶後、この検出欠陥画像に対応する目視判定デー
タ（教師信号）を後付けで正しく入力し、判別アルゴリ
ズム作成のための学習訓練及び性能検証を正確に行える
ようにしたものである。
【００２７】同図において、１１ａは第１のファイル装
置（記憶装置）、１１ｂは第２のファイル装置、１１ｃ
は読出しメモリ、１１ｄはタイミング信号発生コントロ
ーラ、１１ｅは先頭位置読取り検出器である。別の高速
ラインで採取された走行シート１表面の検出欠陥画像デ
ータがその走行シート１にマークされた先頭位置及び長
さ位置と対応付けられて第１のファイル装置１１ａに記
憶されている。走行シート１にマーキングされる先頭装
置は、再搬送工程の前の検出欠陥画像採取工程において
予め行われていると、再搬送工程での先頭位置の検出が
先頭位置読取り検出器１１ｅで容易に精度よく行える。
マーキングの方式としては、走行シートに穴を開けた
り、印字したり、又は磁気的な方法等があるが、これは
被測定対象である走行シート１により運用し易いものが
採用される。検出欠陥画像データは、走行シート１にマ
ーキングされた先頭位置のデータの先頭アドレスが目視
検定のためのトラッキングゾーンｌ5 の開始点Ｐ5 で一
致するように初期調整される。この後、シート移動距離
同期信号発信器２から走行シート１の再搬送速度に同期
した単位長さ信号がタイミング信号発生コントローラ１
１ｄへ送られ、検出欠陥画像のアドレスデータ読出しの
単位信号Ｓ10として読出しメモリ１１ｃに送られる。こ
れにより、第１のファイル装置１１ａから検出欠陥画像
データＳ9 が走行シート１の再搬送速度に同期して読出
され、そして、このデータが検出欠陥画像エリアの幅方
向及び流れ方向の位置信号としてポインタポジションコ
ントローラ６ｅに入力される。また、ポインタポジショ
ンコントローラ６ｅには、検出欠陥画像のアドレスデー
タ読出しの単位信号Ｓ10が走行シート１の再搬送速度に
同期した信号として与えられている。このような各入力
によりポインタポジションコントローラ６ｅからライト
ポインタ移動制御信号が出力され、ライトポインタ６ｆ
により検出欠陥画像エリア８ｃが、再搬送中の走行シー
ト１上に光マーキングによりトラッキングゾーンｌ5 の
間を開始点Ｐ5 を始点としてその再搬送速度に同期して
移動表示される。目視検査員６ａは、この検出欠陥画像
エリア８ｃを目視検査し、トラッキングゾーンｌ5 を通
過する間に目視検査判定入力装置６ｂより目視判定デー
タをタイミング信号発生コントローラ１１ｄを経由して
第２のファイル装置１１ｂへ元の検出欠陥画像データと
対応付けてファイルする。このように、この実施例で
は、後付けで精度のよい目視判定データが入力されて判
別アルゴリズム作成のための学習訓練が正確に行われ
る。
置（記憶装置）、１１ｂは第２のファイル装置、１１ｃ
は読出しメモリ、１１ｄはタイミング信号発生コントロ
ーラ、１１ｅは先頭位置読取り検出器である。別の高速
ラインで採取された走行シート１表面の検出欠陥画像デ
ータがその走行シート１にマークされた先頭位置及び長
さ位置と対応付けられて第１のファイル装置１１ａに記
憶されている。走行シート１にマーキングされる先頭装
置は、再搬送工程の前の検出欠陥画像採取工程において
予め行われていると、再搬送工程での先頭位置の検出が
先頭位置読取り検出器１１ｅで容易に精度よく行える。
マーキングの方式としては、走行シートに穴を開けた
り、印字したり、又は磁気的な方法等があるが、これは
被測定対象である走行シート１により運用し易いものが
採用される。検出欠陥画像データは、走行シート１にマ
ーキングされた先頭位置のデータの先頭アドレスが目視
検定のためのトラッキングゾーンｌ5 の開始点Ｐ5 で一
致するように初期調整される。この後、シート移動距離
同期信号発信器２から走行シート１の再搬送速度に同期
した単位長さ信号がタイミング信号発生コントローラ１
１ｄへ送られ、検出欠陥画像のアドレスデータ読出しの
単位信号Ｓ10として読出しメモリ１１ｃに送られる。こ
れにより、第１のファイル装置１１ａから検出欠陥画像
データＳ9 が走行シート１の再搬送速度に同期して読出
され、そして、このデータが検出欠陥画像エリアの幅方
向及び流れ方向の位置信号としてポインタポジションコ
ントローラ６ｅに入力される。また、ポインタポジショ
ンコントローラ６ｅには、検出欠陥画像のアドレスデー
タ読出しの単位信号Ｓ10が走行シート１の再搬送速度に
同期した信号として与えられている。このような各入力
によりポインタポジションコントローラ６ｅからライト
ポインタ移動制御信号が出力され、ライトポインタ６ｆ
により検出欠陥画像エリア８ｃが、再搬送中の走行シー
ト１上に光マーキングによりトラッキングゾーンｌ5 の
間を開始点Ｐ5 を始点としてその再搬送速度に同期して
移動表示される。目視検査員６ａは、この検出欠陥画像
エリア８ｃを目視検査し、トラッキングゾーンｌ5 を通
過する間に目視検査判定入力装置６ｂより目視判定デー
タをタイミング信号発生コントローラ１１ｄを経由して
第２のファイル装置１１ｂへ元の検出欠陥画像データと
対応付けてファイルする。このように、この実施例で
は、後付けで精度のよい目視判定データが入力されて判
別アルゴリズム作成のための学習訓練が正確に行われ
る。
【００２８】以上の各実施例では学習形の訓練システム
をもつ表面検査装置を説明したが第４の実施例として、
図６に示すようにエキスパートシステムによるディシジ
ョンツリーにより判定を行うことも可能である。これは
目視判定データと検出画像データを採取したデータベー
スファイル５０よりバッチ処理にてロジックを作成しデ
ィシジョンツリーファイル部５１へ予めアルゴリズムを
登録しておく。検査開始前にこのファイルより該当する
ロジックが呼び出され判定回路４４に移植される。以下
の処理は前記図１及び図２に示した第１実施例のものと
同様である。
をもつ表面検査装置を説明したが第４の実施例として、
図６に示すようにエキスパートシステムによるディシジ
ョンツリーにより判定を行うことも可能である。これは
目視判定データと検出画像データを採取したデータベー
スファイル５０よりバッチ処理にてロジックを作成しデ
ィシジョンツリーファイル部５１へ予めアルゴリズムを
登録しておく。検査開始前にこのファイルより該当する
ロジックが呼び出され判定回路４４に移植される。以下
の処理は前記図１及び図２に示した第１実施例のものと
同様である。
【００２９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１に、画像認識装置で切出した検出画像エリアを、走
行中の帯状物表面に、目視検査がし易いように光等で一
定距離トラッキング表示するようにしたため、検出画像
エリアと目視検査エリアとが一致し、且つ帯状物表面の
直接目視による精度のよい目視判定結果が入力されて判
別アルゴリズム作成のための学習訓練を正確且つ容易に
行うことができる。
第１に、画像認識装置で切出した検出画像エリアを、走
行中の帯状物表面に、目視検査がし易いように光等で一
定距離トラッキング表示するようにしたため、検出画像
エリアと目視検査エリアとが一致し、且つ帯状物表面の
直接目視による精度のよい目視判定結果が入力されて判
別アルゴリズム作成のための学習訓練を正確且つ容易に
行うことができる。
【００３０】第２に、走行中の帯状物表示の検出欠陥画
像を採取、記憶後、当該帯状物を目視検査員が目視判定
可能な速度で再搬送し、その再搬送時に、上記と同様
に、検出欠陥画像のエリアを帯状物表面に光等で一定距
離トラッキング表示するようにしたため、実生産ライン
における帯状物の走行速度が速過ぎて目視検査員による
目視検査判定が困難な場合でも、後付けで精度のよい目
視判定結果を入力することができて判別アルゴリズム作
成のための学習訓練を正確に行うことができる。
像を採取、記憶後、当該帯状物を目視検査員が目視判定
可能な速度で再搬送し、その再搬送時に、上記と同様
に、検出欠陥画像のエリアを帯状物表面に光等で一定距
離トラッキング表示するようにしたため、実生産ライン
における帯状物の走行速度が速過ぎて目視検査員による
目視検査判定が困難な場合でも、後付けで精度のよい目
視判定結果を入力することができて判別アルゴリズム作
成のための学習訓練を正確に行うことができる。
【図１】この発明に係る表面検査装置の第１実施例を示
す構成図である。
す構成図である。
【図２】図１における画像認識処理装置の内部構成を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図３】図１におけるライトポインタの構成を示す図で
ある。
ある。
【図４】本発明の第２実施例を示す構成図である。
【図５】本発明の第３実施例を示す構成図である。
【図６】本発明の第４実施例を示す要部ブロック図であ
る。
る。
【図７】従来の表面検査装置の構成図である。
【図８】従来例における目視検査エリアと画像検出エリ
アの合致方法を説明するための図である。
アの合致方法を説明するための図である。
１ 走行シート（帯状物） ２ シート移動距離同期信号発信器 ３ 画像検出装置 ４ 画像認識処理装置 ６ａ 目視検査員 ６ｂ 目視検査判定入力装置 ６ｆ ライトポインタ ８ｃ 検出画像エリア １１ａ 第１のファイル装置（記憶装置） １１ｂ タイミング信号発生コントローラ １１ｅ 先頭位置読取り検出器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 森岡 義久 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 江島 靖二 東京都府中市東芝町１番地 株式会社東芝 府中工場内 (72)発明者 福高 善己 岡山県倉敷市水島川崎通一丁目（番地な し） 川崎製鉄株式会社水島製鉄所内
Claims (2)
- 【請求項１】 走行中の帯状物の表面欠陥を画像検出装
置で光学的に検出し、この検出された欠陥画像の特徴量
と目視検査員による目視判定情報から欠陥の程度及び種
類の判別アルゴリズムを作成する機能を持つ表面検査装
置であって、 前記帯状物の走行速度に同期した信号を発信する同期信
号発信器と、該同期信号発信器の発信信号と前記画像検
出装置の検出信号から一定の検出画像エリアを切出して
記憶する画像認識処理装置と、該画像認識処理装置で切
出された検出画像エリアを前記走行中の帯状物表面に一
定距離トラッキング表示するライトポインタと、該ライ
トポインタで表示された検出画像エリアについての前記
目視検査員の判定結果を入力する目視判定入力装置とを
有することを特徴とする表面検査装置。 - 【請求項２】 走行中の帯状物の表面欠陥を光学的に検
出し、この検出欠陥画像を当該帯状物にマークされた所
定の先頭位置に対応付けて記憶装置に記憶後、前記帯状
物を目視検査員による目視判定可能な速度で再搬送し、
この再搬送された帯状物についての目視検査員による目
視判定情報と前記記憶された検出欠陥画像の特徴量から
欠陥の程度及び種類の判別アルゴリズムを作成する機能
をもつ表面検査装置であって、 前記再搬送された帯状物の走行速度に同期した信号を発
信する同期信号発信器と、前記帯状物の先頭位置を読取
る先頭位置読取り検出器と、該先頭位置読取り検出器の
先頭位置読取り信号と前記同期信号発信器の発信信号か
ら前記記憶装置に記憶された検出欠陥画像を前記帯状物
の再搬送速度に同期して読出すタイミング信号発生コン
トローラと、該タイミング信号発生コントローラにより
前記記憶装置から読出された検出欠陥画像のエリアを前
記再搬送中の帯状物表面に一定距離トラッキング表示す
るライトポインタと、該ライトポインタで表示された検
出欠陥画像のエリアについての前記目視検査員の判定結
果を入力する目視判定入力装置とを有することを特徴と
する表面検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3316863A JP2786765B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3316863A JP2786765B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 表面検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05149890A true JPH05149890A (ja) | 1993-06-15 |
| JP2786765B2 JP2786765B2 (ja) | 1998-08-13 |
Family
ID=18081755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3316863A Expired - Fee Related JP2786765B2 (ja) | 1991-11-29 | 1991-11-29 | 表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2786765B2 (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000097678A (ja) * | 1998-09-25 | 2000-04-07 | Matsushita Electric Works Ltd | 表面形状計測装置およびその方法 |
| JP2005075447A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Toray Ind Inc | ラベル貼り付け装置およびラベル貼り付け方法 |
| JP2006300678A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Bridgestone Corp | 製品の外観検査方法と外観検査補助装置 |
| JP2008014701A (ja) * | 2006-07-04 | 2008-01-24 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| CN105651211A (zh) * | 2016-03-08 | 2016-06-08 | 哈尔滨工程大学 | 一种基于几何光学的镜面出平面位移测量装置及其测量方法 |
| JP2022119455A (ja) * | 2021-02-04 | 2022-08-17 | コネクテッドロボティクス株式会社 | 物体検査装置、検査用プログラム、及びシステム |
-
1991
- 1991-11-29 JP JP3316863A patent/JP2786765B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000097678A (ja) * | 1998-09-25 | 2000-04-07 | Matsushita Electric Works Ltd | 表面形状計測装置およびその方法 |
| JP2005075447A (ja) * | 2003-09-03 | 2005-03-24 | Toray Ind Inc | ラベル貼り付け装置およびラベル貼り付け方法 |
| JP4496737B2 (ja) * | 2003-09-03 | 2010-07-07 | 東レ株式会社 | 分離膜の製膜装置および製膜方法 |
| JP2006300678A (ja) * | 2005-04-19 | 2006-11-02 | Bridgestone Corp | 製品の外観検査方法と外観検査補助装置 |
| JP2008014701A (ja) * | 2006-07-04 | 2008-01-24 | Olympus Corp | 基板検査装置 |
| CN105651211A (zh) * | 2016-03-08 | 2016-06-08 | 哈尔滨工程大学 | 一种基于几何光学的镜面出平面位移测量装置及其测量方法 |
| CN105651211B (zh) * | 2016-03-08 | 2018-05-18 | 哈尔滨工程大学 | 一种基于几何光学的镜面出平面位移测量装置及其测量方法 |
| JP2022119455A (ja) * | 2021-02-04 | 2022-08-17 | コネクテッドロボティクス株式会社 | 物体検査装置、検査用プログラム、及びシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2786765B2 (ja) | 1998-08-13 |
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