JPH05131113A - 有機溶剤回収方法及び装置 - Google Patents
有機溶剤回収方法及び装置Info
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- JPH05131113A JPH05131113A JP4095010A JP9501092A JPH05131113A JP H05131113 A JPH05131113 A JP H05131113A JP 4095010 A JP4095010 A JP 4095010A JP 9501092 A JP9501092 A JP 9501092A JP H05131113 A JPH05131113 A JP H05131113A
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- water
- activated carbon
- solvent
- soluble
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- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02W—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES RELATED TO WASTEWATER TREATMENT OR WASTE MANAGEMENT
- Y02W10/00—Technologies for wastewater treatment
- Y02W10/10—Biological treatment of water, waste water, or sewage
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- Treating Waste Gases (AREA)
- Separation Of Gases By Adsorption (AREA)
- Activated Sludge Processes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 有機溶剤を使用している工程から排出するガ
スを有機溶剤吸着用活性炭により濾過して排気すると共
に、活性炭に吸着した有機溶剤を回収する方法及び装置
を提供する。 【構成】 活性炭により有機溶剤含有排出ガス１を濾過
して排気した後、有機溶剤を吸着した活性炭を水蒸気の
供給にて再生すると共に、有機溶剤含有水蒸気を凝縮し
て液化し、その凝縮液１１を油水分離して水に難溶又は
不溶性有機溶剤を再利用すると共に、水溶性有機溶剤含
有分離水を有機溶剤分解手段２７によって分解して分離
水を清浄化処理する。
スを有機溶剤吸着用活性炭により濾過して排気すると共
に、活性炭に吸着した有機溶剤を回収する方法及び装置
を提供する。 【構成】 活性炭により有機溶剤含有排出ガス１を濾過
して排気した後、有機溶剤を吸着した活性炭を水蒸気の
供給にて再生すると共に、有機溶剤含有水蒸気を凝縮し
て液化し、その凝縮液１１を油水分離して水に難溶又は
不溶性有機溶剤を再利用すると共に、水溶性有機溶剤含
有分離水を有機溶剤分解手段２７によって分解して分離
水を清浄化処理する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、有機溶剤を使用してい
る工程から排出するガスを活性炭により濾過して排気す
ると共に、活性炭に吸着した有機溶剤を回収する方法及
び装置に関するものである。
る工程から排出するガスを活性炭により濾過して排気す
ると共に、活性炭に吸着した有機溶剤を回収する方法及
び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば半導体装置の製造においてＰＲ工
程では有機溶剤を含んだガスを使用し、排気の際、大気
汚染を防止するため、有機溶剤を洗浄活性炭に吸着・除
去して回収し、有機溶剤濃度を基準値以下まで下げた空
気を排出しており、その有機溶剤回収装置の一例を図２
を参照して次に示す。図において（１）は有機溶剤含有
排出ガス、（２）はダストフィルタ、（３）はブロワ、
（４）（５）は第１、第２活性炭吸着塔、（６）（７）
は第１、第２水蒸気供給管、（８）（９）は第１、第２
水蒸気排出管、（１０）は凝縮器、（１１）は凝縮液、
（１２）は油水分離器、（１３）は水に難溶又は不溶性
有機溶剤、（１４）は焼却器、（Ｖａ）（Ｖｂ）は第
１、第２吸気弁、（Ｖｃ）（Ｖｄ）は第１、第２排気
弁、（Ｖｅ）（Ｖｆ）は第１、第２供給弁、（Ｖｇ）
（Ｖｈ）は第１、第２排出弁である。上記排出ガス
（１）は水溶性（例えば、アルコール類やメチルエチル
ケトン）、及び水に難溶又は不溶性の有機溶剤を含有し
た排出ガスで、例えば半導体製造時のＰＲ工程より排出
され、ダストフィルタ（２）とブロワ（３）を介して第
１、第２吸気弁（Ｖａ）（Ｖｂ）から第１、第２活性炭
吸着塔（４）（５）に供給する。第１、第２活性炭吸着
塔（４）（５）は活性炭を内蔵し、排出ガス（１）より
有機溶剤を吸着して第１、第２排気弁（Ｖｃ）（Ｖｄ）
を介して排気する。この時、第１、第２活性炭吸着塔
（４）（５）は交互に例えば１５分毎に排気し、一方の
活性炭吸着塔による排気中、後述するように、他方の活
性炭吸着塔に水蒸気を供給して活性炭から有機溶剤を遊
離し、その塔内の活性炭を再生（脱着）する。第１、第
２水蒸気供給管（６）（７）は活性炭再生時に第１、第
２供給弁（Ｖｅ）（Ｖｆ）を介して第１、第２活性炭吸
着塔（４）（５）に水蒸気を供給し、活性炭に吸着して
いる有機溶剤を遊離して活性炭を再生する。第１、第２
水蒸気排出管（８）（９）は第１、第２活性炭吸着塔
（４）（５）から有機溶剤含有水蒸気を排出する。凝縮
器（１０）は上記有機溶剤含有水蒸気を凝縮して液化
し、凝縮液（１１）を排出する。油水分離器（１２）は
凝縮液（１１）を油水分離して水に難溶又は不溶性有機
溶剤（１３）と、水溶性有機溶剤を含んだ分離水とに分
離し、生成した有機溶剤（１３）を再利用すると共に、
水溶性有機溶剤を含んだ分離水を焼却器（１４）にて焼
却処理する。
程では有機溶剤を含んだガスを使用し、排気の際、大気
汚染を防止するため、有機溶剤を洗浄活性炭に吸着・除
去して回収し、有機溶剤濃度を基準値以下まで下げた空
気を排出しており、その有機溶剤回収装置の一例を図２
を参照して次に示す。図において（１）は有機溶剤含有
排出ガス、（２）はダストフィルタ、（３）はブロワ、
（４）（５）は第１、第２活性炭吸着塔、（６）（７）
は第１、第２水蒸気供給管、（８）（９）は第１、第２
水蒸気排出管、（１０）は凝縮器、（１１）は凝縮液、
（１２）は油水分離器、（１３）は水に難溶又は不溶性
有機溶剤、（１４）は焼却器、（Ｖａ）（Ｖｂ）は第
１、第２吸気弁、（Ｖｃ）（Ｖｄ）は第１、第２排気
弁、（Ｖｅ）（Ｖｆ）は第１、第２供給弁、（Ｖｇ）
（Ｖｈ）は第１、第２排出弁である。上記排出ガス
（１）は水溶性（例えば、アルコール類やメチルエチル
ケトン）、及び水に難溶又は不溶性の有機溶剤を含有し
た排出ガスで、例えば半導体製造時のＰＲ工程より排出
され、ダストフィルタ（２）とブロワ（３）を介して第
１、第２吸気弁（Ｖａ）（Ｖｂ）から第１、第２活性炭
吸着塔（４）（５）に供給する。第１、第２活性炭吸着
塔（４）（５）は活性炭を内蔵し、排出ガス（１）より
有機溶剤を吸着して第１、第２排気弁（Ｖｃ）（Ｖｄ）
を介して排気する。この時、第１、第２活性炭吸着塔
（４）（５）は交互に例えば１５分毎に排気し、一方の
活性炭吸着塔による排気中、後述するように、他方の活
性炭吸着塔に水蒸気を供給して活性炭から有機溶剤を遊
離し、その塔内の活性炭を再生（脱着）する。第１、第
２水蒸気供給管（６）（７）は活性炭再生時に第１、第
２供給弁（Ｖｅ）（Ｖｆ）を介して第１、第２活性炭吸
着塔（４）（５）に水蒸気を供給し、活性炭に吸着して
いる有機溶剤を遊離して活性炭を再生する。第１、第２
水蒸気排出管（８）（９）は第１、第２活性炭吸着塔
（４）（５）から有機溶剤含有水蒸気を排出する。凝縮
器（１０）は上記有機溶剤含有水蒸気を凝縮して液化
し、凝縮液（１１）を排出する。油水分離器（１２）は
凝縮液（１１）を油水分離して水に難溶又は不溶性有機
溶剤（１３）と、水溶性有機溶剤を含んだ分離水とに分
離し、生成した有機溶剤（１３）を再利用すると共に、
水溶性有機溶剤を含んだ分離水を焼却器（１４）にて焼
却処理する。
【０００３】上記構成において、まず第１吸排気弁（Ｖ
ａ）（Ｖｃ）を開くと共に、第１供給及び排出管（Ｖ
ｅ）（Ｖｇ）を閉じて、第１活性炭吸着塔（４）を吸着
中とする。同時に、第２吸排気弁（Ｖｂ）（Ｖｄ）を閉
じると共に、第２供給及び排出管（Ｖｆ）（Ｖｈ）を開
いて、第２活性炭吸着塔（５）を再生中とする。そこ
で、有機溶剤含有排出ガス（１）をダストフィルタ
（２）とブロワ（３）を介して第１吸気弁（Ｖａ）から
第１活性炭吸着塔（４）に供給して有機溶剤を除去した
ガスを大気中に排出する。同時に、第２活性炭吸着塔
（５）により活性炭を再生すると共に、その塔より排出
した有機溶剤含有水蒸気を凝縮して液化し、更に油水分
離器（１２）にて凝縮液（１１）を油水分離して生成し
た有機溶剤（１３）を再利用すると共に、水溶性有機溶
剤を含んだ分離水を焼却器（１４）にて焼却処理する。
ａ）（Ｖｃ）を開くと共に、第１供給及び排出管（Ｖ
ｅ）（Ｖｇ）を閉じて、第１活性炭吸着塔（４）を吸着
中とする。同時に、第２吸排気弁（Ｖｂ）（Ｖｄ）を閉
じると共に、第２供給及び排出管（Ｖｆ）（Ｖｈ）を開
いて、第２活性炭吸着塔（５）を再生中とする。そこ
で、有機溶剤含有排出ガス（１）をダストフィルタ
（２）とブロワ（３）を介して第１吸気弁（Ｖａ）から
第１活性炭吸着塔（４）に供給して有機溶剤を除去した
ガスを大気中に排出する。同時に、第２活性炭吸着塔
（５）により活性炭を再生すると共に、その塔より排出
した有機溶剤含有水蒸気を凝縮して液化し、更に油水分
離器（１２）にて凝縮液（１１）を油水分離して生成し
た有機溶剤（１３）を再利用すると共に、水溶性有機溶
剤を含んだ分離水を焼却器（１４）にて焼却処理する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】解決しようとする課題
は、油水分離器（１２）により油水分離して生成した水
溶性有機溶剤含有分離水を焼却器（１４）にて焼却処理
すると、水分を多く含む（約９９％）ため、燃料費が高
く付き、且つ、焼却後の排出ガスも例えば、塩素系有機
溶剤の場合、塩酸を生じるため、焼却器（１４）の後に
排出ガス処理装置を設ける必要があり、更に、排出ガス
処理装置から生じる排液を処理しなければならず、コス
ト増を招く点である。又、通常、処理場は遠隔地にある
ため、そこまでの運搬費用も掛かって更にコストを増大
させる。
は、油水分離器（１２）により油水分離して生成した水
溶性有機溶剤含有分離水を焼却器（１４）にて焼却処理
すると、水分を多く含む（約９９％）ため、燃料費が高
く付き、且つ、焼却後の排出ガスも例えば、塩素系有機
溶剤の場合、塩酸を生じるため、焼却器（１４）の後に
排出ガス処理装置を設ける必要があり、更に、排出ガス
処理装置から生じる排液を処理しなければならず、コス
ト増を招く点である。又、通常、処理場は遠隔地にある
ため、そこまでの運搬費用も掛かって更にコストを増大
させる。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、その方法とし
て、有機溶剤吸着用活性炭により有機溶剤含有排出ガス
を濾過して排気した後、有機溶剤を吸着した活性炭に水
蒸気を供給して活性炭を再生すると共に、活性炭から排
出した有機溶剤含有水蒸気を凝縮して液化し、その凝縮
液を油水分離して水に難溶又は不溶性有機溶剤を回収・
再利用すると共に、水溶性有機溶剤含有分離水中の有機
溶剤を分解して分離水を清浄化処理することを特徴と
し、
て、有機溶剤吸着用活性炭により有機溶剤含有排出ガス
を濾過して排気した後、有機溶剤を吸着した活性炭に水
蒸気を供給して活性炭を再生すると共に、活性炭から排
出した有機溶剤含有水蒸気を凝縮して液化し、その凝縮
液を油水分離して水に難溶又は不溶性有機溶剤を回収・
再利用すると共に、水溶性有機溶剤含有分離水中の有機
溶剤を分解して分離水を清浄化処理することを特徴と
し、
【０００６】その装置は、有機溶剤吸着用活性炭により
有機溶剤含有排出ガスを濾過して排気する活性炭吸着塔
と、上記活性炭吸着塔に水蒸気を供給して活性炭を再生
すると共に、活性炭吸着塔から有機溶剤含有水蒸気を排
出する水蒸気供給及び排出管と、上記有機溶剤含有水蒸
気を液化する凝縮器と、上記凝縮器より排出した凝縮液
を水に難溶又は不溶性有機物質と水溶性有機溶剤含有分
離水とに分離する油水分離器と、上記水溶性有機溶剤含
有分離水の有機溶剤を分解して分離水を清浄化処理する
有機溶剤分解手段とを具備したことを特徴とする。又、
有機溶剤分解手段として、上記水溶性有機溶剤含有分離
水を気化させる気化器と、上記気化器より排出した蒸気
状有機溶剤をシャワ水にて吸収すると共に、水蒸気を有
機溶剤含有排出ガスに回収させるガス洗浄塔と、上記ガ
ス洗浄塔にてシャワ水に吸収した蒸気状有機溶剤が供給
されて活性汚泥により水と二酸化炭素に分解する活性汚
泥槽とを具備したもの、或いは、上記水溶性有機溶剤含
有分離水、又はその蒸気をアーク放電中に晒して有機溶
剤を分解するアーク式有機溶剤分解器がある。
有機溶剤含有排出ガスを濾過して排気する活性炭吸着塔
と、上記活性炭吸着塔に水蒸気を供給して活性炭を再生
すると共に、活性炭吸着塔から有機溶剤含有水蒸気を排
出する水蒸気供給及び排出管と、上記有機溶剤含有水蒸
気を液化する凝縮器と、上記凝縮器より排出した凝縮液
を水に難溶又は不溶性有機物質と水溶性有機溶剤含有分
離水とに分離する油水分離器と、上記水溶性有機溶剤含
有分離水の有機溶剤を分解して分離水を清浄化処理する
有機溶剤分解手段とを具備したことを特徴とする。又、
有機溶剤分解手段として、上記水溶性有機溶剤含有分離
水を気化させる気化器と、上記気化器より排出した蒸気
状有機溶剤をシャワ水にて吸収すると共に、水蒸気を有
機溶剤含有排出ガスに回収させるガス洗浄塔と、上記ガ
ス洗浄塔にてシャワ水に吸収した蒸気状有機溶剤が供給
されて活性汚泥により水と二酸化炭素に分解する活性汚
泥槽とを具備したもの、或いは、上記水溶性有機溶剤含
有分離水、又はその蒸気をアーク放電中に晒して有機溶
剤を分解するアーク式有機溶剤分解器がある。
【０００７】
【作用】上記技術的手段によれば、油水分離器により油
水分離して生成した水溶性有機溶剤含有分離水中の有機
溶剤を有機溶剤分解手段によって分解して分離水を清浄
化処理する。
水分離して生成した水溶性有機溶剤含有分離水中の有機
溶剤を有機溶剤分解手段によって分解して分離水を清浄
化処理する。
【０００８】
【実施例】本発明の実施例を図１及び図２を参照して以
下に説明する。図３に示す部分と同一部分には同一参照
符号を付してその説明を省略する。相違する点は、油水
分離後の水溶性有機溶剤含有分離水の処理に係る有機溶
剤分解手段で、まず図１に示す有機溶剤分解手段（２
７）において、（１５）は気化器、（１６）はガス洗浄
塔、（１７）は活性汚泥槽、（１８）は送風機、（１
９）はポンプである。上記気化器（１５）は、油水分離
器（１２）により油水分離して生成した水溶性有機溶剤
含有分離水を加熱して気化させ、且つ、加熱温度の制御
や外気を取り込む等により適量の蒸気をガス洗浄塔（１
６）内に送る。ガス洗浄塔（１６）は塔内上方に洗浄用
シャワ供給管（２０）を内蔵し、気化器（１５）により
塔下方から供給されて上昇する蒸気状有機物質を塔内で
落下するシャワ水に衝突・吸収させ（約９３〜９８％の
有機溶剤を吸収）、そのまま活性汚泥槽（１７）に落下
・供給する。且つ、吸収されなかった一部の有機溶剤含
有水蒸気をブロア（図３）にて塔上方から排出ガス
（１）に回収し、シャワ水に吸収出来なかった微量の有
機溶剤を活性炭に吸着して水蒸気のみ大気に排出し、有
機溶剤を微量でも含む危険性のある排ガスを放出しな
い。同時に、水蒸気の吸引に伴って蒸気状有機物質の上
昇速度をを加速する。又、塔内に多孔性モレタナ板（２
１）とフィルタ（２２）を具備し、モレタナ板（２１）
によりシャワ水と蒸気状有機溶剤の衝突反応を促進させ
ると共に、フィルタ（２２）により大粒の水滴を遮断す
る。活性汚泥槽（１７）は活性汚泥（２３）を収容し、
ガス洗浄塔（１６）から供給した水溶性の蒸気状有機溶
剤が微生物（酵素）を触媒として酸素と反応し、炭酸ガ
スと水とに分解する（ＣｘＨｙＯｚ＋Ｏ2→ＣＯ2＋Ｈ2
Ｏ）。この時、栄養剤槽（２４）から活性汚泥（２３）
にその栄養剤として窒素と燐を（ＢＯＤ、Ｎ、Ｐ＝１０
０：５：１）の割合で供給しておくと共に、導出管（２
５）にて活性汚泥（２３）を供給又は引き抜いてその量
を調節する。送風機（１８）は送風管（２６）により活
性汚泥槽（１７）内へ蒸気状有機溶剤と反応する酸素の
気泡を供給する。ポンプ（１９）は活性汚泥による分解
によって生成した水をガス洗浄塔（１６）内のシャワ供
給管（２０）に連続的に循環させてシャワ水として利用
する。
下に説明する。図３に示す部分と同一部分には同一参照
符号を付してその説明を省略する。相違する点は、油水
分離後の水溶性有機溶剤含有分離水の処理に係る有機溶
剤分解手段で、まず図１に示す有機溶剤分解手段（２
７）において、（１５）は気化器、（１６）はガス洗浄
塔、（１７）は活性汚泥槽、（１８）は送風機、（１
９）はポンプである。上記気化器（１５）は、油水分離
器（１２）により油水分離して生成した水溶性有機溶剤
含有分離水を加熱して気化させ、且つ、加熱温度の制御
や外気を取り込む等により適量の蒸気をガス洗浄塔（１
６）内に送る。ガス洗浄塔（１６）は塔内上方に洗浄用
シャワ供給管（２０）を内蔵し、気化器（１５）により
塔下方から供給されて上昇する蒸気状有機物質を塔内で
落下するシャワ水に衝突・吸収させ（約９３〜９８％の
有機溶剤を吸収）、そのまま活性汚泥槽（１７）に落下
・供給する。且つ、吸収されなかった一部の有機溶剤含
有水蒸気をブロア（図３）にて塔上方から排出ガス
（１）に回収し、シャワ水に吸収出来なかった微量の有
機溶剤を活性炭に吸着して水蒸気のみ大気に排出し、有
機溶剤を微量でも含む危険性のある排ガスを放出しな
い。同時に、水蒸気の吸引に伴って蒸気状有機物質の上
昇速度をを加速する。又、塔内に多孔性モレタナ板（２
１）とフィルタ（２２）を具備し、モレタナ板（２１）
によりシャワ水と蒸気状有機溶剤の衝突反応を促進させ
ると共に、フィルタ（２２）により大粒の水滴を遮断す
る。活性汚泥槽（１７）は活性汚泥（２３）を収容し、
ガス洗浄塔（１６）から供給した水溶性の蒸気状有機溶
剤が微生物（酵素）を触媒として酸素と反応し、炭酸ガ
スと水とに分解する（ＣｘＨｙＯｚ＋Ｏ2→ＣＯ2＋Ｈ2
Ｏ）。この時、栄養剤槽（２４）から活性汚泥（２３）
にその栄養剤として窒素と燐を（ＢＯＤ、Ｎ、Ｐ＝１０
０：５：１）の割合で供給しておくと共に、導出管（２
５）にて活性汚泥（２３）を供給又は引き抜いてその量
を調節する。送風機（１８）は送風管（２６）により活
性汚泥槽（１７）内へ蒸気状有機溶剤と反応する酸素の
気泡を供給する。ポンプ（１９）は活性汚泥による分解
によって生成した水をガス洗浄塔（１６）内のシャワ供
給管（２０）に連続的に循環させてシャワ水として利用
する。
【０００９】上記構成に基づき本発明の動作（方法）を
次に説明する。まず第１吸排気弁（Ｖａ）（Ｖｃ）を開
くと共に、第１供給及び排出弁（Ｖｅ）（Ｖｇ）を閉じ
て、第１活性炭吸着塔（４）を吸着中とする。同時に、
第２吸排気弁（Ｖｂ）（Ｖｄ）を閉じると共に、第２供
給及び排出弁（Ｖｆ）（Ｖｈ）を開いて、第２活性炭吸
着塔（５）を再生中とする。そこで、従来と同様、水溶
性、及び水に難溶又は不溶性の有機溶剤を含有した排出
ガス（１）をダストフィルタ（２）とブロワ（３）を介
して第１吸気弁（Ｖａ）より第１活性炭吸着塔（４）に
供給して有機溶剤を除去したガスを大気中に排出する。
同時に、第２活性炭吸着塔（５）により活性炭を再生す
ると共に、その塔から排出した有機溶剤含有水蒸気を凝
縮して液化し、更に油水分離器（１２）にて凝縮液（１
１）を油水分離する。そして、生成した有機溶剤（１
３）を再利用し、且つ、水溶性有機溶剤を含んだ分離水
を気化器（１５）にて気化してガス洗浄塔（１６）に送
る。次に、気化器（１５）から供給した蒸気状有機物質
を塔内でシャワ水にて吸収して活性汚泥槽（１７）に落
下・供給し、上述したように、槽内で水溶性の蒸気状有
機溶剤が炭酸ガスと水とに分解すると共に、塔内の有機
溶剤含有水蒸気を有機物質含有排出ガス（１）に回収
し、有機溶剤を活性炭に吸着して水蒸気のみ排気する。
次に説明する。まず第１吸排気弁（Ｖａ）（Ｖｃ）を開
くと共に、第１供給及び排出弁（Ｖｅ）（Ｖｇ）を閉じ
て、第１活性炭吸着塔（４）を吸着中とする。同時に、
第２吸排気弁（Ｖｂ）（Ｖｄ）を閉じると共に、第２供
給及び排出弁（Ｖｆ）（Ｖｈ）を開いて、第２活性炭吸
着塔（５）を再生中とする。そこで、従来と同様、水溶
性、及び水に難溶又は不溶性の有機溶剤を含有した排出
ガス（１）をダストフィルタ（２）とブロワ（３）を介
して第１吸気弁（Ｖａ）より第１活性炭吸着塔（４）に
供給して有機溶剤を除去したガスを大気中に排出する。
同時に、第２活性炭吸着塔（５）により活性炭を再生す
ると共に、その塔から排出した有機溶剤含有水蒸気を凝
縮して液化し、更に油水分離器（１２）にて凝縮液（１
１）を油水分離する。そして、生成した有機溶剤（１
３）を再利用し、且つ、水溶性有機溶剤を含んだ分離水
を気化器（１５）にて気化してガス洗浄塔（１６）に送
る。次に、気化器（１５）から供給した蒸気状有機物質
を塔内でシャワ水にて吸収して活性汚泥槽（１７）に落
下・供給し、上述したように、槽内で水溶性の蒸気状有
機溶剤が炭酸ガスと水とに分解すると共に、塔内の有機
溶剤含有水蒸気を有機物質含有排出ガス（１）に回収
し、有機溶剤を活性炭に吸着して水蒸気のみ排気する。
【００１０】次に、本発明の他の実施例を図２を参照し
て説明する。図１に示す部分と同一部分には同一参照符
号を付してその説明を省略する。図１と相違する点は、
有機溶剤分解手段としてアーク式有機溶剤分解器を用い
たことで、図２に示すアーク式有機溶剤分解器（２８）
は流水槽（２９）と炭素電極（３０）とを具備する。上
記流水槽（２９）は油水分離器（１２）の排水口側に接
続され、油水分離器（１２）において油水分離して生成
した水溶性有機溶剤含有分離水（Ｗ）を流しつつ、又は
攪拌しつつ貯える。炭素電極（３０）は三相交流電源に
接続した３本のアーク放電用電極で、流水槽（２９）中
に浸すことによりその中でアーク放電する。
て説明する。図１に示す部分と同一部分には同一参照符
号を付してその説明を省略する。図１と相違する点は、
有機溶剤分解手段としてアーク式有機溶剤分解器を用い
たことで、図２に示すアーク式有機溶剤分解器（２８）
は流水槽（２９）と炭素電極（３０）とを具備する。上
記流水槽（２９）は油水分離器（１２）の排水口側に接
続され、油水分離器（１２）において油水分離して生成
した水溶性有機溶剤含有分離水（Ｗ）を流しつつ、又は
攪拌しつつ貯える。炭素電極（３０）は三相交流電源に
接続した３本のアーク放電用電極で、流水槽（２９）中
に浸すことによりその中でアーク放電する。
【００１１】上記構成において、流水槽（２９）中で炭
素電極（３０）がアーク放電することにより上記水溶性
有機溶剤含有分離水（Ｗ）を放電中に晒すと、その中の
有機溶剤における高分子結合が分解されて炭素分子、水
素分子、酸素分子及び水や炭酸ガス等になり、それによ
って分離水（Ｗ）を清浄化処理した後、排水する。そし
て、その排水を清浄な水蒸気にして水蒸気供給管（６）
に戻して再生利用する。そうすると、図１に示す実施例
に対し設備が簡単で維持管理が容易になる。又、図示し
ないが、炭素電極（３０）は２本でも良く、更に、その
他の有機溶剤分解手段として着色の分離水（Ｗ）の場
合、アーク放電に代えてレーザ光線を用いても良い。
素電極（３０）がアーク放電することにより上記水溶性
有機溶剤含有分離水（Ｗ）を放電中に晒すと、その中の
有機溶剤における高分子結合が分解されて炭素分子、水
素分子、酸素分子及び水や炭酸ガス等になり、それによ
って分離水（Ｗ）を清浄化処理した後、排水する。そし
て、その排水を清浄な水蒸気にして水蒸気供給管（６）
に戻して再生利用する。そうすると、図１に示す実施例
に対し設備が簡単で維持管理が容易になる。又、図示し
ないが、炭素電極（３０）は２本でも良く、更に、その
他の有機溶剤分解手段として着色の分離水（Ｗ）の場
合、アーク放電に代えてレーザ光線を用いても良い。
【００１２】或いは、上記分離水（Ｗ）を図１に示す有
機溶剤分解手段（２７）中の気化器（１５）を経て気化
させた後、その蒸気をアーク放電中に晒して有機溶剤を
分解し、有機溶剤分解手段（２７）と有機溶剤分解器
（２８）を並列使用しても良い。又、有機溶剤分解手段
（２７）の前又は後に有機溶剤分解器（２８）を直列に
組み合わせて使用しても良い。
機溶剤分解手段（２７）中の気化器（１５）を経て気化
させた後、その蒸気をアーク放電中に晒して有機溶剤を
分解し、有機溶剤分解手段（２７）と有機溶剤分解器
（２８）を並列使用しても良い。又、有機溶剤分解手段
（２７）の前又は後に有機溶剤分解器（２８）を直列に
組み合わせて使用しても良い。
【００１３】
【発明の効果】本発明によれば、半導体の製造工程等で
生じた有機溶剤含有排出ガスを有機溶剤吸着用活性炭に
より濾過して排気した後、有機溶剤を吸着した活性炭に
水蒸気を供給して再生し、活性炭から排出した有機溶剤
含有水蒸気を液化してその内の水溶性有機剤含有分離水
から有機溶剤を回収する際、上記分離水中の有機溶剤を
有機溶剤分解手段によって分解して分離水を清浄化処理
するようにしたから、水溶性有機剤含有分離水の処理費
が大幅に低減され、且つ、有機溶剤を含む危険性のある
排ガスを放出しない。
生じた有機溶剤含有排出ガスを有機溶剤吸着用活性炭に
より濾過して排気した後、有機溶剤を吸着した活性炭に
水蒸気を供給して再生し、活性炭から排出した有機溶剤
含有水蒸気を液化してその内の水溶性有機剤含有分離水
から有機溶剤を回収する際、上記分離水中の有機溶剤を
有機溶剤分解手段によって分解して分離水を清浄化処理
するようにしたから、水溶性有機剤含有分離水の処理費
が大幅に低減され、且つ、有機溶剤を含む危険性のある
排ガスを放出しない。
【図１】本発明に係る有機溶剤回収方法及び装置の実施
例を示すブロック図である。
例を示すブロック図である。
【図２】本発明に係る有機溶剤回収装置の他の実施例を
示すブロック図である。
示すブロック図である。
【図３】従来の有機溶剤回収方法及び装置の一例を示す
ブロック図である。
ブロック図である。
１ 有機溶剤含有排出ガス ４、５ 第１、第２活性炭吸着塔 ６、７ 第１、第２水蒸気供給管 ８、９ 第１、第２水蒸気排出管 １０ 凝縮器 １２ 油水分離器 ２７ 有機溶剤分解手段
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ０２Ｆ 3/12 Ｖ 9153−4Ｄ
Claims (4)
- 【請求項１】 有機溶剤吸着用活性炭により有機溶剤含
有排出ガスを濾過して排気した後、有機溶剤を吸着した
活性炭に水蒸気を供給して活性炭を再生すると共に、活
性炭から排出した有機溶剤含有水蒸気を凝縮して液化
し、その凝縮液を油水分離した水溶性有機溶剤含有分離
水を有機溶剤の分解により清浄化処理することを特徴と
する有機溶剤回収方法。 - 【請求項２】 有機溶剤吸着用活性炭により有機溶剤含
有排出ガスを濾過して排気する活性炭吸着塔と、上記活
性炭吸着塔に水蒸気を供給して活性炭を再生すると共
に、活性炭吸着塔から有機溶剤含有水蒸気を排出する水
蒸気供給及び排出管と、上記有機溶剤含有水蒸気を液化
する凝縮器と、上記凝縮器より排出した凝縮液を水に難
溶又は不溶性有機物質と水溶性有機溶剤含有分離水とに
分離する油水分離器と、上記水溶性有機溶剤含有分離水
を有機溶剤の分解により清浄化処理する有機溶剤分解手
段とを具備したことを特徴とする有機溶剤回収装置。 - 【請求項３】 有機溶剤分解手段は、上記水溶性有機溶
剤含有分離水を気化させる気化器と、上記気化器より排
出した蒸気状有機溶剤をシャワ水にて吸収すると共に、
水蒸気を有機溶剤含有排出ガスに回収させるガス洗浄塔
と、上記ガス洗浄塔にてシャワ水に吸収した蒸気状有機
溶剤が供給されて活性汚泥により水と二酸化炭素に分解
する活性汚泥槽とを具備したことを特徴とする請求項２
記載の有機溶剤回収装置。 - 【請求項４】 有機溶剤分解手段は、上記水溶性有機溶
剤含有分離水、又はその蒸気をアーク放電中に晒して有
機溶剤を分解するアーク式有機溶剤分解器であることを
特徴とする請求項２記載の有機溶剤回収装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4095010A JPH05131113A (ja) | 1991-09-21 | 1992-04-15 | 有機溶剤回収方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP3-242178 | 1991-09-21 | ||
| JP24217891 | 1991-09-21 | ||
| JP4095010A JPH05131113A (ja) | 1991-09-21 | 1992-04-15 | 有機溶剤回収方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05131113A true JPH05131113A (ja) | 1993-05-28 |
Family
ID=26436269
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4095010A Pending JPH05131113A (ja) | 1991-09-21 | 1992-04-15 | 有機溶剤回収方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05131113A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6444015B2 (en) | 2000-06-16 | 2002-09-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus for treating gas containing substance to be decomposed and method of treating its gas |
| US7144556B2 (en) | 2002-04-25 | 2006-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for decomposition of substance contained in gas |
| JP2010121513A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 揮発性有機化合物の処理システム |
-
1992
- 1992-04-15 JP JP4095010A patent/JPH05131113A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6444015B2 (en) | 2000-06-16 | 2002-09-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus for treating gas containing substance to be decomposed and method of treating its gas |
| US6585897B2 (en) | 2000-06-16 | 2003-07-01 | Canon Kabushiki Kaisha | Apparatus for treating gas containing substance to be decomposed and method of treating its gas |
| US7144556B2 (en) | 2002-04-25 | 2006-12-05 | Canon Kabushiki Kaisha | Method and apparatus for decomposition of substance contained in gas |
| JP2010121513A (ja) * | 2008-11-19 | 2010-06-03 | Mitsui Eng & Shipbuild Co Ltd | 揮発性有機化合物の処理システム |
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