JPH051080U - Vacuum supply unit - Google Patents

Vacuum supply unit

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JPH051080U
JPH051080U JP048659U JP4865991U JPH051080U JP H051080 U JPH051080 U JP H051080U JP 048659 U JP048659 U JP 048659U JP 4865991 U JP4865991 U JP 4865991U JP H051080 U JPH051080 U JP H051080U
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茂和 永井
宏 松島
昭男 斉藤
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エスエムシー株式会社
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Abstract

(57)【要約】 【目的】吸着用パッド等の作業機器の圧力状態を把握す
るために、一層正確に圧力を測定する真空供給用ユニッ
トを提供することを目的とする。 【構成】真空ポート70から吸着用パッド等に負圧を供
給する真空供給用ユニット10において、吸着状態等を
把握するための真空スイッチ68に真空ポート70から
フィルタ本体81を介さずに直接連通する通路72が設
けてある。また、前記通路72にチェック弁79を備え
ることにより、負圧解除の際の圧縮空気による真空スイ
ッチ68の破壊を阻止する。
(57) [Abstract] [Purpose] It is an object of the present invention to provide a vacuum supply unit that more accurately measures the pressure in order to grasp the pressure state of a working device such as a suction pad. In a vacuum supply unit 10 for supplying a negative pressure to a suction pad or the like from a vacuum port 70, a vacuum switch 68 for grasping a suction state or the like is directly communicated from the vacuum port 70 without a filter body 81. A passage 72 is provided. Further, by providing the check valve 79 in the passage 72, it is possible to prevent the vacuum switch 68 from being broken by the compressed air when the negative pressure is released.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は、吸着用パッド等の作業機器に負圧を供給する真空供給用ユニットに 関し、一層詳細には、前記作業機器の圧力状態を正確に測定することを可能とす る真空供給用ユニットに関する。   The present invention is a vacuum supply unit that supplies negative pressure to work equipment such as suction pads. In more detail, it is possible to accurately measure the pressure state of the working equipment. Vacuum supply unit.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

従来より、吸着用パッドや真空パックの動力源として真空供給用ユニットが利 用されている。この種の真空供給用ユニットは、一般的に負圧を発生させるエゼ クタあるいは真空ポンプと、吸着用パッド等の作業機器に連通している真空ポー トと、前記エゼクタや真空ポートに圧縮空気を送給し、あるいは遮断する弁機構 部と、前記作業機器から吸入される空気の汚れを除去するフィルタ部と、前記作 業機器にかかる負圧を測定し作業機器を制御する検出部を備える。この場合、前 記検出部は真空ポートに対してフィルタ部の下流側に設けられるのが一般的であ る。   Conventionally, a vacuum supply unit has been used as a power source for suction pads and vacuum packs. Is used. A vacuum supply unit of this type generally has a function of generating negative pressure. Actuator or vacuum pump and a vacuum port that communicates with work equipment such as a suction pad. And a valve mechanism that sends or shuts off compressed air to the ejector or vacuum port. Section, a filter section for removing dirt of air sucked from the working equipment, and the operation section. A detection unit for measuring a negative pressure applied to the industrial equipment and controlling the working equipment is provided. In this case, before The detection unit is generally provided on the downstream side of the filter unit with respect to the vacuum port. It

【0003】 以上のように構成された従来技術に係る真空供給用ユニットの動作について説 明する。[0003]   The operation of the vacuum supply unit according to the related art configured as described above will be explained. Reveal

【0004】 作業機器から空気を吸引する場合、まず、圧縮空気を弁機構部を介してエゼク タに送給し、負圧を生じさせる。作業機器から吸引される空気は、真空ポートよ り真空供給用ユニットに吸入され、フィルタ部で吸入空気の塵芥、油等の汚れが 除去され、前記真空供給用ユニット内部の通路を通り、排出される。[0004]   When sucking air from the work equipment, first, compressed air is ejected through the valve mechanism. To generate negative pressure. The air drawn from the work equipment is Is sucked into the vacuum supply unit, and dirt such as dust and oil in the intake air is collected at the filter. It is removed and discharged through the passage inside the vacuum supply unit.

【0005】 その際、検出部において負圧を測定し、作業機器にかかる負圧を制御している が、前記検出部の測定機器は吸入空気の塵芥、油等の汚れにより前記測定機器の 性能低下および誤作動を生ずるおそれがある。そのため、真空ポートより真空供 給用ユニットに吸入された空気は、フィルタ部を通過して塵芥、油等の汚れを低 減された後、検出部において前記空気の負圧が測定されている。[0005]   At that time, the detection unit measures the negative pressure and controls the negative pressure applied to the work equipment. However, the measuring device of the detection unit may be damaged by dust in the intake air, oil, etc. There is a risk of performance degradation and malfunction. Therefore, vacuum supply from the vacuum port The air drawn into the supply unit passes through the filter section to reduce dirt such as dust and oil. After being reduced, the negative pressure of the air is measured at the detector.

【0006】[0006]

【考案が解決しようとする課題】[Problems to be solved by the device]

しかしながら、上記の従来の技術では、長期間にわたる使用により作業機器か らの吸入空気の塵芥、油等の汚れのため、フィルタ部に目詰まりを生じる。その ため、真空ポートに対しフィルタ部の上流側と下流側との間で圧力差を生じ、検 出部で測定される圧力の値と作業機器に実際に印加される圧力の値に差を生じる 。この結果、検出部からのフィードバック信号を得て正確に駆動しようとする作 業機器の制御が精緻に行われなくなり、吸着用パッドから被搬送物の落下、位置 ずれ等の問題が惹起する不都合がある。   However, in the above-mentioned conventional technique, the work equipment is The dust in the intake air, dirt from oil, etc. causes clogging in the filter section. That Therefore, a pressure difference is generated between the upstream side and the downstream side of the filter section with respect to the vacuum port, and There is a difference between the value of the pressure measured at the outlet and the value of the pressure actually applied to the work equipment. . As a result, it is necessary to obtain a feedback signal from the detection section and try to drive accurately. Since the control of industrial equipment is not performed precisely, the transported object falls from the suction pad, the position There is an inconvenience that causes problems such as misalignment.

【0007】 本考案は、この種の問題を解決するものであり、検出部が真空ポートに実際に 生じている負圧の値を正確に検出することが可能な真空供給用ユニットを提供す ることを目的とする。[0007]   The present invention solves this kind of problem, and the detector is actually installed in the vacuum port. Provide a vacuum supply unit that can accurately detect the value of the negative pressure that is occurring. The porpose is to do.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

上記の課題を解決するために、本考案は、負圧を供給する真空供給用ユニット であって、 作業機器に連通する真空ポートを有するボデイと、 前記ボデイ内にあって、負圧発生源と前記真空ポートを連通する通路中に設け られたフィルタ部と、 前記真空ポート内の圧力を測定するための検出部とを備え、 さらに、前記真空ポートと前記検出部を直接連通する通路を設けることを特徴 とする。   In order to solve the above problems, the present invention provides a vacuum supply unit for supplying a negative pressure. And   A body having a vacuum port communicating with the work equipment,   Provided in the body in a passage that connects the negative pressure source and the vacuum port. The filtered part,   A detection unit for measuring the pressure in the vacuum port,   Furthermore, a passage is provided to directly connect the vacuum port and the detection unit. And

【0009】[0009]

【作用】[Action]

上記の本考案に係る真空供給用ユニットでは、真空ポートと検出部を直接連通 する通路を設けることにより、フィルタ部を介さずに前記検出部で圧力を測定で きる。そのため、前記フィルタ部の目詰まり等による圧力差が測定に影響するの を阻止し、前記検出部を介して真空ポートに発生する負圧を正確に測定できる。   In the above vacuum supply unit according to the present invention, the vacuum port and the detection unit are directly connected. By providing a passage to operate, the pressure can be measured by the detection unit without passing through the filter unit. Wear. Therefore, the pressure difference due to clogging of the filter part affects the measurement. It is possible to accurately measure the negative pressure generated in the vacuum port via the detection unit.

【0010】[0010]

【実施例】【Example】

本考案に係る真空供給用ユニットについて好適な実施例を挙げ、添付の図面を 参照しながら以下詳細に説明する。   A preferred embodiment of the vacuum supply unit according to the present invention will be given with reference to the accompanying drawings. A detailed description will be given below with reference to FIG.

【0011】 図1および図2において、参照符号10は、第1の実施例に係る真空供給用ユ ニットを示す。[0011]   1 and 2, reference numeral 10 is a vacuum supply unit according to the first embodiment. Indicates a knit.

【0012】 真空供給用ユニット10は、基本的に電磁弁部12、弁機構部14、マニホー ルド16、エゼクタ18、フィルタ部20、検出部22、真空ポート部24から 構成される。[0012]   The vacuum supply unit 10 basically includes a solenoid valve unit 12, a valve mechanism unit 14, and a manifold. Field 16, ejector 18, filter section 20, detection section 22, vacuum port section 24 Composed.

【0013】 矩形体からなる弁機構部14では、その上部に電磁弁部12がねじによって装 着され、前記弁機構部14の一側面部にはマニホールド16の一側面部が当接す るように配設されている。前記弁機構部14の他側面部には、下部より空気供給 ポート26、パイロット弁供給ポート28、真空破壊ポート30、パイロット弁 排気ポート32が形成されている。前記パイロット弁供給ポート28と真空破壊 ポート30の近傍には螺孔が形成され、この螺孔に実質的に流量調節弁を構成す る弁体34を螺合する。前記弁機構部14の内部には、軸方向が図面と直交する 方向に延在する2ポート2位置型の空気供給弁36、真空破壊弁38を配設し、 前記弁36、38、ポート26乃至32、電磁弁40、42、44、およびマニ ホールド16を結ぶ通路が画成されている。[0013]   The solenoid valve unit 12 is attached to the upper portion of the rectangular valve mechanism unit 14 by screws. Is attached, and one side surface portion of the manifold 16 abuts on one side surface portion of the valve mechanism portion 14. It is arranged so that. Air is supplied to the other side surface portion of the valve mechanism portion 14 from below. Port 26, pilot valve supply port 28, vacuum break port 30, pilot valve The exhaust port 32 is formed. Vacuum break with the pilot valve supply port 28 A screw hole is formed in the vicinity of the port 30, and the screw hole substantially constitutes a flow control valve. The valve body 34 is screwed. Inside the valve mechanism 14, the axial direction is orthogonal to the drawing. A two-port two-position type air supply valve 36 and a vacuum break valve 38 extending in the direction, The valves 36, 38, ports 26-32, solenoid valves 40, 42, 44, and manifolds. A passage connecting the holds 16 is defined.

【0014】 また、パイロット弁供給ポート28と後述するマニホールド16のパイロット 弁供給通路48から空気供給弁36および真空破壊弁38に連通するためにチェ ック弁45a、45b、47a、47bが設けられている(図5参照)。前記チ ェック弁45a、45b、47a、47bは、コンプレッサ、配管等の事故によ り圧縮空気が供給されなくなった場合に、供給圧力を保持して、パイロット弁と して機能する電磁弁部12の誤作動を防止する。すなわち、ワークの落下等を阻 止し、安全性を増大させる。[0014]   In addition, the pilot valve supply port 28 and the pilot of the manifold 16 described later In order to connect the air supply valve 36 and the vacuum break valve 38 from the valve supply passage 48, Check valves 45a, 45b, 47a, 47b are provided (see FIG. 5). Said The check valves 45a, 45b, 47a, 47b may be damaged by accidents such as compressors and piping. If compressed air is no longer supplied, the supply pressure is maintained and the pilot valve and The malfunction of the solenoid valve section 12 that functions as a result is prevented. In other words, it prevents the workpiece from falling. Stop and increase safety.

【0015】 さらに、空気供給弁36から後述するマニホールド16の通路54に連通する 弁機構部14の内部にチェック弁49を設けている。このチェック弁49は、エ ゼクタ18が作動していない時に、排気がマニホールド16のパイロット弁排気 通路52からエゼクタ18を介して空気供給弁36へ逆流しないようにする(図 5参照)。[0015]   Further, the air supply valve 36 communicates with a passage 54 of the manifold 16 described later. A check valve 49 is provided inside the valve mechanism unit 14. This check valve 49 When the zector 18 is not operating, the exhaust gas is the pilot valve exhaust gas of the manifold 16. Prevent backflow from the passage 52 through the ejector 18 to the air supply valve 36 (Fig. 5).

【0016】 前記弁機構部14の上部に設置される電磁弁部12は、前記弁機構部14を構 成する空気供給弁36、および真空破壊弁38のON/OFF動作を行う5ポー ト2位置型の第1電磁弁40、第2電磁弁42、第3電磁弁44を有する(図2 参照)。[0016]   The electromagnetic valve unit 12 installed on the valve mechanism unit 14 constitutes the valve mechanism unit 14. 5 port for ON / OFF operation of the air supply valve 36 and the vacuum break valve 38 A two-position type first solenoid valve 40, a second solenoid valve 42, and a third solenoid valve 44 (see FIG. 2). reference).

【0017】 矩形体からなるマニホールド16は、一側面を弁機構部14に当接し、他側面 をエゼクタ18に当接している。前記マニホールド16の内部には、下部から図 面と直交する方向に空気供給通路46、パイロット弁供給通路48、真空破壊通 路50、パイロット弁排気通路52が形成され、一方、図面の紙面の延在方向に 沿って空気供給弁36とエゼクタ18を連通する通路54、真空破壊弁38と後 述する真空ポート70を連通する通路56を有する。[0017]   The manifold 16 formed of a rectangular body has one side surface in contact with the valve mechanism portion 14 and the other side surface. Is in contact with the ejector 18. The inside of the manifold 16 is shown from below. Air supply passage 46, pilot valve supply passage 48, vacuum break passage A passage 50 and a pilot valve exhaust passage 52 are formed, and on the other hand, in the direction of extension of the drawing sheet. Along with the passage 54, which connects the air supply valve 36 and the ejector 18, and the vacuum break valve 38 and the rear. It has a passage 56 communicating with the vacuum port 70 described above.

【0018】 前記マニホールド16の側面部には、前記エゼクタ18の一側面部が当接する 。前記エゼクタ18は矩形体からなり、その内部に所定の口径のノズル部58と このノズル部58に連接されるディフューザ部60を有し、前記ディフューザ部 60は真空発生部61に連通している。[0018]   One side surface portion of the ejector 18 contacts the side surface portion of the manifold 16. . The ejector 18 is formed of a rectangular body and has a nozzle portion 58 having a predetermined diameter inside thereof. The diffuser section 60 is connected to the nozzle section 58, and the diffuser section is provided. 60 communicates with the vacuum generating section 61.

【0019】 前記エゼクタ18の外部壁面にはマニホールド16のパイロット弁排気通路5 2に連通する開口部62を形成し、一方、前記ディフューザ部60は、一方側が 開口した箱型形状であり、この開口部は等間隔に形成された複数のスリット63 を有する蓋部材64で閉塞され、前記開口部62と蓋部材64の間にはサイレン サ66とチェック弁67が装着されている。[0019]   The outer wall surface of the ejector 18 has a pilot valve exhaust passage 5 of the manifold 16. 2 has an opening 62 communicating therewith, while the diffuser portion 60 has one side It has an open box shape, and this opening has a plurality of slits 63 formed at equal intervals. Is closed by a lid member 64 having an opening, and a siren is provided between the opening 62 and the lid member 64. A support 66 and a check valve 67 are attached.

【0020】 前記エゼクタ18の他側面部には、検出部22および真空ポート部24が装着 されている。前記検出部22は箱型形状を呈し、その内部に真空スイッチ68が 設けられている。この真空スイッチ68は、好ましくは抵抗型あるいは容量型半 導体圧力センサで構成され、真空発生部61で発生する負圧を後述する真空ポー ト70に連通する通路72を介して検出し、作業機器を制御するための信号を発 する。また、検出部22の内部にある基板、例えば、フレキシブル基板には、マ イクロコンピュータ、もしくはワンチップマイコンを用い、電子式圧力センサの 出力信号を得て、圧力設定、圧力調整、警報の発生並びに停止、ON/OFF動 作、ヒシテリシス除去、モード切換、真空供給用ユニットの内部状態モニタの故 障予知機能等を備え、真空供給用ユニット全体の作動状況を含めて制御すること が可能である。さらに、ファジイ理論を用いて吸着状態の予測制御も可能である 。予め自動的にプログラムに従ってプレ動作させON/OFF設定を自動設定し 、また作動後は基圧変動を他のセンサで検知してフィードバックし自動的に設定 値を最適な値へ移動させてもよい。例えば基圧を検知信号の50%設定とする。 また、上記機能を表示する図示しない液晶(カラーLCD)、発光ダイオード( LED)等のデジタル表示装置を有することもできる。一方、前記検出部22と 真空ポート部24との境界面には、フッソ樹脂メンブラン等で構成される疏水性 エレメントとしてのフィルタ74が装着されている。[0020]   A detector 22 and a vacuum port 24 are attached to the other side surface of the ejector 18. Has been done. The detection unit 22 has a box shape, and a vacuum switch 68 is provided inside the detection unit 22. It is provided. This vacuum switch 68 is preferably a resistive or capacitive half A negative pressure generated by the vacuum generation unit 61, which is composed of a conductor pressure sensor, is applied to a vacuum port described later. Signal is output via a passage 72 communicating with the vehicle 70, and a signal for controlling the work equipment is issued. To do. In addition, the substrate inside the detection unit 22, for example, a flexible substrate, may be Using an electronic computer or a one-chip microcomputer, Obtaining output signals, pressure setting, pressure adjustment, alarm generation and stop, ON / OFF operation Operation, hysteresis removal, mode switching, and internal status monitoring of the vacuum supply unit. Equipped with a failure prediction function and control including the operating status of the entire vacuum supply unit Is possible. Furthermore, it is possible to predict the adsorption state using fuzzy theory. . Automatically set the ON / OFF setting automatically in advance according to the program. After operation, the base pressure fluctuation is detected by another sensor and fed back to set automatically. The value may be moved to the optimum value. For example, the base pressure is set to 50% of the detection signal. In addition, a liquid crystal (color LCD) (not shown), a light emitting diode ( It is also possible to have a digital display such as an LED). On the other hand, the detection unit 22 and The interface with the vacuum port section 24 has a hydrophobic property made of a fluorine resin membrane or the like. A filter 74 as an element is attached.

【0021】 真空ポート部24は、矩形体形状で、エゼクタ18側の一側面部から可撓性部 材で形成されたチェック弁76、フィルタ部20へ連通する通路78と他側面部 に設けられた真空ポート70とを有し、前記真空ポート70から検出部22へ指 向する通路72を形成している。前記通路72の検出部22との境界面に可撓性 部材からなるチェック弁79を装着している。該チェック弁79には、微小な孔 部80が設けられている。[0021]   The vacuum port portion 24 has a rectangular shape, and is formed from one side surface portion on the ejector 18 side to the flexible portion. Check valve 76 formed of a material, a passage 78 communicating with the filter portion 20, and another side surface portion And a vacuum port 70 provided on the detection unit 22. It forms a passage 72 facing. Flexibility at the interface between the passage 72 and the detection unit 22 A check valve 79 made of a member is attached. The check valve 79 has a minute hole. A section 80 is provided.

【0022】 フィルタ部20は、検出部22に隣接して、この検出部22と真空ポート部2 4に対して固定される。フィルタ部20の内部には、吸油エレメント、吸水エレ メント、疏水性エレメント等で構成されるフィルタ本体81が配設されるととも に、このフィルタ部20は先端部にねじ溝を形成したスタッド82を有する摘み 84で真空ポート部24に固着されている。したがって、前記摘み84を螺回す ることにより前記フィルタ本体81を交換することが可能である。[0022]   The filter unit 20 is adjacent to the detection unit 22 and is connected to the detection unit 22 and the vacuum port unit 2. Fixed to 4. Inside the filter section 20, the oil absorbing element and the water absorbing element are provided. And a filter body 81 including a water repellent element and a hydrophobic element is provided. In addition, the filter portion 20 has a stud 82 having a thread groove at the tip thereof. It is fixed to the vacuum port portion 24 at 84. Therefore, the knob 84 is screwed By doing so, the filter body 81 can be replaced.

【0023】 また、チェック弁67、76に代えて、空気供給弁36のような方向制御弁を 使用し、パイロット弁である第1乃至第3電磁弁40、42、44に連動させて 同様の機能を持たせてもよい。[0023]   Further, in place of the check valves 67 and 76, a directional control valve such as the air supply valve 36 is used. Used and interlocked with the first to third solenoid valves 40, 42, 44 which are pilot valves You may give the same function.

【0024】 次に、上記のように構成される真空供給用ユニットの動作について、図1、図 3乃至図5を参照して説明する。但し、この動作の説明は、マニホールド16を 用いて真空供給用ユニット10を複数個連設し、弁機構部14のポートをねじに よって閉塞した場合について行う。したがって、圧縮空気の供給、パイロット弁 を駆動するための供給圧力、真空破壊用圧力、パイロット弁、およびエゼクタ1 8からの排気については、この動作説明ではマニホールド16を介してのみ行う 。[0024]   Next, the operation of the vacuum supply unit configured as described above will be described with reference to FIGS. This will be described with reference to FIGS. However, for the explanation of this operation, Use the vacuum supply units 10 in series to connect the ports of the valve mechanism 14 to the screws. Therefore, it will be performed when it is blocked. Therefore, compressed air supply, pilot valve Pressure for driving the motor, vacuum breaking pressure, pilot valve, and ejector 1 The exhaust from 8 is performed only through the manifold 16 in this operation description. .

【0025】 そこで、真空ポート70に連通している作業機器、例えば、吸着用パッドに負 圧をかける場合について説明する。[0025]   Therefore, the work device communicating with the vacuum port 70, for example, the suction pad The case of applying pressure will be described.

【0026】 最初に、図示しないコンプレッサ等の圧縮空気供給源が付勢され、圧縮空気は マニホールド16のパイロット弁供給通路48を通り、第1電磁弁40が付勢さ れることにより、前記圧縮空気が空気供給弁36を開成する。そのため、マニホ ールド16の空気供給通路46とエゼクタ18が連通して前記エゼクタ18に圧 縮空気が供給される。こうしてエゼクタ18で負圧が発生し、吸着用パッドの空 気を吸引する。この負圧により、可撓性部材で形成されたチェック弁76が開く 。すなわち、前記負圧によって、真空ポート70側の空気は、塵芥を除去するフ ィルタ部20、通路78、真空発生部61を介して、ディフューザ部60に吸引 される。[0026]   First, a compressed air supply source such as a compressor (not shown) is energized to The first solenoid valve 40 is energized through the pilot valve supply passage 48 of the manifold 16. As a result, the compressed air opens the air supply valve 36. Therefore, Maniho The air supply passage 46 of the shield 16 and the ejector 18 communicate with each other so that the ejector 18 is pressurized. Compressed air is supplied. In this way, negative pressure is generated in the ejector 18 and the suction pad is emptied. Inhale the air. This negative pressure opens the check valve 76 formed of a flexible member. . That is, due to the negative pressure, the air on the vacuum port 70 side removes dust. Suction to the diffuser unit 60 via the filter unit 20, the passage 78, and the vacuum generation unit 61. To be done.

【0027】 その際、真空ポート70から検出部22に連通している通路72では負圧によ りチェック弁79が開き(図4参照)、検出部22の真空スイッチ68は真空ポ ート70における負圧を測定し、その出力信号で作業機器を制御する。[0027]   At that time, negative pressure is applied to the passage 72 communicating from the vacuum port 70 to the detector 22. Check valve 79 opens (see FIG. 4), and the vacuum switch 68 of the detection unit 22 is turned on. The negative pressure at the port 70 is measured, and the output signal controls the working equipment.

【0028】 一方、ディフューザ部60に真空ポート70より吸引された空気、およびノズ ル部58より噴出された圧縮空気は、前記ディフューザ部60から蓋部材64の スリット63を経た後、活性炭を有するフィルタで構成されるサイレンサエレメ ント66で臭いを除き、開口部62を経てマニホールド16のパイロット弁排気 通路52より排出される。[0028]   On the other hand, the air sucked from the vacuum port 70 to the diffuser section 60 and the nose The compressed air ejected from the nozzle portion 58 flows from the diffuser portion 60 to the cover member 64. A silencer element consisting of a filter having activated carbon after passing through the slit 63. The odor is removed with the inlet 66, and the pilot valve exhaust of the manifold 16 is performed through the opening 62. It is discharged from the passage 52.

【0029】 なお、作業機器にかかる負圧を解除する場合、第2電磁弁42が付勢され空気 供給弁36を閉塞し、通路54およびエゼクタ18に圧縮空気が流入していない 状態で、最初に図示しないコンプレッサ等の圧縮空気供給源が付勢され、圧縮空 気はマニホールド16のパイロット弁供給通路48を通る。第3電磁弁44が付 勢されることにより、真空破壊弁38を開成する。そのため、マニホールド16 の真空破壊通路50は通路56を介して真空ポート70と直接連通し、作業機器 の負圧を解除する。[0029]   When the negative pressure applied to the work equipment is released, the second solenoid valve 42 is energized and the air pressure is reduced. The supply valve 36 is closed, and compressed air does not flow into the passage 54 and the ejector 18. In this state, the compressed air supply source such as a compressor (not shown) is first energized to Air passes through the pilot valve supply passage 48 of the manifold 16. With third solenoid valve 44 The vacuum break valve 38 is opened by being energized. Therefore, the manifold 16 The vacuum breaking passage 50 directly communicates with the vacuum port 70 through the passage 56, and Release the negative pressure of.

【0030】 その際、真空ポート70から検出部22に連通している通路72では、空気圧 によりチェック弁79が閉じ(図3参照)、空気が検出部22に侵入して前記空 気圧により真空スイッチ68を破壊するのを阻止する。また、同時にチェック弁 79の孔部80を介して空気が僅かながら流入し、真空スイッチ側の負圧状態を 解除する。したがって、真空スイッチ68が作業機器の負圧状態が解除された後 も信号を出し続けるのを阻止する。[0030]   At that time, in the passage 72 communicating from the vacuum port 70 to the detection unit 22, the air pressure is reduced. The check valve 79 is closed by this (see FIG. 3), and air enters the detection unit 22 and the Prevents the vacuum switch 68 from being destroyed by atmospheric pressure. At the same time, check valve Air slightly flows in through the hole 80 of 79, and the negative pressure state on the vacuum switch side is maintained. To release. Therefore, after the vacuum switch 68 releases the negative pressure state of the work equipment, Also keeps signaling.

【0031】 真空供給用ユニット10は、以上のような一連の動作を繰り返すが、本考案の ように圧力測定を行うと、フィルタ部20の吸入空気の汚れによる目詰まりの影 響もない。また、検出部22にも疏水性エレメントとしてのフィルタ74が備え られているが、通路72には空気の流れをほとんど生じないため、前記フィルタ 74の目詰まりは微小である。すなわち、作業機器に印加されている圧力を検出 部22は正確に測定することができる。[0031]   The vacuum supply unit 10 repeats a series of operations as described above. When the pressure is measured as shown in FIG. There is no sound. Further, the detection unit 22 is also provided with a filter 74 as a hydrophobic element. However, since there is almost no air flow in the passage 72, The clogging of 74 is minute. That is, the pressure applied to the work equipment is detected. The part 22 can be accurately measured.

【0032】 次に第2の実施例を図6を参照して説明する。この場合、第1実施例と同一の 構成要素には、同一の参照符号を付し、その詳細な説明を省略する。[0032]   Next, a second embodiment will be described with reference to FIG. In this case, the same as in the first embodiment The same reference numerals are given to the constituent elements, and detailed description thereof will be omitted.

【0033】 本実施例は、通路72の一部に円錐形状に通路断面が小さくなる縮小部位90 を設け、該縮小部位90にばね92の弾性力によって当接する球体94を有する こと、および前記縮小部位90の上流側と下流側を直接連通する直径の小さな通 路96を備えていることが第1実施例と異なる。[0033]   In the present embodiment, a reduced portion 90 in which a passage cross section is reduced in a conical shape in a part of the passage 72. And a sphere 94 that abuts on the reduced portion 90 by the elastic force of the spring 92. And a small diameter passage that directly connects the upstream side and the downstream side of the reduced portion 90. The difference from the first embodiment is that the passage 96 is provided.

【0034】 流体回路は、第1実施例と同様のため、図5を参照して説明する。エゼクタ1 8において負圧が発生し、真空ポート70から作業機器に負圧が供給される際に は、前記負圧により球体94がばね92を圧縮して通路72を検出部22と連通 させる。したがって、検出部22は負圧を測定し、その出力信号で作業機器を制 御する。[0034]   Since the fluid circuit is similar to that of the first embodiment, it will be described with reference to FIG. Ejector 1 When a negative pressure is generated in 8, and a negative pressure is supplied to the working equipment from the vacuum port 70, The negative pressure causes the spherical body 94 to compress the spring 92 so that the passage 72 communicates with the detection unit 22. Let Therefore, the detection unit 22 measures the negative pressure and controls the working equipment with the output signal. Control.

【0035】 作業機器の負圧状態を解除する際には、ばね92の弾性力により球体94が前 記縮小部位90に当接して、通路72は遮断されている。したがって、真空ポー ト70に達した圧縮空気は、検出部22に達することはなく、真空スイッチ68 が破壊されるのを阻止する。また、同時に通路96を介して空気が僅かながら流 入し、真空スイッチ側の負圧状態を解除する。また、弁体である球体94または 弁座である縮小部位90の表面微小溝を小径通路の代わりにすることにより同様 の効果が得られる。したがって、真空スイッチ68が作業機器の負圧状態の解除 された後も信号を出し続けるのを阻止する。[0035]   When releasing the negative pressure state of the work equipment, the sphere 94 moves forward due to the elastic force of the spring 92. The passage 72 is blocked by coming into contact with the reduced portion 90. Therefore, the vacuum port The compressed air that has reached the port 70 does not reach the detection unit 22, and the vacuum switch 68 Prevent being destroyed. At the same time, a small amount of air flows through the passage 96. Turn on to release the negative pressure condition on the vacuum switch side. In addition, the sphere 94 which is the valve body or The same applies by substituting small grooves for the surface micro-grooves of the contracted portion 90 that is the valve seat. The effect of is obtained. Therefore, the vacuum switch 68 releases the negative pressure state of the work equipment. It prevents you from continuing to give a signal even after being told.

【0036】 本実施例も第1実施例と同様の効果を有する。[0036]   This embodiment also has the same effect as the first embodiment.

【0037】 以上、エゼクタ仕様の真空供給用ユニットについて説明してきたが、真空ポン プ仕様の真空供給用ユニットにおいても、エゼクタに代えて真空ポンプを用いる ことにより本考案の構成を採用することが可能である。[0037]   The vacuum supply unit with ejector specifications has been described above. Use vacuum pump instead of ejector in vacuum supply unit Therefore, the configuration of the present invention can be adopted.

【0038】[0038]

【考案の効果】[Effect of device]

以上のように構成される本考案に係る真空供給用ユニットでは、次のような効 果乃至利点を有する。   The vacuum supply unit according to the present invention configured as described above has the following effects. It has advantages and benefits.

【0039】 すなわち、検出部と真空ポートを直接連通させる通路を設けることにより、フ ィルタ部を介さずに前記検出部で圧力を測定できる。そのため、前記フィルタ部 の目詰まりによる圧力差が測定に影響するのを阻止される。また、前記通路にフ ィルタ部を装着することは任意であるが、たとえ装着しても、この検出部に対す る空気の流れは微小なため、該検出部のフィルタ部は目詰まりをほとんど生じず 、前記検出部は作業機器に印加する圧力を正確に測定できる。よって、圧力の制 御を一層正確に行うことが可能となる効果を奏する。[0039]   That is, by providing a passage that directly connects the detection unit and the vacuum port, The pressure can be measured by the detection unit without using the filter unit. Therefore, the filter unit The pressure difference due to the clogging of the is prevented from affecting the measurement. Also, make sure that It is optional to attach the filter, but even if it is attached The flow of air is very small, so the filter part of the detection part hardly clogs. The detection unit can accurately measure the pressure applied to the work equipment. Therefore, pressure control This has the effect of enabling more accurate control.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案に係る真空供給用ユニットの第1実施例
の縦断面図である。
FIG. 1 is a vertical cross-sectional view of a first embodiment of a vacuum supply unit according to the present invention.

【図2】前記真空供給用ユニットの斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of the vacuum supply unit.

【図3】前記真空供給用ユニットのチェック弁の第1実
施例の開成状態を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing an open state of the first embodiment of the check valve of the vacuum supply unit.

【図4】前記チェック弁の閉成状態を示す説明図であ
る。
FIG. 4 is an explanatory view showing a closed state of the check valve.

【図5】本考案に係る真空供給用ユニットの流体用通路
を説明するための空気回路図である。
FIG. 5 is an air circuit diagram for explaining a fluid passage of the vacuum supply unit according to the present invention.

【図6】本考案に係る真空供給用ユニットの第2実施例
の要部概略説明図である。
FIG. 6 is a schematic view of the essential portions of a second embodiment of the vacuum supply unit according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10…真空供給用ユニット 12…電磁弁部 14…弁機構部 16…マニホールド 18…エゼクタ 20…フィルタ部 22…検出部 24…真空ポート部 45a、45b、47a、47b、49、67、76、
79…チェック弁 54、56、72、78…通路
10 ... Vacuum supply unit 12 ... Electromagnetic valve section 14 ... Valve mechanism section 16 ... Manifold 18 ... Ejector 20 ... Filter section 22 ... Detection section 24 ... Vacuum port sections 45a, 45b, 47a, 47b, 49, 67, 76,
79 ... Check valves 54, 56, 72, 78 ... Passage

Claims (6)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】負圧を供給する真空供給用ユニットであっ
て、作業機器に連通する真空ポートを有するボデイと、
前記ボデイ内にあって、負圧発生源と前記真空ポートを
連通する通路中に設けられたフィルタ部と、前記真空ポ
ート内の圧力を測定するための検出部とを備え、さら
に、前記真空ポートと前記検出部を直接連通する通路を
設けることを特徴とする真空供給用ユニット。
1. A vacuum supply unit for supplying a negative pressure, the body having a vacuum port communicating with working equipment,
A filter unit provided in a passage that communicates the negative pressure generation source with the vacuum port in the body; and a detection unit for measuring the pressure in the vacuum port. A vacuum supply unit, characterized in that a passage is provided which directly communicates with the detector.
【請求項2】請求項1記載の真空供給用ユニットにおい
て、前記真空ポートと前記検出部を直接連通する通路上
にチェック弁を設けることを特徴とする真空供給用ユニ
ット。
2. The vacuum supply unit according to claim 1, wherein a check valve is provided on a passage that directly connects the vacuum port and the detection unit.
【請求項3】請求項2記載の真空供給用ユニットにおい
て、前記チェック弁は、その本体中に上流側と下流側を
連通する複数の微小な孔部を有することを特徴とする真
空供給用ユニット。
3. The vacuum supply unit according to claim 2, wherein the check valve has a plurality of minute holes in the main body that communicate the upstream side and the downstream side. .
【請求項4】請求項1記載の真空供給用ユニットにおい
て、前記真空ポートと前記検出部を直接連通する通路上
にフィルタ部に指向して断面半径が小さくなるように円
錐形状の縮小部位を設け、前記円錐形状の縮小部位の壁
面に球体を弾性部材によって当接させることを特徴とす
る真空供給用ユニット。
4. The vacuum supply unit according to claim 1, wherein a conical reduced portion is provided on a passage that directly connects the vacuum port and the detection portion so as to be directed toward the filter portion and have a smaller cross-sectional radius. A vacuum supply unit characterized in that a spherical body is brought into contact with a wall surface of the conical reduced portion by an elastic member.
【請求項5】請求項4記載の真空供給用ユニットにおい
て、前記円錐形状の縮小部位の上流側と下流側を連通す
る小径な通路を設けることを特徴とする真空供給用ユニ
ット。
5. The vacuum supply unit according to claim 4, wherein a small-diameter passage is provided to connect the upstream side and the downstream side of the conical reduced portion.
【請求項6】請求項4記載の真空供給用ユニットにおい
て、前記円錐形状の縮小部位の壁面または球体の表面微
小溝を形成することを特徴とする真空供給用ユニット。
6. The vacuum supply unit according to claim 4, wherein a minute wall surface of the conical reduced portion or a surface microgroove of a sphere is formed.
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