JPH05144394A - 高電圧電子管及びその製造方法 - Google Patents
高電圧電子管及びその製造方法Info
- Publication number
- JPH05144394A JPH05144394A JP30747391A JP30747391A JPH05144394A JP H05144394 A JPH05144394 A JP H05144394A JP 30747391 A JP30747391 A JP 30747391A JP 30747391 A JP30747391 A JP 30747391A JP H05144394 A JPH05144394 A JP H05144394A
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- tube
- electrode
- high voltage
- voltage electron
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- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】この発明は、電極表面の吸着ガスが少なく、局
部的な電界の集中が緩和され、電極表面で起こる微小放
電が抑えられ、加工時に表面上の異物（金属微粉）等を
取り除くことが出来、耐電圧特性が向上する高電圧電子
管及びその製造方法を提供することを目的とする。 【構成】この発明の高電圧電子管及びその製造方法は、
複数の管内電極のうち少なくとも１つの電極の表面に電
解複合研磨を施し、この電極を真空容器内に配置してな
り、上記の目的を達成することが出来る。
部的な電界の集中が緩和され、電極表面で起こる微小放
電が抑えられ、加工時に表面上の異物（金属微粉）等を
取り除くことが出来、耐電圧特性が向上する高電圧電子
管及びその製造方法を提供することを目的とする。 【構成】この発明の高電圧電子管及びその製造方法は、
複数の管内電極のうち少なくとも１つの電極の表面に電
解複合研磨を施し、この電極を真空容器内に配置してな
り、上記の目的を達成することが出来る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は高電圧電子管及びその
製造方法に係り、特にその管内電極部品の表面の改良に
関する。
製造方法に係り、特にその管内電極部品の表面の改良に
関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に高電圧電子管例えば工業用Ｘ線管
は、製品である金属板の厚さや欠陥の検出等の品質管理
ラインで、測定器の一部として使用されているが、長時
間連続で使用されることが多く、その出力の変動は無視
出来るほど小さいことが要求されている。勿論、Ｘ線管
の管内放電等も皆無である必要がある。しかも、市場で
は年々更に高出力，高安定度，且つ長寿命のＸ線管の要
求が高まっている。
は、製品である金属板の厚さや欠陥の検出等の品質管理
ラインで、測定器の一部として使用されているが、長時
間連続で使用されることが多く、その出力の変動は無視
出来るほど小さいことが要求されている。勿論、Ｘ線管
の管内放電等も皆無である必要がある。しかも、市場で
は年々更に高出力，高安定度，且つ長寿命のＸ線管の要
求が高まっている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで高出力，高安
定度，且つ長寿命を達成するには色々な改善項目が考え
られるが、Ｘ線管の管内電極部品の表面粗さを見てみる
と、従来の管内電極部品の表面はエメリ−ぺ−パ−仕上
げ、あるいは電解研磨等により非常に精密な仕上げを行
なっている。しかしながら、表面粗さレベルは図５に示
すように平均粗さＲａは０．２７μｍ，最大粗さＲｍａ
ｘは１．４１μｍ程度であり、より改善することにより
ガス放出性や安定度，寿命の改善が望まれている。
定度，且つ長寿命を達成するには色々な改善項目が考え
られるが、Ｘ線管の管内電極部品の表面粗さを見てみる
と、従来の管内電極部品の表面はエメリ−ぺ−パ−仕上
げ、あるいは電解研磨等により非常に精密な仕上げを行
なっている。しかしながら、表面粗さレベルは図５に示
すように平均粗さＲａは０．２７μｍ，最大粗さＲｍａ
ｘは１．４１μｍ程度であり、より改善することにより
ガス放出性や安定度，寿命の改善が望まれている。
【０００４】この発明は、上記の不都合を解消し、ガス
放出や放電発生を抑制して、高出力，高安定度，且つ長
寿命の高電圧電子管及びその製造方法を提供することを
目的とする。
放出や放電発生を抑制して、高出力，高安定度，且つ長
寿命の高電圧電子管及びその製造方法を提供することを
目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明は、複数の電極
のうち少なくとも１つの電極の表面に電解複合研磨が施
されてなる高電圧電子管である。又、この発明は、複数
の電極のうち少なくとも１つの電極の表面に電解複合研
磨を施し、この電極を真空容器内に配置する高電圧電子
管の製造方法である。
のうち少なくとも１つの電極の表面に電解複合研磨が施
されてなる高電圧電子管である。又、この発明は、複数
の電極のうち少なくとも１つの電極の表面に電解複合研
磨を施し、この電極を真空容器内に配置する高電圧電子
管の製造方法である。
【０００６】
【作用】この発明によれば、電極表面の吸着ガスが少な
くなり、電極部品の表面で起こる微小放電を抑えること
が出来、而も表面上の異物（金属微粉）等を取り除く効
果がある。その結果、耐電圧特性も向上する。
くなり、電極部品の表面で起こる微小放電を抑えること
が出来、而も表面上の異物（金属微粉）等を取り除く効
果がある。その結果、耐電圧特性も向上する。
【０００７】
【実施例】以下、図面を参照して、この発明の一実施例
を詳細に説明する。
を詳細に説明する。
【０００８】この発明による高電圧電子管例えば回転陽
極型Ｘ線管は図１に示すように構成され、真空容器１内
に陰極２と陽極タ−ゲット３が対向して配設され、この
陽極タ−ゲット２は回転円筒４により回転駆動される。
そして、この発明では管内電極例えば陽極タ−ゲット３
の表面に電解複合研磨が施されている。製造に当たって
は、陽極タ−ゲット３の表面に電解複合研磨を施し、こ
の陽極タ−ゲット３を真空容器１内に配置する。
極型Ｘ線管は図１に示すように構成され、真空容器１内
に陰極２と陽極タ−ゲット３が対向して配設され、この
陽極タ−ゲット２は回転円筒４により回転駆動される。
そして、この発明では管内電極例えば陽極タ−ゲット３
の表面に電解複合研磨が施されている。製造に当たって
は、陽極タ−ゲット３の表面に電解複合研磨を施し、こ
の陽極タ−ゲット３を真空容器１内に配置する。
【０００９】表面処理技術としての電解複合研磨は、一
般の浸漬式電解研磨と比較して平滑性，均質性などにお
いて優れ、高品位な鏡面を得ることが出来る。即ち、電
解による金属溶出作用と研磨材による機械的擦過作用
（こすること）を複合した表面処理技術であっり、この
電解複合研磨の加工法は、電解現象によって被加工体
（陽極）表面に生じる不働態被膜のうち、凸部に生じた
被膜のみを砥粒擦過により除去して、この部分に選択的
に電解溶出作用を集中させて効率よく金属鏡面を得る。
般の浸漬式電解研磨と比較して平滑性，均質性などにお
いて優れ、高品位な鏡面を得ることが出来る。即ち、電
解による金属溶出作用と研磨材による機械的擦過作用
（こすること）を複合した表面処理技術であっり、この
電解複合研磨の加工法は、電解現象によって被加工体
（陽極）表面に生じる不働態被膜のうち、凸部に生じた
被膜のみを砥粒擦過により除去して、この部分に選択的
に電解溶出作用を集中させて効率よく金属鏡面を得る。
【００１０】このような電解複合研磨を施したこの発明
の電極部品表面粗さは、平均粗さＲａが約０．０２μ
ｍ，最大粗さＲｍａｘが約０．１８μｍであり、従来の
表面粗さ（図５）に比べて約１／１０の表面粗さとな
り、著しい向上が見られた。図２に、この実施例の高電
圧電子管における管内電極の表面粗さを示す。
の電極部品表面粗さは、平均粗さＲａが約０．０２μ
ｍ，最大粗さＲｍａｘが約０．１８μｍであり、従来の
表面粗さ（図５）に比べて約１／１０の表面粗さとな
り、著しい向上が見られた。図２に、この実施例の高電
圧電子管における管内電極の表面粗さを示す。
【００１１】尚、電解複合研磨は加熱によってもその電
極部品表面粗さのレベルに変化がなく、局部的に部品が
高温となるＸ線管用電極部品においても問題がないこと
が確認された。実際に、電解複合研磨の効果を確認する
ため、電解複合研磨加工を行なったものと従来通りの加
工を行なったものと２通りのＸ線管を試作し、管電圧１
５０ＫＶ，管電流２ｍＡの入力条件での管電流安定度の
変化を比較したところ、従来技術によるものは図６およ
び図７に示すように変動が多く安定度が悪い。
極部品表面粗さのレベルに変化がなく、局部的に部品が
高温となるＸ線管用電極部品においても問題がないこと
が確認された。実際に、電解複合研磨の効果を確認する
ため、電解複合研磨加工を行なったものと従来通りの加
工を行なったものと２通りのＸ線管を試作し、管電圧１
５０ＫＶ，管電流２ｍＡの入力条件での管電流安定度の
変化を比較したところ、従来技術によるものは図６およ
び図７に示すように変動が多く安定度が悪い。
【００１２】一方、この発明による電解複合研磨加工を
行なった試作品の場合は、図３および図４に示すよう
に、管電流値の変動が少なく、よりＸ線管の管球として
の安定度が優れていることが確認出来た。
行なった試作品の場合は、図３および図４に示すよう
に、管電流値の変動が少なく、よりＸ線管の管球として
の安定度が優れていることが確認出来た。
【００１３】上記実施例では、電解複合研磨が陽極タ−
ゲット３に施されていたが、陰極２あるいは回転円筒４
の表面に施しても良い。即ち、異なる電位が与えられる
複数の電極のうち少なくとも１つの電極の表面に、この
電解複合研磨が施されていれば良い。又、この発明はＸ
線管だけでなく、クライストロン，ジャイロトロン，進
行波管，板極管，放電管等、種々の電子管に適用出来
る。
ゲット３に施されていたが、陰極２あるいは回転円筒４
の表面に施しても良い。即ち、異なる電位が与えられる
複数の電極のうち少なくとも１つの電極の表面に、この
電解複合研磨が施されていれば良い。又、この発明はＸ
線管だけでなく、クライストロン，ジャイロトロン，進
行波管，板極管，放電管等、種々の電子管に適用出来
る。
【００１４】
【発明の効果】この発明によれば、複数の電極のうち少
なくとも１つの電極の表面に電解複合研磨が施されてい
るので、次のような優れた効果が得られる。 (1) 管内電極部品の表面面積が小さくなるため、電極部
品の表面の吸着ガスが少なくなる。 (2) 管内電極部品の表面上の凹み突起が少ないため、局
部的な電界の集中が緩和され、電極部品の表面で起こる
微小放電を抑えることが出来る。 (3) 電解複合研磨加工時に表面上の異物（金属微粉）等
を取り除く効果がある。 (4) 上記(1),(2),(3) の理由から、耐電圧特性が向上す
る。
なくとも１つの電極の表面に電解複合研磨が施されてい
るので、次のような優れた効果が得られる。 (1) 管内電極部品の表面面積が小さくなるため、電極部
品の表面の吸着ガスが少なくなる。 (2) 管内電極部品の表面上の凹み突起が少ないため、局
部的な電界の集中が緩和され、電極部品の表面で起こる
微小放電を抑えることが出来る。 (3) 電解複合研磨加工時に表面上の異物（金属微粉）等
を取り除く効果がある。 (4) 上記(1),(2),(3) の理由から、耐電圧特性が向上す
る。
【図１】この発明の一実施例に係る高電圧電子管（Ｘ線
管）を示す概略断面図。
管）を示す概略断面図。
【図２】この発明の高電圧電子管における管内電極の表
面粗さを示す特性曲線図。
面粗さを示す特性曲線図。
【図３】この発明の高電圧電子管における管内電極のＤ
Ｃ回路による管電流安定度を示す特性曲線図（〜１．５
時間）。
Ｃ回路による管電流安定度を示す特性曲線図（〜１．５
時間）。
【図４】この発明の高電圧電子管における管内電極のＤ
Ｃ回路による管電流安定度を示す特性曲線図（４．５時
間〜６時間）。
Ｃ回路による管電流安定度を示す特性曲線図（４．５時
間〜６時間）。
【図５】従来の高電圧電子管における管内電極の表面粗
さを示す特性曲線図。
さを示す特性曲線図。
【図６】従来の高電圧電子管における管内電極のＤＣ回
路による管電流安定度を示す特性曲線図（〜１．５時
間）。
路による管電流安定度を示す特性曲線図（〜１．５時
間）。
【図７】従来の高電圧電子管における管内電極のＤＣ回
路による管電流安定度を示す特性曲線図（４．５時間〜
６時間）。
路による管電流安定度を示す特性曲線図（４．５時間〜
６時間）。
１…真空容器、２…陰極、３…陽極タ−ゲット、４…回
転円筒。
転円筒。
Claims (2)
- 【請求項１】 真空容器内に異なる電位が与えられる複
数の電極が配置されてなる高電圧電子管において、 上記複数の電極のうち少なくとも１つの電極の表面に電
解複合研磨が施されてなることを特徴とする高電圧電子
管。 - 【請求項２】 真空容器内に異なる電位が与えられる複
数の電極を配置する高電圧電子管の製造方法において、 予め上記複数の電極のうち少なくとも１つの電極の表面
に電解複合研磨を施し、該電極を上記真空容器内に配置
することを特徴とする高電圧電子管の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30747391A JPH05144394A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 高電圧電子管及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP30747391A JPH05144394A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 高電圧電子管及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05144394A true JPH05144394A (ja) | 1993-06-11 |
Family
ID=17969505
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP30747391A Pending JPH05144394A (ja) | 1991-11-22 | 1991-11-22 | 高電圧電子管及びその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05144394A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015114917A1 (ja) * | 2014-01-29 | 2015-08-06 | 株式会社島津製作所 | 金属電極、それを用いた電子銃、電子管並びにｘ線管 |
-
1991
- 1991-11-22 JP JP30747391A patent/JPH05144394A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2015114917A1 (ja) * | 2014-01-29 | 2015-08-06 | 株式会社島津製作所 | 金属電極、それを用いた電子銃、電子管並びにｘ線管 |
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