JPH05120993A - Exposure light source unit - Google Patents
Exposure light source unitInfo
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- JPH05120993A JPH05120993A JP30388191A JP30388191A JPH05120993A JP H05120993 A JPH05120993 A JP H05120993A JP 30388191 A JP30388191 A JP 30388191A JP 30388191 A JP30388191 A JP 30388191A JP H05120993 A JPH05120993 A JP H05120993A
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- exposure light
- exposure
- pattern
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Landscapes
- Preparing Plates And Mask In Photomechanical Process (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、カラー受像管用シャド
ウマスクの製造に関するものであり、特にシャドウマス
ク製造の一工程であるシャドウマスクパターンの焼付け
版作成に用いられる露光光源装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the production of a shadow mask for a color picture tube, and more particularly to an exposure light source device used for producing a printing plate of a shadow mask pattern which is one step of the shadow mask production.
【0002】[0002]
【従来の技術】カラー受像管用シャドウマスクは多数の
開孔を有し、電子銃から発射された電子ビームを、それ
ぞれ赤、緑、青に発光する3色の蛍光体を有するスクリ
ーンに選択的に射突するように通過させる機能を有する
もので、別名色選別電極と呼ばれる。2. Description of the Related Art A shadow mask for a color picture tube has a large number of apertures, and an electron beam emitted from an electron gun is selectively applied to a screen having phosphors of three colors which emit red, green and blue respectively. It has a function of passing through so as to project, and is also called a color selection electrode.
【0003】このシャドウマスクは、一般的にフォトエ
ッチング法により製造される。この工程の概略構成は次
のようなものである。つまり、所望の厚さを有する平坦
な連続帯状金属板の表面にレジスト膜を形成する工程、
その金属板の両主面にシャドウマスクパターン焼付け版
を各々密着配置し、紫外線などの光源を用いてレジスト
膜に所望のシャドウマスクパターンを焼付ける露光工
程、レジスト膜の未露光部を温水などのスプレーにて溶
解除去する工程、残存レジスト膜の耐エッチング性を高
めるため高温熱処理を施す工程、エッチング液をスプレ
ーしてシャドウマスクを穿孔する工程からなる。This shadow mask is generally manufactured by a photoetching method. The schematic configuration of this step is as follows. That is, a step of forming a resist film on the surface of a flat continuous strip-shaped metal plate having a desired thickness,
A shadow mask pattern printing plate is closely arranged on both main surfaces of the metal plate, and an exposure step of baking a desired shadow mask pattern on a resist film using a light source such as ultraviolet rays, an unexposed portion of the resist film is heated with hot water or the like. It consists of a step of dissolving and removing by spraying, a step of performing a high-temperature heat treatment for enhancing the etching resistance of the residual resist film, and a step of spraying an etching solution to punch a shadow mask.
【0004】感光膜を形成したシャドウマスク材にシャ
ドウマスクパターンを焼付ける前記露光工程で用いられ
るシャドウマスク焼付け版の作成は、一般に以下のよう
に行われる。まず、フォトプロッターと呼ばれるパター
ンジェネレーターにて、シャドウマスク孔形成部に相当
する箇所が不透明なパターンを有する原板が作成され、
この原板の欠陥部および必要箇所を修正した後、未感光
の感光膜を有する生乾板と前記原板とを真空密着し露光
光源装置を用いて光を照射して、前記原板の透明部と不
透明部が反転しているパターンを作成する。このパター
ンの欠陥部および必要箇所を修正してマスクパターンを
作成する。このマスクパターンにさらに未感光の生乾板
を真空密着し光を照射することにより、パターンを反転
したものはシャドウマスク孔形成部に相当する箇所が不
透明なパターンを有するシャドウマスクパターン焼付け
版となり、前記マスクパターンがあれば必要数の焼付け
版の複製が可能である。The production of a shadow mask printing plate used in the above-mentioned exposure step of printing a shadow mask pattern on a shadow mask material having a photosensitive film formed thereon is generally carried out as follows. First, with a pattern generator called a photo plotter, an original plate having an opaque pattern at a portion corresponding to a shadow mask hole forming portion is created,
After correcting the defective portion and the necessary portion of the original plate, the raw dry plate having an unexposed photosensitive film and the original plate are vacuum-contacted with each other, and light is irradiated using an exposure light source device, and the transparent part and the opaque part of the original plate are Create a pattern in which is reversed. A mask pattern is created by correcting the defective portion and the necessary portion of this pattern. The mask pattern is further vacuum-contacted with an unexposed dry plate to irradiate it with light, so that the inverted pattern becomes a shadow mask pattern printing plate having an opaque pattern at a portion corresponding to the shadow mask hole forming portion, With the mask pattern, it is possible to duplicate the required number of printing plates.
【0005】従来、上記シャドウマスクパターン焼付け
版を作成するための真空密着反転に用いられる露光光源
装置は、図7に示すように、光源は水銀ランプ1を用
い、光源強度を増加させるため水銀ランプ1の背後には
反射鏡2が取付けられている。光の出口側にはランプの
像を消し光強度分布を均一化するための拡散板3、露光
量や配光分布を適正化するための絞り4および露光時間
を制御するための自動シャッター5が取付けられてい
る。焼付け版に用いられるガラス乾板の乳剤は銀系が主
流であり、露光量(光強度×露光時間)に対する焼付け
パターン寸法の変化量は大きい。従って、照射面全面に
わたって配光分布が均一なことが要求されるが、均一な
配光分布を得るためには、絞りの開口面積を小さくする
か、光源と照射面との距離を大きくするのが良い。しか
し、これに伴い光照射面上の光強度が低下しすぎ、長時
間の露光にて露光量を増加しても、感光に必要な最低光
強度不足に起因する露光不足によるピンホールの発生を
回避することができなくなる。一方、光強度が強すぎる
と銀系乳剤にはカブリ現象が発生し、照射面上で適正光
強度を得るためには光源の距離を離す必要があり、スペ
ース上の問題もある。特に、昨今の超大型カラーブラウ
ン管やハイビジョン管に用いられるシャドウマスクの大
型化に伴い、焼付け版の面積増加も加速度的であり、そ
れに比例して均一な配光分布を得ることがますます困難
になってきている。An exposure light source device conventionally used for vacuum contact reversal for producing the above shadow mask pattern printing plate uses a mercury lamp 1 as a light source, as shown in FIG. 7, and a mercury lamp for increasing the light source intensity. A reflecting mirror 2 is attached to the back of 1. On the light exit side, there are a diffuser plate 3 for erasing the image of the lamp and making the light intensity distribution uniform, a diaphragm 4 for optimizing the exposure amount and light distribution, and an automatic shutter 5 for controlling the exposure time. Installed. The emulsion of the glass plate used for the printing plate is mainly silver based, and the amount of change in the printing pattern size with respect to the exposure amount (light intensity × exposure time) is large. Therefore, it is required that the light distribution is uniform over the entire irradiation surface, but in order to obtain a uniform light distribution, either reduce the aperture area of the diaphragm or increase the distance between the light source and the irradiation surface. Is good. However, along with this, the light intensity on the light-irradiated surface decreases too much, and even if the exposure amount is increased by long-time exposure, the occurrence of pinholes due to insufficient exposure due to insufficient minimum light intensity required for exposure It cannot be avoided. On the other hand, if the light intensity is too strong, a fog phenomenon occurs in the silver-based emulsion, and it is necessary to separate the light source to obtain an appropriate light intensity on the irradiation surface, which causes a space problem. In particular, with the recent increase in the size of shadow masks used for ultra-large color cathode ray tubes and high-definition tubes, the area of the printing plate is increasing at an accelerating rate, and it becomes more and more difficult to obtain a uniform light distribution in proportion to it. It has become to.
【0006】また、従来、円柱状の光束を有する光源を
用いて、被照射面を複数のフィールドに分割し所定のト
ラックに沿って光源を走査することにより、被照射面全
面を照射する方法が特開昭61-126544 号公報に示されて
いる。これは、分割した各フィールドの境界部に照度の
過不足が生じないようにするために、境界部を1/2の
光度でオーバーラップして照射することにより、被照射
面全面を均一に照射しようとするものである。Further, conventionally, there is a method of irradiating the entire surface to be irradiated by dividing the surface to be irradiated into a plurality of fields using a light source having a cylindrical light beam and scanning the light source along a predetermined track. It is disclosed in JP-A-61-126544. This is to irradiate the entire surface to be illuminated uniformly by overlapping and irradiating the boundary portion with a luminous intensity of 1/2 in order to prevent excess or deficiency of illuminance at the boundary portion of each divided field. Is what you are trying to do.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】上述のように、シャド
ウマスク焼付け版を作成するためには、露光工程の際に
照射面全面にわたって配光分布が均一なことが要求され
る。これは、焼付け版に用いられるガラス乾板の乳剤は
銀系が主流で、露光量(光強度×露光時間)に対する焼
付けパターン寸法の変化量が大きいからである。均一な
配光分布を得るためには、絞りの開口面積を小さくする
か、光源と照射面との距離を大きくすることが要求され
るが、これに伴い光照射面上の光強度が低下しすぎ、長
時間の露光にて露光量を増加しても、露光不足によるピ
ンホールの発生を回避することができない。一方、光強
度が強すぎると銀系乳剤はカブリ現象が発生し、照射面
上で適正光強度を得るには光源の距離を離す必要があ
り、スペース上の問題もある。特に、昨今の超大型カラ
ーブラウン管やハイビジョン管に用いられるシャドウマ
スクの大型化に伴い、焼付け版の面積増加も加速度的で
あり、それに比例して均一な配光分布を得ることがます
ます困難になってきている。As described above, in order to prepare a shadow mask printing plate, it is required that the light distribution be uniform over the entire irradiation surface during the exposure process. This is because the emulsion of the glass plate used for the printing plate is mainly silver based, and the amount of change in the baking pattern size with respect to the exposure amount (light intensity × exposure time) is large. In order to obtain a uniform light distribution, it is necessary to reduce the aperture area of the diaphragm or increase the distance between the light source and the irradiation surface, but with this, the light intensity on the irradiation surface decreases. Even if the exposure amount is increased by exposure for a long time, it is impossible to avoid the occurrence of pinholes due to insufficient exposure. On the other hand, if the light intensity is too high, the fog phenomenon occurs in the silver-based emulsion, and it is necessary to separate the light source to obtain an appropriate light intensity on the irradiation surface, which causes a space problem. In particular, with the recent increase in the size of shadow masks used for ultra-large color cathode ray tubes and high-definition tubes, the area of the printing plate is increasing at an accelerating rate, and it becomes more and more difficult to obtain a uniform light distribution in proportion to it. It has become to.
【0008】また、円柱状の光束を有する光源を用い
て、被照射面を複数のフィールドに分割し所定のトラッ
クに沿って光源を走査することにより、被照射面全面を
照射する方法も提案されているが、配光分布の均一性の
面で十分とはいえない。Also proposed is a method of irradiating the entire surface to be irradiated by dividing the surface to be irradiated into a plurality of fields using a light source having a cylindrical light beam and scanning the light source along a predetermined track. However, it is not sufficient in terms of uniformity of light distribution.
【0009】本発明は、上記問題点に鑑みてなされたも
のであり、均一な配光分布を有する露光光源装置を提供
することを目的とする。The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide an exposure light source device having a uniform light distribution.
【0010】[0010]
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明は、シャドウマスクのパターンが形成された
原板と、未感光の感光膜を有する生乾板とを真空密着
し、光照射することにより反転パターンを作成するパタ
ーン作成工程に用いる露光光源装置において、前記パタ
ーンの1辺よりも長い露光光源部と、この露光光源を前
記パターンの他方向に往復移動する駆動装置とを具備
し、前記露光光源部の光出口側に集束性光学繊維が多数
配列されてなるレンズユニットが配設されていることを
特徴とする露光光源装置である。In order to solve the above-mentioned problems, according to the present invention, an original plate on which a shadow mask pattern is formed and a dry plate having an unexposed photosensitive film are vacuum-contacted and irradiated with light. An exposure light source device used in a pattern forming step of forming an inversion pattern by: including an exposure light source portion longer than one side of the pattern, and a driving device that reciprocates the exposure light source in the other direction of the pattern, The exposure light source device is characterized in that a lens unit having a large number of converging optical fibers arranged is disposed on the light exit side of the exposure light source unit.
【0011】[0011]
【作用】露光光源装置の露光光源をマスクパターンの面
に対してその1辺よりも長い実質的なライン状光源とし
て、露光光源の光出口側に集束性光学繊維を多数配列し
てなるレンズユニットを配設することで照射面積に係わ
らず照射面上の配光分布が均一となる。これは、集束性
光学繊維はその断面における光照度の分布が均一になる
ためであり、マスクパターンの面に対してその1辺より
も長い実質的なライン状光源とすることで、その辺方向
の光照度の分布を均一にし、さらに露光光源を他方向に
移動させることにより、照射面全面で均一は配光分布を
得ることができる。A lens unit in which a large number of converging optical fibers are arranged on the light outlet side of the exposure light source by using the exposure light source of the exposure light source device as a substantially linear light source longer than one side of the mask pattern surface. By arranging, the light distribution on the irradiation surface becomes uniform regardless of the irradiation area. This is because the converging optical fiber has a uniform distribution of the light illuminance in its cross section. By using a substantially linear light source longer than one side of the mask pattern surface, By making the distribution of light illuminance uniform and further moving the exposure light source in the other direction, a uniform light distribution can be obtained on the entire irradiation surface.
【0012】よって、適正な光強度をもたせることが可
能となり、パターン寸法のばらつきが極めて少なく、パ
ターン切れがよく、ピンホールの発生のない焼付け版を
作成することができる。Therefore, it is possible to provide an appropriate light intensity, and it is possible to produce a printing plate in which the pattern dimension variation is extremely small, the pattern is well cut, and pinholes are not generated.
【0013】また、露光光源を照射面に近接して使用可
能であるため、露光光源装置および原板と生乾板を真空
密着する反転機を置くスペースが狭くてすむ。Further, since the exposure light source can be used in the vicinity of the irradiation surface, the space for placing the exposure light source device and the reversing device for vacuum-contacting the original plate and the dry plate can be small.
【0014】[0014]
【実施例】以下、図面を参照して、本発明の実施例につ
いて説明する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0015】図1に本発明の概要を示す。シャドウマス
ク孔形成部に相当する箇所が不透明なパターンを有する
原板11と、未感光の感光膜が被着された生乾板12とが真
空密着され、露光光源20を駆動装置21により、上方Y
u、下方Ydに移動する。この露光光源20の走査速度は
切換スイッチ22により可変することができる。FIG. 1 shows the outline of the present invention. An original plate 11 having an opaque pattern at a portion corresponding to a shadow mask hole forming portion and a raw dry plate 12 on which an unexposed photosensitive film is adhered are vacuum-contacted, and an exposure light source 20 is moved upward by a drive device 21.
u, move to Yd downward. The scanning speed of the exposure light source 20 can be changed by the changeover switch 22.
【0016】図2に図1の露光光源20および駆動装置21
を備えた露光光源装置の概略全体図を示す。図2(a)
は概略斜視図、(b)は平面図、(c)は側面図であ
る。図2において、シャドウマスク孔形成部に相当する
箇所が不透明なパターンを有する原板と、未感光の感光
膜が被着された生乾板とはともに図示せず、露光光源装
置のみを示している。露光光源20は、移動時のぶれ発生
を防止するため、ガイド棒23に沿い変速モーターに連結
した駆動チェーンからなる駆動装置21にて上下に移動す
る。移動の際、上下の移動速度が異なると露光量が変動
するので、上下の移動速度が等速となるように背面にバ
ランサー(図示せず)が取付けられている。露光光源20
の上下の移動範囲は、露光光源装置のガイド棒23の上下
に取付けられたリミットスイッチの各々の位置を被露光
材の大きさに合わせて変えることにより、任意に変更可
能である。露光光源20の走査速度の指定は、制御盤24に
取付けられた駆動モーター回転数制御ツマミを回すこと
により、また往復回数の指定は、制御盤24に取付けられ
たカウンターにて行い、指定回数分リミットスイッチの
信号が切換スイッチ22に伝わり駆動装置21の動作状態を
制御することにより任意に変更可能である。また、露光
光源装置の下部にはキャスター25が取付けられているの
で、原板と生乾板とを真空密着している密着反転機へ人
力にて容易に近接させることができる。FIG. 2 shows the exposure light source 20 and the driving device 21 of FIG.
FIG. 1 is a schematic overall view of an exposure light source device provided with. Figure 2 (a)
Is a schematic perspective view, (b) is a plan view, and (c) is a side view. In FIG. 2, neither the original plate having an opaque pattern at the portion corresponding to the shadow mask hole forming portion nor the raw dry plate coated with the unexposed photosensitive film is shown, but only the exposure light source device is shown. The exposure light source 20 is moved up and down by a drive device 21 including a drive chain connected to a speed change motor along a guide rod 23 in order to prevent blurring during movement. At the time of movement, the exposure amount fluctuates if the vertical movement speed is different, so a balancer (not shown) is attached to the back surface so that the vertical movement speed is constant. Exposure light source 20
The upper and lower moving ranges can be arbitrarily changed by changing the positions of the limit switches mounted above and below the guide rod 23 of the exposure light source device according to the size of the material to be exposed. The scanning speed of the exposure light source 20 is specified by turning the drive motor rotation speed control knob mounted on the control panel 24, and the number of reciprocations is specified by the counter mounted on the control panel 24. The signal of the limit switch is transmitted to the changeover switch 22 and the operating state of the drive device 21 is controlled so that it can be arbitrarily changed. Further, since the caster 25 is attached to the lower part of the exposure light source device, it is possible to manually bring the original plate and the raw dry plate into close contact with each other by manual force.
【0017】露光光源の構造の詳細を図3に示す。図3
(a)は側面断面図であり、図3(b)は平面断面図で
ある。光源はランプに40Wの細長い白熱蛍光灯31を使用
し、光出力側にはシャッター32と集束性光学繊維が多数
配列されてなるレンズユニット40とが配設される。この
シャッター32の構造としては、例えば、可動鉄芯の回り
にばねコイルを配したものを利用するものがあり、電流
を流すとコイルが縮まり鉄芯が回転する動きを利用して
シャッターを動かすことができる。このとき、レンズユ
ニット40を構成する集束性光学繊維の軸が蛍光灯31の略
中心軸方向を向くようになっている。シャッター32が倒
れることにより、白熱蛍光灯31から出た光はレンズユニ
ット40を通過して露光光源の外にでる。この集束性光学
繊維から構成されるレンズユニット40によりマスクパタ
ーンの幅方向には配光分布は均一になる。このレンズユ
ニット40の作用について説明すると次のようになる。集
束性光学繊維は、クラッド型光学繊維と比較して、その
屈折率分布に特徴がある。すなわち、クラッド型光学繊
維は界面での全反射を利用するものなので、高屈折率の
コアとそれより低い屈折率とで構成され不連続な屈折率
分布となっているが、集束性光学繊維は中心軸から半径
方向外側に向かって屈折率が連続的に減少している。ま
た、一般的に、媒質中を進行する光は屈折率が大きくな
るほど速度が小さくなるので、集束性光学繊維は断面で
の光照度分布を均一にすることができる。よって、集束
性光学繊維が一つの光源となりそれが密に配列されてい
るので、光源自体の光分布が不均一でもそのばらつきが
平均化される。その結果、所望の幅と長さを有する均一
な配光分布の面光源を形成することができる。Details of the structure of the exposure light source are shown in FIG. Figure 3
3A is a side sectional view, and FIG. 3B is a plan sectional view. As the light source, a long and narrow incandescent fluorescent lamp 31 of 40 W is used as a lamp, and a shutter 32 and a lens unit 40 in which a large number of converging optical fibers are arranged are arranged on the light output side. As the structure of the shutter 32, for example, there is one in which a spring coil is arranged around a movable iron core. When the electric current is applied, the coil is contracted and the iron core is rotated to move the shutter. You can At this time, the axis of the converging optical fiber that constitutes the lens unit 40 is oriented substantially in the central axis direction of the fluorescent lamp 31. When the shutter 32 falls down, the light emitted from the incandescent fluorescent lamp 31 passes through the lens unit 40 and goes out of the exposure light source. The lens unit 40 made of this converging optical fiber makes the light distribution uniform in the width direction of the mask pattern. The operation of the lens unit 40 will be described below. The converging optical fiber is characterized by its refractive index distribution as compared with the clad type optical fiber. That is, since the clad type optical fiber utilizes total reflection at the interface, it has a discontinuous refractive index distribution composed of a high refractive index core and a lower refractive index, but the converging optical fiber is The refractive index continuously decreases from the central axis toward the outer side in the radial direction. Further, in general, the speed of the light traveling in the medium decreases as the refractive index increases, so that the converging optical fiber can make the light illuminance distribution in the cross section uniform. Therefore, since the converging optical fibers serve as one light source and are densely arranged, even if the light distribution of the light source itself is nonuniform, the variations are averaged. As a result, a surface light source having a desired width and length and a uniform light distribution can be formed.
【0018】上記レンズユニット40を構成する一つの集
束性光学繊維の直径は0.5 〜1.0 mm程度で、その結像範
囲は数mm程度のため隣合った集束性光学繊維が作る光源
の像が互いに重なり合い、正立等倍結像を形成する光集
束性光学繊維を多数配列することにより必要範囲の面光
源を得ることができる。The diameter of one converging optical fiber constituting the lens unit 40 is about 0.5 to 1.0 mm, and the image forming range thereof is about several mm. By arranging a large number of light converging optical fibers that overlap each other and form an erecting equal-magnification image, a surface light source in a required range can be obtained.
【0019】図4は図3に示す集束性光学繊維からなる
レンズユニット40の一部切欠け拡大図であり、千鳥格子
状に配列した集束性光学繊維41からなるものをレンズ素
子の1つのユニットとしている。この図4に示すユニッ
トを上下2列に並べて露光光源の光照射出口に設けたも
のを図5に示す。FIG. 4 is a partially cutaway enlarged view of the lens unit 40 made of the converging optical fiber shown in FIG. 3, in which one made of the converging optical fibers 41 arranged in a zigzag pattern is used as one of the lens elements. It is a unit. FIG. 5 shows an arrangement in which the units shown in FIG. 4 are arranged in upper and lower two rows and provided at the light irradiation outlet of the exposure light source.
【0020】また、レンズユニット以外からの光を遮断
するため、露光光源の上下に光源の動きに合わせて巻き
だし及び巻取りを行う自動巻込み型の黒ブラインドを取
付けてもよい。Further, in order to block light from other than the lens unit, black blinds of an automatic winding type may be attached above and below the exposure light source for unwinding and winding according to the movement of the light source.
【0021】図2において露光光源装置に取付けられた
露光光源は1つであるが、本発明はこれに限定されな
い。すなわち、使用する感光剤の乳剤の種類によって感
光感度が大幅に異なるからである。例えば、コダック製
のハイレゾルーションプレート(HRP)の感度は、ラ
インプレシジョンプレート(LPP)の約百分の一と弱
く、この場合の露光は露光光源の走査速度を遅くし、か
つ走査回数を増やして露光量を上げる手段があるが、露
光時間が長くなり作業効率が悪くなる。従って、露光光
源を1つに限定せず複数個並べ乳剤感度に合わせ走査回
数を変えることも可能である。Although only one exposure light source is attached to the exposure light source device in FIG. 2, the present invention is not limited to this. That is, the photosensitivity greatly varies depending on the type of emulsion of the photosensitizer used. For example, the sensitivity of a Kodak high resolution plate (HRP) is as low as about one-hundredth of that of a line precision plate (LPP), and exposure in this case slows down the scanning speed of the exposure light source and increases the number of scanning times. Although there is a means to increase the exposure amount, the exposure time becomes long and the work efficiency deteriorates. Therefore, the number of exposure light sources is not limited to one, and it is possible to arrange a plurality of exposure light sources and change the number of scanning times according to the emulsion sensitivity.
【0022】また、乳剤によっては光強度が弱すぎると
露光量を増やしてもピンホール現象が発生しやすく、逆
に光強度が強すぎるとカブリ現象が発生する。従って、
使用する光源の種類は任意に選択する必要がある。Further, depending on the emulsion, if the light intensity is too weak, the pinhole phenomenon is likely to occur even if the exposure amount is increased, and conversely, if the light intensity is too strong, the fog phenomenon occurs. Therefore,
It is necessary to arbitrarily select the type of light source used.
【0023】さらに、被露光材とレンズユニットとの距
離は、感光剤の感度によって決まる一定の光強度を得る
ための距離に設定することが望ましい。Furthermore, it is desirable that the distance between the exposed material and the lens unit is set to a distance for obtaining a constant light intensity determined by the sensitivity of the photosensitizer.
【0024】35Vのカラー受像管に用いるシャドウマ
スクのパターン、すなわち、30インチ×43インチの
コダック製LPP乾板に770mm×600mmのパターン
を焼付けその寸法のばらつきに対する本実施例と200
Wの水銀灯を用いた従来装置との比較を表1に示す。A pattern of a shadow mask used for a 35 V color picture tube, that is, a pattern of 770 mm × 600 mm is printed on a 30 inch × 43 inch Kodak LPP dry plate, and this embodiment and 200 are applied to the dispersion of the size.
Table 1 shows a comparison with a conventional device using a W mercury lamp.
【0025】[0025]
【表1】 表1において、実施例の露光条件は、露光光源とパター
ンとの距離を800mm、光源の走査速度を6m/分、走
査範囲を上下に1000mm、走査回数は1往復、パター
ン部の露光時間を15秒、パターン部以外を含めた全体
の露光時間を20秒にしたものである。また、従来例の
露光条件は、光源に200Wの水銀ランプを用いて、光
源とパターンとの距離を2000mm、絞り径を45φ、
照度を2lx、露光時間を10秒にしている。[Table 1] In Table 1, the exposure conditions of the examples are as follows: the distance between the exposure light source and the pattern is 800 mm, the scanning speed of the light source is 6 m / min, the scanning range is 1000 mm up and down, the number of scans is 1 reciprocation, and the exposure time of the pattern part is 15 mm. Second, the total exposure time including the part other than the pattern part is set to 20 seconds. The exposure conditions of the conventional example are as follows: a 200 W mercury lamp is used as the light source, the distance between the light source and the pattern is 2000 mm, the aperture diameter is 45 φ,
The illuminance is 2 lx and the exposure time is 10 seconds.
【0026】図5は露光光源の他の実施例を示し、図5
(a)は側面断面図、図5(b)は平面断面図である。
光源として100Wのボール電球51を被露光材の必要幅
分だけ多灯直列に並べ、光出口側に熱吸収ガラス板52お
よび電球の像を消し配光分布の均一化を図るための拡散
板53が取付けられている。さらに、ソレノイドで動くシ
ャッター54があり、これが倒れることにより、光はボー
ル電球51の略中心一に相当する一に取付けられたレンズ
ユニット60を通過して外に出る。なお、摺動変圧器を介
してボール電球51の供給電圧を変更することにより、光
強度は任意に変更可能である。FIG. 5 shows another embodiment of the exposure light source.
5A is a side sectional view, and FIG. 5B is a plan sectional view.
As a light source, 100 W ball bulbs 51 are arranged in series in a number of lamps in the required width of the material to be exposed, and a heat absorbing glass plate 52 on the light exit side and a diffusion plate 53 for eliminating the image of the bulb and making the light distribution uniform. Is installed. Further, there is a solenoid-operated shutter 54, and when the shutter 54 is tilted, light passes through a lens unit 60 attached to one, which corresponds to substantially the center of the ball bulb 51, and goes out. The light intensity can be arbitrarily changed by changing the supply voltage of the ball bulb 51 via the sliding transformer.
【0027】以上のように本発明によれば、露光光源と
被露光材との距離を小さくすることができ、光強度の面
でも光源の選択範囲が広がるという利点もある。このと
き、被露光材である生乾板に被着されている感光剤によ
って感光波長が異なるので、露光光源のランプの波長を
感光波長に合わせる必要がある。さらに、光集束性光学
繊維が感光波長の光を透過するように光集束性光学繊維
の透過波長を選択することが望ましい。As described above, according to the present invention, the distance between the exposure light source and the material to be exposed can be reduced, and the light source can be selected in a wider range. At this time, the wavelength of the lamp of the exposure light source must be adjusted to the photosensitive wavelength because the photosensitive wavelength varies depending on the photosensitizer applied to the raw dry plate which is the exposed material. Further, it is desirable to select the transmission wavelength of the light converging optical fiber so that the light converging optical fiber transmits light having a photosensitive wavelength.
【0028】また、露光光源を照射面に近接して使用可
能であるため、露光光源装置および原板と生乾板を真空
密着する反転機を置くスペースが狭くてすむ。Further, since the exposure light source can be used in the vicinity of the irradiation surface, the space for placing the exposure light source device and the reversing device for vacuum-contacting the original plate and the dry plate can be small.
【0029】また、上述の実施例では駆動装置を駆動チ
ェーンで構成して露光光源を上下に移動させているが、
本発明はこれに限定されない。すなわち、駆動装置の構
造は露光光源を往復移動させることが可能なものであれ
ばよく、また、露光光源を垂直方向に長い構造にして水
平方向に移動させてもよい。Further, in the above-mentioned embodiment, the driving device is constituted by the driving chain and the exposure light source is moved up and down.
The present invention is not limited to this. That is, the drive device may have any structure as long as it can move the exposure light source back and forth, and the exposure light source may be vertically long and moved horizontally.
【0030】さらに、本願の露光光源装置は、カラー受
像管のシャドウマスク製造について説明してきたが、シ
ャドウマスク製造工程以外にも利用可能である。Furthermore, although the exposure light source device of the present application has been described with respect to the production of a shadow mask for a color picture tube, it can be used in other than the shadow mask production process.
【0031】[0031]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、露光光
源装置の露光光源をマスクパターンの面に対してその1
辺よりも長い実質的なライン状光源として、露光光源の
光出口側に集束性光学繊維を多数配列してなるレンズユ
ニットを配設することで照射面積に係わらず照射面上の
配光分布が均一となる。さらに露光光源を他方向に移動
させることにより、照射面全面で均一は配光分布を得る
ことができる。As described above, according to the present invention, the exposure light source of the exposure light source device is provided with respect to the surface of the mask pattern.
As a substantially linear light source longer than the side, by arranging a lens unit consisting of a large number of converging optical fibers arranged on the light exit side of the exposure light source, the light distribution on the irradiation surface can be distributed regardless of the irradiation area. Be uniform. Further, by moving the exposure light source in the other direction, a uniform light distribution can be obtained over the entire irradiation surface.
【0032】よって、適正な光強度をもたせることが可
能となり、パターン寸法のばらつきが極めて少なく、パ
ターン切れがよく、ピンホールの発生のない焼付け版を
作成することができる。Therefore, it becomes possible to provide an appropriate light intensity, and it is possible to produce a printing plate in which the variation in the pattern dimension is extremely small, the pattern is well cut, and pinholes are not generated.
【図1】本発明の概要を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing an outline of the present invention.
【図2】本発明の一実施例を示す概略斜視図、平面図お
よび側面図である。FIG. 2 is a schematic perspective view, a plan view and a side view showing an embodiment of the present invention.
【図3】図2に示す露光光源の構造を示す側面断面図お
よび平面断面図である。3A and 3B are a side sectional view and a plan sectional view showing the structure of the exposure light source shown in FIG.
【図4】図3に示す集束性光学繊維が多数配列されてな
るレンズユニットの構造を示す一部切欠け拡大図であ
る。FIG. 4 is a partially cutaway enlarged view showing the structure of a lens unit in which a large number of converging optical fibers shown in FIG. 3 are arranged.
【図5】図4に示すレンズユニットを配設した露光光源
を示す正面図である。5 is a front view showing an exposure light source provided with the lens unit shown in FIG.
【図6】露光光源の他の構造を示す側面断面図および平
面断面図である。6A and 6B are a side sectional view and a plan sectional view showing another structure of the exposure light source.
【図7】従来の露光光源の構造を示す断面図である。FIG. 7 is a sectional view showing a structure of a conventional exposure light source.
11…原板 12…生乾板 20,40,60…レンズユニット 21…駆動装置 31…白熱蛍光灯 51…ボール電球 41…集束性光学繊維 11 ... Original plate 12 ... Raw dry plate 20, 40, 60 ... Lens unit 21 ... Driving device 31 ... Incandescent fluorescent lamp 51 ... Ball bulb 41 ... Focusing optical fiber
Claims (1)
原板と、未感光の感光膜を有する生乾板とを真空密着
し、光照射することにより反転パターンを作成するマス
クパターン作成工程に用いる露光光源装置において、 前記パターンの1辺よりも長い露光光源と、この露光光
源を前記パターンの他方向に往復移動する駆動装置とを
具備し、前記露光光源の光出口側に集束性光学繊維が多
数配列されてなるレンズユニットが配設されていること
を特徴とする露光光源装置。1. An exposure light source device used in a mask pattern forming step of forming a reversal pattern by vacuum-contacting an original plate on which a shadow mask pattern is formed and a raw dry plate having an unexposed photosensitive film, and irradiating with light. In the above, an exposure light source longer than one side of the pattern and a driving device that reciprocates the exposure light source in the other direction of the pattern are provided, and a large number of converging optical fibers are arranged on the light outlet side of the exposure light source. An exposure light source device characterized in that a lens unit comprising the above is provided.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30388191A JPH05120993A (en) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | Exposure light source unit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30388191A JPH05120993A (en) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | Exposure light source unit |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05120993A true JPH05120993A (en) | 1993-05-18 |
Family
ID=17926401
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30388191A Pending JPH05120993A (en) | 1991-10-24 | 1991-10-24 | Exposure light source unit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05120993A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4902735A (en) * | 1987-06-03 | 1990-02-20 | Idemitsu Petrochemical Co., Ltd. | High impact resistant polycarbonate and process for producing said polycarbonate |
-
1991
- 1991-10-24 JP JP30388191A patent/JPH05120993A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4902735A (en) * | 1987-06-03 | 1990-02-20 | Idemitsu Petrochemical Co., Ltd. | High impact resistant polycarbonate and process for producing said polycarbonate |
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