JPH05117024A - Dielectric porcelain for high frequency and its production - Google Patents
Dielectric porcelain for high frequency and its productionInfo
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- JPH05117024A JPH05117024A JP3309722A JP30972291A JPH05117024A JP H05117024 A JPH05117024 A JP H05117024A JP 3309722 A JP3309722 A JP 3309722A JP 30972291 A JP30972291 A JP 30972291A JP H05117024 A JPH05117024 A JP H05117024A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【技術分野】本発明は、(Zr,Sn)TiO4 を主成
分とする高周波用誘電体磁器及びその製造法に係り、特
に誘電体磁器の低損失特性を効果的に向上させる技術に
関するものである。TECHNICAL FIELD The present invention relates to a high frequency dielectric porcelain containing (Zr, Sn) TiO 4 as a main component and a method for manufacturing the same, and more particularly to a technique for effectively improving low loss characteristics of the dielectric porcelain. is there.
【0002】[0002]
【背景技術】近年における携帯電話等の高周波機器の発
展に伴い、それらに使用される誘電体共振器にも、より
高い性能が求められるようになってきている。そのた
め、そのような共振器に用いられる誘電体磁器において
は、(1)比誘電率(εr )が高いこと、(2)Q値が
高いこと、(3)共振周波数の温度係数(τf )が小さ
いこと等の特性が要求されている。そして、これらの特
性を満足する誘電体磁器の一つとして、チタン酸ジルコ
ニウム錫:(Zr,Sn)TiO4 を主成分とする誘電
体磁器が知られている。2. Description of the Related Art With the recent development of high-frequency devices such as mobile phones, the dielectric resonators used therein are required to have higher performance. Therefore, in the dielectric ceramic used for such a resonator, (1) high relative permittivity (ε r ), (2) high Q value, (3) temperature coefficient of resonance frequency (τ f ) Is required to be small. As one of the dielectric ceramics satisfying these characteristics, a dielectric ceramic mainly containing zirconium tin titanate: (Zr, Sn) TiO 4 is known.
【0003】しかしながら、この誘電体磁器を製造する
際には、主成分たる(Zr,Sn)TiO4 を与えるZ
rO2 、SnO2 及びTiO2 のみでは充分に緻密化し
た焼結体が得られないため、従来から、Mn、Ni、Z
n、Ta等の金属の酸化物を焼結助剤として原料組成物
に添加することが行なわれており、この添加物のため
に、かかる誘電体磁器は充分に高いQ値が得られなくな
るという問題を内在していた。However, when manufacturing this dielectric ceramic, Z which gives (Zr, Sn) TiO 4 as a main component is given.
Since rO 2 , SnO 2 and TiO 2 alone cannot provide a sufficiently densified sintered body, Mn, Ni, Z
Oxides of metals such as n and Ta are added to the raw material composition as a sintering aid, and it is said that such a dielectric ceramic cannot obtain a sufficiently high Q value. The problem was inherent.
【0004】このため、特開昭58−18808号公報
においては、何れもが純度99.9%以上の、Zr
O2 、SnO2 及びTiO2 を原料として使用し、15
00〜1600℃の焼成温度で焼成することにより、焼
結助剤を添加することなく、充分に緻密化された焼結体
を得て、高いQ値を得る方法が開示されているが、その
ような高純度の各原料を用いた場合には、製造コストが
著しく高くなる問題がある。Therefore, in Japanese Patent Laid-Open No. 58-18808, Zr having a purity of 99.9% or more is used.
Using O 2 , SnO 2 and TiO 2 as raw materials,
A method for obtaining a sufficiently densified sintered body by firing at a firing temperature of 00 to 1600 ° C. without adding a sintering aid to obtain a high Q value is disclosed. When such high-purity raw materials are used, there is a problem that the manufacturing cost becomes extremely high.
【0005】[0005]
【解決課題】本発明は、このような事情を背景として為
されたものであり、その解決課題とするところは、純度
が99.9%以上というような高純度の各原料を用いる
ことなく、誘電体磁器に不純物として含まれる特定の化
学成分を制御することによって、コスト的に充分低く、
且つ高いQ値を有する高周波用誘電体磁器を得ることに
ある。The present invention has been made in view of such circumstances, and the problem to be solved is to use raw materials of high purity such as a purity of 99.9% or more, By controlling the specific chemical components contained in the dielectric porcelain as impurities, the cost is sufficiently low,
Another object is to obtain a high frequency dielectric ceramic having a high Q value.
【0006】[0006]
【解決手段】そして、上記の課題を解決するため、本発
明者らが鋭意研究を重ねた結果、誘電体磁器に含まれる
不純物の中で、特にCaOの含有量が、誘電体磁器のQ
値に大きく影響することを見い出したのであり、本発明
は、そのような知見に基づいて完成されたものである。As a result of intensive studies conducted by the present inventors in order to solve the above-mentioned problems, among the impurities contained in the dielectric ceramic, the content of CaO is particularly Q of the dielectric ceramic.
The present invention has been completed on the basis of such findings, since it has been found that it greatly affects the value.
【0007】すなわち、本発明は、(Zr,Sn)Ti
O4 を主成分とし、不純物としてのCaOの含有量が3
00ppm以下とされていることを特徴とする高周波用
誘電体磁器を、その要旨とするものである。That is, the present invention relates to (Zr, Sn) Ti
O 4 as the main component and CaO content as an impurity is 3
The gist is a high-frequency dielectric ceramic characterized by being set to 00 ppm or less.
【0008】また、本発明にあっては、かかる高周波用
誘電体磁器の製造法として、(Zr,Sn)TiO4 を
与えるZrO2 、SnO2 及びTiO2 を所定の割合で
混合し、更に焼結助剤として金属酸化物若しくはそれを
生じる化合物を2重量%以下の割合で含有せしめてなる
原料組成物を用い、かかる原料組成物を焼成することに
より誘電体磁器を製造するに際して、不純物としてのC
aOの含有量が300ppm以下となるように、該原料
組成物を調製した後、1300〜1400℃の焼成温度
にて焼成することをも、その要旨とするものである。Further, according to the present invention, as a method for producing such a high frequency dielectric ceramic, ZrO 2 , SnO 2 and TiO 2 which give (Zr, Sn) TiO 4 are mixed at a predetermined ratio and further baked. When a raw material composition containing a metal oxide or a compound producing the same in an amount of 2% by weight or less is used as a co-agent, the raw material composition is fired to produce a dielectric porcelain. C
The gist of the present invention is that the raw material composition is prepared so that the content of aO is 300 ppm or less, and then the raw material composition is fired at a firing temperature of 1300 to 1400 ° C.
【0009】[0009]
【発明の効果】すなわち、本発明では、誘電体磁器に含
有される様々な不純物の中で、特にQ値への悪影響が大
きいCaOに着目して、その含有量を300ppm以下
にすることによって、極めて効果的にQ値を高め得たの
であり、それによって、その他の不純物がある程度含有
されていても、また焼結助剤を添加しても、なお、高い
Q値が得られることとなったのである。従って、コスト
の高い99.9%以上の高純度の各原料を用いなくても
良く、一般的な純度の原料を用いて、それぞれの原料中
に含まれているCaOの含有量を勘案して、原料組成物
を調製することにより、誘電体磁器の低コスト化を有利
に図ることが可能となるのである。そしてまた、焼結助
剤を添加することにより、1300〜1400℃で焼成
して、誘電体磁器を充分に緻密化させることが出来、誘
電体磁器の過焼成を効果的に防止することも出来ること
となったのである。That is, in the present invention, among various impurities contained in the dielectric porcelain, focusing attention on CaO, which has a large adverse effect on the Q value, and setting its content to 300 ppm or less, It was possible to increase the Q value extremely effectively, which made it possible to obtain a high Q value even if other impurities were contained to some extent and a sintering additive was added. Of. Therefore, it is not necessary to use high-purity raw materials of 99.9% or more, which are high in cost, and use raw materials of general purity in consideration of the content of CaO contained in each raw material. By preparing the raw material composition, it becomes possible to advantageously reduce the cost of the dielectric ceramic. Further, by adding a sintering aid, the dielectric ceramics can be sufficiently densified by firing at 1300 to 1400 ° C., and it is possible to effectively prevent the over firing of the dielectric ceramics. It was decided.
【0010】[0010]
【具体的構成】ところで、本発明における誘電体磁器の
主成分となるチタン酸ジルコニウム錫:(Zr,Sn)
TiO4 を与える各原料粉末としては、ZrO2 、Sn
O2 及びTiO2 の何れについても、従来から一般に使
用されているものがCaOの含有量を勘案しつつ適宜に
用いられ得、それらが所定の割合で混合されることとな
る。なお、それらは、通常、得られる誘電体磁器の比誘
電率(εr )や共振周波数の温度係数(τf )が実用に
適する値となるように、ZrO2 :44〜51重量%、
SnO2 :10〜41重量%、TiO2 :36〜41重
量%の範囲で、混合されることが望ましい。Concrete Structure By the way, zirconium tin titanate which is a main component of the dielectric ceramics of the present invention: (Zr, Sn)
Raw material powders that give TiO 4 include ZrO 2 and Sn.
With respect to both O 2 and TiO 2 , those generally used conventionally can be appropriately used in consideration of the content of CaO, and they will be mixed at a predetermined ratio. It should be noted that, in general, ZrO 2 : 44 to 51 wt%, so that the relative permittivity (ε r ) and the temperature coefficient (τ f ) of the resonance frequency of the obtained dielectric porcelain are suitable for practical use.
It is desirable to mix SnO 2 in the range of 10 to 41 wt% and TiO 2 in the range of 36 to 41 wt%.
【0011】また、本発明にあっては、それら三成分の
みでは、充分に緻密化された焼結体(誘電体磁器)を得
ることが難しいため、更に焼結助剤として、所定の金属
酸化物若しくはそのような金属酸化物を生じる化合物が
含有せしめられることとなる。この金属酸化物として
は、従来から公知のものが何れも使用され得、例えば、
MnCO3 (MnO)、NiO、ZnO、Ta2 O5 、
Co2 O3 、Sb2 O5 、WO3 、Nb2 O5 、La2
O3 等を挙げることができる。それらは単独で或いは2
種類以上を適宜に組み合わせて使用することができ、そ
の合計量が2重量%以下となる割合で含有せしめられ
る。Further, in the present invention, it is difficult to obtain a sufficiently densified sintered body (dielectric ceramics) with only these three components. Therefore, a predetermined metal oxide is used as a sintering aid. An object or a compound which produces such a metal oxide will be contained. As the metal oxide, any conventionally known one can be used, for example,
MnCO 3 (MnO), NiO, ZnO, Ta 2 O 5 ,
Co 2 O 3 , Sb 2 O 5 , WO 3 , Nb 2 O 5 , La 2
O 3 and the like can be mentioned. They are alone or 2
It is possible to use more than one kind in an appropriate combination, and the total amount is 2% by weight or less.
【0012】而して、本発明では、上記の原料粉末や焼
結助剤として、一般的な純度のものが使用され得る一
方、主にそれら原料粉末や焼結助剤に起因する不純物と
してのCaOの含有量が300ppm以下となるように
して、原料組成物の調製が行なわれることとなる。例え
ば、各々の原料成分中のCaOの含有量を300ppm
以下にして、各原料成分が配合せしめられる他、一つの
原料成分中のCaO含有量が300ppm以上であって
も、他の原料成分としてCaO含有量が低いものを用
い、原料組成物全体としてのCaO含有量が300pp
m以下とされるように、原料組成物が調製されるのであ
る。例えば、原料粉末のうちZrO2 については、不純
物としてのCaOの含有量が30〜50ppm程度のも
のから800ppm程度のものまで様々なものがあるた
め、その選択や他の原料成分との組合せには、注意が必
要となるのである。なお、従来から知られているよう
に、誘電体磁器に不純物としてFe2 O3 が含まれる場
合には、磁器のQ値が低下するため(Journal of the A
merican Ceramic Society ,Vol.67,No.4 ,P.278 )、
本発明においても、Q値の低下を防止する上で、Fe2
O3 の含有量を低くすることが望ましいことは言うまで
もないところである。Thus, in the present invention, as the above-mentioned raw material powder and sintering aid, those having a general purity can be used, while mainly as impurities resulting from those raw material powder and sintering aid. The raw material composition is prepared so that the content of CaO is 300 ppm or less. For example, the content of CaO in each raw material component is 300 ppm
In the following, each raw material component is compounded, and even if the CaO content in one raw material component is 300 ppm or more, the one having a low CaO content is used as the other raw material component, CaO content is 300pp
The raw material composition is prepared so as to be not more than m. For example, among the raw material powders, ZrO 2 has various contents of CaO as an impurity of about 30 to 50 ppm to about 800 ppm. Therefore, selection and combination with other raw material components , Caution is required. As is conventionally known, when the dielectric ceramic contains Fe 2 O 3 as an impurity, the Q value of the ceramic is lowered (Journal of the A
American Ceramic Society, Vol.67, No.4, P.278),
Also in the present invention, in order to prevent the Q value from decreasing, Fe 2
Needless to say, it is desirable to reduce the content of O 3 .
【0013】そして、このようにして調製された原料組
成物は、従来法に従って所望の成形体に成形され、焼成
されることとなるが、焼成温度は1300〜1400℃
の範囲で設定されることとなる。焼成温度が1300℃
よりも低いと、実際上、焼成が難しくなるからであり、
一方、焼成温度が1400℃よりも高いと、過焼成にな
る場合が生じて、Q値が下がる等の不具合が惹起される
からである。より好ましくは、1350℃〜1400℃
の温度で焼成される。The raw material composition prepared in this manner is molded into a desired molded body according to a conventional method and fired at a firing temperature of 1300 to 1400 ° C.
It will be set in the range of. Baking temperature is 1300 ℃
If it is lower than that, firing becomes difficult in practice,
On the other hand, if the firing temperature is higher than 1400 ° C., over-firing may occur, causing problems such as a decrease in Q value. More preferably 1350 ° C to 1400 ° C
It is baked at the temperature of.
【0014】かくして得られる誘電体磁器は、特別に高
純度の原料を使用するものではなく、また、焼結助剤を
添加しているにも拘わらず、不純物としてのCaOの含
有量が300ppm以下とされていることに基づいて、
極めて高いQ値を有することとなるのであり、通常、1
2000以上の高いQ値が得られるのである。そして、
原料コストが安くなることから、誘電体磁器のコストを
有利に引き下げることが可能となるのである。The dielectric porcelain thus obtained does not use a high-purity raw material in particular, and the content of CaO as an impurity is 300 ppm or less in spite of the addition of a sintering aid. Based on what is said to be
It has an extremely high Q value, and is usually 1
A high Q value of 2000 or more can be obtained. And
Since the raw material cost is reduced, the cost of the dielectric ceramic can be advantageously reduced.
【0015】[0015]
【実施例】以下に、本発明の幾つかの実施例を示し、本
発明を更に具体的に明らかにすることとするが、本発明
が、そのような実施例の記載によって、何等の制約をも
受けるものでないことは、言うまでもないところであ
る。また、本発明には、以下の実施例の他にも、更には
上記の具体的記述以外にも、本発明の趣旨を逸脱しない
限りにおいて、当業者の知識に基づいて種々なる変更、
修正、改良等を加え得るものであることが、理解される
べきである。EXAMPLES Some examples of the present invention will be shown below to clarify the present invention in more detail. However, the present invention is not limited by the description of such examples. Needless to say, it is not something to receive. Further, in addition to the following specific examples, in addition to the following embodiments, the present invention includes various modifications based on the knowledge of those skilled in the art without departing from the spirit of the present invention.
It should be understood that modifications, improvements, etc. may be made.
【0016】先ず、市販の酸化ジルコニウム(Zr
O2 )、酸化チタン(TiO2 )、酸化錫(Sn
O2 )、及び焼結助剤である炭酸マンガン(MnC
O3 )、酸化亜鉛(ZnO)、酸化ニッケル(Ni
O)、酸化タンタル(Ta2 O5 )を用意し、各成分の
CaO含有量を考慮して、各成分の選択、組合せを行な
い、そしてそれら原料成分を下記表1に示す組成及び総
CaO量を与えるように秤量し、ポリエチレン製ポット
中にジルコニア玉石、純水と共に投入して、混合し、1
1種類の原料組成物を得た。そして、各原料組成物を乾
燥させた後、バインダとしてPVAを1重量%添加して
混合し、更に40メッシュの篩を通過させることにより
造粒した。First, commercially available zirconium oxide (Zr
O 2 ), titanium oxide (TiO 2 ), tin oxide (Sn
O 2 ) and manganese carbonate (MnC) which is a sintering aid.
O 3 ), zinc oxide (ZnO), nickel oxide (Ni
O) and tantalum oxide (Ta 2 O 5 ) are prepared, the components are selected and combined in consideration of the CaO content of each component, and the composition and total CaO amount of the raw material components are shown in Table 1 below. Are weighed so as to give, and put into a polyethylene pot together with zirconia boulders and pure water, and mixed to give 1
One kind of raw material composition was obtained. Then, after drying each raw material composition, 1% by weight of PVA as a binder was added and mixed, and further passed through a 40-mesh sieve to granulate.
【0017】次いで、かかる造粒された各粉体を、1軸
プレス成形機により300kg/cm2 の圧力で直径:20
mm×厚さ:12mmの円板形状に予備成形した後、1t/
cm2 の圧力でCIP処理し、空気中において、1350
〜1400℃の温度で4時間焼成を行なった。しかる
後、得られた焼成体を直径:16mm×厚さ:8mmの大き
さに研磨した。Next, each of the granulated powders was subjected to a pressure of 300 kg / cm 2 by a uniaxial press molding machine and a diameter of 20.
mm × thickness: 1t / after preforming into a disk shape of 12mm
CIP treatment at a pressure of cm 2 and 1350 in air
Baking was performed at a temperature of ˜1400 ° C. for 4 hours. Then, the obtained fired body was ground to a size of 16 mm in diameter and 8 mm in thickness.
【0018】そして、各焼成体について、比誘電率(ε
r )、Q値、共振周波数の温度係数(τf )を測定し、
その結果を、下記表2に併せて示した。なお、比誘電率
(εr )とQ値は、公知の平行導体板型誘電体共振器法
により測定し、Q値は表2において3GHzでの値に換算
してある。また、共振周波数の温度係数は、−25〜7
5℃の範囲で測定した。測定周波数は6〜7GHzであっ
た。The relative permittivity (ε
r ), Q value, temperature coefficient (τ f ) of resonance frequency,
The results are also shown in Table 2 below. The relative permittivity (ε r ) and the Q value are measured by a known parallel conductor plate type dielectric resonator method, and the Q value is converted into a value at 3 GHz in Table 2. The temperature coefficient of the resonance frequency is -25 to 7
It was measured in the range of 5 ° C. The measurement frequency was 6 to 7 GHz.
【0019】[0019]
【表1】 [Table 1]
【0020】[0020]
【表2】 [Table 2]
【0021】かかる表1、表2の結果より明らかなよう
に、焼成体の総CaO量に対応して、Q値が変動してお
り、総CaO量が300ppmを越えるNo.1〜3及びN
o.7の焼成体では、充分に高いQ値が得られていない。
これに対して、CaOの含有量が300ppm以下とさ
れているNo. 4〜6、No. 8〜11の焼成体では、Q値
が14000〜15000の極めて高い値となっている
のである。As is clear from the results of Tables 1 and 2, the Q value varies depending on the total amount of CaO in the fired body, and the total amount of CaO exceeds 300 ppm, Nos. 1 to 3 and N.
In the fired body of o.7, a sufficiently high Q value was not obtained.
On the other hand, in the fired bodies of Nos. 4 to 6 and Nos. 8 to 11 in which the content of CaO is 300 ppm or less, the Q value is an extremely high value of 14000 to 15000.
Claims (2)
不純物としてのCaOの含有量が300ppm以下とさ
れていることを特徴とする高周波用誘電体磁器。1. A main component of (Zr, Sn) TiO 4 ,
Content of CaO as an impurity is 300 ppm or less, The dielectric ceramics for high frequencies characterized by the above-mentioned.
2 、SnO2 及びTiO2 を所定の割合で混合し、更に
焼結助剤として金属酸化物若しくはそれを生じる化合物
を2重量%以下の割合で含有せしめてなる原料組成物を
用い、かかる原料組成物を焼成することにより誘電体磁
器を製造するに際して、不純物としてのCaOの含有量
が300ppm以下となるように、該原料組成物を調製
した後、1300〜1400℃の焼成温度にて焼成する
ことを特徴とする高周波用誘電体磁器の製造法。2. ZrO which gives (Zr, Sn) TiO 4.
A raw material composition prepared by mixing 2 , SnO 2 and TiO 2 at a predetermined ratio and further containing a metal oxide or a compound which produces the metal oxide as a sintering aid at a ratio of 2% by weight or less is used. When a dielectric ceramic is manufactured by firing a material, after preparing the raw material composition so that the content of CaO as an impurity is 300 ppm or less, firing at a firing temperature of 1300 to 1400 ° C. And a method for manufacturing a high frequency dielectric porcelain.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3309722A JPH05117024A (en) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | Dielectric porcelain for high frequency and its production |
Applications Claiming Priority (1)
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---|---|---|---|
JP3309722A JPH05117024A (en) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | Dielectric porcelain for high frequency and its production |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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ID=17996514
Family Applications (1)
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JP3309722A Pending JPH05117024A (en) | 1991-10-29 | 1991-10-29 | Dielectric porcelain for high frequency and its production |
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JP (1) | JPH05117024A (en) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100298209B1 (en) * | 1998-12-14 | 2001-08-07 | 오길록 | Microwave dielectric ceramics and compositions for dielectric ceramics thereof |
CN105777116A (en) * | 2016-04-13 | 2016-07-20 | 苏州子波电子科技有限公司 | Microwave dielectric ceramic and preparation method thereof |
JP2016524587A (en) * | 2013-06-18 | 2016-08-18 | コーニング インコーポレイテッド | Low temperature expandable aluminum titanate-zirconium-tin-titanate ceramics |
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1991
- 1991-10-29 JP JP3309722A patent/JPH05117024A/en active Pending
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