JPH05117716A - Production of functional material - Google Patents

Production of functional material

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JPH05117716A
JPH05117716A JP30946891A JP30946891A JPH05117716A JP H05117716 A JPH05117716 A JP H05117716A JP 30946891 A JP30946891 A JP 30946891A JP 30946891 A JP30946891 A JP 30946891A JP H05117716 A JPH05117716 A JP H05117716A
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JP
Japan
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powder
amorphous
kinds
functional material
finely pulverized
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Application number
JP30946891A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Kimura
博 木村
Kazuhisa Toda
一寿 戸田
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Koyo Seiko Co Ltd
Original Assignee
Koyo Seiko Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To easily and inexpensively produce a large-sized sintered functional material having high and uniform density by pulverizing >=2 kinds of raw metal powders by mechanical alloying or grinding and plasma-sintering the obtained fine powder. CONSTITUTION:An intermetallic compd. of Ti50Al50 is crushed by mechanical alloying or grinding to obtain the amorphous fine powder. The fine powder as such or the mixture of the fine powder and different kinds of materials such as ZrO2 or the bulk of the amorphous Ti50Al50 powder and ZnO2 or the mixture of the amorphous Ti50Al50 fine powder and ZrO2 and the bulk is packed in a graphite die. A compressive stress is applied, the material is plasma-sintered at 600-1000 deg.C and integrated, and a large-sized functional material having high and uniform density is inexpensively produced with a low forming pressure of about several kg/mm<2> without need for a special device.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、たとえば航空宇宙用
耐熱材料、積層形磁気ヘッド、トルクセンサなどとして
用いられる機能材料を製造する方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a heat resistant material for aerospace, a laminated magnetic head, a functional material used as a torque sensor, and the like.

【0002】この明細書において、「金属」という語に
は半金属も含むものとする。また、「化合物」という語
には合金も含むものとする。
[0002] In this specification, the term "metal" includes a semimetal. Further, the term "compound" includes alloys.

【0003】[0003]

【従来の技術と発明の課題】たとえば航空宇宙用耐熱材
料、積層形磁気ヘッド、トルクセンサなどに用いられる
機能材料には、様々な物理的性質が要求されている。
2. Description of the Related Art Various physical properties are required for functional materials used in, for example, heat-resistant materials for aerospace, laminated magnetic heads, torque sensors and the like.

【0004】そして、従来、たとえば耐熱材料として使
用される高融点を有する化合物からなる材料は、金属粉
末を使用し、燃焼反応における反応生成熱を利用した、
いわゆる燃焼合成法によって製造されていた。燃焼合成
法は、添加材を用いることなく、高融点化合物の合成と
焼結とを同時に行える安価な方法である。この方法を常
圧下で実施した場合には、合成時の体積収縮に試料が追
随できず、ほとんどが多孔質状となって高密度化するの
が困難であるため、通常、加圧下で燃焼合成を実施する
加圧燃焼合成法が適用されている。たとえば、油圧を利
用して1軸方向に圧縮するホットプレス法や、ガス圧や
液圧等により等方的に圧縮する熱間等方圧プレス法(H
IP)や、衝撃波または遠心力作用を利用した高圧発生
技術により圧縮する高圧焼結法などが適用されている。
Conventionally, for example, as a material made of a compound having a high melting point, which is used as a heat-resistant material, a metal powder is used, and heat of reaction formation in a combustion reaction is utilized.
It was manufactured by the so-called combustion synthesis method. The combustion synthesis method is an inexpensive method that can simultaneously synthesize and sinter a high melting point compound without using an additive. When this method is carried out under normal pressure, the sample cannot follow the volume shrinkage during synthesis, and most of them are porous and it is difficult to densify them. The pressurized combustion synthesis method for carrying out is applied. For example, a hot press method of compressing in a uniaxial direction using hydraulic pressure, a hot isostatic press method of compressing isotropically by gas pressure or liquid pressure (H
IP), a high-pressure sintering method of compressing by a high-pressure generation technique utilizing a shock wave or centrifugal force action, and the like are applied.

【0005】しかしながら、いずれの方法の場合にも、
製造される材料の密度比が未だ小さくて高密度のものを
得ることができないという問題がある。さらに、高密度
の大型機能材料を得るためには、大きな圧縮荷重を負荷
することのできる装置を必要とするので、コストが高く
なるという問題がある。しかも、ホットプレス法の場合
には、負荷応力が不均一のため形成された材料の密度に
ばらつきが生じるという問題がある。また、HIPで所
定のニアネットシェイプの機能材料を製造するために
は、複雑な形状の金属製カプセルを用いなければならな
いのでカプセルの製作が極めて困難であり、かつカプセ
ルへの封入作業も面倒であるとともに、HIPを不活性
ガス雰囲気中で行う必要があるので密閉形の装置を必要
とする。したがって、コストが高くなるとともに大量生
産に向かないという問題がある。
However, in any of the methods,
There is a problem that the density ratio of the manufactured materials is still small and a high density cannot be obtained. Further, in order to obtain a high-density, large-scale functional material, a device capable of applying a large compressive load is required, which causes a problem of high cost. Moreover, in the case of the hot pressing method, there is a problem that the density of the formed material varies due to uneven load stress. Further, in order to manufacture a functional material having a predetermined near net shape by HIP, it is extremely difficult to manufacture a capsule because a metal capsule having a complicated shape must be used, and the encapsulation work into the capsule is also troublesome. In addition, since HIP needs to be performed in an inert gas atmosphere, a sealed device is required. Therefore, there is a problem that the cost becomes high and it is not suitable for mass production.

【0006】また、従来、たとえばTiCのような金属
炭化物を製造する場合、試料端部に強制着火する必要が
あったが、そのための装置の設置や、着火時期の設定な
どが困難であり、しかも燃焼温度や反応速度を制御する
ことはできず、組成の均一化および構造制御が困難であ
るという問題がある。
Further, conventionally, in the case of producing a metal carbide such as TiC, it was necessary to ignite the end of the sample forcibly, but it is difficult to install an apparatus for that and set the ignition timing, and Since the combustion temperature and the reaction rate cannot be controlled, it is difficult to make the composition uniform and control the structure.

【0007】また、航空宇宙用耐熱材料、積層形磁気ヘ
ッド、トルクセンサなどに用いられる機能材料に要求さ
れる様々な物理的性質を満足するためには、機能材料
が、全体がアモルファス相からなる組織や、アモルファ
ス母相中に微細な結晶相が均一に析出した組織や、アモ
ルファス母相中にナノメータスケールの微細な結晶相が
存在する組織や、全体がナノメータスケールの微細な結
晶粒組織などの非平衡相となっていることが効果的であ
る。そして、上記のような非平衡相は、アモルファス合
金粉末と、異種材料粉末とを用いて焼結すること、アモ
ルファス合金粉末と、異種材料のバルクとを焼結一体化
すること、またはアモルファス合金粉末と、異種材料粉
末と、異種材料のバルクとを焼結一体化することにより
作製するのが、その構造制御の点から容易であることが
判明している。
In order to satisfy various physical properties required for functional materials used for aerospace heat-resistant materials, laminated magnetic heads, torque sensors, etc., the functional materials are entirely composed of an amorphous phase. Such as a structure, a structure in which a fine crystalline phase is uniformly precipitated in an amorphous matrix, a structure in which a fine crystalline phase on the nanometer scale exists in the amorphous matrix, or a fine crystal grain structure on the whole nanometer scale. It is effective to have a non-equilibrium phase. The non-equilibrium phase as described above is obtained by sintering the amorphous alloy powder and the dissimilar material powder, integrally sintering the amorphous alloy powder and the bulk of the dissimilar material, or the amorphous alloy powder. It has been found that it is easy from the viewpoint of the structure control to manufacture by sintering and integrating the different material powder and the bulk of the different material.

【0008】そこで、従来、液体急冷法によりつくられ
た1種の急冷凝固アモルファス金属粉末を用いてホット
プレス法により、上述のように焼結または焼結一体化す
ることが考えられている。
Therefore, it has been conventionally considered that one kind of rapidly solidified amorphous metal powder produced by the liquid quenching method is used to perform the sintering or the sintering integration as described above by the hot pressing method.

【0009】しかしながら、ホットプレス法の場合に
は、上記高融点材料を製造する場合と同様な問題がある
とともに、焼結時には粉末全体が高温に加熱されるの
で、合金部分の組織を所望の非平衡相とするのが困難で
あるという問題がある。
However, in the case of the hot pressing method, there are the same problems as in the case of producing the above-mentioned high melting point material, and since the entire powder is heated to a high temperature during sintering, the structure of the alloy portion is not desired to have a desired structure. There is a problem that it is difficult to make the equilibrium phase.

【0010】このような問題を解決するために、高密度
の焼結体を製造するのに適した粉末冶金法であるHIP
によって機能材料を製造することも考えられるが、HI
Pでも上記高融点材料を製造する場合と同様な問題があ
るとともに、急冷凝固アモルファス粉末の表面には、酸
化皮膜が形成されているため、HIPによっても、アモ
ルファス超電導体やアモルファス磁性材料として用いる
のに適するとともに、仕上げ機械加工を施すことの可能
な高密度の機能材料を製造することができないという問
題がある。
In order to solve such a problem, HIP which is a powder metallurgy method suitable for producing a high density sintered body.
It is conceivable to manufacture functional materials by
P also has the same problem as in the case of manufacturing the high melting point material, and since an oxide film is formed on the surface of the rapidly solidified amorphous powder, it is also used as an amorphous superconductor or an amorphous magnetic material by HIP. In addition to the above, there is a problem in that it is not possible to manufacture a high-density functional material that is suitable for finishing machining.

【0011】この発明の目的は、上記問題を全て解決し
た機能材料の製造方法を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a method for producing a functional material which solves all the above problems.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】この発明による第1の機
能材料の製造方法は、2種以上の原料金属粉末を使用し
てメカニカルアロイング法やメカニカルグライディング
法により微粉砕粉末を製造し、この微粉砕粉末を、プラ
ズマ焼結法により焼結することを特徴とするものであ
る。
The first method for producing a functional material according to the present invention is to produce finely pulverized powder by a mechanical alloying method or a mechanical grinding method using two or more kinds of raw material metal powders. It is characterized in that finely pulverized powder is sintered by a plasma sintering method.

【0013】この発明による第2の機能材料の製造方法
は、2種以上の原料金属粉末を使用してメカニカルアロ
イング法やメカニカルグライディング法により微粉砕粉
末を製造し、この微粉砕粉末と、異種材料粉末とを、プ
ラズマ焼結法により焼結一体化することを特徴とするも
のである。
The second method for producing a functional material according to the present invention is a method in which two or more kinds of raw material metal powders are used to produce a finely pulverized powder by a mechanical alloying method or a mechanical gliding method. It is characterized in that the material powder is sintered and integrated by a plasma sintering method.

【0014】この発明による第3の機能材料の製造方法
は、2種以上の原料金属粉末を使用してメカニカルアロ
イング法やメカニカルグライディング法により微粉砕粉
末を製造し、この微粉砕粉末と、異種材料のバルクと
を、プラズマ焼結法により焼結一体化することを特徴と
するものである。
The third method for producing a functional material according to the present invention uses two or more kinds of raw metal powders to produce a finely pulverized powder by a mechanical alloying method or a mechanical gliding method, and the finely pulverized powder is made into a different material. It is characterized in that the bulk of the material is sintered and integrated by a plasma sintering method.

【0015】この発明による第4の機能材料の製造方法
は、2種以上の原料金属粉末を使用してメカニカルアロ
イング法やメカニカルグライディング法により微粉砕粉
末を製造し、この微粉砕粉末と、異種材料粉末と、異種
材料のバルクとを、プラズマ焼結法により焼結一体化す
ることを特徴とするものである。
A fourth method for producing a functional material according to the present invention uses two or more kinds of raw metal powders to produce a finely pulverized powder by a mechanical alloying method or a mechanical gliding method. It is characterized in that material powder and bulk of different materials are sintered and integrated by a plasma sintering method.

【0016】上記第1〜第4の方法において、微粉砕粉
末は、原料である2種以上の金属の化合物場合と、この
化合物と原料金属との混合物からなる場合がある。これ
らの場合、原料である2種以上の金属の化合物のうち少
なくとも一部がアモルファスであってもよいし、原料で
ある2種以上の金属の化合物の全体が結晶質であっても
よい。
In the above first to fourth methods, the finely pulverized powder may be a compound of two or more kinds of metals as a raw material, or a mixture of this compound and a raw material metal. In these cases, at least a part of the compound of two or more kinds of metals as a raw material may be amorphous, or the compound of two or more kinds of metals as a raw material may be entirely crystalline.

【0017】上記の方法において、メカニカルアロイン
グ法またはメカニカルグライディング法は、たとえばボ
ールミルのような装置を用いて行うものである。すなわ
ち、2種以上の原料金属粉末をミルの容器内に入れ、不
活性ガス雰囲気中または真空雰囲気中で、アジテータを
所定時間回転させることにより微細で表面が活性な粉末
を得ることができる。このメカニカルアロイング法やメ
カニカルグライディング法は、上述のように不活性ガス
雰囲気中または真空雰囲気中で行われるとともに、破壊
と冷間圧接との繰返により粉末表面が常に新表面となさ
れるので、これらの方法により製造された粉末の表面に
は酸化皮膜が存在しない。そして、その時間を制御する
ことにより、微細化の程度を制御できる。しかも、この
方法によれば、アモルファス化合物粉末を形成すること
が可能になる。
In the above method, the mechanical alloying method or the mechanical grinding method is performed by using a device such as a ball mill. That is, two or more kinds of raw material metal powders are put in a container of a mill, and an agitator is rotated for a predetermined time in an inert gas atmosphere or a vacuum atmosphere to obtain a fine powder having an active surface. The mechanical alloying method and the mechanical grinding method are performed in an inert gas atmosphere or a vacuum atmosphere as described above, and the powder surface is always a new surface due to repetition of fracture and cold pressure welding. No oxide film is present on the surface of the powder produced by these methods. The degree of miniaturization can be controlled by controlling the time. Moreover, according to this method, it is possible to form an amorphous compound powder.

【0018】異種材料粉末および異種材料のバルクとし
ては、上記微粉砕粉末とは種類の異なる金属、合金、セ
ラミックス等の化合物、およびその他の化合物のうちの
1種または2種以上からなるものが用いられる。また、
なお、セラミックスには、岩石、鉱物、粘土などのケイ
酸塩からなるものを原料とした陶器、磁器などの在来の
セラミックス、および酸化物や、窒化物、炭化物、ホウ
化物、ケイ化物などの合成材料を用いて、高圧焼成その
他の所要条件下に製造されるいわゆるニューセラミック
スの両者が含まれる。
As the dissimilar material powder and the bulk of the dissimilar material, one made of one or more kinds of compounds such as metals, alloys, ceramics and the like different from the finely pulverized powder and other compounds is used. Be done. Also,
Note that ceramics include conventional ceramics such as pottery and porcelain made from silicates such as rocks, minerals, and clay, and oxides, nitrides, carbides, borides, silicides, and the like. This includes both so-called new ceramics produced under high pressure firing and other necessary conditions using synthetic materials.

【0019】得られる機能材料の具体例は、たとえば以
下の通りである。
Specific examples of the obtained functional material are as follows.

【0020】(1) 結晶質の化合物からなるマトリックス
相、たとえば合金からなるマトリックス相中に他の化合
物粒子、たとえばセラミックス粒子が分散した複合材料 これは、たとえば磁性材料として使用される。
(1) Matrix composed of crystalline compound
Other compounds in the matrix phase, for example of an alloy.
Composite material in which object particles, for example, ceramic particles are dispersed. This is used, for example, as a magnetic material.

【0021】(2) 異なる成分からなる結晶質化合物相が
積層状態に形成された複合材料 これは、たとえば磁気ヘッド、航空宇宙用耐熱材料とし
て使用される。
(2) A crystalline compound phase composed of different components
Composite material formed in a laminated state This is used as, for example, a magnetic head or a heat-resistant material for aerospace.

【0022】(3) 同一成分からなりかつ各成分の含有量
が異なっている複数の結晶質化合物相が積層状態に形成
されており、各成分の含有量が、一端の化合物相側から
他端の化合物相側に向かって漸次変化している複合材料 これは、たとえば航空宇宙用機体材料として使用され
る。
(3) Consist of the same components and the content of each component
Multiple crystalline compound phases with different phases are formed in a stacked state
The content of each component is from the compound phase side at one end.
Composite material gradually changing toward the compound phase side at the other end This is used, for example, as an aerospace fuselage material.

【0023】(4) 2種以上のアモルファス合金粉末の混
合粉末からなる焼結体 この複合材料においては、全体がアモルファス相である
場合と、少なくとも1種のアモルファス合金が部分的ま
たは全体に結晶化し、ナノメータスケールの結晶となっ
ている場合がある。前者は、たとえばソフト磁性材料と
して使用され、後者は、たとえば高周波磁性材料として
使用される。
(4) Mixing two or more amorphous alloy powders
Sintered body composed of mixed powder In this composite material, there are cases where the whole is in an amorphous phase and cases where at least one kind of amorphous alloy is partially or wholly crystallized to be nanometer-scale crystals. The former is used as a soft magnetic material, for example, and the latter is used as a high frequency magnetic material, for example.

【0024】(5) 2種以上のアモルファス合金粉末から
それぞれ形成された層が積層状態となっている焼結体 この複合材料においては、すべてのアモルファス合金が
アモルファス状態で残存している場合と、少なくとも1
種のアモルファス合金が部分的または全体に結晶化し、
ナノメータスケールの結晶相となっている場合とがあ
る。前者は、たとえば磁気ヘッド、スパッタターゲット
用材料として使用され、後者は、たとえば航空宇宙用耐
熱材料として使用される。
(5) From two or more amorphous alloy powders
Sintered body in which each formed layer is in a laminated state In this composite material, in the case where all amorphous alloys remain in an amorphous state,
Some amorphous alloy crystallizes partially or entirely,
In some cases, the crystal phase is on the nanometer scale. The former is used, for example, as a material for magnetic heads and sputter targets, and the latter is used, for example, as a heat-resistant material for aerospace.

【0025】(6) 少なくとも1種のアモルファス合金粉
末と少なくとも1種のセラミックス粉末との混合粉末か
らなる焼結体 この複合材料においては、すべてのアモルファス合金が
アモルファス状態で残存している場合と、少なくとも1
種のアモルファス合金が部分的または全体に結晶化し、
ナノメータスケールの結晶相となっている場合がある。
前者は、たとえば高周波磁性材料として使用され、後者
は、たとえばエンジン用材料として使用される。
(6) At least one amorphous alloy powder
Powder mixed with powder and at least one ceramic powder
In this composite material, there is a case where all amorphous alloys remain in an amorphous state and at least 1
Some amorphous alloy crystallizes partially or entirely,
It may have a nanometer-scale crystalline phase.
The former is used as, for example, a high frequency magnetic material, and the latter is used as, for example, an engine material.

【0026】(7) 一端側が少なくとも1種のアモルファ
ス合金粉末だけからなるとともに他端側がセラミックス
粉末だけからなり、中間部において、アモルファス合金
の量は上記一端側から他端側に向かって漸次減少し、こ
れとは逆にセラミックス粉末の量は上記他端側から一端
側に向かって漸次減少するように混合された粉末からな
る焼結体 この複合材料においては、すべてのアモルファス合金が
アモルファス状態で残存している場合と、少なくとも1
種のアモルファス合金が部分的または全体に結晶化し、
ナノメータスケールの結晶相となっている場合がある。
前者は、たとえば生体材料として使用され、後者は、た
とえば航空宇宙用機体材料として使用される。
(7) One end has at least one kind of amorpha
The other end is ceramics
Amorphous alloy consisting of powder only, in the middle
The amount of is gradually decreased from the above-mentioned one end side to the other end side.
On the contrary, the amount of ceramic powder is
Made of powder mixed so that it gradually decreases toward the side.
In this composite material, there is a case where all the amorphous alloys remain in an amorphous state and at least 1
Some amorphous alloy crystallizes partially or entirely,
It may have a nanometer-scale crystalline phase.
The former is used as, for example, a biomaterial, and the latter is used as, for example, an aerospace body material.

【0027】(8) 少なくとも1種のアモルファス合金粉
末が、セラミックス製バルクの少なくとも片面に焼結一
体化されている複合材料 この複合材料においては、すべてのアモルファス合金が
アモルファス状態で残存している場合と、少なくとも1
種のアモルファス合金が部分的または全体に結晶化し、
ナノメータスケールの結晶相となっている場合とがあ
る。前者は、たとえば耐放射線用材料として使用され、
後者は、たとえば耐熱材料として使用される。
(8) At least one amorphous alloy powder
The end is sintered on at least one side of the ceramic bulk.
In this composite material, the case where all the amorphous alloys remain in the amorphous state and at least 1
Some amorphous alloy crystallizes partially or entirely,
In some cases, the crystal phase is on the nanometer scale. The former is used, for example, as a radiation resistant material,
The latter is used, for example, as a heat resistant material.

【0028】(9) 上記(4) 〜(7) の粉末が、セラミック
ス製バルクの少なくとも片面に焼結一体化されている複
合材料 この複合材料においては、すべてのアモルファス合金が
アモルファス状態で残存している場合と、少なくとも1
種のアモルファス合金が部分的または全体に結晶化し、
ナノメータスケールの結晶相となっている場合とがあ
る。前者は、たとえば電極材料として使用され、後者
は、たとえば耐熱材料として使用される。
(9) The powder of (4) to (7) above is a ceramic
The bulk made of stainless steel is sintered and integrated on at least one side.
In this composite material, in the case where all the amorphous alloys remain in the amorphous state,
Some amorphous alloy crystallizes partially or entirely,
In some cases, the crystal phase is on the nanometer scale. The former is used, for example, as an electrode material, and the latter is used, for example, as a heat resistant material.

【0029】なお、得られる機能材料の具体例は上記の
ものに限られない。
The specific examples of the functional material obtained are not limited to the above.

【0030】プラズマ焼結法は、パルス電流あるいは直
流に高周波を重畳した特殊な電源を用することにより、
粉末間で起こる放電現象を利用したものであり、放電に
よって発生したガスイオン、および電子などの荷電粒子
は粉末間の接触部を衝撃して浄化する。しかも、接触部
における物質の蒸発も作用して粉末表面に強い衝撃圧が
加えられる。したがって、数kg/mm2 程度の低い圧
力での焼結が可能となる。また、押棒の長さと材質とに
より電気抵抗を変化させ、これによって加熱速度を簡単
に変えることが可能となる。さらに、パルス電流を利用
して燃焼合成を誘導し、その発熱反応および加圧下のプ
ラズマ反応により化合物の合成を行うのと同時に成形固
化させることができる。
The plasma sintering method uses a special power source in which a high frequency is superposed on a pulse current or a direct current,
It utilizes a discharge phenomenon that occurs between powders, and gas ions generated by the discharge and charged particles such as electrons impact the contact portions between the powders for cleaning. Moreover, the evaporation of the substance at the contact portion also acts and a strong impact pressure is applied to the powder surface. Therefore, it becomes possible to sinter at a low pressure of about several kg / mm 2 . Further, the electric resistance is changed depending on the length and the material of the push rod, which makes it possible to easily change the heating rate. Further, it is possible to induce combustion synthesis by utilizing a pulse current, and to synthesize and compound the compound by the exothermic reaction and plasma reaction under pressure, and at the same time, it is possible to mold and solidify.

【0031】微細粉末がアモルファス化合物からなる場
合、プラズマ焼結のさいの温度および時間は、使用する
アモルファス化合物粉末を加熱した場合の温度と結晶化
時間との関係を調べておき、その結果からアモルファス
化合物が結晶化しない温度および時間の条件、あるいは
部分的もしくは全体的に結晶化を起こして結晶相が析出
し、しかも析出した結晶相の量およびサイズが所望のも
のとなるような温度および時間の条件を予め求めておく
ことにより決定する。たとえば、Co80Nb20の場合、
上記温度と結晶化時間との関係は、図1に示すグラフの
ようになる。図1のグラフにおいて、実線(A) より下方
の部分が、アモルファスの領域で、上方の部分が結晶の
領域である。
When the fine powder is composed of an amorphous compound, the temperature and time during the plasma sintering are investigated in advance in relation to the temperature and the crystallization time when the amorphous compound powder to be used is heated. The temperature and time conditions under which the compound does not crystallize, or the temperature and time such that the crystal phase is precipitated partially or wholly by crystallization, and the amount and size of the crystal phase precipitated are desired. It is determined by obtaining the conditions in advance. For example, in the case of Co 80 Nb 20 ,
The relationship between the temperature and the crystallization time is as shown in the graph of FIG. In the graph of FIG. 1, the portion below the solid line (A) is an amorphous region, and the upper portion is a crystalline region.

【0032】また、この発明の方法は、Ni−Ti、T
i−Al、Nb−Sn、Bi−Sr−Ca−Cuなどの
その他の種々のアモルファス合金にも適用できる。この
中で、たとえばTi50Al50の場合、上記加熱温度また
は成形温度と結晶化時間との関係は、図2に示すグラフ
のようになる。図2のグラフにおいて、実線(A1)より下
方の部分が、アモルファスの領域で、上方の部分が結晶
の領域である。
The method of the present invention is also applicable to Ni--Ti, T
It can also be applied to various other amorphous alloys such as i-Al, Nb-Sn, and Bi-Sr-Ca-Cu. Among them, in the case of Ti 50 Al 50 , for example, the relationship between the heating temperature or the molding temperature and the crystallization time is as shown in the graph in FIG. In the graph of FIG. 2, the portion below the solid line (A1) is an amorphous region, and the upper portion is a crystalline region.

【0033】[0033]

【発明の効果】この発明の方法によれば、メカニカルア
ロイング法やメカニカルグライディング法により製造さ
れた微粉砕粉末を使用し、プラズマ焼結法により焼結し
て機能材料を成形するので、数kg/mm2 程度の低い
成形圧力で高密度でかつ均一な密度の大型機能材料を成
形することが可能になり、高圧を付加するための特別の
装置を必要とせず、装置のコストが安くなる。また、プ
ラズマ焼結法は、大気中において実施することができる
ので、密閉形の装置や、カプセルへの封入などを必要と
せず、装置のコストが安くなるとともに、作業が簡単に
なって大量生産に適する。したがって、高密度でかつ均
一な密度の大型焼結機能材料を簡単かつ安価に製造する
ことができる。
According to the method of the present invention, the finely pulverized powder produced by the mechanical alloying method or the mechanical grinding method is used, and the functional material is molded by sintering by the plasma sintering method. It is possible to mold a large-scale functional material having a high density and a uniform density with a molding pressure as low as about 1 mm 2 / mm 2, a special device for applying a high pressure is not required, and the cost of the device is reduced. Further, since the plasma sintering method can be carried out in the atmosphere, there is no need for a closed type device or encapsulation in a capsule, which reduces the cost of the device and simplifies the work and makes mass production. Suitable for Therefore, it is possible to easily and inexpensively manufacture a large-sized sintered functional material having a high density and a uniform density.

【0034】製造された機能材料は高密度であるから、
物理的性質が優れたものとなるとともに、その強度が大
きくなって機械加工を施すことが可能となる。したがっ
て、この材料から所望形状の材料を得ることができる。
Since the produced functional material has a high density,
In addition to having excellent physical properties, its strength is increased and machining becomes possible. Therefore, a material having a desired shape can be obtained from this material.

【0035】微粉砕粉末としてアモルファス化合物から
なるものを用いた場合、プラズマ焼結のさいの温度、時
間および加熱速度を制御することによって、アモルファ
ス合金の結晶化度および結晶粒径を調節することができ
るので、必要とする様々な物理的性質を備えた機能材料
を簡単に製造することができる。
When a finely pulverized powder made of an amorphous compound is used, the crystallinity and grain size of the amorphous alloy can be adjusted by controlling the temperature, time and heating rate during plasma sintering. Therefore, functional materials having various required physical properties can be easily manufactured.

【0036】微粉砕粉末をメカニカルアロイング法やメ
カニカルグライディング法により製造するので、その微
細化程度を簡単に制御することができる。したがって、
プラズマ焼結による高密度の焼結体の製造と同時に化合
物の合成を簡単に行うことができる。しかも、金属炭化
物の焼結体を得る場合にも、メカニカルアロイング法や
メカニカルグライディング法により製造された微粉砕粉
末をプラズマ焼結するので、燃焼温度や反応速度の制御
を簡単に行える。したがって、発熱反応を低温で起こ
し、化合物の構造制御を簡単に行うことができる。しか
も、従来のように着火装置を必要としない。
Since the finely pulverized powder is manufactured by the mechanical alloying method or the mechanical grinding method, the degree of fineness can be easily controlled. Therefore,
The compound can be easily synthesized at the same time as the production of the high density sintered body by plasma sintering. Moreover, even when a sintered body of metal carbide is obtained, the finely pulverized powder produced by the mechanical alloying method or the mechanical grinding method is plasma-sintered, so that the combustion temperature and the reaction rate can be easily controlled. Therefore, the exothermic reaction can occur at a low temperature and the structure of the compound can be easily controlled. Moreover, the ignition device is not required unlike the conventional case.

【0037】[0037]

【実施例】以下、この発明の実施例について説明する。Embodiments of the present invention will be described below.

【0038】実施例1 Ti50Al50の原子量割合からなる金属間化合物粉末
を、メディア撹拌型ボールミルを用いてメカニカルアロ
イング法によりアモルファス化し、平均粒径30μmの
アモルファス合金粉末をつくった。ついで、このアモル
ファス合金粉末とZrO2 粉末とを、遊星ボールミルを
用いて混合し、両者の原子量割合が3:1、2:1、
1:1、1:2、および1:3である混合粉末をつくっ
た。これらの混合粉末を、それぞれ内径20mmの黒鉛
ダイス内に入れ、5kg/mm2 の圧縮応力を負荷して
600℃、700℃、800℃、900℃および100
0℃の各温度で10分間プラズマ焼結を行い、焼結体を
成形した。
Example 1 An intermetallic compound powder having an atomic weight ratio of Ti 50 Al 50 was made amorphous by a mechanical alloying method using a media stirring type ball mill to prepare an amorphous alloy powder having an average particle size of 30 μm. Next, this amorphous alloy powder and ZrO 2 powder are mixed using a planetary ball mill, and the atomic weight ratio of both is 3: 1, 2: 1,
Mixed powders were made that were 1: 1, 1: 2, and 1: 3. These mixed powders were put into graphite dies each having an inner diameter of 20 mm, and a compressive stress of 5 kg / mm 2 was applied to the dies, and 600 ° C., 700 ° C., 800 ° C., 900 ° C. and 100 ° C.
Plasma sintering was performed at each temperature of 0 ° C. for 10 minutes to form a sintered body.

【0039】焼結温度700℃で得られた焼結体の密度
比を測定したところ、ほぼ100%であった。また、こ
の焼結体を顕微鏡で観察したところ、TiAlは0.1
μm以下のナノメータスケールのγ相となっていた。
The density ratio of the sintered body obtained at a sintering temperature of 700 ° C. was measured and found to be almost 100%. Further, when the sintered body was observed with a microscope, TiAl was 0.1
It was a nanometer-scale γ phase of μm or less.

【0040】さらに、焼結温度600℃で得られた焼結
体にX線回折を施したところ、TiAlはアモルファス
状態に保たれていた。また、この焼結体はポーラスでは
あるが、機械加工可能な十分な強度を有していた。
Further, when X-ray diffraction was applied to the sintered body obtained at a sintering temperature of 600 ° C., TiAl was kept in an amorphous state. Moreover, although this sintered body was porous, it had sufficient mechanically processable strength.

【0041】実施例2 実施例1と同様にして、Ti50Al50のアモルファス合
金粉末をつくるとともに、このアモルファス合金粉末と
ZrO2 粉末とよりなりかつ両者の原子量割合が3:
1、1:1、および1:3である混合粉末をつくった。
Ti50Al50アモルファス合金粉末、上記割合が3:1
である混合粉末、上記割合が1:1である混合粉末、上
記割合が1:3である混合粉末、およびZrO2 粉末
を、この順序で内径20mmの黒鉛ダイス内に入れた。
各粉末層の厚さは2mmとした。そして、5kg/mm
2 の圧縮応力を負荷して600℃、700℃、800
℃、900℃および1000℃の各温度で10分間プラ
ズマ焼結を行い、焼結体を成形した。
Example 2 In the same manner as in Example 1, an amorphous alloy powder of Ti 50 Al 50 was prepared, and the amorphous alloy powder and ZrO 2 powder were used and the atomic weight ratio of both was 3:
Mixed powders were made that were 1: 1, 1: 1, and 1: 3.
Ti 50 Al 50 amorphous alloy powder, the above ratio is 3: 1
The mixed powder having the ratio of 1: 1, the mixed powder having the ratio of 1: 1, the mixed powder having the ratio of 1: 3, and the ZrO 2 powder were placed in this order in a graphite die having an inner diameter of 20 mm.
The thickness of each powder layer was 2 mm. And 5 kg / mm
Applying compressive stress of 2 , 600 ℃, 700 ℃, 800
Plasma sintering was performed for 10 minutes at each temperature of 900C, 1000C, and 1000C to form a sintered body.

【0042】この焼結体は、一端側がTi50Al50、他
端側がZrO2 からなり、中間部ではTi50Al50の量
は上記一端側から他端側に向かって漸次減少し、これと
は逆にZrO2 の量は上記他端側から一端側に向かって
漸次減少している、いわゆる傾斜機能材料となってい
た。
This sintered body is composed of Ti 50 Al 50 on one end side and ZrO 2 on the other end side, and the amount of Ti 50 Al 50 gradually decreases from the one end side to the other end side in the middle part. On the contrary, the amount of ZrO 2 was a so-called functionally graded material in which the amount gradually decreased from the other end side to the one end side.

【0043】焼結温度700℃で得られた焼結体の密度
比を測定したところ、ほぼ100%であった。また、こ
の焼結体を顕微鏡で観察したところ、TiAlは0.1
μm以下のナノメータスケールのγ相となっていた。
The density ratio of the sintered body obtained at a sintering temperature of 700 ° C. was measured and found to be almost 100%. Further, when the sintered body was observed with a microscope, TiAl was 0.1
It was a nanometer-scale γ phase of μm or less.

【0044】さらに、焼結温度600℃で得られた焼結
体にX線回折を施したところ、TiAlはアモルファス
状態に保たれていた。また、この焼結体はポーラスでは
あるが、機械加工可能な十分な強度を有していた。
Further, when the sintered body obtained at a sintering temperature of 600 ° C. was subjected to X-ray diffraction, TiAl was kept in an amorphous state. Moreover, although this sintered body was porous, it had sufficient mechanically processable strength.

【0045】実施例3 Co粉末と、Zr粉末とを、Co80Zr20の原子量割合
となるように混合して混合粉末をつくった。Co粉末
と、Ti粉末とを、Co80Ti20の原子量割合となるよ
うに混合して混合粉末をつくった。Co粉末と、Nb粉
末とを、Co80Nb20の原子量割合となるように混合し
て混合粉末をつくった。各混合粉末を、メディア撹拌型
ボールミルを用いてメカニカルアロイング法によりアモ
ルファス化し、平均粒径25μmのアモルファス合金粉
末をつくった。ついで、これら3種のアモルファス合金
粉末を、順番に内径20mmの黒鉛ダイス内に入れて9
層に積層させ、15kg/mm2 の圧縮応力を負荷して
570℃、580℃、600℃、630℃および650
℃の各温度で10分間プラズマ焼結を行い、焼結体を成
形した。焼結温度650℃得られた焼結体にX線回折を
施したところ、全ての層がアモルファス状態に保たれて
いた。また、この焼結体の密度比を測定したところ、ほ
ぼ100%であり、圧延可能な十分な機械的強度を有し
ていた。
Example 3 Co powder and Zr powder were mixed in an atomic weight ratio of Co 80 Zr 20 to prepare a mixed powder. Co powder and Ti powder were mixed in an atomic ratio of Co 80 Ti 20 to prepare a mixed powder. Co powder and Nb powder were mixed in an atomic weight ratio of Co 80 Nb 20 to prepare a mixed powder. Each mixed powder was amorphized by a mechanical alloying method using a media stirring type ball mill to prepare an amorphous alloy powder having an average particle diameter of 25 μm. Then, these three kinds of amorphous alloy powders were sequentially put into a graphite die having an inner diameter of 20 mm, and
Layered and loaded with a compressive stress of 15 kg / mm 2 at 570 ° C., 580 ° C., 600 ° C., 630 ° C. and 650
Plasma sintering was performed for 10 minutes at each temperature of ° C to form a sintered body. When the obtained sintered body was subjected to X-ray diffraction, all layers were kept in an amorphous state. Further, the density ratio of this sintered body was measured and found to be almost 100%, indicating that the sintered body had sufficient mechanical strength for rolling.

【0046】実施例4 Nb粉末と、Al粉末とを、Nb3 Al1 の原子量割合
となるように混合し、メディア撹拌型ボールミルを用い
て1分間、5分間、30分間、3時間、5時間、10時
間、20時間、および30時間撹拌混合処理を施すメカ
ニカルアロイング法により結晶質Nb3 Al粉末をつく
った。なお、30時間撹拌混合処理を施した場合に得ら
れたNb3 Al粉末の平均粒径は100nmであった。
ついで、これらのNb3 Al粉末を、それぞれ内径20
mmの黒鉛ダイス内に入れ、3kg/mm2 の圧縮応力
を負荷し、加熱速度50K/min でのパルス電流により
急激な発熱反応が完了するまで昇温することによりプラ
ズマ焼結を行い、長さ20mm、直径20mmの焼結体
を成形した。各粉末からなる焼結体にX線回折を施した
ところ、Nb−Alの金属間化合物の合成が認められ、
未反応のNb粉末やAl粉末は残存していなかった。ま
た、各焼結体は真密度となっていた。さらに、撹拌混合
処理時間の長い粉末を用いて得られた焼結体ほど、急激
な発熱反応の完了温度は低くなり、高度と圧縮強度が著
しく増大していた。
Example 4 Nb powder and Al powder were mixed so as to have an atomic weight ratio of Nb 3 Al 1 and were mixed for 1 minute, 5 minutes, 30 minutes, 3 hours, 5 hours using a media stirring type ball mill. A crystalline Nb 3 Al powder was prepared by a mechanical alloying method in which stirring and mixing treatment was performed for 10, 20 and 30 hours. The average particle size of the Nb 3 Al powder obtained when the stirring and mixing treatment was performed for 30 hours was 100 nm.
Then, each of these Nb 3 Al powders was treated with an inner diameter of 20
It was put in a graphite die of mm, a compressive stress of 3 kg / mm 2 was applied, and the temperature was raised until the rapid exothermic reaction was completed by a pulse current at a heating rate of 50 K / min, and plasma sintering was performed. A sintered body having a diameter of 20 mm and a diameter of 20 mm was formed. When X-ray diffraction was applied to a sintered body made of each powder, synthesis of Nb-Al intermetallic compound was confirmed,
Unreacted Nb powder and Al powder did not remain. In addition, each sintered body had a true density. Further, the more the sintered body obtained by using the powder having a longer stirring and mixing treatment time, the lower the completion temperature of the abrupt exothermic reaction, and the higher the altitude and the compression strength were.

【0047】実施例5 Ti粉末と、アモルファスB粉末とを、Ti2 1 の原
子量割合となるように混合し、メディア撹拌型ボールミ
ルを用いて10時間撹拌混合処理を施すメカニカルアロ
イング法によりTi2 B粉末をつくった。ついで、この
Ti2 B粉末を、内径20mmの黒鉛ダイス内に入れ、
3kg/mm2 の圧縮応力を負荷し、加熱速度100K
/min でのパルス電流により急激な発熱反応が完了する
まで昇温することによりプラズマ焼結を行い、長さ20
mm、直径20mmの焼結体を成形した。この焼結体に
X線回折を施したところ、Ti−Bの金属間化合物の合
成が認められ、未反応のTi粉末やB粉末は残存してい
なかった。また、各焼結体は真密度となっていた。
Example 5 Ti powder and amorphous B powder were mixed in an atomic weight ratio of Ti 2 B 1 and subjected to stirring and mixing treatment for 10 hours using a media stirring ball mill. 2 Made B powder. Then, the Ti 2 B powder was put into a graphite die having an inner diameter of 20 mm,
Applying compressive stress of 3kg / mm 2 , heating rate 100K
Plasma sintering was carried out by raising the temperature until the rapid exothermic reaction was completed by a pulse current at a rate of 20 min / min.
A sintered body having a diameter of 20 mm and a diameter of 20 mm was formed. When this sintered body was subjected to X-ray diffraction, synthesis of an intermetallic compound of Ti-B was confirmed, and unreacted Ti powder and B powder did not remain. In addition, each sintered body had a true density.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】Co80Nb20アモルファス合金粉末の加熱温度
または成形温度と結晶化時間との関係を示すグラフであ
る。
FIG. 1 is a graph showing the relationship between the crystallization time and the heating temperature or molding temperature of Co 80 Nb 20 amorphous alloy powder.

【図2】Ti50Al50アモルファス合金粉末の加熱温度
または成形温度と結晶化時間との関係を示すグラフであ
る。
FIG. 2 is a graph showing the relationship between the heating temperature or molding temperature of Ti 50 Al 50 amorphous alloy powder and crystallization time.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 2種以上の原料金属粉末を使用してメカ
ニカルアロイング法やメカニカルグライディング法によ
り微粉砕粉末を製造し、この微粉砕粉末を、プラズマ焼
結法により焼結することを特徴とする機能材料の製造方
法。
1. A method of producing a finely pulverized powder by a mechanical alloying method or a mechanical gliding method using two or more kinds of raw metal powders, and sintering the finely pulverized powder by a plasma sintering method. Method of manufacturing functional material.
【請求項2】 2種以上の原料金属粉末を使用してメカ
ニカルアロイング法やメカニカルグライディング法によ
り微粉砕粉末を製造し、この微粉砕粉末と、異種材料粉
末とを、プラズマ焼結法により焼結一体化することを特
徴とする機能材料の製造方法。
2. A finely pulverized powder is produced by a mechanical alloying method or a mechanical gliding method using two or more kinds of raw metal powders, and the finely pulverized powder and the different material powder are fired by a plasma sintering method. A method for producing a functional material, characterized by integrating and integrating.
【請求項3】 2種以上の原料金属粉末を使用してメカ
ニカルアロイング法やメカニカルグライディング法によ
り微粉砕粉末を製造し、この微粉砕粉末と、異種材料の
バルクとを、プラズマ焼結法により焼結一体化すること
を特徴とする機能材料の製造方法。
3. A finely pulverized powder is produced by a mechanical alloying method or a mechanical gliding method using two or more kinds of raw metal powders, and the finely pulverized powder and a bulk of different materials are produced by a plasma sintering method. A method for producing a functional material, which is characterized in that sintering is integrated.
【請求項4】 2種以上の原料金属粉末を使用してメカ
ニカルアロイング法やメカニカルグライディング法によ
り微粉砕粉末を製造し、この微粉砕粉末と、異種材料粉
末と、異種材料のバルクとを、プラズマ焼結法により焼
結一体化することを特徴とする機能材料の製造方法。
4. A finely pulverized powder is produced by a mechanical alloying method or a mechanical grinding method using two or more kinds of raw metal powders, and the finely pulverized powder, the different material powder, and the bulk of the different material are A method for producing a functional material, characterized in that it is integrated by sintering by a plasma sintering method.
【請求項5】 微粉砕粉末が原料である2種以上の金属
の化合物、またはこの化合物と原料金属との混合物から
なる請求項1〜4のいずれかに記載の機能材料の製造方
法。
5. The method for producing a functional material according to claim 1, wherein the finely pulverized powder is composed of a compound of two or more kinds of metals as a raw material, or a mixture of this compound and a raw material metal.
【請求項6】 原料である2種以上の金属の化合物のう
ち少なくとも一部がアモルファスである請求項5記載の
機能材料の製造方法。
6. The method for producing a functional material according to claim 5, wherein at least a part of the compound of two or more kinds of metals which is a raw material is amorphous.
【請求項7】 原料である2種以上の金属の化合物の全
体が結晶質である請求項5記載の機能材料の製造方法。
7. The method for producing a functional material according to claim 5, wherein the whole compound of two or more kinds of metals as a raw material is crystalline.
JP30946891A 1991-09-03 1991-11-25 Production of functional material Pending JPH05117716A (en)

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JP22273491 1991-09-03
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2004029313A1 (en) * 2002-09-30 2004-04-08 Nano Technology Institute, Inc Nano-crystal austenitic metal bulk material having high hardness, high strength and toughness , and method for production thereof
WO2004078387A1 (en) * 2003-07-07 2004-09-16 Maruman & Co.,Ltd. Method for producing fine crystal metal for golf club
JP2009161849A (en) * 2008-01-04 2009-07-23 Sungkyunkwan Univ Foundation For Corporate Collaboration METHOD FOR EFFICIENT Al-C COVALENT BOND FORMATION BETWEEN ALUMINUM AND CARBON MATERIAL

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