JPH05110226A - Manufacture of printed board - Google Patents

Manufacture of printed board

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JPH05110226A
JPH05110226A JP3293574A JP29357491A JPH05110226A JP H05110226 A JPH05110226 A JP H05110226A JP 3293574 A JP3293574 A JP 3293574A JP 29357491 A JP29357491 A JP 29357491A JP H05110226 A JPH05110226 A JP H05110226A
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etching
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Hiroshi Yasuzuka
弘 安塚
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Abstract

PURPOSE:To form as fine pattern at low cost on a conductive layer of a printed board by using an ordinary etching resist. CONSTITUTION:In a manufacturing method of a printed board including an etching process where a pattern of an etching resist 3 is provided on a conductive layer in a thick shape than the pattern of a conductive layer to be formed in order to form a conductive layer of a printed board in a prescribed pattern, the corner part A of the pattern 3a is thicker than the other parts.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、プリント基板の導電
層に細密なパターンを形成できるようにするプリント基
板の製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method of manufacturing a printed circuit board, which enables formation of a fine pattern on a conductive layer of the printed circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、プリント基板の導電層にパタ
ーンを形成する方法としては、基板の全面に銅箔等の導
電層を形成し、その導電層上にエッチングレジストを所
定のパターンに形成し、次いでエッチングレジストでマ
スクされなかった部分の導電層をエッチング液を用いて
エッチング除去して導電層を所定のパターンに形成する
方法がとられている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a method of forming a pattern on a conductive layer of a printed circuit board, a conductive layer such as copper foil is formed on the entire surface of the board, and an etching resist is formed in a predetermined pattern on the conductive layer. Then, a method of forming a conductive pattern in a predetermined pattern by removing the conductive layer in a portion not masked by the etching resist by etching with an etching solution is used.

【0003】この場合、エッチング液による導電層のエ
ッチングは、等方性エッチングとなるために導電層の深
さ方向だけでなくパターンの幅方向にも進行し、所謂サ
イドエッチングが生じる。そこで、導電層上に形成する
エッチングレジストのパターンは、形成すべき導電層の
パターンよりも太らせた形状で設けることがなされてい
る。
In this case, since the etching of the conductive layer by the etching solution is isotropic etching, it progresses not only in the depth direction of the conductive layer but also in the width direction of the pattern, so-called side etching occurs. Therefore, the pattern of the etching resist formed on the conductive layer is formed to be thicker than the pattern of the conductive layer to be formed.

【0004】たとえば、図5の(a)に示したように、
基材1上に厚さ50μmの銅箔2を積層し、その銅箔2
上にエッチングレジストのパターン3設け、それを塩化
第2鉄水溶液、塩化第2銅水溶液等のエッチング液でエ
ッチングすると、同図(b)に示したように、銅箔2に
はサイドエッチングが進行し、エッチングレジストのパ
ターン3よりも幅通常50〜100μm程度幅狭くパタ
ーン形成される。そこで、導電層を所定のパターンに形
成するために、エッチングレジストのパターン3の幅
を、形成すべき導電層のパターンよりも50〜100μ
m程度太らせておくことがなされている。
For example, as shown in FIG.
A copper foil 2 having a thickness of 50 μm is laminated on the base material 1, and the copper foil 2
When a pattern 3 of an etching resist is provided on the upper side and is etched with an etching solution such as an aqueous solution of ferric chloride or an aqueous solution of cupric chloride, side etching proceeds on the copper foil 2 as shown in FIG. Then, the pattern is formed with a width that is normally 50 to 100 μm narrower than the pattern 3 of the etching resist. Therefore, in order to form the conductive layer in a predetermined pattern, the width of the etching resist pattern 3 is set to be 50 to 100 μm smaller than that of the conductive layer pattern to be formed.
It is made to be fat by about m.

【0005】さらに、このような導電層のサイドエッチ
ングは、パターンコーナー部では、エッチング液の入れ
替わり効率が高いために特に大きく進行し、コーナー部
以外の2倍の100〜200μm程度に達する。このた
め、図6の(a)に示したように、エッチングレジスト
のパターン幅の太らせ方を他の部分と同様にしてエッチ
ングレジストをパターン形成すると、同図の(b)に示
したようにパターンコーナー部においてサイドエッチン
グが大きく進行し、その部分の導電層2のパターン幅が
所定の大きさよりも狭くなり、製品として不良なものと
なってしまう。そこで、導電層にこのようなコーナー部
を有するパターンを形成する場合には、コーナー部のサ
イドエチングに合わせてエッチングレジストのパターン
幅を100〜200μm程度太らせておくことがなされ
ている。
Further, such side etching of the conductive layer progresses particularly greatly at the pattern corner portion due to the high efficiency of replacement of the etching solution, and reaches about 100 to 200 μm, which is twice as much as the portion other than the corner portion. Therefore, as shown in FIG. 6A, if the pattern width of the etching resist is widened in the same manner as the other portions, the etching resist is patterned as shown in FIG. 6B. Side etching greatly progresses in the pattern corner portion, and the pattern width of the conductive layer 2 in that portion becomes narrower than a predetermined size, resulting in a defective product. Therefore, when forming a pattern having such a corner portion on the conductive layer, the pattern width of the etching resist is thickened by about 100 to 200 μm in accordance with the side etching of the corner portion.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】一方、近年の配線の高
密度化に伴い、導電層に形成するパターンに対しても細
密化の要請が強く、そのパターンギャップは増々狭くさ
れる傾向にある。しかしながら、エッチングレジストの
パターン幅をパターンコーナー部のサイドエッチングに
合わせて太らせると、細いパターンギャップの解像が不
可能になり、結果的に導電層に細密なパターンを形成す
ることができないという問題が生じた。
On the other hand, with the recent increase in the density of wiring, there is a strong demand for finer patterns in the conductive layer, and the pattern gap tends to become narrower. However, when the pattern width of the etching resist is thickened in accordance with the side etching of the pattern corner portion, it becomes impossible to resolve a narrow pattern gap, and as a result, a fine pattern cannot be formed in the conductive layer. Has occurred.

【0007】たとえば、パターンコーナー部のサイドエ
ッチングが100μm進行するとして、導電層に150
μmパターン/150μmギャップのパターンを形成す
るには、エッチングレジストのパターンは250μmパ
ターン/50μmギャップに形成しなくてはならない
が、通常のエッチングレジストを使用した場合には幅5
0μmのパターンギャップを解像することはできない。
For example, assuming that the side etching of the pattern corner portion progresses by 100 μm, the conductive layer has a thickness of 150.
In order to form a pattern of μm pattern / 150 μm gap, the pattern of the etching resist must be formed to 250 μm pattern / 50 μm gap.
It is not possible to resolve a pattern gap of 0 μm.

【0008】これに対して、電着レジスト等の非常に特
殊なエッチングレジストを使用すれば幅50μmのパタ
ーンギャップを解像できるようになるが、製造コストが
非常に高くなる。
On the other hand, if a very special etching resist such as an electrodeposition resist is used, a pattern gap having a width of 50 μm can be resolved, but the manufacturing cost becomes very high.

【0009】この発明は以上のような従来技術の課題を
解決しようとするものであり、プリント基板の導電層
に、パターン幅およびパターンギャップがそれぞれ15
0μm以下の細密なパターンを、通常のエッチングレジ
ストを使用して、安価に形成できるようにすることを目
的とする。
The present invention is intended to solve the problems of the prior art as described above, and the pattern width and the pattern gap are each 15 in the conductive layer of the printed circuit board.
It is an object of the present invention to make it possible to form a fine pattern of 0 μm or less at low cost by using an ordinary etching resist.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段】この発明者は、上記の目
的が、エッチングレジストのパターンをパターンコーナ
ー部においてのみ大きく太らせ、他の部分はコーナー部
以外の通常の太らせ方で形成すれば達成できることを見
出し、この発明を完成させるに至った。
The present inventor has found that the above object is to form the pattern of the etching resist largely only in the pattern corner portions and to form the other portions by a usual thickening method other than the corner portions. They have found that they can be achieved, and have completed the present invention.

【0011】即ち、この発明は、プリント基板の導電層
を所定のパターンに形成するために、導電層上にエッチ
ングレジストのパターンを、形成すべき導電層のパター
ンよりも太らせた形状で設けてエッチングする工程を含
むプリント基板の製造方法において、エッチングレジス
トのパターンの太らせる量をパターンコーナー部でコー
ナー部以外の部分よりも大きくすることを特徴とするプ
リント基板の製造方法を提供する。
That is, according to the present invention, in order to form a conductive layer of a printed circuit board in a predetermined pattern, an etching resist pattern is formed on the conductive layer in a shape thicker than the pattern of the conductive layer to be formed. Provided is a method for manufacturing a printed circuit board, which comprises a step of etching, wherein the amount of thickening of a pattern of an etching resist is made larger at a pattern corner portion than at a portion other than the corner portion.

【0012】このように、この発明の製造方法において
はエッチングレジストのパターンをコーナー部で大きく
太らせるが、この場合、個々の配線パターンの全てのコ
ーナー部でパターンを太らせる必要はない。コーナー部
を有する個々の配線パターンを複数連設する場合には、
その全体的なパターンのコーナー部の外側でエチング液
の入れ替わり効率が特に高くなり、サイドエッチングが
大きく進行するので、外側のパターンのコーナー部での
みパターンを太らせればよい。たとえば、図1に示した
ようにコーナー角θが90°のL字形状のパターン3
a、3b、3cを連設する場合には、外側にあるパター
ン3aのコーナー部でのみパターンを太らせればよい。
なお、このようなコーナー部のコーナー角は、通常90
°±30°である。
As described above, in the manufacturing method of the present invention, the pattern of the etching resist is greatly thickened at the corners, but in this case, it is not necessary to thicken the pattern at all the corners of each wiring pattern. When connecting multiple individual wiring patterns with corners,
Since the exchange efficiency of the etching liquid is particularly high outside the corner portion of the overall pattern and the side etching greatly progresses, the pattern may be thickened only at the corner portion of the outer pattern. For example, as shown in FIG. 1, an L-shaped pattern 3 having a corner angle θ of 90 °
When a, 3b, and 3c are provided in series, the pattern may be thickened only at the corners of the outer pattern 3a.
The corner angle of such a corner portion is usually 90 degrees.
It is ± 30 °.

【0013】エッチングレジストのパターンをコーナー
部で太らせるに際して、その太らせ方はエッチング後に
導電層が所定のパターン幅を有するようにする限り種々
の形状とすることができる。たとえば、図1のパターン
3aのように丸ランドAを形成することによりパターン
を太らせてもよく、図示していないが、楕円ランド、四
角ランド、多角形ランドなどを形成してもよい。また、
図2のパターン3aのように、コーナー部でパターンを
外側に太らせてもよい。あるいは、図3のパターン3a
のように、コーナー部で直線パターンを延長するように
凸部Bまたは凸部Cを形成してもよい。この場合、凸部
B及び凸部Cはいずれか一方を形成してもよく双方を形
成してもよい。また、一般にパターンのコーナー部の形
状として、図1〜図3のようにL字形状にする他に、図
4のようにアールを付けることがなされているが、その
場合には図4のパターン3aように、外側のパターン3
aのコーナー部の外部曲率R1を内部曲率R2に対して
小さくしてもよい。
When thickening the pattern of the etching resist at the corners, the thickening method can be various shapes as long as the conductive layer has a predetermined pattern width after etching. For example, the pattern may be thickened by forming the round land A like the pattern 3a in FIG. 1, and although not shown, an elliptical land, a square land, a polygonal land, or the like may be formed. Also,
As in the pattern 3a of FIG. 2, the pattern may be thickened outward at the corner portion. Alternatively, the pattern 3a in FIG.
As described above, the convex portion B or the convex portion C may be formed so as to extend the linear pattern at the corner portion. In this case, the convex portion B and the convex portion C may form either one or both. Further, in general, the shape of the corner portion of the pattern is L-shaped as shown in FIG. 1 to FIG. 3 and is also rounded as shown in FIG. 4, in which case the pattern of FIG. 3a, the outer pattern 3
The outer curvature R1 of the corner portion of a may be smaller than the inner curvature R2.

【0014】なお、この発明のプリント基板の製造方法
において、導電層にパターン形成する工程以外は従来と
同様にすることができる。また、この発明の方法は、導
電層を多層構造にした多層基板を製造する場合にも適用
できる。
In the method for manufacturing a printed board according to the present invention, the steps other than the step of forming a pattern on the conductive layer can be performed in the same manner as the conventional method. The method of the present invention can also be applied to the case of manufacturing a multilayer substrate having a conductive layer having a multilayer structure.

【0015】[0015]

【作用】この発明のプリント基板の製造方法において
は、エッチングレジストのパターンをパターンコーナー
部で大きく太らせるので、エッチング時にパターンコー
ナー部の導電層に対してサイドエッチングが大きく進行
しても、導電層を所定のパターン幅に形成することが可
能となる。
In the method of manufacturing a printed circuit board according to the present invention, since the pattern of the etching resist is greatly thickened at the pattern corner portion, even if the side etching greatly advances with respect to the conductive layer at the pattern corner portion during etching, the conductive layer Can be formed with a predetermined pattern width.

【0016】また、エッチングレジストのパターンを大
きく太らせるのはそのコーナー部だけでよく、パターン
の他の部分についてはエッチングレジストの太らせる程
度を小さくするので、細密なパターンを形成することが
可能となる。
Further, the pattern of the etching resist is thickened only at the corners thereof, and the degree of thickening of the etching resist is reduced in other parts of the pattern, so that a fine pattern can be formed. Become.

【0017】[0017]

【実施例】以下、この発明を実施例に基づいて具体的に
説明する。
EXAMPLES The present invention will be specifically described below based on examples.

【0018】実施例1 パターン/ギャップルールが150μm/150μmの
プリント基板を製造するために、基板上の厚さ50μm
の銅箔に通常のエッチングレジストを、パターンの直線
部においては200μmパターン/100μmギャップ
でパターン形成し、コーナー部においては図1のように
丸ランドを最大50μm外側に突き出るようにパターン
形成した。
Example 1 In order to manufacture a printed circuit board having a pattern / gap rule of 150 μm / 150 μm, a thickness on the substrate of 50 μm
A normal etching resist was formed on the copper foil of No. 2 with a pattern of 200 μm pattern / 100 μm gap in the straight part of the pattern, and a circular land was formed in the corner part so as to protrude to the outside by 50 μm at the maximum as shown in FIG.

【0019】次いで、エッチング液として塩化第2鉄水
溶液を使用し、エッチングした。その結果、得られた導
電層のパターンはコーナー部以外で150μmパターン
/150μmギャップであり、コーナー部でも150μ
mパターンが確保されていた。
Then, etching was carried out using an aqueous ferric chloride solution as an etching solution. As a result, the pattern of the conductive layer obtained was 150 μm pattern / 150 μm gap except at the corners, and 150 μm at the corners.
m pattern was secured.

【0020】実施例2 エッチングレジストのパターンのコーナー部を、図2に
示したように外側に50μm幅広く形成した以外は実施
例1と同様にしてプリント基板を製造した。その結果、
得られた導電層のパターンはコーナー部以外で150μ
mパターン/150μmギャップであり、コーナー部で
も150μmパターンが確保されていた。
Example 2 A printed circuit board was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the corners of the etching resist pattern were formed wider by 50 μm on the outside as shown in FIG. as a result,
The pattern of the obtained conductive layer is 150μ except for the corners.
m pattern / 150 μm gap, and a 150 μm pattern was secured at the corners.

【0021】実施例3 エッチングレジストのパターンのコーナー部を、図3に
示したようにパターンの直線部を外側に100μm延長
して形成した以外は実施例1と同様にしてプリント基板
を製造した。その結果、得られた導電層のパターンはコ
ーナー部以外で150μmパターン/150μmギャッ
プであり、コーナー部では延長したパターンが30μm
程度残存していたが、導電層のパターン幅としては15
0μmパターンが確保されていた。
Example 3 A printed circuit board was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the corner portion of the pattern of the etching resist was formed by extending the linear portion of the pattern by 100 μm to the outside as shown in FIG. As a result, the pattern of the obtained conductive layer was 150 μm pattern / 150 μm gap except the corner portion, and the extended pattern was 30 μm at the corner portion.
Although it remained about 15 times, the pattern width of the conductive layer was 15
A 0 μm pattern was secured.

【0022】実施例4 エッチングレジストのパターンのコーナー部を、図4に
示したようにパターン3aの外側の曲率R1を100μ
mとし、内側の曲率R2を200μmとして形成した以
外は実施例1と同様にしてプリント基板を製造した。そ
の結果、得られた導電層のパターンはコーナー部以外で
150μmパターン/150μmギャップであり、コー
ナー部でも150μmパターンが確保されていた。
Example 4 As shown in FIG. 4, the corner portion of the pattern of the etching resist has a curvature R1 on the outer side of the pattern 3a of 100 μm.
A printed circuit board was manufactured in the same manner as in Example 1 except that the inner curvature R2 was 200 μm. As a result, the pattern of the obtained conductive layer was 150 μm pattern / 150 μm gap except the corner portion, and the 150 μm pattern was secured even in the corner portion.

【0023】[0023]

【発明の効果】この発明のプリント基板の製造方法によ
れば、プリント基板の導電層に細密なパターンを、通常
のエッチングレジストを使用して、安価に形成すること
が可能となる。
According to the method of manufacturing a printed circuit board of the present invention, it is possible to inexpensively form a fine pattern on the conductive layer of the printed circuit board by using an ordinary etching resist.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の方法によりエッチングレジストをパ
ターン形成した基板の平面図である。
FIG. 1 is a plan view of a substrate on which an etching resist is patterned according to the method of the present invention.

【図2】この発明の方法によりエッチングレジストをパ
ターン形成した基板の平面図である。
FIG. 2 is a plan view of a substrate on which an etching resist is patterned according to the method of the present invention.

【図3】この発明の方法によりエッチングレジストをパ
ターン形成した基板の平面図である。
FIG. 3 is a plan view of a substrate on which an etching resist is patterned according to the method of the present invention.

【図4】この発明の方法によりエッチングレジストをパ
ターン形成した基板の平面図である。
FIG. 4 is a plan view of a substrate on which an etching resist is patterned according to the method of the present invention.

【図5】導電層上にエッチングレジストをパターン形成
した基板の、エッチング前とエッチング後の断面図であ
る。
FIG. 5 is a cross-sectional view of a substrate in which an etching resist is patterned on a conductive layer before and after etching.

【図6】従来法により導電層上にエッチングレジストを
パターン形成した基板の、エッチング前の平面図とエッ
チング後の導電層のパターンの平面図である。
FIG. 6 is a plan view of a substrate on which an etching resist is patterned on a conductive layer by a conventional method before etching and a plan view of a pattern of a conductive layer after etching.

【符号の説明】 1 基材2 銅箔3 エッチングレジスト 3a、3b、3c エッチングレジストのパターン A、B、C エッチングレジストのコーナー部の太ら
せたパターン
[Explanation of Codes] 1 Base Material 2 Copper Foil 3 Etching Resist 3a, 3b, 3c Etching Resist Pattern A, B, C Thick Etching Resist Corner Pattern

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 浦島 基 東京都品川区北品川6丁目7番35号 ソニ ー株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Motoki Urashima 6-735 Kita-Shinagawa, Shinagawa-ku, Tokyo Sony Corporation

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 プリント基板の導電層を所定のパターン
に形成するために、導電層上にエッチングレジストのパ
ターンを、形成すべき導電層のパターンよりも太らせた
形状で設けてエッチングする工程を含むプリント基板の
製造方法において、エッチングレジストのパターンの太
らせる量をパターンコーナー部でコーナー部以外の部分
よりも大きくすることを特徴とするプリント基板の製造
方法。
1. A step of forming an etching resist pattern on the conductive layer in a shape thicker than the pattern of the conductive layer to be formed in order to form the conductive layer of the printed circuit board in a predetermined pattern. A method of manufacturing a printed circuit board, including: a method of manufacturing a printed circuit board, wherein an amount of thickening a pattern of an etching resist is larger at a pattern corner portion than at a portion other than the corner portion.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000261132A (en) * 1999-03-08 2000-09-22 Ibiden Co Ltd Electronic part mounting substrate
JP2009277863A (en) * 2008-05-14 2009-11-26 Toyota Industries Corp Method of manufacturing wiring substrate
JP2016021543A (en) * 2014-07-15 2016-02-04 ▲き▼邦科技股▲分▼有限公司 Circuit board

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