JPH05117622A - Hot melt bondable filmy adhesive having high thermal conductivity - Google Patents

Hot melt bondable filmy adhesive having high thermal conductivity

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JPH05117622A
JPH05117622A JP3281811A JP28181191A JPH05117622A JP H05117622 A JPH05117622 A JP H05117622A JP 3281811 A JP3281811 A JP 3281811A JP 28181191 A JP28181191 A JP 28181191A JP H05117622 A JPH05117622 A JP H05117622A
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thermal conductivity
acid
diamine
diamino
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有史 坂本
Toshiro Takeda
敏郎 竹田
Naoji Takeda
直滋 竹田
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Abstract

PURPOSE:To obtain a filmy adhesive having not only thermal conductivity and heat resistance but also thermocompression bonding efficiency by incorporating a filler into a specific polyimidosiloxane. CONSTITUTION:An acid component comprising A mol of an acid-terminated silicone compound represented by formula I, as an essential reactant, and B mol of other acid dianhydride is reacted with an amine component comprising C mol of a diaminosilicone compound represented by formula II, as an essential reactant, and D mol of other diamine, provided that (A+C)/(A+B+C+D) is 0.3 to 1.0 and (A+B)/(C+D) is 0.8 to 1.2. Thus, a polyimidosiloxane having a degree of imidization of at least 80% is obtained. 100 pts.wt. this polymer is mixed with 30-900 pts.wt. filler having a thermal conductivity of 5.0W/(m.K) or higher. In formula I, R1 is, e.g. a trivalent aliphatic or aromatic group, R2 and R3 each is, e.g. a monovalent aliphatic group, and n is 1 to 100. In formula II, R1 and R2 each is, e.g. a 1-5C divalent aliphatic group, R3 and R4 each is, e.g. a monovalent aliphatic group, and n is 1 to 100.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、熱伝導性及び耐熱性に
優れ、熱圧着して用いることのできるフィルム状接着剤
に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a film adhesive which has excellent thermal conductivity and heat resistance and can be used by thermocompression bonding.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、耐熱性の熱圧着可能なフィルム状
接着剤はいくつか知られている。例えば、特開平1-2822
83号公報には、ポリアミドイミド系やポリアミド系のホ
ットメルト接着剤、特開昭58-157190号公報には、ポリ
イミド系接着剤によるフレキシブル印刷回路基板の製造
法、特開昭62-235382号及び特開昭62-235383号公報に
は、熱硬化性のポリイミド系フィルム状接着剤に関する
記述がなされている。ところが、ポリアミド系やポリア
ミドイミド系樹脂は、アミド基の親水性のために吸水率
が大きくなるという欠点を有し、信頼性を必要とするエ
レクトロニクス用途としての接着剤に用いるには限界が
あった。またその他の公報に記載されているフィルム状
接着剤の熱圧着条件は、275℃、50kgf/cm2、30分間が
標準であり、熱や圧力に鋭敏な電子部品や、量産性を必
要とされる用途のフィルム状接着剤としては必ずしも有
利であるとは言えなかった。
2. Description of the Related Art Heretofore, some heat-resistant thermocompression-bondable film adhesives have been known. For example, Japanese Patent Laid-Open No. 1-2822
No. 83, a polyamide-imide or polyamide hot-melt adhesive, JP-A-58-157190, JP-A-58-157190, a method for manufacturing a flexible printed circuit board using a polyimide adhesive, JP-A-62-235382 and JP-A-62-235383 describes a thermosetting polyimide film adhesive. However, polyamide-based and polyamide-imide-based resins have a drawback that the water absorption rate becomes large due to the hydrophilicity of the amide group, and there is a limit in using them as adhesives for electronic applications requiring reliability. .. The standard conditions for thermocompression bonding of film adhesives described in other publications are 275 ° C, 50kgf / cm 2 and 30 minutes, which require electronic components sensitive to heat and pressure and mass productivity. It could not be said that it is necessarily advantageous as a film adhesive for other applications.

【0003】また近年半導体集積回路の集積度が高まる
につれ、ICの熱放散のための手法としてヒートシンク
や放熱フィンの利用が検討されているが、これらの放熱
構造部とチップ間の接合部分には高熱伝導性の接着剤が
必要とされている。これらの高熱伝導性の接着剤は、接
着部分にボイド等の空隙が存在すると熱伝導性が大幅に
ダウンするため、ボイド、泡を内部に巻き込み易い液状
の接着剤よりも、熱圧着できるフィルム状接着剤が好ま
しいとされている。しかしながら、これまで高熱伝導
性、高接着性、耐熱性、作業性等を全て満足するフィル
ム状接着剤はなかった。
In recent years, as the degree of integration of semiconductor integrated circuits has increased, the use of heat sinks or heat radiating fins has been studied as a method for heat dissipation of ICs. There is a need for adhesives with high thermal conductivity. These high thermal conductivity adhesives have a film-like shape that can be thermocompression bonded than liquid adhesives that easily cause voids and bubbles to get inside because voids such as voids are present in the bonded area. Adhesives are said to be preferred. However, until now, no film-like adhesive has satisfied all of high thermal conductivity, high adhesiveness, heat resistance, workability and the like.

【0004】一方で、従来用いられているエポキシ系、
フェノール系、アクリル系等の接着剤は、比較的低温、
低圧で熱圧着できるという利点を有するが、熱硬化型で
あるため、ある程度硬化時間を長く設ける必要があっ
た。また熱可塑性樹脂をホットメルト型接着剤として用
いることもよく行なわれるが、耐熱性に乏しい欠点を有
している。
On the other hand, conventionally used epoxy resins,
Phenolic and acrylic adhesives can be used at relatively low temperatures,
Although it has an advantage that it can be thermocompression-bonded at a low pressure, it needs to be cured to some extent because it is a thermosetting type. Although a thermoplastic resin is often used as a hot melt adhesive, it has a drawback of poor heat resistance.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明者らは、耐熱性
に優れ、低温、低圧、短時間で熱圧着可能な高熱伝導性
フィルム状接着剤を得んとして鋭意研究を重ねた結果、
特定の構造を有するポリイミドシロキサンに、ある熱伝
導率以上のフィラーを均一分散させてフィルム化した接
着剤が上記の目標を達成し得ることが判り、本発明を完
成するに至ったものである。その目的とするところは、
熱伝導性、耐熱性と熱圧着作業性を両立させたフィルム
状接着剤を提供するにある。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present inventors have earnestly studied to obtain a highly heat-conductive film adhesive having excellent heat resistance and capable of thermocompression bonding at low temperature, low pressure and short time, and as a result,
It has been found that an adhesive obtained by uniformly dispersing a filler having a certain thermal conductivity or more into a polyimide siloxane having a specific structure to form a film can achieve the above-mentioned target, and thus completed the present invention. The purpose is to
It is intended to provide a film-like adhesive having both thermal conductivity, heat resistance, and thermocompression bonding workability.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、式(1)The present invention is based on the formula (1)

【0007】[0007]

【化1】 [Chemical 1]

【0008】で示される酸末端シリコーン化合物Aモル
及び他の酸二無水物成分Bモルを含む酸成分と、式
(2)
An acid component containing A moles of the acid-terminated silicone compound represented by and B moles of another acid dianhydride component;

【0009】[0009]

【化2】 [Chemical 2]

【0010】で示されるジアミノシリコーン化合物Cモ
ル及び他のジアミン成分Dモルを含むアミン成分とを、
酸末端シリコーン化合物又はジアミノシリコーン化合物
の少なくともどちらか一方を必須成分とし、(A+C)
/(A+B+C+D)が0.3〜1.0、(A+B)/(C+
D)が0.8〜1.2の範囲で反応させ、少なくとも80%以上
がイミド化されているポリイミドシロキサンと、ポリイ
ミドシロキサンに対して30〜900wt%の熱伝導率5.0[W/
(m・K)]以上であるフィラーとからなる熱圧着可能なフィ
ルム状接着剤である。
An amine component containing C moles of a diamino silicone compound represented by and D moles of another diamine component,
At least one of an acid-terminated silicone compound and a diaminosilicone compound as an essential component, (A + C)
/ (A + B + C + D) is 0.3 to 1.0, (A + B) / (C +
D) is reacted in the range of 0.8 to 1.2, and at least 80% or more of it is imidized with polyimide siloxane, and 30 to 900 wt% of the polyimide siloxane has a thermal conductivity of 5.0 [W /
(m · K)] or more, and a thermocompression-bondable film adhesive.

【0011】本発明において用いられる酸二無水物は、
酸末端シリコーン化合物と他の酸二無水物であるが、酸
末端シリコーン化合物以外の酸二無水物の例を挙げる
と、ピロメリット酸二無水物、3,3',4,4'-ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸二無水物、2,3,3',4'-ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸二無水物、ナフタレン-2,3,6,7-テ
トラカルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,5,6-テトラ
カルボン酸二無水物、ナフタレン-1,2,4,5-テトラカル
ボン酸二無水物、ナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン
酸二無水物、ナフタレン-1,2,6,7-テトラカルボン酸二
無水物、4,8-ジメチル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフ
タレン-1,2,5,6-テトラカルボン酸二無水物、4,8-ジメ
チル-1,2,3,5,6,7-ヘキサヒドロナフタレン-2,3,6,7-テ
トラカルボン酸二無水物、2,6-ジクロロナフタレン-1,
4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,7-ジクロロナフタ
レン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7-テ
トラクロロナフタレン-1,4,5,8-テトラカルボン酸二無
水物、1,4,5,8-テトラクロロナフタレン-2,3,6,7-テト
ラカルボン酸二無水物、3,3',4,4'-ジフェニルテトラカ
ルボン酸二無水物、2,2',3,3'-ジフェニルテトラカルボ
ン酸二無水物、2,3,3',4'-ジフェニルテトラカルボン酸
二無水物、3,3",4,4"-p-テルフェニルテトラカルボン酸
二無水物、2,2",3,3"-p-テルフェニルテトラカルボン酸
二無水物、2,3,3",4"-p-テルフェニルテトラカルボン酸
二無水物、2,2-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)-プロ
パン二無水物、2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)-
プロパン二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エ
ーテル二無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)メタ
ン二無水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)メタン二
無水物、ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)スルホン二無
水物、ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)スルホン二無水
物、1,1-ビス(2,3-ジカルボキシフェニル)エタン二無水
物、1,1-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)エタン二無水
物、ペリレン-2,3,8,9-テトラカルボン酸二無水物、ペ
リレン-3,4,9,10-テトラカルボン酸二無水物、ペリレン
-4,5,10,11-テトラカルボン酸二無水物、ペリレン-5,6,
11,12-テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン-1,
2,7,8-テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン-1,
2,6,7-テトラカルボン酸二無水物、フェナンスレン-1,
2,9,10-テトラカルボン酸二無水物、シクロペンタン-1,
2,3,4-テトラカルボン酸二無水物、ピラジン-2,3,5,6-
テトラカルボン酸二無水物、ピロリジン-2,3,4,5-テト
ラカルボン酸二無水物、チオフェン-2,3,4,5-テトラカ
ルボン酸二無水物、4,4'-オキシジフタル酸二無水物な
どがあげられるが、これらに限定されるものではない。
The acid dianhydride used in the present invention is
Acid-terminated silicone compounds and other acid dianhydrides, but examples of acid dianhydrides other than acid-terminated silicone compounds include pyromellitic dianhydride and 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetra Carboxylic acid dianhydride, 2,2 ', 3,3'-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,3', 4'-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride, naphthalene-2,3,6, 7-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,2,4,5-tetracarboxylic dianhydride, naphthalene-1,4,5 , 8-Tetracarboxylic acid dianhydride, naphthalene-1,2,6,7-tetracarboxylic acid dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-1 , 2,5,6-Tetracarboxylic acid dianhydride, 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid dianhydride , 2,6-dichloronaphthalene-1,
4,5,8-Tetracarboxylic acid dianhydride, 2,7-Dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,6,7-Tetrachloronaphthalene-1,4 , 5,8-Tetracarboxylic acid dianhydride, 1,4,5,8-Tetrachloronaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ', 4,4'-diphenyl Tetracarboxylic acid dianhydride, 2,2 ', 3,3'-diphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,3', 4'-diphenyltetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ", 4, 4 "-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2", 3,3 "-p-terphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3", 4 "-p-terphenyltetra Carboxylic dianhydride, 2,2-bis (2,3-dicarboxyphenyl) -propane dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl)-
Propane dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, Bis (2,3-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) sulfone dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, 1 , 1-Bis (3,4-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, perylene-2,3,8,9-tetracarboxylic dianhydride, perylene-3,4,9,10-tetracarboxylic dianhydride Thing, perylene
-4,5,10,11-tetracarboxylic dianhydride, perylene-5,6,
11,12-Tetracarboxylic acid dianhydride, phenanthrene-1,
2,7,8-Tetracarboxylic acid dianhydride, phenanthrene-1,
2,6,7-Tetracarboxylic acid dianhydride, phenanthrene-1,
2,9,10-Tetracarboxylic acid dianhydride, cyclopentane-1,
2,3,4-tetracarboxylic dianhydride, pyrazine-2,3,5,6-
Tetracarboxylic acid dianhydride, pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic acid dianhydride, thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic acid dianhydride, 4,4'-oxydiphthalic acid dianhydride However, the present invention is not limited to these.

【0012】本発明に用いられる酸末端シリコーン化合
物は特に限定されないが、例を挙げると、下記の式で示
されるフタル酸無水物末端シリコーン化合物やナジック
酸無水物末端シリコーン化合物等である。
The acid-terminated silicone compound used in the present invention is not particularly limited, but examples thereof include a phthalic anhydride-terminated silicone compound and a nadic acid anhydride-terminated silicone compound represented by the following formula.

【0013】[0013]

【化3】 [Chemical 3]

【0014】本発明において用いられるジアミン成分
は、ジアミノシリコーン化合物と他のジアミンである。
他のジアミンは、特に限定されるものではないが、例を
具体的に挙げると、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノビフ
ェニル、4,6-ジメチル-m-フェニレンジアミン、2,5-ジ
メチル-p-フェニレンジアミン、2,4-ジアミノメシチレ
ン、4,4'-メチレンジ-o-トルイジン、4,4'-メチレンジ-
2,6-キシリジン、4,4'-メチレン-2,6-ジエチルアニリ
ン、2,4-トルエンジアミン、m-フェニレン-ジアミン、p
-フェニレン-ジアミン、4,4'-ジアミノ-ジフェニルプロ
パン、3,3'-ジアミノ-ジフェニルプロパン、4,4'-ジア
ミノ-ジフェニルエタン、3,3'-ジアミノ-ジフェニルエ
タン、4,4'-ジアミノ-ジフェニルメタン、3,3'-ジアミ
ノ-ジフェニルメタン、4,4'-ジアミノ-ジフェニルスル
フィド、3,3'-ジアミノ-ジフェニルスルフィド、4,4'-
ジアミノ-ジフェニルスルホン、3,3'-ジアミノ-ジフェ
ニルスルホン、4,4'-ジアミノ-ジフェニルエーテル、3,
3'-ジアミノ-ジフェニルエーテル、ベンジジン、3,3'-
ジアミノ-ビフェニル、3,3'-ジメチル-4,4'-ジアミノ-
ビフェニル、3,3'-ジメトキシ-ベンジジン、4,4"-ジア
ミノ-p-テルフェニル、3,3"-ジアミノ-p-テルフェニ
ル、ビス(p-アミノ-シクロヘキシル)メタン、ビス(p-β
-アミノ-t-ブチルフェニル)エーテル、ビス(p-β-メチ
ル-δ-アミノペンチル)ベンゼン、p-ビス(2-メチル-4-
アミノ-ペンチル)ベンゼン、p-ビス(1,1-ジメチル-5-ア
ミノ-ペンチル)ベンゼン、1,5-ジアミノ-ナフタレン、
2,6-ジアミノ-ナフタレン、2,4-ビス(β-アミノ-t-ブチ
ル)トルエン、2,4-ジアミノ-トルエン、m-キシレン-2,5
-ジアミン、p-キシレン-2,5-ジアミン、m-キシリレン-
ジアミン、p-キシリレン-ジアミン、2,6-ジアミノ-ピリ
ジン、2,5-ジアミノ-ピリジン、2,5-ジアミノ-1,3,4-オ
キサジアゾール、1,4-ジアミノ-シクロヘキサン、ピペ
ラジン、メチレン-ジアミン、エチレン-ジアミン、プロ
ピレン-ジアミン、2,2-ジメチル-プロピレン-ジアミ
ン、テトラメチレン-ジアミン、ペンタメチレン-ジアミ
ン、ヘキサメチレン-ジアミン、2,5-ジメチル-ヘキサメ
チレン-ジアミン、3-メトキシ-ヘキサメチレン-ジアミ
ン、ヘプタメチレン-ジアミン、2,5-ジメチル-ヘプタメ
チレン-ジアミン、3-メチル-ヘプタメチレン-ジアミ
ン、4,4-ジメチル-ヘプタメチレン-ジアミン、オクタメ
チレン-ジアミン、ノナメチレン-ジアミン、5-メチル-
ノナメチレン-ジアミン、2,5-ジメチル-ノナメチレン-
ジアミン、デカメチレン-ジアミン、1,10-ジアミノ-1,1
0-ジメチル-デカン、2,11-ジアミノ-ドデカン、1,12-ジ
アミノ-オクタデカン、2,12-ジアミノ-オクタデカン、
2,17-ジアミノ-アイコサン、1,3-ビス(3-アミノフェノ
キシ)ベンゼンなどが挙げられる。
The diamine component used in the present invention is a diamino silicone compound and another diamine.
Other diamines are not particularly limited, but specific examples include 3,3′-dimethyl-4,4′-diaminobiphenyl, 4,6-dimethyl-m-phenylenediamine, and 2, 5-dimethyl-p-phenylenediamine, 2,4-diaminomesitylene, 4,4'-methylenedi-o-toluidine, 4,4'-methylenedi-
2,6-xylidine, 4,4'-methylene-2,6-diethylaniline, 2,4-toluenediamine, m-phenylene-diamine, p
-Phenylene-diamine, 4,4'-diamino-diphenylpropane, 3,3'-diamino-diphenylpropane, 4,4'-diamino-diphenylethane, 3,3'-diamino-diphenylethane, 4,4'- Diamino-diphenylmethane, 3,3'-diamino-diphenylmethane, 4,4'-diamino-diphenyl sulfide, 3,3'-diamino-diphenyl sulfide, 4,4'-
Diamino-diphenyl sulfone, 3,3'-diamino-diphenyl sulfone, 4,4'-diamino-diphenyl ether, 3,
3'-diamino-diphenyl ether, benzidine, 3,3'-
Diamino-biphenyl, 3,3'-dimethyl-4,4'-diamino-
Biphenyl, 3,3'-dimethoxy-benzidine, 4,4 "-diamino-p-terphenyl, 3,3" -diamino-p-terphenyl, bis (p-amino-cyclohexyl) methane, bis (p-β
-Amino-t-butylphenyl) ether, bis (p-β-methyl-δ-aminopentyl) benzene, p-bis (2-methyl-4-)
Amino-pentyl) benzene, p-bis (1,1-dimethyl-5-amino-pentyl) benzene, 1,5-diamino-naphthalene,
2,6-diamino-naphthalene, 2,4-bis (β-amino-t-butyl) toluene, 2,4-diamino-toluene, m-xylene-2,5
-Diamine, p-xylene-2,5-diamine, m-xylylene-
Diamine, p-xylylene-diamine, 2,6-diamino-pyridine, 2,5-diamino-pyridine, 2,5-diamino-1,3,4-oxadiazole, 1,4-diamino-cyclohexane, piperazine, Methylene-diamine, ethylene-diamine, propylene-diamine, 2,2-dimethyl-propylene-diamine, tetramethylene-diamine, pentamethylene-diamine, hexamethylene-diamine, 2,5-dimethyl-hexamethylene-diamine, 3- Methoxy-hexamethylene-diamine, heptamethylene-diamine, 2,5-dimethyl-heptamethylene-diamine, 3-methyl-heptamethylene-diamine, 4,4-dimethyl-heptamethylene-diamine, octamethylene-diamine, nonamethylene- Diamine, 5-methyl-
Nonamethylene-diamine, 2,5-dimethyl-nonamethylene-
Diamine, decamethylene-diamine, 1,10-diamino-1,1
0-dimethyl-decane, 2,11-diamino-dodecane, 1,12-diamino-octadecane, 2,12-diamino-octadecane,
2,17-diamino-icosane, 1,3-bis (3-aminophenoxy) benzene and the like can be mentioned.

【0015】本発明における酸二無水物とジアミンの反
応は、公知の方法で行なうことができる。予め、酸二無
水物成分あるいはジアミン成分の何れか一方を有機溶剤
中に溶解あるいは懸濁させておき、他方の成分を粉末又
は液状あるいは有機溶剤に溶解した状態で徐々に添加す
る。反応は発熱を伴うため、望ましくは冷却しながら反
応系の温度を室温付近に保って実施する。
The reaction between the acid dianhydride and the diamine in the present invention can be carried out by a known method. Either the acid dianhydride component or the diamine component is dissolved or suspended in an organic solvent in advance, and the other component is gradually added in a powder or liquid state or in a state of being dissolved in the organic solvent. Since the reaction is exothermic, the temperature of the reaction system is preferably maintained near room temperature while cooling.

【0016】酸二無水物成分とジアミン成分のモル比
(A+B)/(C+D)は、当量付近、特に0.8〜1.2の
範囲にあるのが望ましい。何れか一方が多くなり過ぎる
と、分子量が高くならず、耐熱性、機械特性が低下する
ので好ましくない。室温付近で反応させ、ポリアミド酸
を合成した後、加熱あるいは無水酢酸/ピリジン系触媒
を用いる等公知の方法によりイミド化を実施することが
できる。イミド化率は少なくとも80%以上であることが
望ましい。イミド化率が80%よりも低いと後にフィルム
化して熱圧着する際にイミド化が進行して水分が発生
し、ボイドの原因となって接着強度の低下を招くので好
ましくない。
The molar ratio (A + B) / (C + D) of the acid dianhydride component and the diamine component is preferably in the vicinity of the equivalent, particularly in the range of 0.8 to 1.2. If either one is too large, the molecular weight does not increase and heat resistance and mechanical properties deteriorate, which is not preferable. After reacting at around room temperature to synthesize polyamic acid, imidization can be carried out by a known method such as heating or using an acetic anhydride / pyridine catalyst. The imidization ratio is preferably at least 80% or more. If the imidization ratio is lower than 80%, imidization progresses when the film is formed later and thermocompression bonding is performed, water is generated, and voids are caused, resulting in a decrease in adhesive strength, which is not preferable.

【0017】(A+C)/(A+B+C+D)の値は、
0.3〜1.0であることが必要であり、0.3未満であると熱
溶融性が低下してしまい、少なくとも300℃以上、ある
いは50kgf/cm2以上の熱圧着条件が必要となり、量産性
の点で好ましくない。0.5以上であれば、250℃以下の温
度で、しかも20kgf/cm2以下の圧力下、10分以内の短時
間で熱圧着でき、良好な接着強度を達成することができ
る。
The value of (A + C) / (A + B + C + D) is
It is necessary to be 0.3 to 1.0, and if it is less than 0.3, the heat melting property will be reduced, and thermocompression bonding conditions of at least 300 ° C. or more, or 50 kgf / cm 2 or more are required, which is preferable in terms of mass productivity. Absent. When it is 0.5 or more, thermocompression bonding can be performed at a temperature of 250 ° C. or less and a pressure of 20 kgf / cm 2 or less in a short time within 10 minutes, and good adhesive strength can be achieved.

【0018】本発明においては、酸末端シリコーン化合
物又はジアミノシリコーン化合物の少なくともどちらか
一方が必須成分として含まれていることが必要である。
酸末端シリコーン化合物とジアミノシリコーン化合物
は、その構造上の特徴により、ポリイミド中に少なくと
もそのどちらか一方が上述のモル比を満たすように含ま
れることによって、熱溶融性に優れ、接着強度も良好で
あり、耐熱性とのバランスにも優れたフィルム状接着剤
を得ることができる。
In the present invention, it is necessary that at least one of the acid terminal silicone compound and the diamino silicone compound is contained as an essential component.
Due to the structural characteristics of the acid-terminated silicone compound and the diaminosilicone compound, at least one of them is contained in the polyimide so as to satisfy the above-mentioned molar ratio, whereby the heat melting property is excellent and the adhesive strength is also good. Therefore, it is possible to obtain a film-like adhesive having excellent balance with heat resistance.

【0019】本発明において用いられる有機溶剤は特に
限定されるものではないが、均一溶解可能なものなら
ば、一種類或いは二種類以上を併用した混合溶媒であっ
ても差し支えない。この種の溶媒として代表的なもの
は、N,N-ジメチルホルムアミド、N,N-ジメチルアセトア
ミド、N,N-ジエチルホルムアミド、N,N-ジエチルアセト
アミド、N,N-ジメチルメトキシアセトアミド、ジメチル
スルホキシド、ヘキサメチルフォスホアミド、N-メチル
-2-ピロリドン、ピリジン、ジメチルスルホン、テトラ
メチルスルホン、ジメチルテトラメチレンスルホン、γ
-ブチロラクトン、ジグライム、テトラヒドロフラン、
塩化メチレン、ジオキサン、シクロヘキサノン等があ
り、均一に溶解できる範囲で貧溶媒を揮散調節剤、皮膜
平滑剤などとして使用することもできる。
The organic solvent used in the present invention is not particularly limited, but one solvent or a mixed solvent of two or more solvents may be used as long as it can be uniformly dissolved. Typical solvents of this type are N, N-dimethylformamide, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylformamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylmethoxyacetamide, dimethylsulfoxide, Hexamethylphosphoramide, N-methyl
-2-pyrrolidone, pyridine, dimethyl sulfone, tetramethyl sulfone, dimethyl tetramethylene sulfone, γ
-Butyrolactone, diglyme, tetrahydrofuran,
There are methylene chloride, dioxane, cyclohexanone, and the like, and a poor solvent can be used as a volatilization regulator, a film smoothing agent, etc. within a range in which it can be uniformly dissolved.

【0020】本発明において用いられる高熱伝導性フィ
ラーは、熱伝導率が5.0[W/(m・K)]以上であればフィルム
状接着剤中に均一分散させると充分な熱伝導性が得られ
るので好ましく、種類については特に限定されるもので
はないが、導電性を必要としない場合はフォノン伝導を
主体とする絶縁性、半導性セラミックスが好ましい。熱
伝導率が5.0[W/(m・K)]未満の場合は、フィルム状接着層
に均一分散させた時に充分な熱伝導性が得られないので
好ましくない。
If the high thermal conductivity filler used in the present invention has a thermal conductivity of 5.0 [W / (m · K)] or more, sufficient thermal conductivity can be obtained by uniformly dispersing it in the film adhesive. Therefore, the type is not particularly limited, but when conductivity is not required, insulating and semiconducting ceramics mainly having phonon conduction are preferable. When the thermal conductivity is less than 5.0 [W / (m · K)], sufficient thermal conductivity cannot be obtained when uniformly dispersed in the film-like adhesive layer, which is not preferable.

【0021】本発明に用いられる高熱伝導性フィラーの
例を挙げると、Al2O3、BeO、MgO、SiC、TiC、TiN、Si3N
4、AlN、BN、ZrB2、MoSi2、ダイヤモンド等があり、単
独あるいは2種以上混合して用いることもできるが、特
にこれらに限定されるものではない。形状としては、フ
レーク状、樹枝状や球状等のものが用いられる。異なる
粒径のものを混合して用いてもよい。必要な特性を得る
ための粒径は、0.01〜50μmが望ましい。本発明のフィ
ルム状接着剤中のフィラー量は、樹脂に対して30〜900w
t%の割合であることが望ましい。30wt%未満では充分
な熱伝導性が得られないので好ましくなく、900wt%を
越えると接着強度が低下するので好ましくない。
Examples of the high thermal conductive filler used in the present invention include Al 2 O 3 , BeO, MgO, SiC, TiC, TiN and Si 3 N.
4 , AlN, BN, ZrB 2 , MoSi 2 , diamond and the like, which may be used alone or in combination of two or more, but are not particularly limited thereto. As the shape, a flake shape, a dendritic shape, a spherical shape, or the like is used. You may mix and use the thing of a different particle size. The particle size for obtaining the required characteristics is preferably 0.01 to 50 μm. The amount of filler in the film adhesive of the present invention is 30 to 900w with respect to the resin.
A ratio of t% is desirable. If it is less than 30 wt%, sufficient thermal conductivity cannot be obtained, which is not preferable, and if it exceeds 900 wt%, the adhesive strength is lowered, which is not preferable.

【0022】本発明の熱圧着可能な高熱伝導性フィルム
状接着剤の使用方法としては、特に限定されるものでは
ないが、通常充分にイミド化されたワニスにフィラーを
加えて、ミキサー、三本ロール等を用いて均一分散させ
た後、必要に応じて希釈し粘度を調整したものを、テフ
ロン等の離型性に優れた基材に塗布した後、加熱処理に
よって溶剤を揮散させてフィルム化し、基材から剥がし
て高熱伝導性フィラー含有フィルムを得る。これを被接
着体間に挟んだ後、熱圧着する。または予め被着体の上
に塗布した後、加熱処理を施して充分に溶剤を揮散させ
た後、一方の被着体と合わせて熱圧着することもでき
る。
The method of using the thermocompression-bondable high thermal conductive film adhesive of the present invention is not particularly limited, but usually a sufficiently imidized varnish is added with a filler, a mixer, three After uniformly dispersing using a roll, etc., dilute it if necessary and adjust the viscosity, apply it to a substrate with excellent releasability such as Teflon, then volatilize the solvent by heat treatment to form a film Then, it is peeled from the base material to obtain a film containing a high thermal conductive filler. This is sandwiched between the adherends and then thermocompression bonded. Alternatively, it may be applied on the adherend in advance and then subjected to heat treatment to sufficiently volatilize the solvent, and then thermocompression bonding is performed together with one of the adherends.

【0023】また本発明の接着剤のベース樹脂であるポ
リイミドシロキサンには、必要に応じて各種添加剤を加
えることができる。例えば、基材に塗布する際の表面平
滑剤、濡れ性を高めるためのレベリング剤や各種界面活
性剤、シランカップリング剤、また接着剤の熱圧着後の
耐熱性を高めるための各種架橋剤などの添加剤である。
これらの添加剤は、フィルム状接着剤の特性を損わない
程度の量で使用することができる。
If desired, various additives can be added to the polyimide siloxane which is the base resin of the adhesive of the present invention. For example, surface smoothing agents when applied to substrates, leveling agents and various surfactants to enhance wettability, silane coupling agents, and various cross-linking agents to enhance heat resistance after thermocompression bonding of adhesives, etc. Is an additive.
These additives can be used in an amount that does not impair the properties of the film adhesive.

【0024】以下に実施例を以て本発明を具体的に説明
するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものでは
ない。
The present invention will be specifically described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0025】[0025]

【実施例】【Example】

(実施例1)温度計、撹拌機、原料投入口、乾燥窒素ガ
ス導入管を備えた四つ口のセパラブルフラスコ中に、1,
3-ビス(3-アミノフェノキシ)ベンゼン(APB)17.54
g(0.06モル)、下記式のジアミノシリコーン化合物3
3.67g(0.04モル)
(Example 1) In a four-neck separable flask equipped with a thermometer, a stirrer, a raw material charging port, and a dry nitrogen gas inlet tube, 1,
3-bis (3-aminophenoxy) benzene (APB) 17.54
g (0.06 mol), diamino silicone compound of the following formula 3
3.67 g (0.04 mol)

【0026】[0026]

【化4】 [Chemical 4]

【0027】を300gのN-メチル-2-ピロリドン(NM
P)に溶解させ、4,4'-オキシジフタル酸二無水物(O
DPA)24.82g(0.08モル)、下記式の酸末端シリコ
ーン化合物20.40g(0.02モル)
300 g of N-methyl-2-pyrrolidone (NM
P) and dissolved in 4,4'-oxydiphthalic acid dianhydride (O
DPA) 24.82 g (0.08 mol), acid-terminated silicone compound of the following formula 20.40 g (0.02 mol)

【0028】[0028]

【化5】 [Chemical 5]

【0029】を30分間かけて固形のまま徐々に添加した
後2時間撹拌を続けた。この間ずっと乾燥窒素ガスを流
しておき、更に酸無水物を添加する前から氷浴で冷却
し、系を反応の間ずっと20℃に保っておいた。
[0029] was gradually added as a solid over 30 minutes, and stirring was continued for 2 hours. Dry nitrogen gas was kept flowing all the time, and the system was kept at 20 ° C. for the whole reaction during the reaction by cooling with an ice bath before adding more acid anhydride.

【0030】次いで、この系にキシレン60gを添加し、
乾燥窒素導入管を外して、代りにディーンスターチ還流
冷却管を取付け、氷浴を外してオイルバスで加熱して系
の温度を上昇させる。イミド化に伴って生じる水をトル
エンとの共沸により系外へ除去しながら加熱を続け、15
0〜160℃でイミド化を進めて水が発生しなくなった5時
間後に反応を終了させた。このポリイミドワニスを30リ
ットルのメタノール中に撹拌しながら1時間かけて滴下
し、樹脂を沈澱させ、濾過して固形分のみを回収した
後、真空乾燥機中にて減圧下120℃で5時間乾燥させ
た。このようにして得られたポリイミドシロキサンのFT
-IRスペクトルを測定し、1650cm-1に現れるイミド化前
のアミド結合に基づく吸収と、1780cm-1に現れるイミド
環に基づく吸収からイミド化率を求めたところ、100%
イミド化されていることが判った。
Then, 60 g of xylene was added to this system,
Remove the dry nitrogen inlet tube and replace it with a Dean Starch reflux condenser, remove the ice bath and heat in an oil bath to raise the system temperature. Continue heating while removing water generated by imidization from the system by azeotropic distillation with toluene.
The reaction was terminated 5 hours after the imidization proceeded at 0 to 160 ° C. and no more water was generated. This polyimide varnish was added dropwise to 30 liters of methanol with stirring for 1 hour to precipitate the resin, and the solid content was collected by filtration, and then dried in a vacuum dryer under reduced pressure at 120 ° C for 5 hours. Let The FT of the polyimide siloxane thus obtained
The -IR spectra measured were determined in the absorption based on imide before amide bond appearing at 1650 cm -1, the imidization ratio from absorption based on imide rings appearing at 1780 cm -1, 100%
It was found to be imidized.

【0031】このポリイミドシロキサンをジエチレング
リコールジメチルエーテル(ジグライム)に溶解させ、
濃度10%に調整した。このワニスに、平均粒径2μmの
窒化ホウ素を樹脂分に対して120wt%添加し、三本ロー
ルを用いて混合してペーストを得た。このペーストをア
プリケータを用いて表面研磨されたテフロン板の上にキ
ャストし、乾燥機中で120℃、5時間加熱処理をするこ
とによって溶剤を揮散させ、テフロン基板から剥がし
て、厚み25μmのフィルムを作成した。このフィルムか
ら、3mm×3.5mm角の大きさを切出し、銅製のリードフレ
ームと、3mm×3.5mm角の大きさのシリコンチップの間に
挟み、230℃のホットプレート上で500gの荷重をかけ
(約4.76kgf/cm2)、10秒で熱圧着した後、室温まで冷
却してプッシュプルゲージで剪断強度を測定したとこ
ろ、10kgf以上の値のところでシリコンチップが破壊し
て正確な剪断強度が得られない程、強固に接着してい
た。次に、260℃のホットプレート上に10秒間、同様の
接着サンプルを置いて剪断強度を測定したところ、1.0k
gfの強度が得られた。破壊のモードは凝集破壊であり、
リードフレームにもチップにもフィルムの一部が残って
いた。またフィルムにはボイドは全く認められなかっ
た。このフィルムの熱伝導率と体積抵抗率を測定したと
ころ、それぞれ3.1[W/(m・K)]、1×1015[Ω-cm]であ
り、高熱伝導性で絶縁性に優れていることが確認でき
た。
This polyimide siloxane was dissolved in diethylene glycol dimethyl ether (diglyme),
The concentration was adjusted to 10%. 120 wt% of boron nitride having an average particle size of 2 μm was added to this varnish with respect to the resin content and mixed using a three-roll to obtain a paste. This paste is cast on a Teflon plate whose surface has been polished using an applicator, and the solvent is volatilized by heat treatment at 120 ° C for 5 hours in a dryer, and peeled off from the Teflon substrate to form a film with a thickness of 25 μm. It was created. A 3mm x 3.5mm square piece is cut out from this film, sandwiched between a copper lead frame and a 3mm x 3.5mm square silicon chip, and a load of 500g is applied on a 230 ° C hot plate ( Approximately 4.76kgf / cm 2 ) After thermocompression bonding for 10 seconds, cool to room temperature and measure the shear strength with a push-pull gauge. At a value of 10kgf or more, the silicon chip breaks and accurate shear strength is obtained. It was so strong that I couldn't do it. Next, when the same adhesive sample was placed on a hot plate at 260 ° C for 10 seconds and the shear strength was measured, it was 1.0k.
The gf intensity was obtained. The mode of destruction is cohesive failure,
Part of the film was left on the lead frame and the chip. No void was observed in the film. The thermal conductivity and volume resistivity of this film were measured to be 3.1 [W / (m · K)] and 1 × 10 15 [Ω-cm], respectively, indicating that they have high thermal conductivity and excellent insulation properties. Was confirmed.

【0032】(実施例2)酸無水物成分として、下記式
の酸末端シリコーン化合物10.56g(0.01モル)、
(Example 2) As an acid anhydride component, 10.56 g (0.01 mol) of an acid-terminated silicone compound of the following formula,

【0033】[0033]

【化6】 [Chemical 6]

【0034】ODPA18.61g(0.06モル)、3,3',4,4'
-ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物(BTD
A)12.89g(0.04モル)及びジアミン成分として、下
記式のジアミノシリコーン化合物58.92g(0.07モ
ル)、
ODPA 18.61 g (0.06 mol), 3,3 ', 4,4'
-Benzophenone tetracarboxylic dianhydride (BTD
A) 12.89 g (0.04 mol) and, as a diamine component, 58.92 g (0.07 mol) of a diamino silicone compound represented by the following formula,

【0035】[0035]

【化7】 [Chemical 7]

【0036】2,4-ジアミノトルエン3.67g(0.03モル)
を用いた以外は実施例1と同様の方法によってポリイミ
ドシロキサンを得、イミド化率を測定したところ、100
%であった。この樹脂をジグライムとブチルセルソルブ
アセテート(BCA)の1対1混合溶媒で溶解し、濃度
15%に調整した。
2,4-diaminotoluene 3.67 g (0.03 mol)
Polyimide siloxane was obtained by the same method as in Example 1 except that was used, and the imidization ratio was measured.
%Met. This resin was dissolved in a 1: 1 mixed solvent of diglyme and butyl cellosolve acetate (BCA) to obtain a concentration
Adjusted to 15%.

【0037】このワニスに、平均粒径3μmのAl2O3を樹
脂分に対し150wt%添加し、三本ロールで混合してペー
ストを得た。このペーストをアプリケータを用いて表面
研磨したテフロン板の上にキャストし、乾燥機中で120
℃、5時間加熱処理をすることによって溶剤を揮散さ
せ、テフロン基板から剥がして厚さ25μmのフィルムを
作成した。このフィルムから3mm×3.5mm角の大きさを切
り出し、銅製のリードフレームと3mm×3.5mm角の大きさ
のシリコンチップの間に挟み、250℃のホットプレート
上で500gの荷重を10秒かけ接着した。室温で剪断強度
を測定したところ、10kgf以上でシリコンチップが破壊
した。次に、260℃のホットプレート上に10秒間、同様
の接着サンプルを置いて剪断強度を測定したところ、1.
5kgfであった。接着フィルム面にはボイドは全く認めら
れなかった。このフィルムの熱伝導率と体積抵抗率を測
定したところ、それぞれ1.6[W/(m・K)]、1×1016[Ω-c
m]であり、高熱伝導性で絶縁性に優れていることが確認
できた。
To this varnish, 150 wt% of Al 2 O 3 having an average particle size of 3 μm was added with respect to the resin content, and the mixture was mixed with a triple roll to obtain a paste. This paste is cast on a Teflon plate whose surface has been polished using an applicator, and then 120
The solvent was volatilized by heating at 5 ° C. for 5 hours and peeled off from the Teflon substrate to form a film having a thickness of 25 μm. A 3mm x 3.5mm square size is cut out from this film, sandwiched between a copper lead frame and a 3mm x 3.5mm square size silicon chip, and a 500g load is applied for 10 seconds on a 250 ° C hot plate to bond it. did. When the shear strength was measured at room temperature, the silicon chip broke at 10 kgf or more. Next, when a similar adhesive sample was placed on a hot plate at 260 ° C for 10 seconds and shear strength was measured, 1.
It was 5 kgf. No void was observed on the surface of the adhesive film. The thermal conductivity and volume resistivity of this film were measured to be 1.6 [W / (m · K)] and 1 × 10 16 [Ω-c, respectively]
m], and it was confirmed that it has high thermal conductivity and excellent insulation.

【0038】(実施例3〜5及び比較例1〜5)ポリイ
ミドシロキサンの組成、イミド化時間、高熱伝導性フィ
ラーの種類、添加量以外は全て実施例1の方法と同様に
行ない、表1の結果を得た。
(Examples 3 to 5 and Comparative Examples 1 to 5) Except for the composition of polyimide siloxane, imidization time, type of high thermal conductive filler, and addition amount, the same procedure as in Example 1 was carried out. I got the result.

【0039】[0039]

【表1】 [Table 1]

【0040】実施例1、2並びに表1の実施例3〜5の
ように、酸末端シリコーン化合物とジアミノシリコーン
化合物が全体の樹脂組成のうち、モル数の割合で0.3〜
1.0であり、酸無水物とジアミンのモル比が0.8〜1.2の
範囲にあり、イミド化率が80%以上のポリイミドシロキ
サンを用いて、熱伝導率5.0[W/(m・K)]以上のフィラーを
均一分散してフィルム化したものは、250℃以下の比較
的低い温度で、しかも5kgf/cm2という比較的低い圧力
で、10秒間という短時間の熱圧着条件で強固な接着強度
が得られ、さらに260℃という高温においても1kgf以上
の接着強度を有していた。また得られた接着層の熱伝導
率も1.0[W/(m・K)]以上で高熱伝導性を有し、絶縁性も体
積抵抗率で1010[Ω-cm]以上あった。
As in Examples 1 and 2 and Examples 3 to 5 in Table 1, the acid-terminated silicone compound and the diaminosilicone compound are contained in the total resin composition in an amount of 0.3 to 0.3 in terms of the number of moles.
1.0, the molar ratio of the acid anhydride and the diamine is in the range of 0.8 to 1.2, the imidization rate is 80% or more, using polyimide siloxane, the thermal conductivity of 5.0 [W / (m · K)] or more The film obtained by uniformly dispersing the filler can obtain a strong adhesive strength at a relatively low temperature of 250 ° C or less and a relatively low pressure of 5 kgf / cm 2 under a thermocompression bonding condition of 10 seconds. The adhesive strength was 1 kgf or more even at a high temperature of 260 ° C. The obtained adhesive layer also had a thermal conductivity of 1.0 [W / (m · K)] or higher and high thermal conductivity, and had an insulating property of 10 10 [Ω-cm] or higher in terms of volume resistivity.

【0041】一方、比較例1のように酸末端シリコーン
化合物、ジアミノシリコーン化合物の全体の樹脂組成に
占める割合がモル比で0.3未満となると、250℃、5kgf/
cm2、10秒の熱圧着条件では充分な接着強度が得られな
かった。比較例2のように、フィラーの添加量が樹脂分
に対して30wt%未満になると、充分な熱伝導率が得られ
なかった。また逆に比較例3のように、フィラーの添加
量が900wt%を越えると、接着成分である樹脂の相対量
が減少し、充分な接着強度が得られなかった。比較例4
のように、熱伝導率5.0[W/(m・K)]以下のフィラーを用い
ると、充分な熱伝導率が得られなかった。比較例5のよ
うにイミド化率が80%未満であると、熱圧着後のフィル
ム面にボイドが発生してしまうため、充分な接着強度が
得られなかった。以上のように本発明の条件以外では良
好な結果を得ることができなかった。
On the other hand, when the molar ratio of the acid-terminated silicone compound and the diaminosilicone compound to the total resin composition is less than 0.3 as in Comparative Example 1, 250 ° C., 5 kgf /
Under the thermocompression bonding condition of cm 2 for 10 seconds, sufficient adhesive strength could not be obtained. As in Comparative Example 2, when the amount of the filler added was less than 30 wt% with respect to the resin content, sufficient thermal conductivity could not be obtained. On the contrary, as in Comparative Example 3, when the amount of the filler added exceeded 900 wt%, the relative amount of the resin as the adhesive component decreased, and sufficient adhesive strength could not be obtained. Comparative Example 4
As described above, when a filler having a thermal conductivity of 5.0 [W / (m · K)] or less was used, sufficient thermal conductivity could not be obtained. When the imidization ratio was less than 80% as in Comparative Example 5, voids were generated on the film surface after thermocompression bonding, and thus sufficient adhesive strength could not be obtained. As described above, good results could not be obtained except under the conditions of the present invention.

【0042】[0042]

【発明の効果】本発明の熱圧着可能なフィルム状接着剤
は、銅、シリコンなどの金属、セラミックスへの接着性
に優れており、室温だけでなく、260℃のような半田溶
融温度でも充分な接着強度を有する耐熱性に優れたもの
である。また接着層は高熱伝導性を有し、熱放散性に優
れていた。しかも従来にない、低温、低圧、短時間で熱
圧着できる量産性の点においても有利な高熱伝導性フィ
ルム状接着剤を得ることができる。
EFFECTS OF THE INVENTION The thermocompression-bondable film adhesive of the present invention has excellent adhesiveness to metals such as copper and silicon and ceramics, and is sufficient not only at room temperature but also at solder melting temperature such as 260 ° C. It has excellent adhesive strength and excellent heat resistance. The adhesive layer had high thermal conductivity and excellent heat dissipation. In addition, it is possible to obtain a highly heat-conductive film-like adhesive which is unprecedented and is advantageous in terms of mass productivity that enables thermocompression bonding at low temperature, low pressure, and short time.

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成3年11月13日[Submission date] November 13, 1991

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0035[Correction target item name] 0035

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0035】[0035]

【化7】 [Chemical 7]

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0039[Correction target item name] 0039

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0039】[0039]

【表1】 ─────────────────────────────────────────────────────
[Table 1] ─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成5年1月19日[Submission date] January 19, 1993

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】請求項1[Name of item to be corrected] Claim 1

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【化1】 [Chemical 1]

【化2】 [Chemical 2]

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0010[Correction target item name] 0010

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0010】で示されるジアミノシリコーン化合物Cモ
ル及び他のジアミン成分Dモルを含むアミン成分とを、
酸末端シリコーン化合物及びジアミノシリコーン化合物
を必須成分とし、(A+C)/(A+B+C+D)が0.
3〜1.0、(A+B)/(C+D)が0.8〜1.2の範囲で反
応させ、少なくとも80%以上がイミド化されているポリ
イミドシロキサンと、ポリイミドシロキサンに対して30
〜900wt%の熱伝導率5.0[W/(m・K)]以上であるフィラー
とからなる熱圧着可能なフィルム状接着剤である。
An amine component containing C moles of a diamino silicone compound represented by and D moles of another diamine component,
An acid-terminated silicone compound and a diamino silicone compound are essential components, and (A + C) / (A + B + C + D) is 0.
3 to 1.0, (A + B) / (C + D) are reacted in the range of 0.8 to 1.2, and at least 80% or more of polyimide siloxane imidized, and 30 to polyimide siloxane
A film-like adhesive capable of thermocompression bonding, which comprises a filler having a thermal conductivity of 5.0 [W / (m · K)] of 900 wt% or more.

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0018[Correction target item name] 0018

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0018】本発明においては、酸末端シリコーン化合
物及びジアミノシリコーン化合物が必須成分として含ま
れていることが必要である。酸末端シリコーン化合物と
ジアミノシリコーン化合物は、その構造上の特徴によ
り、ポリイミド中に少なくともそのどちらか一方が上述
のモル比を満たすように含まれることによって、熱溶融
性に優れ、接着強度も良好であり、耐熱性とのバランス
にも優れたフィルム状接着剤を得ることができる。
In the present invention, it is necessary that the acid terminal silicone compound and the diamino silicone compound are contained as essential components. Due to the structural characteristics of the acid-terminated silicone compound and the diaminosilicone compound, at least one of them is contained in the polyimide so as to satisfy the above-mentioned molar ratio, whereby the heat melting property is excellent and the adhesive strength is also good. Therefore, it is possible to obtain a film-like adhesive having excellent balance with heat resistance.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 式(1)で示される酸末端シリコーン化
合物Aモル及び他の酸二無水物成分Bモルを含む酸成分
と、式(2)で示されるジアミノシリコーン化合物Cモ
ル及び他のジアミン成分Dモルを含むアミン成分とを、
酸末端シリコーン化合物又はジアミノシリコーン化合物
の少なくともどちらか一方を必須成分とし、(A+C)
/(A+B+C+D)が0.3〜1.0、(A+B)/(C+
D)が0.8〜1.2の範囲で反応させ、少なくとも80%以上
がイミド化されているポリイミドシロキサンと、ポリイ
ミドシロキサンに対して30〜900wt%の熱伝導率5.0[W/
(m・K)]以上であるフィラーとからなる熱圧着可能な高熱
伝導性フィルム状接着剤。 【化1】 【化2】
1. An acid component containing A mole of the acid-terminated silicone compound represented by the formula (1) and another B mole of the acid dianhydride component, C mole of the diaminosilicone compound represented by the formula (2) and another diamine. An amine component containing component D moles,
At least one of an acid-terminated silicone compound and a diaminosilicone compound as an essential component, (A + C)
/ (A + B + C + D) is 0.3 to 1.0, (A + B) / (C +
D) is reacted in the range of 0.8 to 1.2, and at least 80% or more of it is imidized with polyimide siloxane, and 30 to 900 wt% of the polyimide siloxane has a thermal conductivity of 5.0 [W /
(m · K)] A thermocompression-bondable highly heat-conductive film adhesive, which is composed of a filler having the above content. [Chemical 1] [Chemical 2]
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