JPH05124201A - Transfer molding resin composition for ink jet recording heads, production of ink jet recording head using the same composition, ink jet recording head produced by hte same method, and recorder provided with the same recording head - Google Patents

Transfer molding resin composition for ink jet recording heads, production of ink jet recording head using the same composition, ink jet recording head produced by hte same method, and recorder provided with the same recording head

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JPH05124201A
JPH05124201A JP28627391A JP28627391A JPH05124201A JP H05124201 A JPH05124201 A JP H05124201A JP 28627391 A JP28627391 A JP 28627391A JP 28627391 A JP28627391 A JP 28627391A JP H05124201 A JPH05124201 A JP H05124201A
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ink
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明彦 下村
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Abstract

PURPOSE:To obtain a recording head not generating separation at an interface between a molded resin layer and a substrate even in a long term storage under high- temperature and high-humidity conditions by incorporating at least an epoxy resin having a polysulfide skeleton in a main chain. CONSTITUTION:A transfer molding resin composition for ink jet recording heads is formed by containing an epoxy resin having a polysulfide skeleton in a main chain. On a substrate 21, an energy generating element 22a to deliver ink is provided. A solid layer 26 having a liquid path pattern including a liquid chamber part 26c is provided on the substrate 21 correspondingly to the element 22a. After that, on the substrate 21, a molded resin layer is so provided as to cover the solid layer 26. By removing the solid layer 26, an ink liquid chamber 26c containing an ink supply port 29d, an ink delivery port 29a, and a liquid path 29b are formed. In this ink jet recording head production method, the molded resin layer is composed of a cured body of said resin composition. In this manner, at a substrate/molded resin layer interface, a generated stress is reduced, and a separation at an interface is prevented from occurring.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法に関し、特にモールド成形法による外形形
成方法に関する。また、本発明は該製造方法で製造した
インクジェット記録ヘッド及び該記録ヘッドを備えた記
録装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for manufacturing an ink jet recording head, and more particularly to an outer shape forming method by a molding method. The present invention also relates to an ink jet recording head manufactured by the manufacturing method and a recording device including the recording head.

【0002】[0002]

【従来の技術】インクジェット記録方式に適用されるイ
ンクジェット記録ヘッド(以下、「記録ヘッド」とい
う)には、一般に、インクが吐出されるための吐出口
と、前記吐出口に供給するためのインクを貯える液室
と、前記吐出口と前記液室とを連通する液路と、前記液
路の一部に設けられたインクを吐出するためのエネルギ
ーを発生するエネルギー発生素子と、前記液室に外部か
らインクを供給するためのインク供給口が設けられてい
る。
2. Description of the Related Art Generally, an ink jet recording head (hereinafter referred to as "recording head") applied to an ink jet recording system has an ejection port for ejecting ink and an ink for supplying to the ejection port. A liquid chamber for storing the liquid, a liquid path for communicating the discharge port with the liquid chamber, an energy generating element provided in a part of the liquid path for generating energy for discharging ink, and an external device for the liquid chamber. An ink supply port is provided to supply ink from.

【0003】従来の記録ヘッドの製造方法としては次の
ようなものが知られている。
The following is known as a conventional method of manufacturing a recording head.

【0004】(1)エネルギー発生素子が設けられた第
1の基板を備え、ガラスや金属などからなる第2の基板
に切削やエッチングなどの加工手段によりインク吐出
口、液路及びインク液室を形成するための凹部ならびに
前記液室と外部とを連通するためのインク供給口を設け
たのち、前記第1の基板に前記第2の基板をエネルギー
発生素子と液路との位置を合わせて接着剤により貼り合
わせる方法。
(1) A first substrate provided with an energy generating element is provided, and an ink ejection port, a liquid path and an ink liquid chamber are formed on a second substrate made of glass or metal by a processing means such as cutting or etching. After providing a concave portion for forming and an ink supply port for communicating the liquid chamber with the outside, the second substrate is bonded to the first substrate while aligning the positions of the energy generating element and the liquid passage. A method of bonding with an agent.

【0005】(2)エネルギー発生素子が設けられたガ
ラスなどからなる第1の基板にポジ型もしくはネガ型の
感光性ドライフィルムを貼り、前記感光性ドライフィル
ムのうちインク吐出口、液路及びインク液室に相当する
パターンをマスクもしくは露出させて露光し、現像して
前記インク吐出口、液路及びインク液室に相当するパタ
ーンの固体層を第1の基板上に設ける。前記固体層およ
び第1の基板の上に硬化剤が混合された液状の硬化性材
料を適宜厚さに塗布し、所定の温度で長時間放置して前
記硬化性材料を硬化させる。ついで、前記硬化性材料が
硬化した第1の基板を吐出口を形成する位置で切断して
前記固体層の端面を露出させたのち前記固体層を溶解す
る溶剤中に浸漬し、前記硬化性材料が硬化した第1の基
板から前記固体層を溶解除去して内部に液路およびイン
ク液室を形成する空間を設ける方法(特開昭61−15
497号公報参照)。
(2) A positive-type or negative-type photosensitive dry film is attached to a first substrate made of glass or the like on which an energy generating element is provided, and the ink discharge port, liquid path and ink of the photosensitive dry film are attached. A pattern corresponding to the liquid chamber is exposed by exposing it by masking or exposing, and a solid layer having a pattern corresponding to the ink discharge port, the liquid path and the ink liquid chamber is provided on the first substrate. A liquid curable material mixed with a curing agent is applied on the solid layer and the first substrate to an appropriate thickness, and left at a predetermined temperature for a long time to cure the curable material. Then, the first substrate on which the curable material is cured is cut at a position where an ejection port is formed to expose the end face of the solid layer, and then the solid layer is immersed in a solvent that dissolves the curable material. A method of dissolving and removing the solid layer from the cured first substrate to provide a space for forming a liquid passage and an ink liquid chamber therein (JP-A-61-15).
497).

【0006】(3)エネルギー発生素子が設けられた第
1の基板にポジ型もしくはネガ型の感光性ドライフィル
ムを貼り、前記感光性ドライフィルムのうちインク吐出
口、液路及びインク液室に相当するパターンをマスクも
しくは露出させて露光し、現像して前記インク吐出口、
液路及びインク液室に相当するパターンの固体層を第1
の基板上に設ける。前記固体層および第1の基板の上に
活性エネルギー線により硬化する活性エネルギー線硬化
性材料を適宜厚さに塗布し、インク液室の一部を形成す
るための凹部およびインク供給口が設けられた活性エネ
ルギー線透過性の第2の基板を前記活性エネルギー線硬
化性材料の上に前記凹部を液室が形成される予定位置に
合わせて貼り付け積層体を作る。つぎに、前記活性エネ
ルギー線硬化性材料のうちインク液室が形成される予定
部分を隠すように第2の基板をマスクして活性エネルギ
ー線をその第2の基板を通して活性エネルギー線硬化性
材料に照射し硬化させる。ついで、前記活性エネルギー
線硬化性材料が硬化された積層体を吐出口を形成する位
置で切断して前記固体層の端面を露出させたのち前記固
体層と未硬化の活性エネルギー線硬化性材料とを溶解す
る溶剤中に浸漬し、前記積層体から前記固体層および未
硬化の活性エネルギー線硬化性材料を溶解除去して内部
に液路およびインク液室を形成する空間を設ける方法
(特開昭62−253457号公報参照)。
(3) A positive type or negative type photosensitive dry film is attached to the first substrate provided with the energy generating element, and corresponds to the ink discharge port, the liquid passage and the ink liquid chamber in the photosensitive dry film. The pattern to be masked or exposed and exposed, and then developed to the ink discharge port,
First, a solid layer having a pattern corresponding to the liquid passage and the ink liquid chamber is formed.
Provided on the substrate. An active energy ray curable material that is cured by an active energy ray is applied to the solid layer and the first substrate to an appropriate thickness to provide a recess and an ink supply port for forming a part of an ink liquid chamber. The active energy ray transparent second substrate is attached to the active energy ray curable material by aligning the concave portion with a predetermined position where the liquid chamber is formed to form a laminated body. Then, the second substrate is masked so as to hide the portion of the active energy ray-curable material in which the ink liquid chamber is to be formed, and the active energy ray is passed through the second substrate to the active energy ray-curable material. Irradiate and cure. Then, after the active energy ray-curable material is cured, the laminated body is cut at a position to form a discharge port to expose the end surface of the solid layer, and then the solid layer and an uncured active energy ray-curable material. Is dissolved in a solvent that dissolves the solid layer and the uncured active energy ray-curable material to be removed from the laminate to provide a space for forming a liquid passage and an ink liquid chamber therein. No. 62-253457).

【0007】(4)最近トランスファーモールドによる
インク液路、インク液室、インク供給口及び天板からな
るモールド樹脂層を一括成形する製造方法が提案されて
いる。
(4) Recently, a manufacturing method has been proposed in which a mold resin layer including an ink liquid passage, an ink liquid chamber, an ink supply port, and a top plate is collectively molded by transfer molding.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の各記録ヘッ
ドの製造方法において、(1)の記録ヘッドの製造方法
では、第2の基板に設けられるインク液室を形成するた
めの凹部を大きくすることにより、高速記録に好適な大
きなインク液室を有する記録ヘッドを製造することがで
きるという利点はあるが、第1の基板と第2の基板とを
接着剤により貼り合わせる際、第1の基板の微細なエネ
ルギー発生素子と第2の基板な微細な液路とを精密に位
置合わせする必要があり、また接着剤で貼り合わせる
際、微細な液路に接着剤が流れ込まない工夫が必要であ
り、そのための装置が複雑、高価なものとなり、また多
量生産性に欠け、製品のコストアップを引き起こすとい
う問題点がある。
In the above-described conventional method of manufacturing each recording head, in the recording head manufacturing method of (1), the concave portion for forming the ink liquid chamber provided on the second substrate is enlarged. Thus, there is an advantage that a recording head having a large ink liquid chamber suitable for high-speed recording can be manufactured, but when the first substrate and the second substrate are bonded by an adhesive, the first substrate It is necessary to precisely align the fine energy generating element of the above with the fine liquid passage of the second substrate, and when bonding with an adhesive, it is necessary to devise that the adhesive does not flow into the fine liquid passage. However, there is a problem in that the apparatus for that purpose becomes complicated and expensive, lacks in mass productivity, and raises the cost of the product.

【0009】(2)の記録ヘッドの製造方法では、
(1)の記録ヘッドの製造方法にみられるような第1の
基板と第2の基板とを貼り合わせる際に発生する問題点
を解決できる利点はある。しかしながら、インク液室の
容積は第1の基板上に設けられるパターン状の固体層の
厚さと同じ高さに制限されてしまうのであまり大きくす
ることができず、また、工程が複雑で時間がかかり、工
程数も多いのでやはり多量生産性に欠け、製品のコスト
アップを引き起こすという問題点がある。
In the method of manufacturing the recording head of (2),
There is an advantage that the problem that occurs when the first substrate and the second substrate are attached to each other, which is found in the method (1) of manufacturing the recording head, can be solved. However, since the volume of the ink liquid chamber is limited to the same height as the thickness of the patterned solid layer provided on the first substrate, it cannot be increased so much, and the process is complicated and time-consuming. However, since the number of processes is large, there is still a problem that mass productivity is lacking, which causes an increase in product cost.

【0010】(3)の記録ヘッドの製造方法では、第2
の基板に設けるインク液室の一部を形成するための凹部
を大きくすることにより、大きな液室を有する記録ヘッ
ドを製造することができるという利点と、(1)の記録
ヘッドの製造方法に見られるような第1の基板と第2の
基板とを貼り合わせる際に発生する問題点を解決できる
利点とがある。しかしながら、(2)の記録ヘッドの製
造方法と同様に工程が複雑で時間がかかり、工程数はさ
らに多いのでやはり多量生産性に欠け、製品のコストア
ップを引き起こすという問題点がある。
In the method of manufacturing a recording head of (3), the second method is used.
The advantage that a recording head having a large liquid chamber can be manufactured by enlarging a concave portion for forming a part of the ink liquid chamber provided on the substrate and the manufacturing method of the recording head described in (1). There is an advantage that a problem that occurs when the first substrate and the second substrate are bonded together can be solved. However, similar to the method of manufacturing the recording head of (2), the process is complicated and time-consuming, and since the number of processes is further increased, there is a problem in that mass productivity is also lost and the cost of the product is increased.

【0011】(4)の記録ヘッドの製造方法では、2つ
の基板を精密に位置合わせして貼り合わせるという工程
を必要とせずに簡単で、少ない工程により精密、信頼性
の高い、多量生産に適した安価なインクジェット記録ヘ
ッドを製造することができるという利点がある。しかし
ながらモールド樹脂層の硬化収縮およびモールド樹脂層
と基板の膨張係数の違いに起因する熱収縮による応力が
記録ヘッドに発生しているため、まれに高温高湿等に長
時間おかれると、モールド樹脂層と基板との界面に剥が
れが生じインクの吐出に影響をおよぼすことがある。
又、同様に高温に長時間おかれるとインクにより樹脂が
膨張し、界面に剥がれが生じインクの吐出に影響をおよ
ぼすことがある。
The method of manufacturing a recording head of (4) is simple and does not require the step of precisely aligning and sticking two substrates together, and is suitable for high-precision, high-reliability mass production with a small number of steps. There is an advantage that an inexpensive inkjet recording head can be manufactured. However, since the recording head is subjected to stress due to heat shrinkage caused by the curing shrinkage of the mold resin layer and the difference in expansion coefficient between the mold resin layer and the substrate, if the recording head is rarely exposed to high temperature and high humidity for a long time, Peeling may occur at the interface between the layer and the substrate, which may affect ink ejection.
Similarly, when the resin is exposed to high temperature for a long time, the resin expands due to the ink and peels off at the interface, which may affect the ejection of the ink.

【0012】本発明は特に(4)の記録ヘッドの製造方
法に関し上記問題点に鑑みてなされたものであり、長期
にわたり高温高湿でもインクの吐出に影響をおよぼさな
いインクジェット記録ヘッドおよびそれに用いるトラン
スファーモールド用樹脂組成物を提供することを目的と
するものである。
The present invention has been made especially in view of the above-mentioned problems with respect to the method of manufacturing a recording head of (4), and an ink jet recording head which does not affect ink ejection even at high temperature and high humidity for a long time, and the same. It is intended to provide a resin composition for transfer molding to be used.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】本発明者等は、高温高湿
で長時間保存してもモールド樹脂層と基板との界面に剥
離の生じない記録ヘッドを得るために研究を重ねた結果
次の点が明らかになった。
Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have conducted extensive research to obtain a recording head in which peeling does not occur at the interface between a mold resin layer and a substrate even after storage at high temperature and high humidity for a long time. Point became clear.

【0014】すなわち、 1.樹脂の耐インク性を向上する、 2.硬化樹脂の弾性率を下げ熱収縮による応力を緩和す
る、ことによりモールド樹脂層と基板との剥離を軽減す
ることができるものである。更に上記条件を満たすもの
として、ポリサルファイド骨格を主鎖にもつエポキシ樹
脂をモールド成形用の樹脂組成物に含有させることが有
効であることを見出した。その作用機構は明らかではな
いが、ポリサルファイド構造の耐水性及び柔軟性が、樹
脂硬化体としての耐インク性及び弾性率の低下をもたら
すものと考えられる。
That is, 1. 1. To improve the ink resistance of resin. By lowering the elastic modulus of the cured resin and relieving the stress due to heat shrinkage, peeling between the mold resin layer and the substrate can be reduced. Further, as satisfying the above conditions, it has been found that it is effective to include an epoxy resin having a polysulfide skeleton in the main chain in a resin composition for molding. Although its mechanism of action is not clear, it is considered that the water resistance and flexibility of the polysulfide structure bring about a decrease in ink resistance and elastic modulus as a cured resin.

【0015】そこで、上記目的を達成するための本発明
は、ポリサルファイド骨格を主鎖にもつエポキシ樹脂を
少なくとも含んでなるインクジェット記録ヘッド用トラ
ンスファーモールド樹脂組成物である。
Therefore, the present invention for achieving the above object is a transfer mold resin composition for an ink jet recording head, which contains at least an epoxy resin having a polysulfide skeleton as a main chain.

【0016】また、本発明は、ポリサルファイド骨格を
主鎖にもつエポキシ樹脂が常温で液体である上記トラン
スファーモールド樹脂組成物である。
Further, the present invention is the above transfer mold resin composition, wherein the epoxy resin having a polysulfide skeleton in the main chain is liquid at room temperature.

【0017】また、本発明は、基板上にインクを吐出さ
せるためのエネルギー発生素子を設け、次いで少なくと
も液室を含む液路パターンを有する固体層を該基板上に
エネルギー発生素子に対応させて形成し、その後トラン
スファーモールド成形により該基板上に前記固体層を覆
ってモールド樹脂層を形成し、次いで固体層を除去して
インク供給口を含むインク液室、インクを吐出するため
のインク吐出口及び前記液室と前記吐出口とを連通する
液路を形成するインクジェット記録ヘッドの製造方法に
おいて、前記モールド樹脂層を、前記樹脂組成物の硬化
体で構成するインクジェット記録ヘッドの製造方法であ
る。
Further, according to the present invention, an energy generating element for ejecting ink is provided on the substrate, and then a solid layer having a liquid path pattern including at least a liquid chamber is formed on the substrate corresponding to the energy generating element. Then, a mold resin layer is formed on the substrate by transfer molding to cover the solid layer, and then the solid layer is removed to form an ink liquid chamber including an ink supply port, an ink ejection port for ejecting ink, and A method of manufacturing an ink jet recording head for forming a liquid path communicating between the liquid chamber and the ejection port, wherein the mold resin layer is made of a cured product of the resin composition.

【0018】また、本発明は、上記製造方法で製造した
インクジェット記録ヘッドに関し、エネルギー発生素子
が、電気エネルギーを与えることによって発熱しインク
に状態変化を生ぜしめて吐出を行わせるための電気熱変
換体であるもの、記録媒体の記録領域の全幅にわたって
吐出口が複数設けられているフルラインタイプのものを
含むものである。
Further, the present invention relates to an ink jet recording head manufactured by the above manufacturing method, wherein an energy generating element generates heat by applying electric energy to generate a state change in the ink and eject the ink. And a full line type in which a plurality of ejection openings are provided over the entire width of the recording area of the recording medium.

【0019】更に、本発明は、記録媒体の被記録面に対
してインクを吐出する吐出口が設けられている上記記録
ヘッドと、該記録ヘッドを載置するための部材とを少な
くとも具備する記録装置である。
Further, according to the present invention, the recording is provided with at least the recording head having the ejection port for ejecting ink to the recording surface of the recording medium and the member for mounting the recording head. It is a device.

【0020】以下、本発明を詳細に説明する。The present invention will be described in detail below.

【0021】本発明の樹脂組成物を構成する材料として
は、エポキシ樹脂、硬化剤、硬化促進剤等がある。
Materials constituting the resin composition of the present invention include an epoxy resin, a curing agent and a curing accelerator.

【0022】エポキシ樹脂は、単独あるいは複数種の混
合物として使用できる。単独で使用する場合は、ポリサ
ルファイド骨格を主鎖にもつものを使用する。また、複
数種の混合物として使用する場合には、ポリサルファイ
ド変性エポキシ樹脂FLEP−10、PLEP−50及
びFLEP−60(商品名:東レチオコール製)等の常
温で液体のポリサルファイド骨格を主鎖にもつエポキシ
樹脂及び従来公知のエポキシ樹脂を使用する。そのよう
なエポキシ樹脂としては、上記樹脂の他に例えば、ビス
フェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポ
キシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、脂環
式エポキシ樹脂、脂肪族系エポキシ樹脂、グリシジルエ
ーテル型エポキシ樹脂等がある。
The epoxy resin can be used alone or as a mixture of plural kinds. When used alone, one having a polysulfide skeleton in the main chain is used. When used as a mixture of a plurality of types, an epoxy having a polysulfide skeleton which is liquid at room temperature as a main chain, such as polysulfide-modified epoxy resins FLEP-10, PLEP-50 and FLEP-60 (trade name: manufactured by Toraythiocol). A resin and a conventionally known epoxy resin are used. Examples of such epoxy resin include, in addition to the above resins, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, aliphatic epoxy resin, glycidyl ether type epoxy resin. Etc.

【0023】また硬化剤としては、酸無水物及びアミン
系硬化剤が使用できる。酸無水物としては、例えば、無
水フタル酸、無水マレイン酸、無水トリメリット酸、無
水パイロメリット酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、テト
ラヒドロ無水フタル酸、無水メチルナジック酸、無水ナ
ジック酸、無水グルタル酸等の公知のものが使用でき
る。アミン系硬化剤としては、メタフェニレンジアミ
ン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−
ジアミノジフェニルスルホン、メタキシリレンジアミ
ン、テトラエチレンペンタミン、ジエチルアミン、プロ
ピルアミン等の公知のものが使用できる。
As the curing agent, acid anhydrides and amine type curing agents can be used. Examples of the acid anhydrides include phthalic anhydride, maleic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, methylnadic acid anhydride, nadic acid anhydride and glutaric anhydride. Known materials can be used. As the amine curing agent, metaphenylenediamine, 4,4′-diaminodiphenylmethane, 4,4′-
Known compounds such as diaminodiphenyl sulfone, metaxylylenediamine, tetraethylenepentamine, diethylamine and propylamine can be used.

【0024】また硬化促進剤としては、三級アミン、イ
ミダゾール類、カルボン酸金属塩及びリン化合物等を挙
げることができる。
Further, examples of the curing accelerator include tertiary amines, imidazoles, carboxylic acid metal salts and phosphorus compounds.

【0025】更に、本発明の樹脂組成物は、上記成分以
外に必要に応じて、充填剤、着色防止剤、劣化防止剤、
離型剤等の従来公知の添加剤を使用してもよい。
Further, the resin composition of the present invention contains a filler, a coloring preventing agent, a deterioration preventing agent, if necessary, in addition to the above components.
Conventionally known additives such as a release agent may be used.

【0026】本発明の樹脂組成物の好ましい配合量は、
エポキシ樹脂100部、硬化剤55部、硬化促進剤1
部、更に必要に応じて充填剤14部であり、溶融混合法
等の公知の技術により混練して得るものである。
The preferred blending amount of the resin composition of the present invention is
Epoxy resin 100 parts, curing agent 55 parts, curing accelerator 1
Parts and, if necessary, 14 parts of filler, which are obtained by kneading by a known technique such as a melt mixing method.

【0027】以下に示す図1ないし図5は、本発明のイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法の手順を例示したも
のであり、図6は本発明のインクジェット記録ヘッドの
一構成例を示すものである。
1 to 5 shown below exemplify the procedure of the method for manufacturing an ink jet recording head of the present invention, and FIG. 6 shows an example of the constitution of the ink jet recording head of the present invention.

【0028】本発明においては、まず図1に示すよう
に、ガラス、シリコンウェハ又はセラミック等からなる
基板21上に、電気熱変換体又は圧電素子等のエネルギ
ー発生素子22a及び制御信号入力用電極22を設置
し、素子面21aを形成する。次に、図2に示すよう
に、少なくともインク液室部26c及び液路部26bの
パターンを有する固体層26をフォトリソグラフィー等
の公知の手法により形成する。ここで固体層の材料とし
ては、高精度ポジ型めっきレジスト等が使用できる。な
お、上図ではインク吐出口が3つの場合を示したが、こ
れ以上のインク吐出口をもつマルチアレイタイプの記録
ヘッドの場合も、勿論、同様にして製造できる。
In the present invention, first, as shown in FIG. 1, an energy generating element 22a such as an electrothermal converter or a piezoelectric element and a control signal input electrode 22 are provided on a substrate 21 made of glass, a silicon wafer, ceramics or the like. Are installed to form the element surface 21a. Next, as shown in FIG. 2, the solid layer 26 having at least the pattern of the ink liquid chamber portion 26c and the liquid passage portion 26b is formed by a known method such as photolithography. Here, as the material of the solid layer, a high precision positive plating resist or the like can be used. Although the above drawing shows a case where there are three ink ejection ports, a multi-array type recording head having more ink ejection ports can of course be manufactured in the same manner.

【0029】次に、固体層を形成した基板を、図3に示
すように、上金型28と下金型27の間に設置し型締し
た後、トランスファーモールド成形を行う。
Next, as shown in FIG. 3, the substrate on which the solid layer is formed is placed between the upper die 28 and the lower die 27 and clamped, and then transfer molding is performed.

【0030】ここで、トランスファーモールド成形につ
いて説明すると、上金型28はキャビティ部28a及び
突出部28bを備えており、更にこのキャビティ部28
aは、ランナー、ゲート、エア抜き構造を備えており、
ここにモールド樹脂が送り込まれ硬化成形される。キャ
ビティー部へ送り込まれる前の樹脂の予備加熱温度は6
0〜90℃が好ましい。成形条件としては、注入圧力2
0〜140kgf/cm2 、成形型温度100〜180℃、保
圧硬化時間1〜10分及び成形後のポストキュアからな
る一般的な条件が適用できる。成形時は、成形性(形
状、樹脂内の気泡、バリ、フラッシュ等)を見極めなが
ら、上記範囲内で、夫々適切なポイントを設定する。一
般に成形型温度が高い程、硬化時間は短い。また注入圧
力が高い程、形状の安定性が向上し、気泡の発生が減少
するが、過剰な圧力は製品へのダメージ、樹脂のバリ、
フラッシュ等の問題を引き起こす。また、ポストキュア
を行う時期としては、必ずしも成形と連続して行う必要
はなく、製品が完成するまでのどの時点で行っても良
い。従って、工程の都合の良い段階で行うことができ
る。もちろん製品の使用状態によっては、前記工程を除
くことも可能である。
Here, the transfer molding will be described. The upper mold 28 is provided with a cavity portion 28a and a protrusion portion 28b, and the cavity portion 28 is further provided.
a has a runner, a gate, and an air bleeding structure,
Mold resin is fed into this and cured and molded. The preheating temperature of the resin before it is sent to the cavity is 6
0-90 degreeC is preferable. Molding conditions include injection pressure 2
General conditions of 0 to 140 kgf / cm 2 , a mold temperature of 100 to 180 ° C., a holding pressure curing time of 1 to 10 minutes and post-curing after molding can be applied. At the time of molding, appropriate points are set within the above-mentioned range while observing the moldability (shape, bubbles in resin, burr, flash, etc.). Generally, the higher the mold temperature, the shorter the curing time. Also, the higher the injection pressure, the more stable the shape is and the less the generation of bubbles, but excessive pressure causes damage to the product, resin burr,
It causes problems such as flash. Further, the post-curing does not necessarily have to be performed continuously with the molding, and may be performed at any time until the product is completed. Therefore, it can be performed at a convenient stage of the process. Of course, the above steps may be omitted depending on the usage state of the product.

【0031】また、成形後に型から製品を離型する場合
の離型性を良くする目的で、成形型などに離型剤を用い
ることがある。
Further, a releasing agent may be used in a molding die or the like for the purpose of improving the releasability when the product is released from the die after molding.

【0032】成形終了後は、必要に応じて吐出面を切
断、研磨し、図4に示すようなインクジェット記録ヘッ
ドの工程品を作成する。図中29は本発明の樹脂組成物
の硬化体よりなるモールド樹脂層である。30は吐出口
面である。
After the completion of molding, the ejection surface is cut and polished as needed to prepare a process product of an ink jet recording head as shown in FIG. In the figure, 29 is a mold resin layer made of a cured product of the resin composition of the present invention. 30 is a discharge port surface.

【0033】次いで、適当な溶剤で固体層を溶解除去
し、図5に示すようなインク供給口29dを含むインク
液室29c、液路29b及びインク吐出口29aを完成
する。ここで固体層を除去する溶剤としては、アセト
ン、NaOH水溶液等を挙げることができる。前記溶剤
はエポキシ樹脂組成物よりなるモールド樹脂層を侵さな
いものである。
Then, the solid layer is dissolved and removed with an appropriate solvent to complete the ink liquid chamber 29c including the ink supply port 29d, the liquid passage 29b and the ink discharge port 29a as shown in FIG. Examples of the solvent for removing the solid layer include acetone and an aqueous solution of NaOH. The solvent does not attack the mold resin layer made of the epoxy resin composition.

【0034】この後、インクジェット記録ヘッドはさま
ざまな洗浄、表面処理等を実施し、フィルター等の補助
部品を装着して最終製品を完成させるが、ここでは本発
明の目的と直接関係ないので省略する。
After that, the ink jet recording head is subjected to various cleaning, surface treatment and the like, and auxiliary components such as filters are attached to complete the final product, but it is omitted here because it is not directly related to the purpose of the present invention. ..

【0035】図6は上記製造方法に従って製造した、本
発明の記録ヘッドの一構成例を示す一部破断図である。
FIG. 6 is a partially cutaway view showing one structural example of the recording head of the present invention manufactured by the above manufacturing method.

【0036】本発明は、特にインクジェット記録方式の
中でも、熱エネルギーを利用して記録液滴を形成し、記
録を行うインクジェット記録方式の記録ヘッド、記録装
置に於いて、優れた効果をもたらすものである。
The present invention is particularly effective in an ink jet recording type recording head and recording apparatus for recording by forming recording droplets by utilizing thermal energy among the ink jet recording methods. is there.

【0037】その代表的な構成や原理については、例え
ば、米国特許第4723129号明細書、同第4740
796号明細書に開示されており、本発明はこれらの基
本的な原理を用いて行なうものが好ましい。この記録方
式は所謂オンデマンド型、コンティニュアス型のいずれ
にも適用可能である。
Regarding the typical structure and principle thereof, see, for example, US Pat. Nos. 4,723,129 and 4740.
No. 796, the present invention is preferably carried out using these basic principles. This recording method is applicable to both the so-called on-demand type and continuous type.

【0038】この記録方式を簡単に説明すると、液体
(インク)が保持されているシートや液路に対応して配
置されている電気熱変換体に、記録情報に対応して液体
(インク)に核沸騰現象を越え、膜沸騰現象を生じる様
な急速な温度上昇を与えるための少なくとも一つの駆動
信号を印加することによって、熱エネルギーを発生せし
め、記録ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせる。この
様に液体(インク)から電気熱変換体に付与する駆動信
号に一対一対応した気泡を形成できるため、特にオンデ
マンド型の記録法には有効である。この気泡の成長、収
縮により吐出孔を介して液体(インク)を吐出させて、
少なくとも一つの滴を形成する。この駆動信号をパルス
形状とすると、即時適切に気泡の成長収縮が行なわれる
ので、特に応答性に優れた液体(インク)の吐出が達成
でき、より好ましい。このパルス形状の駆動信号として
は、米国特許第4463359号明細書、同第4345
262号明細書に記載されているようなものが適してい
る。尚、上記熱作用面の温度上昇率に関する発明の米国
特許第4313124号明細書に記載されている条件を
採用すると、更に優れた記録を行なうことができる。
To briefly explain this recording method, the electrothermal converter arranged corresponding to the sheet or liquid path holding the liquid (ink) is changed to the liquid (ink) corresponding to the recording information. Thermal energy is generated by applying at least one drive signal for giving a rapid temperature rise that causes the film boiling phenomenon beyond the nucleate boiling phenomenon, and causes the film boiling on the heat acting surface of the recording head. .. In this way, bubbles can be formed in one-to-one correspondence with the drive signal applied from the liquid (ink) to the electrothermal converter, which is particularly effective for the on-demand recording method. By the growth and contraction of the bubbles, liquid (ink) is ejected through the ejection holes,
Form at least one drop. It is more preferable to make this drive signal into a pulse shape, because the bubble growth and contraction are immediately and appropriately performed, so that the ejection of the liquid (ink) with excellent responsiveness can be achieved. As the pulse-shaped drive signal, U.S. Pat. Nos. 4,463,359 and 4,345 are used.
Those as described in the '262 patent are suitable. If the conditions described in US Pat. No. 4,313,124 of the invention relating to the rate of temperature rise on the heat acting surface are adopted, more excellent recording can be performed.

【0039】記録ヘッドの構成としては、上述の各明細
書に開示されているような吐出孔、液路、電気熱変換体
を組み合わせた構成(直線状液路又は直角液路)の他
に、米国特許第4558333号明細書、米国特許第4
459600号明細書に開示されている様に、熱作用部
が屈曲する領域に配置された構成を持つものも本発明に
含まれる。
As the constitution of the recording head, in addition to the constitution (straight-shaped liquid passage or right-angled liquid passage) in which the ejection holes, the liquid passages, and the electrothermal converters are combined as disclosed in the above-mentioned respective specifications, US Pat. No. 4,558,333, US Pat. No. 4
As disclosed in Japanese Patent No. 459600, the present invention includes a structure in which the heat acting portion is arranged in a bending region.

【0040】加えて、複数の電気熱変換体に対して、共
通するスリットを電気熱変換体の吐出孔とする構成を開
示する特開昭59年第123670号公報や熱エネルギ
ーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させる構成を
開示する特開昭59年第138461号公報に基づいた
構成においても本発明は有効である。
In addition, Japanese Patent Laid-Open No. 123670/1984 discloses a structure in which a common slit is used as a discharge hole for a plurality of electrothermal converters, and a pressure wave of thermal energy is absorbed. The present invention is also effective in a configuration based on Japanese Patent Laid-Open No. 138461 of 1984, which discloses a configuration in which the corresponding opening corresponds to the ejection portion.

【0041】更に、本発明が有効に利用される記録ヘッ
ドとしては、記録装置が記録できる記録媒体の最大幅に
対応した長さのフルラインタイプの記録ヘッドがある。
このフルラインヘッドは、上述した明細書に開示されて
いるような記録ヘッドを複数組み合わせることによって
フルライン構成にしたものや、一体的に形成された一個
のフルライン記録ヘッドであっても良い。
Further, as a recording head in which the present invention is effectively used, there is a full line type recording head having a length corresponding to the maximum width of the recording medium which can be recorded by the recording apparatus.
The full line head may be a full line configuration formed by combining a plurality of print heads as disclosed in the above-mentioned specification, or may be a single full line print head integrally formed.

【0042】加えて、装置本体に装着されることで、装
置本体との電気的な接続や装置本体からのインクの供給
が可能に成る交換自在のチップタイプの記録ヘッド、あ
るいは記録ヘッド自体に一体的に設けられたカートリッ
ジタイプの記録ヘッドを用いた場合にも本発明は有効で
ある。
In addition, by being attached to the apparatus main body, it can be electrically connected to the apparatus main body and ink can be supplied from the apparatus main body, which is a replaceable chip type recording head or the recording head itself. The present invention is also effective when a cartridge-type recording head that is specially provided is used.

【0043】又、本発明の記録装置に、記録ヘッドに対
する回復手段や、予備的な補助手段等を付加すること
は、本発明の記録装置を一層安定にすることができるの
で好ましいものである。これらを具体的に挙げれば、記
録ヘッドに対しての、キャピング手段、クリーニング手
段、加圧或は吸引手段、電気熱変換体或はこれとは別の
加熱素子、或はこれらの組み合わせによる予備加熱手
段、記録とは別の吐出を行なう予備吐出モードを行なう
手段を付加することも安定した記録を行なうために有効
である。
Further, it is preferable to add recovery means for the recording head, preliminary auxiliary means, etc. to the recording apparatus of the present invention because the recording apparatus of the present invention can be made more stable. Specific examples of these are: preheating of the recording head by capping means, cleaning means, pressure or suction means, electrothermal converter or other heating element, or a combination thereof. It is also effective to perform stable recording by adding means for performing a preliminary ejection mode for performing ejection different from the means and recording.

【0044】更に、記録装置の記録モードとしては黒色
等の主流色のみを記録するモードだけではなく、記録ヘ
ッドを一体的に構成したものか、複数個の組み合わせて
構成したものかのいずれでも良いが、異なる色の複色カ
ラー又は、混色によるフルカラーの少なくとも一つを備
えた装置にも本発明は極めて有効である。
Further, the recording mode of the recording apparatus is not limited to the mode in which only the mainstream color such as black is recorded, and either the recording head may be integrally formed or a plurality of recording heads may be combined. However, the present invention is extremely effective for an apparatus provided with at least one of a multicolor of different colors or a full color by mixing colors.

【0045】以上説明した本発明実施例においては、液
体インクを用いて説明しているが、本発明では室温で固
体状であるインクであっても、室温で軟化状態となるイ
ンクであっても用いることができる。上述のインクジェ
ット装置ではインク自体を30℃以上70℃以下の範囲
内で温度調整を行なってインクの粘性を安定吐出範囲に
あるように温度制御するものが一般的であるから、使用
記録信号付与時にインクが液状をなすものであれば良
い。
In the embodiments of the present invention described above, the liquid ink is used for description, but in the present invention, either an ink which is solid at room temperature or an ink which is in a softened state at room temperature is used. Can be used. In the above-mentioned inkjet device, the temperature of the ink itself is generally adjusted within the range of 30 ° C. or higher and 70 ° C. or lower to control the temperature of the ink so that the viscosity of the ink is within the stable ejection range. Any liquid may be used as long as the ink is liquid.

【0046】加えて、熱エネルギーによるヘッドやイン
クの過剰な昇温をインクの固形状態から液体状態への状
態変化のエネルギーとして使用せしめることで積極的に
防止するか又は、インクの蒸発防止を目的として放置状
態で固化するインクを用いることもできる。いずれにし
ても熱エネルギーの記録信号に応じた付与によってイン
クが液化してインク液状として吐出するものや記録媒体
に到達する時点ではすでに固化し始めるもの等のよう
な、熱エネルギーの付与によって初めて液化する性質を
持つインクの使用も本発明には適用可能である。
In addition, the excessive temperature rise of the head or the ink due to thermal energy is positively prevented by using it as the energy for the state change of the ink from the solid state to the liquid state, or the evaporation of the ink is prevented. It is also possible to use an ink that solidifies when left as it is. In any case, liquefaction occurs only when heat energy is applied, such as when the ink is liquefied by applying heat energy according to the recording signal and ejected as an ink liquid, or when it begins to solidify when it reaches the recording medium. The use of an ink having the property of applying is also applicable to the present invention.

【0047】このようなインクは、特開昭54−568
47号公報あるいは特開昭60−71260号公報に記
載されるような、多孔質シートの凹部又は貫通孔に液状
又は固形物として保持された状態で、電気熱変換体に対
して対抗するような形態としても良い。
Such an ink is disclosed in JP-A-54-568.
No. 47 or Japanese Unexamined Patent Publication No. 60-71260, such that it opposes an electrothermal converter while being held as a liquid or solid in the recesses or through holes of a porous sheet. It may be in the form.

【0048】本発明において、上述した各インクにたい
して最も有効なものは、上述した膜沸騰方式を実行する
ものである。
In the present invention, the most effective one for each of the above-mentioned inks is to execute the above-mentioned film boiling method.

【0049】図7は本発明により得られた記録ヘッドを
インクジェットヘッドカートリッジ(IJC)として装
着したインクジェット記録装置(IJRA)の一例を示
す外観斜視図である。
FIG. 7 is an external perspective view showing an example of an ink jet recording apparatus (IJRA) in which the recording head obtained by the present invention is mounted as an ink jet head cartridge (IJC).

【0050】図において、120はプラテン124上に
送紙されてきた記録紙の記録面に対向してインク吐出を
行うノズル群を備えたインクジェットヘッドカートリッ
ジ(IJC)である。116はIJC120を保持する
キャリッジHCであり、駆動モータ117の駆動力を伝
達する駆動ベルト118の一部と連結し、互いに平行に
配設された2本のガイドシャフト119Aおよび119
Bと摺動可能とすることにより、IJC120の記録紙
の全幅にわたる往復移動が可能となる。
In the figure, reference numeral 120 denotes an ink jet head cartridge (IJC) provided with a nozzle group for ejecting ink so as to face the recording surface of the recording paper fed onto the platen 124. Reference numeral 116 denotes a carriage HC that holds the IJC 120, and is connected to a part of a drive belt 118 that transmits the driving force of the drive motor 117, and two guide shafts 119A and 119 that are arranged in parallel with each other.
By making it slidable with B, the reciprocating movement over the entire width of the recording paper of the IJC 120 becomes possible.

【0051】126はヘッド回復装置であり、IJC1
20の移動経路の一端、例えばホームポジションと対向
する位置に配設される。伝導機構23を介してモータ1
22の駆動力によって、ヘッド回復装置126を動作せ
しめ、IJC120のキャッピングを行なう。このヘッ
ド回復装置126のキャップ部126AによるIJC1
20へのキャッピングに関連させて、ヘッド回復装置1
26内に設けた適宜の吸引手段によるインク吸引もしく
はIJC120へのインク供給経路に設けた適宜の加圧
手段によるインク圧送を行ない、インクを吐出口より強
制的に排出させることによるノズル内の増粘インクを除
去する等の吐出回復処理を行なう。また、記録終了時等
にキャッピングを施すことによりIJCが保護される。
Reference numeral 126 is a head recovery device, which is IJC1.
It is arranged at one end of the movement path of 20, for example, a position facing the home position. The motor 1 via the transmission mechanism 23
The head recovery device 126 is operated by the driving force of 22, and the IJC 120 is capped. IJC1 by the cap portion 126A of the head recovery device 126
Head recovery device 1 in connection with capping to 20
The ink is sucked by an appropriate suction means provided inside the nozzle 26 or the ink is pressure-fed by an appropriate pressurizing means provided at the ink supply path to the IJC 120, and the ink is forcibly discharged from the ejection port to increase the viscosity in the nozzle. Ejection recovery processing such as ink removal is performed. Further, the IJC is protected by capping at the end of recording or the like.

【0052】130はヘッド回復装置126の側面に配
設され、シリコンゴムで形成されるワイピング部材とし
てのブレードである。ブレード131はブレード保持部
材131Aにカンチレバー形態で保持され、ヘッド回復
装置126と同様、モータ122および伝動機構123
によって動作し、IJC120の吐出面との係合が可能
となる。これにより、IJC120の記録動作における
適切なタイミングで、あるいはヘッド回復装置126を
用いた吐出回復処理後に、ブレード131をIJC12
0の移動経路中に突出させ、IJC120の移動動作に
伴ってIJC120の吐出面における結露、濡れあるい
は塵埃等をふきとるものである。
Reference numeral 130 denotes a blade as a wiping member which is disposed on the side surface of the head recovery device 126 and is made of silicon rubber. The blade 131 is held by the blade holding member 131A in the form of a cantilever, and like the head recovery device 126, the motor 122 and the transmission mechanism 123.
It is possible to engage with the ejection surface of the IJC 120. This allows the blade 131 to move to the IJC 12 at an appropriate timing in the recording operation of the IJC 120 or after the ejection recovery process using the head recovery device 126.
It is projected in the movement path of 0 and wipes out dew condensation, wetting, dust or the like on the ejection surface of the IJC 120 as the IJC 120 moves.

【0053】[0053]

【実施例】以下、実施例により、本発明を更に具体的に
説明する。 実施例1 まず、エポキシ樹脂としてエピコート1001(商品
名、油化シェル社製)80部及びトリグリシジルイソシ
アネート(日産化学社製)20部を用意し、これに硬化
剤としてテトラヒドロ無水フタル酸(新日本理化(株)
製)55部及び硬化触媒2E4MZ(四国化成工業製)
1部を加え、加熱溶融しながら混合し、硬化反応を進行
させ、130℃におけるゲル化時間40秒のBステージ
状のエポキシ樹脂を作製した。この樹脂を常温まで冷却
した後、粉砕したものに、ポリサルファイド骨格を主鎖
にもち、常温で液体状のエポキシ樹脂FLEP60(商
品名、東レチオコール株式会社製)30部を混合し、次
いで打錠して、エポキシ樹脂組成物タブレットを得た。
The present invention will be described in more detail with reference to the following examples. Example 1 First, 80 parts of Epicoat 1001 (trade name, manufactured by Yuka Shell Co., Ltd.) and 20 parts of triglycidyl isocyanate (manufactured by Nissan Kagaku Co., Ltd.) were prepared as epoxy resins, and tetrahydrophthalic anhydride (New Japan) was used as a curing agent. Rika Co., Ltd.
55 parts and curing catalyst 2E4MZ (manufactured by Shikoku Chemicals)
1 part was added, mixed while heating and melting, and the curing reaction was allowed to proceed to prepare a B-stage epoxy resin having a gelation time of 40 seconds at 130 ° C. After cooling this resin to room temperature, 30 parts of epoxy resin FLEP60 (trade name, manufactured by Toray Thiokol Co., Ltd.), which has a polysulfide skeleton in the main chain and is liquid at room temperature, is mixed with the crushed product, and then tableted. Thus, an epoxy resin composition tablet was obtained.

【0054】次に、ガラスからなる基板上に電気熱変換
体及びアルミ電極を設置した。次いで、該基板上に高精
度ポジ型めっきレジストを厚さ30μm に塗布し、硬化
させた後、パターンマスクを介して露光、更に加熱現像
を施した後、専用現象液で洗浄して、液路パターンを有
する固体層を形成した。
Next, the electrothermal converter and the aluminum electrode were placed on the glass substrate. Then, a high-precision positive type plating resist is applied on the substrate to a thickness of 30 μm, and after curing, it is exposed through a pattern mask, further subjected to heat development, and then washed with a special phenomenon liquid to obtain a liquid path. A patterned solid layer was formed.

【0055】上記固体層を形成した基板を上金型と下金
型との間に設置し、トランスファーモールド成形によ
り、前記樹脂組成物からなるモールド樹脂層を形成し
た。成形条件は、予備加熱温度85℃、注入圧力40kg
f/cm2、成形型温度130℃、保圧硬化時間8分及びポ
ストキュアであった。
The substrate on which the above solid layer was formed was placed between the upper mold and the lower mold, and a mold resin layer made of the above resin composition was formed by transfer molding. Molding conditions are preheating temperature 85 ℃, injection pressure 40kg
f / cm 2 , mold temperature 130 ° C., holding pressure curing time 8 minutes, and post cure.

【0056】モールド樹脂層形成後、アセトン中に記録
ヘッドを浸漬して、固体層を溶解除去し、本発明に係る
インクジェット記録ヘッドを得た。
After forming the mold resin layer, the recording head was immersed in acetone to dissolve and remove the solid layer to obtain an ink jet recording head according to the present invention.

【0057】次に、完成した前記記録ヘッドを60℃−
90%湿度の高温高湿下に360時間及び720時間お
いた後の不良発生率を調べた。同様に80℃ドライの高
温環境下における不良発生率を調べた。これらの結果を
表1に示した。
Next, the completed recording head is moved to 60 ° C.
The defect occurrence rate after 360 hours and 720 hours under high temperature and high humidity of 90% humidity was examined. Similarly, the defect occurrence rate under a high temperature environment of 80 ° C. dry was examined. The results are shown in Table 1.

【0058】また、前記樹脂組成物の硬化体を作成し、
これをインク中に浸漬した場合の膨潤量を求め、耐イン
ク性を評価した。なおインクはキャノンバブルジェット
プリンターBJ10V(商品名、キャノン製)及び同B
J330(商品名、キャノン製)の二種を用い、それぞ
れPCT中で120℃、10hr浸漬させた。この結果も
表1に記載した。 比較例1 ポリサルファイド骨格を主鎖にもつエポキシ樹脂を使用
しなかった以外は実施例1と同様にインクジェット記録
ヘッドを作成し、不良品発生率及び樹脂硬化体の耐イン
ク性を調べた。結果を表1に示した。 実施例2 充填剤として、平均粒径12μm の球状シリカFB−3
5(商品名、電気化学工業社製)を加えてBステージ状
のエポキシ樹脂を作成した以外は、実施例1と同様にイ
ンクジェット記録ヘッドを作成した。実施例1と同様に
不良品発生率及び樹脂硬化体の耐インク性を調べた結果
を表1に示した。 比較例2 ポリサルファイド骨格を主鎖にもつエポキシ樹脂を使用
しなかった以外は実施例2と同様にインクジェット記録
ヘッドを作成した。同様に不良品発生率及び樹脂硬化体
の耐インク性を調べた結果を表1に示した。
Further, a cured product of the resin composition is prepared,
The swelling amount when immersed in the ink was determined to evaluate the ink resistance. The ink is Canon Bubble Jet Printer BJ10V (trade name, manufactured by Canon) and B
Two kinds of J330 (trade name, manufactured by Canon) were used and immersed in PCT at 120 ° C. for 10 hours. The results are also shown in Table 1. Comparative Example 1 An inkjet recording head was prepared in the same manner as in Example 1 except that the epoxy resin having a polysulfide skeleton in the main chain was not used, and the defective product occurrence rate and the ink resistance of the cured resin were examined. The results are shown in Table 1. Example 2 As a filler, spherical silica FB-3 having an average particle diameter of 12 μm
An inkjet recording head was prepared in the same manner as in Example 1 except that 5 (trade name, manufactured by Denki Kagaku Kogyo) was added to prepare a B-stage epoxy resin. Table 1 shows the results of examining the defective product occurrence rate and the ink resistance of the cured resin as in Example 1. Comparative Example 2 An inkjet recording head was prepared in the same manner as in Example 2 except that the epoxy resin having a polysulfide skeleton in the main chain was not used. Similarly, the results of examining the defective product generation rate and the ink resistance of the cured resin are shown in Table 1.

【0059】[0059]

【表1】 [Table 1]

【0060】[0060]

【発明の効果】以上説明してきたように、ポリサルファ
イド骨格を主鎖にもつエポキシ樹脂を構成成分とする樹
脂硬化体で記録ヘッドのモールド樹脂層を形成すること
によって、基板とモールド樹脂層との界面に生ずる応力
が軽減し、加えて、モールド樹脂層の耐インク性が向上
する。その結果、高温高湿下においても、基板とモール
ド樹脂層との界面に剥離が生じることなく、安定したイ
ンク吐出を得ることができる。
As described above, the interface between the substrate and the mold resin layer is formed by forming the mold resin layer of the recording head with a resin cured product containing an epoxy resin having a polysulfide skeleton as a main chain as a constituent component. The stress generated in the mold is reduced, and in addition, the ink resistance of the mold resin layer is improved. As a result, stable ink ejection can be obtained without peeling at the interface between the substrate and the mold resin layer even under high temperature and high humidity.

【0061】特に、上記ポリサルファイド骨格を主鎖に
もつエポキシ樹脂が常温で液体である場合に、よりすぐ
れた効果を発揮するものである。
In particular, when the epoxy resin having the polysulfide skeleton in the main chain is liquid at room temperature, it exhibits a superior effect.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の製造方法に係る基板上の素子面形成の
一例を示す工程図である。
FIG. 1 is a process drawing showing an example of element surface formation on a substrate according to a manufacturing method of the present invention.

【図2】本発明の製造方法に係る基板上への固体層形成
の一例を示す工程図である。
FIG. 2 is a process drawing showing an example of forming a solid layer on a substrate according to the manufacturing method of the present invention.

【図3】本発明の製造方法に係るトランスファーモール
ド成形の金型内の一構成例を示す断面図である。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing an example of the configuration in a mold for transfer molding according to the manufacturing method of the present invention.

【図4】本発明の製造方法に係るモールド樹脂層形成後
の記録ヘッド工程品の一構成例を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a configuration example of a printhead process product after forming a mold resin layer according to the manufacturing method of the present invention.

【図5】図4に示す記録ヘッド工程品から固体層を除去
した後の記録ヘッド工程品の一構成例を示す断面図であ
る。
5 is a cross-sectional view showing a configuration example of a printhead process product after removing a solid layer from the printhead process product shown in FIG.

【図6】本発明に係るインクジェット記録ヘッドの一構
成例を示す一部破断図である。
FIG. 6 is a partially cutaway view showing one structural example of an inkjet recording head according to the present invention.

【図7】本発明に係る記録ヘッドを備えた記録装置の一
構成例を示す斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing a configuration example of a recording apparatus including the recording head according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21 基板 21a 素子面 22 制御信号入力用電極 22a エネルギー発生素子 26 固体層 26b 液路部 26c インク液室部 27 下金型 28 上金型 28a キャビティ部 28b 突出部 29 モールド樹脂層 29a インク吐出口 29b 液路 29c インク液室 29d インク供給口 30 吐出口面 116 キャリッジ 117 駆動モータ 118 駆動ベルト 119A ガイドシャフト 119B ガイドシャフト 120 インクジェットヘッドカートリッジ 122 クリーニング用モータ 123 伝動機構 124 プラテン 126 キャップ部材 130 ブレード 130A ブレード保持部材 21 Substrate 21a Element Surface 22 Control Signal Input Electrode 22a Energy Generation Element 26 Solid Layer 26b Liquid Path 26c Ink Liquid Chamber 27 Lower Mold 28 Upper Mold 28a Cavity 28b Projection 29 Mold Resin Layer 29a Ink Discharge Port 29b Liquid path 29c Ink liquid chamber 29d Ink supply port 30 Discharge port surface 116 Carriage 117 Drive motor 118 Drive belt 119A Guide shaft 119B Guide shaft 120 Inkjet head cartridge 122 Cleaning motor 123 Transmission mechanism 124 Platen 126 Cap member 130 Blade 130A Blade holding member

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (54)【発明の名称】 インクジエツト記録ヘツド用トランスフアーモールド樹脂組成物、該組成物を用いるインクジエ ツト記録ヘツドの製造方法、該製造方法で製造したインクジエツト記録ヘツド及び該記録ヘツド を備えた記録装置 ─────────────────────────────────────────────────── --Continued from the front page (54) [Title of Invention] Transfer mold resin composition for ink jet recording head, method for producing ink jet recording head using the composition, ink jet recording head produced by the production method and the ink jet recording head Recording device with recording head

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ポリサルファイド骨格を主鎖にもつエポ
キシ樹脂を少なくとも含んでなるインクジェット記録ヘ
ッド用トランスファーモールド樹脂組成物。
1. A transfer mold resin composition for an inkjet recording head, which comprises at least an epoxy resin having a polysulfide skeleton as a main chain.
【請求項2】 ポリサルファイド骨格を主鎖にもつトラ
ンスファーモールド樹脂が常温で液体である請求項1記
載のインクジェット記録ヘッド用トランスファーモール
ド樹脂組成物。
2. The transfer mold resin composition for an ink jet recording head according to claim 1, wherein the transfer mold resin having a polysulfide skeleton in the main chain is liquid at room temperature.
【請求項3】 基板上にインクを吐出させるためのエネ
ルギー発生素子を設け、次いで少なくとも液室を含む液
路パターンを有する固体層を該基板上にエネルギー発生
素子に対応させて形成し、その後トランスファーモール
ド成形により該基板上に前記固体層を覆ってモールド樹
脂層を形成し、次いで固体層を除去してインク供給口を
含むインク液室、インクを吐出するためのインク吐出口
及び前記液室と前記吐出口とを連通する液路を形成する
インクジェット記録ヘッドの製造方法において、前記モ
ールド樹脂層を、請求項1又は2記載のトランスファー
モールド樹脂組成物の硬化体で構成することを特徴とす
るインクジェット記録ヘッドの製造方法。
3. An energy generating element for ejecting ink is provided on a substrate, and then a solid layer having a liquid path pattern including at least a liquid chamber is formed on the substrate so as to correspond to the energy generating element, and then transfer. A mold resin layer is formed on the substrate by molding to form a mold resin layer, and then the solid layer is removed to form an ink liquid chamber including an ink supply port, an ink ejection port for ejecting ink, and the liquid chamber. An ink jet recording head manufacturing method for forming a liquid path communicating with the discharge port, wherein the mold resin layer is formed of a cured product of the transfer mold resin composition according to claim 1. Recording head manufacturing method.
【請求項4】 請求項3記載の製造方法で製造したイン
クジェット記録ヘッド。
4. An ink jet recording head manufactured by the manufacturing method according to claim 3.
【請求項5】 エネルギー発生素子が、電気エネルギー
を与えることによって発熱しインクに状態変化を生ぜし
めて吐出を行なわせるための電気熱変換体である請求項
4記載のインクジェット記録ヘッド。
5. The ink jet recording head according to claim 4, wherein the energy generating element is an electrothermal converter for generating heat by applying electric energy to cause the ink to change state and to eject the ink.
【請求項6】 記録媒体の記録領域の全幅にわたって吐
出口が複数設けられているフルラインタイプのものであ
ることを特徴とする請求項4記載のインクジェット記録
ヘッド。
6. The inkjet recording head according to claim 4, wherein the inkjet recording head is a full-line type in which a plurality of ejection openings are provided over the entire width of the recording area of the recording medium.
【請求項7】 記録媒体の被記録面に対してインクを吐
出する吐出口が設けられている請求項4乃至6いずれか
記載の記録ヘッドと、該記録ヘッドを載置するための部
材とを少なくとも具備することを特徴とする記録装置。
7. The recording head according to claim 4, further comprising an ejection port for ejecting ink to the recording surface of the recording medium, and a member for mounting the recording head. A recording device comprising at least a recording device.
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