JPH05128516A

JPH05128516A - 磁気記録媒体の製造方法

Info

Publication number: JPH05128516A
Application number: JP31017091A
Authority: JP
Inventors: Yoshio Tanno; 嘉雄丹野
Original assignee: Sony Corp
Current assignee: Sony Corp
Priority date: 1991-10-30
Filing date: 1991-10-30
Publication date: 1993-05-25

Abstract

(57)【要約】【目的】磁性層の表面形状の劣化を防止し、ドロップ
アウトを抑える。【構成】移動する非磁性支持体が巻回される冷却キャ
ンの下方に設けられたルツボ６内に磁性材料を収納し、
この磁性材料を所定の加熱手段により加熱蒸発せしめて
上記非磁性支持体上に蒸着して磁性層を形成するに際
し、上記ルツボ６の溶融した磁性材料の液面位置ｄに沿
って溝１０を設け、前記磁性材料の熱対流によって上記
溝１０内に上記ルツボ６の表面や上記加熱溶解された磁
性材料から出される不純物が溜まるようにする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、磁性層とされる磁性薄
膜を蒸着法により非磁性支持体上に形成する磁気記録媒
体の製造方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】金属あるいはＣｏ−Ｎｉ等の合金からな
る磁性材料をメッキや真空薄膜形成技術（真空蒸着法、
スパッタリング法、イオンプレーティング法等）により
ポリエステルフィルムやポリイミドフィルム等の非磁性
支持体上に直接被着した、所謂強磁性金属薄膜型の磁気
記録媒体は、保磁力、角形比等に優れ、短波長域におけ
る電磁変換特性に優れるばかりでなく、磁性層の薄膜化
が可能であるために記録減磁や再生時の厚み損失が著し
く小さいこと、或いは磁性層中に非磁性材料である結合
剤等を混入する必要がないために磁性材料の充填密度を
高くできること等、数々の利点を有している。

【０００３】そして、この種の磁気記録媒体の電磁変換
特性を向上させ、より大きな出力を得ることができるよ
うにするために、当該磁気記録媒体の磁性層を形成する
手段として、磁性材料を斜めに蒸着する所謂斜方蒸着が
提案され実用化されている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
な斜方蒸着により磁気記録媒体を製造する方法において
は、移動する非磁性支持体が巻回される冷却キャンの下
方に設けられたルツボ内に磁性材料を収容し、この磁性
材料を電子ビーム等の加熱手段により加熱蒸発させて、
その蒸発せしめられた磁性材料を上記非磁性支持体上に
被着形成させることにより磁性層を形成している。

【０００５】しかし、この方法により磁性層を形成する
場合、上記磁性材料に含まれた不純物やルツボの表面に
付着した不純物が上記磁性材料の加熱溶融に伴ってこの
磁性材料の液面に浮遊することがあり、これに電子ビー
ム等が照射されると、当該不純物と前記磁性材料との蒸
発温度の差異等によって当該不純物や磁性材料が飛び散
り、良好な蒸着が行えない虞れがある。

【０００６】この結果、得られる磁性層の表面形状が劣
化したり、ドロップアウトの発生の原因となり、信頼性
に優れた磁気記録媒体を製造することが困難となる。

【０００７】そこで本発明は、上述の従来の実情に鑑み
て提案されたものであり、磁性層の表面形状の劣化を防
止し、ドロップアウトを抑えることが可能な磁気記録媒
体の製造方法を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造方法は、上述の目的を達成するために提案されたも
のである。即ち、本発明はルツボ内に収容した磁性材料
を加熱蒸発せしめ、この磁性材料を非磁性支持体上に蒸
着して磁性薄膜を形成する磁気記録媒体の製造方法にお
いて、前記ルツボの溶融した磁性材料の液面位置に溝を
設けることを特徴とするものである。

【０００９】本発明においては、磁気記録媒体の磁性層
を構成する磁性薄膜を斜方蒸着により形成する。この斜
方蒸着とは、走行する非磁性支持体に対して蒸発源から
蒸発せしめられた磁性材料を斜めに蒸着させる方法であ
る。このような斜方蒸着に際して、上記磁性材料を収容
するルツボ内の前記磁性材料の液面位置に溝を設ける。
これにより、所定の加熱手段により加熱溶融された磁性
材料の熱対流によって上記溝内に上記ルツボの表面や上
記加熱溶解された磁性材料から出される不純物が溜ま
り、この不純物を磁性材料の液面から除去することがで
きる。この結果、上記不純物の加熱蒸発に伴う磁性材料
の飛び散りが防止され、良好な蒸着を行うことが可能と
なる。

【００１０】上記溝は、溶融した磁性材料の液面位置に
沿って全周に亘って設けられることが理想的であるが、
少なくともルツボの長手方向に沿って設けられることが
望ましい。また、この溝の形状及び大きさは、特に限定
されず、適宜設定されることが望ましい。

【００１１】上記磁性薄膜を構成する磁性材料として
は、一般的に使用されているものであれば何れでも良い
が、好ましくは金属磁性材料が使用されるのが良い。こ
の場合、金属磁性材料としては、通常この種の磁気記録
媒体で使用されるものが何れも使用可能である。具体的
に例示すれば、Ｆｅ、Ｃｏ、Ｎｉ等の磁性金属や、Ｆｅ
−Ｃｏ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−
Ｃｒ、Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ等が
挙げられる。

【００１２】また、上記非磁性支持体としては、通常こ
の種の磁気記録媒体において使用されるものが何れも使
用可能であり、例えばポリエチレンテレフタレート、ポ
リエチレン−２，６−ナフタレート等のポリエステル樹
脂や芳香族ポリアミドフィルム、ポリイミド樹脂フィル
ム等が挙げられる。

【００１３】更に、本発明においては、必要に応じて、
上記基体上に下塗り膜を形成する工程やバックコート
層、トップコート層等を形成する工程等を加えても良
い。この場合、下塗り膜、バックコート層、トップコー
ト層等の成膜条件は、通常この種の磁気記録媒体の製造
方法に適用される方法であれば良く、特に限定されな
い。

【００１４】

【作用】ルツボ内に収容された磁性材料を電子ビーム等
の加熱手段を介して加熱溶融させると、この磁性材料に
含まれる不純物や上記ルツボの表面に付着した不純物が
液面に浮遊してくる。この不純物は、加熱溶融された磁
性材料の熱対流によって液面の端の方に寄せられる。

【００１５】そこで、上記ルツボの溶融した磁性材料の
液面位置に溝を設ければ、上記不純物は当該溝内に入り
込み、電子ビームが照射される領域から外れた位置に確
実に溜められる。これにより、この不純物が加熱蒸発さ
れることがなくなり、当該不純物の加熱蒸発による磁性
材料の飛び散りが防止される。

【００１６】

【実施例】以下、本発明を適用した磁気記録媒体の製造
方法の実施例を具体的に説明する。先ず、本発明にかか
る磁気記録媒体の製造方法に使用される製造装置の一例
にるいて説明する。

【００１７】この製造装置においては、図１に示すよう
に、内部が真空状態となされた真空室１内に冷却キャン
５，送りロール３及び巻取りロール４が配設されてな
り、前記冷却キャン５の外周面に沿ってテープ状の非支
持支持体２が図１中の矢印Ｘ方向に定速回転するように
上記送りロール３から巻取りロール４に順次走行するよ
うになされている。

【００１８】上記冷却キャン５は、上記各ロール３，４
の径よりも大径となされ、上記送りロール３から巻取り
ロール４側に走行する中途部に上記非支持支持体２を図
中側方に引き出すように設けられる。なお、上記送りロ
ール３、巻取りロール４及び冷却キャン５は、それぞれ
非支持支持体２の幅と略同じ長さからなる円筒状をなす
ものであり、また上記冷却キャン５には、内部に図示し
ない冷却装置が設けられ、上記非磁性支持体２の温度上
昇による変形等を抑制し得るようになされている。

【００１９】また、上記真空室１内には、上記冷却キャ
ン５の下方にマグネシア系セラミック等からなるルツボ
６が設けられ、このルツボ６内に金属磁性材料７が充填
されている。このルツボ６は、図２に示すように、上記
冷却キャン５の幅と略同一、或いは稍々大きめの長さを
有するものであり、上面に金属磁性材料７の収容部とな
る断面略半円型の凹部（曲率半径５０ｍｍ）を有してい
る。このルツボ６には、断面略矩形状の溝１０が形成さ
れる。この溝１０は、溶融された上記金属磁性材料７の
液面位置を上下に跨いで上記凹部の壁面に切削形成され
てなるものであり、前記凹部を幅方向に拡大する如く外
方に向かって形成される。

【００２０】ここで、上記金属磁性材料７が電子ビーム
銃等によって構成されてなる加熱手段８により加熱溶融
されると、この金属磁性材料７に含まれる不純物や上記
ルツボの表面に付着した不純物が液面に浮遊してくる。
この不純物は、上記金属磁性材料９の熱対流によって上
記液面の端の方に寄せられ、更に上記溝１０内に溜めら
れる。従って、上記ルツボ６内の上記金属磁性材料７に
電子ビームを照射しても、上記不純物は上記溝１０内に
確実に溜められているので、この不純物の加熱蒸発によ
る磁性材料の飛び散りを防止することができ、良好な蒸
着を行うことができる。

【００２１】また、上記溝１０は、図３に示すように、
上記ルツボ６の長手方向に沿って設けられ、その上方に
上記ルツボ６の一部が庇状に残存するかたちに形成され
る。この庇状の部分は、上記不純物に電子ビームが照射
されるのを確実に防止するとともに、溶融した上記金属
磁性材料７の放熱を最小限に防止する機能を有する。

【００２２】一方、上記冷却キャン５の上方には、電子
ビーム銃等によって構成されてなる加熱手段８が設けら
れている。この加熱手段８は、上記ルツボ６内に充填さ
れた金属磁性材料７を加熱蒸発させるものであり、この
加熱手段８によって蒸発した金属磁性材料７は、上記冷
却キャン５の周面を定速走行する非磁性支持体２上に磁
性層として被着形成されるようになされている。

【００２３】また、上記冷却キャン５と上記金属磁性材
料７が収容されたルツボ６との間であって該冷却キャン
５の近傍には、シャッタ９が配設されている。このシャ
ッタ９は、上記金属磁性材料７が上記非磁性支持体２に
対して所定の角度範囲で斜めに蒸着されるように該非磁
性支持体２の所定領域を覆うものである。

【００２４】従って、このような製造装置においては、
上記ルツボ６内に充填された金属磁性材料７は、上記加
熱手段８により加熱され蒸発される。そして、この蒸発
された金属磁性材料７は、上記非磁性支持体２に対して
斜めに被着され磁性層となる。この際、上記冷却キャン
５と上記金属磁性材料７が収容されたルツボ６との間に
は、前記シャッタ９が配設されているので、このシャッ
タ９によって最低入射角θ₁が規定される。

【００２５】また、上記真空室１内には、上記冷却キャ
ン５の右側と左側を分断するごとく、仕切り板１１が設
けられている。これにより、上記送りロール３から送り
出された非磁性支持体２が上記仕切り板１１を通過した
時点から再び当該仕切り板１１を通過するまでの領域が
蒸着領域とされ、この蒸着領域における所定の領域で上
記非磁性支持体２に対して蒸着がなされる。このような
仕切り板１１を設けることにより、上記加熱手段８によ
り蒸発せしめられた金属磁性材料９が上記蒸着領域以外
の領域に拡散されることがなくなるので、蒸着効率が向
上される。

【００２６】そこで、このような構成を有する製造装置
を用い、１０ｍ／分のテープスピードで上記非磁性支持
体を走行させながら斜方蒸着を行って磁性層を形成し
た。そして、得られた磁気テープのドロップアウト及び
磁性層の膜厚のばらつきを測定し、上述のような溝が設
けられていないルツボを用いた場合（比較例とする。）
についても同様にして調べて、これらの結果を下記の表
１に示した。なお、上記真空室内の真空度は８×１０^-5
Ｔｏｒｒとし、電子ビーム銃のビームパワーは１５ｋＷ
とした。

【００２７】

【表１】

【００２８】表１に示すように、加熱溶融された金属磁
性材料の液面に浮遊してくる不純物を溜めるための溝を
有するルツボを用いて斜方蒸着を行った場合には、ドロ
ップアウトの低減化が図られることが判った。またこの
場合、上述のような溝を設けたことによって従来のルツ
ボを用いた場合と蒸着条件が異なるにもかかわらず、得
られた磁性層の膜厚のバラツキは、上記溝を有しないル
ツボを用いた場合とほぼ同程度であり、溝を設けること
によって何ら不都合を生じないことが明らかである。

【００２９】なお、上記溝１０の形状としては、本実施
例のような形状に限らず、例えば図４に示すように、上
記ルツボ６の収容部（断面略半円型の凹部）の上端部を
単に当該ルツボ６の幅方向に拡大する形状でも良く、或
いは図５に示すように、上記収容部の上端部を当該ルツ
ボ６の幅方向に拡大し、更にこの拡大した部分をオーバ
ーフローさせるような形状でも良い。この場合、溶融し
た磁性材料の液面の端の方に寄せられた不純物は、上記
溝１０におけるオーバーフローされた部分により確実に
溜められる。また、ルツボ６においては、本実施例のよ
うに必ずしも溝１０の上方にルツボ６の庇部６ａを形成
する必要はなく、溝１０の形状によっては上記庇部６ａ
を有しない構成とされても良い。

【００３０】

【発明の効果】以上の説明からも明らかなように、本発
明では、ルツボ内に収納された磁性材料の液面位置に設
けられた溝内に上記磁性材料の液面に浮遊してくる不純
物を溜めることができるので、上記不純物に電子ビーム
等が照射されることによる蒸着時の不都合を防止するこ
とができる。従って、得られる磁性層の表面形状が劣化
する虞れがなく、ドロップアウトの低減化を図ることが
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の磁気記録媒体の製造方法において使用
される製造装置の一例を示す模式図である。

【図２】金属磁性材料の液面に浮遊してくる不純物を溜
めるための溝を有するルツボの構造を示す要部拡大斜視
図である。

【図３】磁性材料が収納されるルツボの構成を示す平面
図である。

【図４】磁性材料が収納されるルツボに形成される溝の
形状の一例を示す断面図である。

【図５】磁性材料が収納されるルツボに形成される溝の
形状の他の例を示す断面図である。

【符号の説明】

１・・・真空室。２・・・非磁性支持体５・・・冷却キャン６・・・ルツボ７・・・金属磁性材料

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ルツボ内に収容した磁性材料を加熱蒸発
せしめ、この磁性材料を非磁性支持体上に蒸着して磁性
薄膜を形成する磁気記録媒体の製造方法において、前記ルツボの溶融した磁性材料の液面位置に溝を設ける
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。