JPH05103332A - レジストレーシヨンずれ検出装置 - Google Patents
レジストレーシヨンずれ検出装置Info
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- JPH05103332A JPH05103332A JP3283702A JP28370291A JPH05103332A JP H05103332 A JPH05103332 A JP H05103332A JP 3283702 A JP3283702 A JP 3283702A JP 28370291 A JP28370291 A JP 28370291A JP H05103332 A JPH05103332 A JP H05103332A
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- 238000005314 correlation function Methods 0.000 description 7
- 230000006870 function Effects 0.000 description 6
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Landscapes
- Color Television Image Signal Generators (AREA)
- Testing, Inspecting, Measuring Of Stereoscopic Televisions And Televisions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は,より正確な採用基準を設け,検出
した信頼度の高いレジストレーションずれ量の検出結果
を,より多く採用することを目的とする。 【構成】 R信号もしくはB信号とG信号との相互相関
を計算し,その結果からレジストレーションずれ量を検
出する。そしてこのレジストレーションずれ検出誤りを
未然に防止する手段として,最大相関を与えるずれ量と
第2位以下の相関値を与えるずれ量との相関値の大きさ
の差を調べ評価する手段を設け,検出したレジストレー
ションずれ量の検出結果を採用するか否かを判定するよ
うにしたものである。
した信頼度の高いレジストレーションずれ量の検出結果
を,より多く採用することを目的とする。 【構成】 R信号もしくはB信号とG信号との相互相関
を計算し,その結果からレジストレーションずれ量を検
出する。そしてこのレジストレーションずれ検出誤りを
未然に防止する手段として,最大相関を与えるずれ量と
第2位以下の相関値を与えるずれ量との相関値の大きさ
の差を調べ評価する手段を設け,検出したレジストレー
ションずれ量の検出結果を採用するか否かを判定するよ
うにしたものである。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、複数の撮像管、撮像素
子を用いたカラーテレビジョンカメラ装置のレジストレ
ーションずれ量の検出装置に関するものである。特に通
常の被写体から得られる映像信号からレジストレーショ
ンずれを検出する装置に関するものである。
子を用いたカラーテレビジョンカメラ装置のレジストレ
ーションずれ量の検出装置に関するものである。特に通
常の被写体から得られる映像信号からレジストレーショ
ンずれを検出する装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】撮像した被写体信号から常時レジストレ
ーション状態を監視し、ずれが生じた場合に逐次補正す
る方法として、特開昭62−285590号公報に記載
された技術がある。この公知例では、テレビ画像信号の
R信号もしくはB信号とG信号との画素相関を、一方の
信号をごくわずかずつシフトさせながらとり、これら信
号間の相互相関関数を計算し、この相互相関の最大値を
与えるシフト量をレジストレーションずれとして検出し
ている。また、特願平2−61052号の出願明細書に
記載された方法がある。これは、図7に示すようなテレ
ビ画面内に、あらかじめ決められた複数の基準点を設
け、ここから縦・横所定画素数で、R信号,G信号,B
信号の画素データをブロック状に切り出す。次に、この
データから、R信号もしくはB信号とG信号との画素ご
との差分信号の絶対値をとり、ブロック内で積算するこ
とにより、これら信号間の疑似相互相関関数としての値
を求め、この擬似相互相関関数からレジストレーション
ずれ量を求める方法である。
ーション状態を監視し、ずれが生じた場合に逐次補正す
る方法として、特開昭62−285590号公報に記載
された技術がある。この公知例では、テレビ画像信号の
R信号もしくはB信号とG信号との画素相関を、一方の
信号をごくわずかずつシフトさせながらとり、これら信
号間の相互相関関数を計算し、この相互相関の最大値を
与えるシフト量をレジストレーションずれとして検出し
ている。また、特願平2−61052号の出願明細書に
記載された方法がある。これは、図7に示すようなテレ
ビ画面内に、あらかじめ決められた複数の基準点を設
け、ここから縦・横所定画素数で、R信号,G信号,B
信号の画素データをブロック状に切り出す。次に、この
データから、R信号もしくはB信号とG信号との画素ご
との差分信号の絶対値をとり、ブロック内で積算するこ
とにより、これら信号間の疑似相互相関関数としての値
を求め、この擬似相互相関関数からレジストレーション
ずれ量を求める方法である。
【0003】この構成を図6に示し説明する。乗算を用
いないで相互相関関数を計算する手段と、計算した相互
相関関数から求めたレジストレーションずれの検出結果
の信頼性を調べる複数の評価手段とを用いる。さらに詳
述するならば、相互相関を計算するために、同一画素を
構成する複数の画像成分信号間の差分の絶対値を隣接す
る複数の画素について積算する手段(差分絶対値積算回
路37)を用い、レジストレーションずれの検出誤りを
未然に防止する手段として、画像成分信号から色彩信号
の程度を判別し色彩部分の検出結果を不採用とする評価
手段(色彩信号判定回路44)、画像成分信号の特定周
波数領域の信号の統計的分散値を求める評価手段(分散
値評価回路38,39)、相互相関類似の評価関数から
求めた2つの画像成分信号のずれ量を、複数に分割した
画面の領域毎に平均し、この平均ずれ量から個々のずれ
量との差を評価する評価手段(最小値検出回路40,領
域内平均値処理回路41)、最大相関を与えるずれ量と
第2位以下の相関値を与えるずれ量の関係を調べる評価
手段(判定回路42)の少なくとも1つを設け、相互相
関関数から求めたレジストレーションずれの検出結果を
採用するか否かを判定する。
いないで相互相関関数を計算する手段と、計算した相互
相関関数から求めたレジストレーションずれの検出結果
の信頼性を調べる複数の評価手段とを用いる。さらに詳
述するならば、相互相関を計算するために、同一画素を
構成する複数の画像成分信号間の差分の絶対値を隣接す
る複数の画素について積算する手段(差分絶対値積算回
路37)を用い、レジストレーションずれの検出誤りを
未然に防止する手段として、画像成分信号から色彩信号
の程度を判別し色彩部分の検出結果を不採用とする評価
手段(色彩信号判定回路44)、画像成分信号の特定周
波数領域の信号の統計的分散値を求める評価手段(分散
値評価回路38,39)、相互相関類似の評価関数から
求めた2つの画像成分信号のずれ量を、複数に分割した
画面の領域毎に平均し、この平均ずれ量から個々のずれ
量との差を評価する評価手段(最小値検出回路40,領
域内平均値処理回路41)、最大相関を与えるずれ量と
第2位以下の相関値を与えるずれ量の関係を調べる評価
手段(判定回路42)の少なくとも1つを設け、相互相
関関数から求めたレジストレーションずれの検出結果を
採用するか否かを判定する。
【0004】すなわち上記相互相関を検出する手段は、
同一画素を構成する複数の画像成分信号間の差分絶対値
を積算する手段を用いるので、2種類の画像信号の一方
を他方に対しわずかにシフトしながら読み出し、その各
々のシフト量で定まる位置に所定のサイズを持った領域
を設け、上記領域で差分信号を積算し、この積算値が最
小となるシフト量をレジストレーションずれ量とするこ
とができ複雑な乗算回路を必要としない。又レジストレ
ーションずれ検出結果の採用/不採用を判定する信頼性
判定回路は、検出結果に誤りが含まれる可能性がある場
合は検出結果を不採用とし、検出誤りを未然に防止する
機能がある。2つの画像成分の像信号からの特定周波数
領域の信号を利用することはレジストレーション検出に
好適なエッジ信号を抽出し、統計的分散値を正確に計算
するために有効である。分散を計算する手段は特定周波
数領域の信号に対しエッジの有無を判定する機能があ
る。
同一画素を構成する複数の画像成分信号間の差分絶対値
を積算する手段を用いるので、2種類の画像信号の一方
を他方に対しわずかにシフトしながら読み出し、その各
々のシフト量で定まる位置に所定のサイズを持った領域
を設け、上記領域で差分信号を積算し、この積算値が最
小となるシフト量をレジストレーションずれ量とするこ
とができ複雑な乗算回路を必要としない。又レジストレ
ーションずれ検出結果の採用/不採用を判定する信頼性
判定回路は、検出結果に誤りが含まれる可能性がある場
合は検出結果を不採用とし、検出誤りを未然に防止する
機能がある。2つの画像成分の像信号からの特定周波数
領域の信号を利用することはレジストレーション検出に
好適なエッジ信号を抽出し、統計的分散値を正確に計算
するために有効である。分散を計算する手段は特定周波
数領域の信号に対しエッジの有無を判定する機能があ
る。
【0005】複数の領域での平均値と検出したずれ量と
の差を評価する手段は、平均的なずれ量から差の大きな
検出結果を取り除く働きがある。最大相関を与えるずれ
量と、第2位以下の相関を与えるずれ量の関係を評価す
る手段は、第1位の相関の強さと、第2位以下の相関の
強さを評価し、第1位の相関と第2位以下の相関の強さ
に有偽差が存在しない時は検出結果を不採用とする働き
がある。この信頼性判定方法は、被写体に色彩が豊富な
場合、対象となる画像の高周波信号がない場合、及び相
互相関のピーク値と第2位以下の積算値との差が、あら
かじめ設定した値より小さい場合等で、検出を誤る確率
が高いとして検出結果を不採用とするものであった。
の差を評価する手段は、平均的なずれ量から差の大きな
検出結果を取り除く働きがある。最大相関を与えるずれ
量と、第2位以下の相関を与えるずれ量の関係を評価す
る手段は、第1位の相関の強さと、第2位以下の相関の
強さを評価し、第1位の相関と第2位以下の相関の強さ
に有偽差が存在しない時は検出結果を不採用とする働き
がある。この信頼性判定方法は、被写体に色彩が豊富な
場合、対象となる画像の高周波信号がない場合、及び相
互相関のピーク値と第2位以下の積算値との差が、あら
かじめ設定した値より小さい場合等で、検出を誤る確率
が高いとして検出結果を不採用とするものであった。
【0006】
【発明が解決しようとする課題】前述の従来技術では、
信頼性判定回路で、相互相関の第1ピークと第2ピーク
以下との差が、あらかじめ設定した値より小さい場合、
正確にレジストレーションずれ量を検出した結果をも不
採用と判定していたため、レジストレーションずれ量と
して採用されるものが少なくなり、結果としてレジスト
レーションずれの補正がうまく実施されない場合が発生
するという問題点があった。本発明は、より正確な採用
基準を設け、検出した信頼度の高いレジストレーション
ずれ量の検出結果を、より多く採用することを目的とす
る。
信頼性判定回路で、相互相関の第1ピークと第2ピーク
以下との差が、あらかじめ設定した値より小さい場合、
正確にレジストレーションずれ量を検出した結果をも不
採用と判定していたため、レジストレーションずれ量と
して採用されるものが少なくなり、結果としてレジスト
レーションずれの補正がうまく実施されない場合が発生
するという問題点があった。本発明は、より正確な採用
基準を設け、検出した信頼度の高いレジストレーション
ずれ量の検出結果を、より多く採用することを目的とす
る。
【0007】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するため、R信号もしくはB信号とG信号との相互相関
を計算し、その結果からレジストレーションずれ量を検
出する。そしてこのレジストレーションずれ検出誤りを
未然に防止する手段として、最大相関を与えるずれ量と
第2位以下の相関値を与えるずれ量との相関値の大きさ
の差を調べ評価する手段を設け、検出したレジストレー
ションずれ量の検出結果を採用するか否かを判定するよ
うにしたものである。
するため、R信号もしくはB信号とG信号との相互相関
を計算し、その結果からレジストレーションずれ量を検
出する。そしてこのレジストレーションずれ検出誤りを
未然に防止する手段として、最大相関を与えるずれ量と
第2位以下の相関値を与えるずれ量との相関値の大きさ
の差を調べ評価する手段を設け、検出したレジストレー
ションずれ量の検出結果を採用するか否かを判定するよ
うにしたものである。
【0008】
【作用】本発明によれば2種類の画像信号の一方を他方
に対しわずかにシフトしながら読み出し、その各々のシ
フト量で定まる位置に所定の大きさを持つ領域を設け、
上記領域で2信号間の相互相関を計算し、この相関値が
最大となるシフト量をレジストレーションずれ量とする
ことが出来る。又、レジストレーションずれ量の検出結
果の採用/不採用を判定する信頼性判定回路では、検出
結果に誤りが含まれている可能性がある場合は、検出結
果を不採用とし、検出誤りを未然に防止する機能があ
る。また、第1ピークと第2ピークとの差がわずかで、
かつその2点のずれ量が2画素以上離れている場合は、
レジストレーションずれ量の検出結果を不採用とするこ
とで、検出したずれ量の内、信頼性の高いレジストレー
ションずれ量の検出結果をより多く採用することができ
る。
に対しわずかにシフトしながら読み出し、その各々のシ
フト量で定まる位置に所定の大きさを持つ領域を設け、
上記領域で2信号間の相互相関を計算し、この相関値が
最大となるシフト量をレジストレーションずれ量とする
ことが出来る。又、レジストレーションずれ量の検出結
果の採用/不採用を判定する信頼性判定回路では、検出
結果に誤りが含まれている可能性がある場合は、検出結
果を不採用とし、検出誤りを未然に防止する機能があ
る。また、第1ピークと第2ピークとの差がわずかで、
かつその2点のずれ量が2画素以上離れている場合は、
レジストレーションずれ量の検出結果を不採用とするこ
とで、検出したずれ量の内、信頼性の高いレジストレー
ションずれ量の検出結果をより多く採用することができ
る。
【0009】
【実施例】以下本発明の一実施例を図面を参照して説明
する。図1に、本発明によるレジストレーションずれ検
出装置の一実施例の構成をブロック図で示す。本検出装
置は、アナログ・ディジタル変換器(以下、A/D変換
器と略記する)1,2、帯域通過フィルタ(以下、BP
Fと略記する)3,4、画像メモリ5,6、相互相関計
算回路7、最大相関値検出回路8、判定回路9、及びア
ドレス発生回路10から構成されている。A/D変換器
1は信号入力端11から入力するアナログ試験信号を、
A/D変換器2は信号入力端12から入力するアナログ
参照信号を、それぞれディジタル信号に変換する。試験
信号としては、同一画像成分信号である3原色信号のR
信号もしくはB信号を、参照信号としてはG信号を用い
る。
する。図1に、本発明によるレジストレーションずれ検
出装置の一実施例の構成をブロック図で示す。本検出装
置は、アナログ・ディジタル変換器(以下、A/D変換
器と略記する)1,2、帯域通過フィルタ(以下、BP
Fと略記する)3,4、画像メモリ5,6、相互相関計
算回路7、最大相関値検出回路8、判定回路9、及びア
ドレス発生回路10から構成されている。A/D変換器
1は信号入力端11から入力するアナログ試験信号を、
A/D変換器2は信号入力端12から入力するアナログ
参照信号を、それぞれディジタル信号に変換する。試験
信号としては、同一画像成分信号である3原色信号のR
信号もしくはB信号を、参照信号としてはG信号を用い
る。
【0010】これらディジタル化した映像信号の低周波
成分と高周波成分をBPF3,4で抑圧し、画像メモリ
5,6に記憶する。相互相関計算回路7では、画像メモ
リ6より読出される帯域制限処理されたディジタル試験
信号と、これに対して1画素ずつシフトしながら画像メ
モリ5より読出される帯域制限処理されたディジタル参
照信号の2信号間の相互相関を計算するものである。最
大相関値検出回路8は、相互相関計算回路7の出力信号
の最大相関値及びこの最大相関値を与えるシフト量から
レジストレーションずれ量を検出する。判定回路9は、
最大相関値検出回路8の出力結果の信頼性を判定するも
のである。アドレス発生回路10は、画像メモリ5,6
に記憶された画像信号を所定量ずつシフトするための読
み出しアドレスを制御する回路で、ここでの読み出し制
御により最大相関値を与えるシフト量が決定する。
成分と高周波成分をBPF3,4で抑圧し、画像メモリ
5,6に記憶する。相互相関計算回路7では、画像メモ
リ6より読出される帯域制限処理されたディジタル試験
信号と、これに対して1画素ずつシフトしながら画像メ
モリ5より読出される帯域制限処理されたディジタル参
照信号の2信号間の相互相関を計算するものである。最
大相関値検出回路8は、相互相関計算回路7の出力信号
の最大相関値及びこの最大相関値を与えるシフト量から
レジストレーションずれ量を検出する。判定回路9は、
最大相関値検出回路8の出力結果の信頼性を判定するも
のである。アドレス発生回路10は、画像メモリ5,6
に記憶された画像信号を所定量ずつシフトするための読
み出しアドレスを制御する回路で、ここでの読み出し制
御により最大相関値を与えるシフト量が決定する。
【0011】例えば、i画素シフトした位置が相互相関
計算の最大相関値を与えるものとし、それがレジストレ
ーションずれ量であると仮定する。従来の技術では、図
4に示す様に、最大相関値から、あらかじめ定められた
一定の値(以下しきい値と称す)以内に第2位以下の相
関計算値が存在すれば、すなわち図4に示す斜線領域内
に第2位以下の相関計算値が存在すれば、そこの箇所で
のレジストレーションずれ量検出結果を検出誤りの可能
性が高いとして不採用とした。このため、図4に破線で
示す2つのピークを有する明らかな検出誤りの場合も、
実線で示す1つのピークを有する正常な検出の場合も、
同様に検出結果を不採用としてしまう。本発明では、図
5の斜線部で示す部分、即ち、最大相関値を与えるシフ
ト量の隣接1画素以内を除いた部分で、最大相関値とそ
れ以外の相関計算値との差が、しきい値以内となるもの
が存在するか否かで信頼性判定を実施するものである。
計算の最大相関値を与えるものとし、それがレジストレ
ーションずれ量であると仮定する。従来の技術では、図
4に示す様に、最大相関値から、あらかじめ定められた
一定の値(以下しきい値と称す)以内に第2位以下の相
関計算値が存在すれば、すなわち図4に示す斜線領域内
に第2位以下の相関計算値が存在すれば、そこの箇所で
のレジストレーションずれ量検出結果を検出誤りの可能
性が高いとして不採用とした。このため、図4に破線で
示す2つのピークを有する明らかな検出誤りの場合も、
実線で示す1つのピークを有する正常な検出の場合も、
同様に検出結果を不採用としてしまう。本発明では、図
5の斜線部で示す部分、即ち、最大相関値を与えるシフ
ト量の隣接1画素以内を除いた部分で、最大相関値とそ
れ以外の相関計算値との差が、しきい値以内となるもの
が存在するか否かで信頼性判定を実施するものである。
【0012】この具体例として、図2に判定回路9の構
成の一実施例のブロック図を示す。判定回路9は、減算
回路20,しきい値回路21,比較器22,総合判定回
路23から構成されている。入力端24には図1の最大
相関値検出回路8からの出力である最大相関値を入力
し、入力端25には図1の相互相関計算回路7からの計
算結果を入力し、減算回路20で計算結果と最大相関値
との差を求める。この差をしきい値回路21で評価す
る。すなわち、この差がしきい値より小さい場合、しき
い値回路21は比較器22と総合判定回路23にその情
報を出力する。比較器22では、しきい値回路21から
の情報を得た時、入力端26から入力されるその時の計
算結果に対応するシフト量と、入力端27から入力され
る最大相関値に対応するシフト量とを比較・評価する。
そして、計算結果のシフト量が最大相関値を与えるシフ
ト量に対して隣接1画素以内にあれば、その情報を総合
判定回路23に出力する。総合判定回路23では、しき
い値処理した結果とその時のシフト量の関係から、レジ
ストレーションずれ検出結果を採用するか否かを判定す
る。
成の一実施例のブロック図を示す。判定回路9は、減算
回路20,しきい値回路21,比較器22,総合判定回
路23から構成されている。入力端24には図1の最大
相関値検出回路8からの出力である最大相関値を入力
し、入力端25には図1の相互相関計算回路7からの計
算結果を入力し、減算回路20で計算結果と最大相関値
との差を求める。この差をしきい値回路21で評価す
る。すなわち、この差がしきい値より小さい場合、しき
い値回路21は比較器22と総合判定回路23にその情
報を出力する。比較器22では、しきい値回路21から
の情報を得た時、入力端26から入力されるその時の計
算結果に対応するシフト量と、入力端27から入力され
る最大相関値に対応するシフト量とを比較・評価する。
そして、計算結果のシフト量が最大相関値を与えるシフ
ト量に対して隣接1画素以内にあれば、その情報を総合
判定回路23に出力する。総合判定回路23では、しき
い値処理した結果とその時のシフト量の関係から、レジ
ストレーションずれ検出結果を採用するか否かを判定す
る。
【0013】この結果、従来の技術では、図4に実線で
示す様な相互相関特性の検出箇所でのレジストレーショ
ンずれ検出結果は、i画素シフトした位置がレジストレ
ーションずれ位置であったとしても、i+1画素シフト
した位置での相関値との差が小さく、信頼性判定により
レジストレーションずれ検出結果を不採用としていた
が、本発明ではこの様な場合でも、図5に示すように最
大相関値を与えるシフト量と第2位以下の相関値を与え
るシフト量が隣接1画素以内である場合はレジストレー
ションずれ量がi画素であると正しく検出し、このレジ
ストレーションずれ量の検出結果を採用とするため、従
来のように正しい検出結果をも不採用とすることがな
く、より多くの正しい検出結果を採用できる。
示す様な相互相関特性の検出箇所でのレジストレーショ
ンずれ検出結果は、i画素シフトした位置がレジストレ
ーションずれ位置であったとしても、i+1画素シフト
した位置での相関値との差が小さく、信頼性判定により
レジストレーションずれ検出結果を不採用としていた
が、本発明ではこの様な場合でも、図5に示すように最
大相関値を与えるシフト量と第2位以下の相関値を与え
るシフト量が隣接1画素以内である場合はレジストレー
ションずれ量がi画素であると正しく検出し、このレジ
ストレーションずれ量の検出結果を採用とするため、従
来のように正しい検出結果をも不採用とすることがな
く、より多くの正しい検出結果を採用できる。
【0014】
【発明の効果】本発明によれば、レジストレーションず
れ検出結果の信頼性判定手段として、第1ピークと第2
ピーク以下とのシフト量と、その相関値の大きさの関係
を評価する手段を設けることで、信頼度の高いレジスト
レーションずれ量の検出結果を採用する数を増加させる
ことができる。
れ検出結果の信頼性判定手段として、第1ピークと第2
ピーク以下とのシフト量と、その相関値の大きさの関係
を評価する手段を設けることで、信頼度の高いレジスト
レーションずれ量の検出結果を採用する数を増加させる
ことができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明のレジストレーションずれ検出装置のブ
ロック図。
ロック図。
【図2】本発明の判定回路9の構成を示すブロック図。
【図3】相互相関特性の一例を示す特性図。
【図4】従来技術による信頼性判定手段の動作を説明す
る図。
る図。
【図5】本発明による信頼性判定手段の動作を説明する
図。
図。
【図6】従来技術によるレジストレーションずれ検出装
置のブロック図。
置のブロック図。
【図7】従来技術の動作を説明する図。
5,6 画像メモリ 7 相互相関計算回路 8 最大相関検出回路 9 判定回路 20 減算回路 21 しきい値回路 22 比較器 23 総合判定回路
Claims (1)
- 【請求項1】 同一画像を構成する2種類の画像成分信
号をディジタル化する手段と、該ディジタル化した2種
類の画像成分信号を記憶するメモリと、上記一方の画像
成分信号に対し、他方の画像成分信号を相対的に所定量
ずつシフトしながら読み出すメモリ制御手段と、各シフ
ト量に対し上記2種類の画像成分信号の相互相関を一定
領域内で計算する手段を有し、この相関値が最大となる
シフト量をこの2種類の画像成分信号のレジストレーシ
ョンずれ量として検出する手段と、該検出したレジスト
レーションずれ量の信頼性を判定し、信頼性の低い検出
結果を不採用とするカラーテレビジョンカメラのレジス
トレーションずれ検出装置において、上記信頼性判定手
段として、最大相関値を与えるシフト量と、第2位以下
の相関値を与えるシフト量と、それらの相関値の大きさ
の関係を調べる評価手段を有し、該評価手段の出力によ
って上記レジストレーションずれ量の検出結果を採用す
るか否かを判定することを特徴とするレジストレーショ
ンずれ検出装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3283702A JPH05103332A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | レジストレーシヨンずれ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3283702A JPH05103332A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | レジストレーシヨンずれ検出装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH05103332A true JPH05103332A (ja) | 1993-04-23 |
Family
ID=17668975
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP3283702A Pending JPH05103332A (ja) | 1991-10-03 | 1991-10-03 | レジストレーシヨンずれ検出装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH05103332A (ja) |
-
1991
- 1991-10-03 JP JP3283702A patent/JPH05103332A/ja active Pending
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