JPH0495396A - Synchrotron radiation absorber - Google Patents

Synchrotron radiation absorber

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JPH0495396A
JPH0495396A JP20506890A JP20506890A JPH0495396A JP H0495396 A JPH0495396 A JP H0495396A JP 20506890 A JP20506890 A JP 20506890A JP 20506890 A JP20506890 A JP 20506890A JP H0495396 A JPH0495396 A JP H0495396A
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JP
Japan
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chamber
vacuum chamber
absorber
vacuum
cooling plate
Prior art date
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Pending
Application number
JP20506890A
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Japanese (ja)
Inventor
Teruhiko Bizen
備前 輝彦
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IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
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Publication date
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Publication of JPH0495396A publication Critical patent/JPH0495396A/en
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Abstract

PURPOSE:To facilitate maintenance without enlarging a size of a vacuum chamber by transmitting unnecessary radiation light generated frown an electron beam inside the vacuum chamber through a light transmitting portion provided in the vacuum chamber, and shieldingly absorbing it by a cooling plate disposed inside an absorber chamber formed outside the transmitting portion. CONSTITUTION:A light transmitting portion 3 for transmitting radiation light 2 is provided in a portion of a vacuums chamber 1 where unnecessary radiation light 2 is generated. Outside the vacuum chamber 1 partitioned by the light transmitting portion 3, an absorber chamber 4 kept in a vacuum state is formed. Inside the absorber chamber 4, there is provided a cooling plate 5 for absorbing the radiation light 2 transmitted through the light transmitting portion 3. The unnecessary radiation light 2 generated from an electron beam inside the vacuum chamber 1 is transmitted through the light transmitting portion 3 to be shieldingly absorbed by the cooling plate 5 inside the absorber chamber 4.

Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、シンクロトロン等の加速器において、真空チ
ャンバ内の電子ビームから発生する不必要な放射光(S
ynchrotron Radiation)を吸収す
るためのSRアブソーバに関する。
Detailed Description of the Invention [Industrial Field of Application] The present invention is directed to the use of unnecessary synchrotron radiation (S) generated from an electron beam in a vacuum chamber in an accelerator such as a synchrotron.
This invention relates to an SR absorber for absorbing radio waves.

[従来の技術] シンクロトロン等の加速器において、真空チャンバ内の
電子ビームが路光速度でカーブする際に、その接線方向
に放射光(Synchrotron Radia−ti
on)が生じる。この放射光は、真空チャンバの内壁を
照射し、そこを発熱させる。そこで、このような不必要
な放射光を吸収するため、本出願人は、先に、第3図に
示すようなSRアブソーバaを開発した。
[Prior Art] In an accelerator such as a synchrotron, when an electron beam in a vacuum chamber curves at the path light velocity, synchrotron radiation is generated in the tangential direction of the electron beam.
on) occurs. This radiation irradiates the inner wall of the vacuum chamber, causing it to generate heat. Therefore, in order to absorb such unnecessary radiation, the present applicant has previously developed an SR absorber a as shown in FIG.

図示するように、上記真空チャンバb内に、不必要な放
射光Cを遮って吸収する冷却板dが設けられている。こ
の冷却板dは、真空チャンバbの一部を広げてチャンバ
b室内と一体的に形成されたアブソーバ室e内に配置さ
れており、真空チャンバb内を通過する電子ビーム(図
示せず)の軌道を妨げないようになっている。また、こ
の冷却板dは、放射光Cを吸収して発熱するなめ、内部
が冷却水によって冷却されるようになっている。
As shown in the figure, a cooling plate d is provided in the vacuum chamber b to block and absorb unnecessary radiation C. This cooling plate d is placed in an absorber chamber e that is formed integrally with the chamber b by enlarging a part of the vacuum chamber b, and is used to cool an electron beam (not shown) passing through the vacuum chamber b. It is designed not to interfere with the orbit. The cooling plate d absorbs the radiation C and generates heat, so that the inside thereof is cooled by cooling water.

このSRアブソーバaは、上記不必要な放射光Cを真空
チャンバb内の冷却板dで遮って吸収するものである。
This SR absorber a absorbs the unnecessary radiation C by blocking it with a cooling plate d in the vacuum chamber b.

[発明が解決しようとする課題] ところで、上記冷却板dに放射光Cが照射されると、こ
の冷却板dからガスが叩き出される。このガスは、上記
冷却板dが真空チャンバb内に設けられていることから
、真空チャンバb内金域に拡散しチャンバb内の真空度
を悪化させる6よって、上記冷却板dをガス発生量の少
ない高価な超高真空用の材質(例えば高純度の無酸素銅
等)で成形する必要がある。
[Problems to be Solved by the Invention] By the way, when the cooling plate d is irradiated with the synchrotron radiation C, gas is ejected from the cooling plate d. Since the cooling plate d is provided in the vacuum chamber b, this gas diffuses into the inner metal area of the vacuum chamber b and deteriorates the degree of vacuum in the chamber b. It is necessary to mold the material using an expensive ultra-high vacuum material (for example, high-purity oxygen-free copper, etc.).

また、万一、冷却板d内部の冷却水が漏洩した場合、漏
洩した冷却水が瞬時に蒸発して真空チャンバbの全域に
拡散し、被害が真空チャンバbの全域に及んでしまう。
Furthermore, in the event that the cooling water inside the cooling plate d leaks, the leaked cooling water instantly evaporates and spreads over the entire area of the vacuum chamber b, causing damage to the entire area of the vacuum chamber b.

また、冷却板dのメンテナンスを行う場合、超高真空状
態(約1x10−’Torr 〜lX10−” Tor
r)の真空チャンバb内金体を大気圧にしてから冷却板
dを真空チャンバb内から取り出さなければならず、そ
の作業が煩雑である。
In addition, when performing maintenance on the cooling plate d, it is necessary to perform maintenance under ultra-high vacuum conditions (approx.
The cooling plate d must be taken out from the vacuum chamber b after the metal body in the vacuum chamber b of r) is brought to atmospheric pressure, and this work is complicated.

また、この冷却板dは、真空チャンバb内を通過する電
子ビームの軌道を妨げないように、真空チャンバbの一
部を広げてチャンバb室内と一体的に形成された拡径室
e内に配置されるので、この拡径室eの分だけ真空チャ
ンバbのスペースが大きくなり、真空チャンバbの真空
度が悪化する。
In addition, this cooling plate d is placed in an enlarged diameter chamber e formed integrally with a part of the vacuum chamber b by expanding a part of the vacuum chamber b so as not to obstruct the trajectory of the electron beam passing through the vacuum chamber b. Therefore, the space of the vacuum chamber b increases by the enlarged diameter chamber e, and the degree of vacuum of the vacuum chamber b deteriorates.

以上の事情を考慮して創案された本発明の目的は、真空
チャンバのスペースを大きくすることなく、且つ冷却板
から生じるガスで真空チャンバが影響されず、しかもメ
ンテナンスが容易なSRアブソーバを提供するものであ
る。
The purpose of the present invention, which was created in consideration of the above circumstances, is to provide an SR absorber that does not require an increase in the space of the vacuum chamber, that the vacuum chamber is not affected by the gas generated from the cooling plate, and that is easy to maintain. It is something.

[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するために本発明は、真空チャンバ内の
電子ビームから発生する不必要な放射光を吸収するSR
アブソーバにおいて、上記真空チャンバの不必要な放射
光が発生する部位に、放射光を透過させる光透過部を設
けると共に、その外部に真空に保ったアブソーバ室を形
成し、該アブソーバ室内に、上記光透過部を透過した放
射光を遮って吸収する冷却板を設けたことから構成され
ている。
[Means for Solving the Problem] In order to achieve the above object, the present invention provides an SR that absorbs unnecessary synchrotron radiation generated from an electron beam in a vacuum chamber.
In the absorber, a light transmitting part for transmitting the synchrotron radiation is provided at a portion of the vacuum chamber where unnecessary radiation is generated, and an absorber chamber kept in a vacuum is formed outside the absorber chamber, and the light is transmitted inside the absorber chamber. It is constructed by providing a cooling plate that blocks and absorbs the radiation that has passed through the transmission section.

U作 用] 真空チャンバ内の電子ビームから生じた不要な放射光は
、真空チャンバに設けられた光透過部を透過して、その
外部に形成されたアブソーバ室内の冷却板によって遮ら
れ吸収される。
U action] Unnecessary radiation generated from the electron beam in the vacuum chamber is transmitted through a light transmitting part provided in the vacuum chamber, and is blocked and absorbed by a cooling plate in an absorber chamber formed outside of the light transmitting part. .

この際、アブソーバ室内の冷却板からガスが発生するが
、冷却板が真空チャンバの外部に設けられていることか
ら、そのガスによって真空チャンバ内の真空度が影響さ
れることはない。
At this time, gas is generated from the cooling plate in the absorber chamber, but since the cooling plate is provided outside the vacuum chamber, the degree of vacuum in the vacuum chamber is not affected by the gas.

また、冷却板を設けることによって真空チャンバのスペ
ースが大きくなることはない。
Moreover, the space of the vacuum chamber does not become large by providing the cooling plate.

さらに、上記冷却板は、真空チャンバの真空度に影響を
与えることなくアブソーバ室側からメンテナンス可能と
なる。
Furthermore, the cooling plate can be maintained from the absorber chamber side without affecting the vacuum degree of the vacuum chamber.

[実施例] 本発明の一実施例を添付図面に従って説明する。[Example] An embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

第1図はシンクロトロンの真空チャンバ1の一部を表す
部分断面図である。この真空チャンバ1は、チャンバ1
内を通過する電子ビーム(図示せず)の寿命を長くする
ため、超高真空状態(約1x10−’Torr〜lX1
0−” Torr)になっている。上記真空チャンバ1
内を路光速度で通過する電子ビームがカーブする際に、
その接線方向に不必要な放射光2が生じる1図示するよ
うに、この不必要な放射光2が発生する真空チャンバ1
の部位に、上記放射光2を透過させる光透過部3が設け
られている。
FIG. 1 is a partial sectional view showing a part of a vacuum chamber 1 of a synchrotron. This vacuum chamber 1 is a chamber 1
In order to prolong the lifetime of the electron beam (not shown) passing through the chamber, the
0-” Torr).The vacuum chamber 1
When an electron beam passing through the center at the speed of light curves,
Unnecessary radiation 2 is generated in the tangential direction 1 As shown in the figure, a vacuum chamber 1 in which this unnecessary radiation 2 is generated
A light transmitting section 3 that transmits the radiation light 2 is provided at a location.

この光透過部3は、その部分の真空チャンバ1の肉厚が
、放射光2が透過しやすいように他の部分に較べて薄く
形成されている。この光透過部3によって仕切られた真
空チャンバlの外部には、真空状態に保たれたアブソー
バ室4が形成されている。このアブソーバ室4内には、
上記光透過部3を透過した放射光2を吸収する冷却板5
が設けられている。
This light transmitting portion 3 is formed so that the wall thickness of the vacuum chamber 1 at that portion is thinner than other portions so that the emitted light 2 can easily pass therethrough. An absorber chamber 4 maintained in a vacuum state is formed outside the vacuum chamber 1 partitioned by the light transmitting section 3. Inside this absorber chamber 4,
Cooling plate 5 that absorbs the radiation light 2 that has passed through the light transmitting section 3
is provided.

上記冷却板5は、熱伝導の良いCu板からなっており、
その内部が冷却水によって冷却されるようになっている
。即ち、冷却水入口部5aから冷却板5内に流入した冷
却水は、冷却板5内部の冷却水通路を通って、放射光2
が照射されて発熱した冷却板5を冷却し、冷却水出口部
5bより流出するようになっている。
The cooling plate 5 is made of a Cu plate with good thermal conductivity.
Its interior is cooled by cooling water. That is, the cooling water that has flowed into the cooling plate 5 from the cooling water inlet 5a passes through the cooling water passage inside the cooling plate 5 and emits the radiation light 2.
The cooling plate 5, which has generated heat due to the irradiation, is cooled, and the cooling water flows out from the cooling water outlet portion 5b.

また、上記アブソーバ室4には、アブソーバ室4内を真
空排気するための排気ポンプ(図示せず)が接続されて
いる。このアブソーバ室4内の真空度は、アブソーバ室
4内を電子ビームが通過しないことから、電子ビームの
寿命とは全く関係なく、上記真空チャンバ1のように超
高真空状態にする必要はなく、低真空でよい。
Furthermore, an exhaust pump (not shown) is connected to the absorber chamber 4 for evacuating the inside of the absorber chamber 4 . Since the electron beam does not pass through the absorber chamber 4, the degree of vacuum in the absorber chamber 4 has nothing to do with the lifespan of the electron beam, and there is no need to create an ultra-high vacuum state like in the vacuum chamber 1. Low vacuum is sufficient.

このような構成のSRアブソーバAは、第2図に示すよ
うに、上側アブソーバ室4aと下側アブソーバ室4bと
に上下に二分割可能となっている。
As shown in FIG. 2, the SR absorber A having such a configuration can be vertically divided into an upper absorber chamber 4a and a lower absorber chamber 4b.

以上の構成からなる本実施例の作用について述べる。The operation of this embodiment having the above configuration will be described.

真空チャンバ1内の電子ビームから生じた不要な放射光
2は、真空チャンバ1に設けられた光透過部3を透過し
て、その外部に形成されたアブソーバ室4内の冷却板5
によって遮られ吸収される。
Unnecessary radiation 2 generated from the electron beam in the vacuum chamber 1 is transmitted through a light transmitting section 3 provided in the vacuum chamber 1, and then passes through a cooling plate 5 in an absorber chamber 4 formed outside the light transmitting section 3.
It is blocked and absorbed by

この際、冷却板5からガスが叩き出されることになるが
、このガスは、冷却板5が光透過部3によって仕切られ
て真空チャンバ1の外部に設けられていることから、真
空チャンバ1内に侵入しない。
At this time, gas will be ejected from the cooling plate 5, but since the cooling plate 5 is partitioned off by the light transmitting section 3 and is provided outside the vacuum chamber 1, this gas will not flow into the vacuum chamber 1. Do not invade.

即ち、冷却板5から叩き出されたガスは、真空チャンバ
1の真空度に影響を及ぼすことなく、アブソーバ室4内
にのみ充満することになる。よって、上記冷却板5の材
質は、放射光2を吸収するものであれば例えガス発生量
の多いものでもよく、安価な材質を選択できる。なお、
アブソーバ室4内に充満したガスは、アブソーバ室4内
を真空排気することにより効率よく排除される。
That is, the gas ejected from the cooling plate 5 fills only the absorber chamber 4 without affecting the vacuum degree of the vacuum chamber 1. Therefore, the material of the cooling plate 5 may be a material that generates a large amount of gas as long as it absorbs the radiation 2, and an inexpensive material can be selected. In addition,
The gas filling the absorber chamber 4 is efficiently removed by evacuating the absorber chamber 4.

また、上記冷却板5は、光透過部3によって仕切られて
、真空チャンバ1の外部に設けられていることから、真
空チャンバ1のスペースが大きくなることはない、従っ
て、真空チャンバ1内の真空度を、このSRアブソーバ
Aを設けない場合と同等にまで高めることができる。
Further, since the cooling plate 5 is partitioned by the light transmitting part 3 and provided outside the vacuum chamber 1, the space of the vacuum chamber 1 does not become large. The efficiency can be increased to the same level as when this SR absorber A is not provided.

また、冷却板5を分解メンテナンスする場合、真空チャ
ンバ1の真空度はそのままにしてアブソーバ室4内のみ
を大気圧にしてから、第2図に示すようにアブソーバ室
4を上下に二分割して、アブソーバ室4内から冷却板5
を取り出せばよい。
In addition, when disassembling and maintaining the cooling plate 5, leave the degree of vacuum in the vacuum chamber 1 as it is and bring only the inside of the absorber chamber 4 to atmospheric pressure, and then divide the absorber chamber 4 into upper and lower halves as shown in Fig. 2. , cooling plate 5 from inside the absorber chamber 4
All you have to do is take it out.

すなわち、このSRアブンーバAは、冷却板5を分解メ
ンテナンスする際に、第3図にしめすSRアブソーバa
のように真空チャンバb全体を大気圧にする必要はなく
、メンテナンスが容易となる。
That is, when the cooling plate 5 is disassembled and maintained, the SR absorber A is replaced with the SR absorber a shown in FIG.
It is not necessary to bring the entire vacuum chamber b to atmospheric pressure as in the above, and maintenance becomes easy.

また、万一、冷却板5内部の冷却水が漏洩した場合にあ
っても、漏洩した冷却水はアブソーバ室4内にのみ充満
し、その被害が真空チャンバ1の全域に拡散することは
ない。
Furthermore, even if the cooling water inside the cooling plate 5 leaks, the leaked cooling water will only fill the absorber chamber 4, and the damage will not spread to the entire vacuum chamber 1.

また、光透過部3を透過した放射光2は、冷却板5に吸
収されるまでの間、放射光2の経路上の雰囲気を放射化
することになるが、この経路部分はアブソーバ室4によ
って区画され低真空状態となっているので、大気の放射
化が問題とならない。
Furthermore, the synchrotron radiation 2 that has passed through the light transmitting section 3 will radioactiveize the atmosphere on the path of the synchrotron radiation 2 until it is absorbed by the cooling plate 5, but this path portion is covered by the absorber chamber 4. Since it is divided into sections and is in a low vacuum state, atmospheric activation is not a problem.

ところで、上記真空チャンバ1に設けられる光透過部3
は、その部分の真空チャンバ1の肉厚が他の部分に較べ
て薄く形成されているので、その機械的強度が弱くなる
。しかしながら、この光透過部3によって仕切られる真
空チャンバ1内外の圧力差に着目すると、真空チャンバ
1内か真空状態(超高真空状態)であるのと同様に真空
チャンバ1外のアブソーバ室4内も真空状態(低真空状
態)となっているので、これらの圧力差によって上記光
透過部3に加わる圧力は極めて小さなものとなり、この
圧力差に起因して光透過部3が破損することはない、 なお、本実施例にあっては上記真空チャンバ1に設けら
れる光透過部3は、その部分の真空チャンバ1の肉厚か
他の部分に較べて薄く形成されて放射光が透過しやすい
ようになっているが、これに限らず、光透過部3が設け
られる真空チャンバ1の部位を放射光が透過しやすいベ
リリウム等の軽金属で成形してもよい4 U発明の効果コ 以上説明したように本発明によれば次のごとき優れた効
果が発揮できる。
By the way, the light transmitting section 3 provided in the vacuum chamber 1
Since the wall thickness of the vacuum chamber 1 in that part is thinner than in other parts, its mechanical strength becomes weak. However, if we focus on the pressure difference between the inside and outside of the vacuum chamber 1 which is partitioned by the light transmitting part 3, we can see that just as the inside of the vacuum chamber 1 is in a vacuum state (ultra-high vacuum state), the inside of the absorber chamber 4 outside the vacuum chamber 1 is also in a vacuum state (ultra-high vacuum state). Since it is in a vacuum state (low vacuum state), the pressure applied to the light transmitting section 3 due to these pressure differences is extremely small, and the light transmitting section 3 will not be damaged due to this pressure difference. In this embodiment, the light transmitting section 3 provided in the vacuum chamber 1 is formed to be thinner than the wall thickness of the vacuum chamber 1 at that part or other parts so that the emitted light can easily pass through. However, the invention is not limited to this, and the part of the vacuum chamber 1 where the light transmitting part 3 is provided may be formed of a light metal such as beryllium through which synchrotron radiation can easily pass through.4U Effects of the Invention As explained above, According to the present invention, the following excellent effects can be exhibited.

(1)真空チャンバ内の電子ビームから生じた不要な放
射光を吸収できる。
(1) Unnecessary radiation generated from the electron beam inside the vacuum chamber can be absorbed.

(2)真空チャンバのスペースが大きくなることはなく
、真空チャンバの真空度を高めることができる。
(2) The vacuum degree of the vacuum chamber can be increased without increasing the space of the vacuum chamber.

(3)冷却板から叩き出されたガスが真空チャンバ内に
侵入することはなく、真空チャンバの真空度を高めるこ
とができる。
(3) Gas ejected from the cooling plate does not enter the vacuum chamber, and the degree of vacuum in the vacuum chamber can be increased.

(4)真空チャンバの真空度に影響を与えることなく、
アブソーバ室側から冷却板をメンテナンスすることがで
き、冷却板のメンテナンスが容易となる。
(4) Without affecting the vacuum degree of the vacuum chamber,
The cooling plate can be maintained from the absorber chamber side, making maintenance of the cooling plate easy.

(5)光透過部を透過した放射光は、大気中に放出され
ると大気を放射化することになるが、アブソーバ室によ
って区画され、低真空状態となっているので、大気の放
射化が問題とならない。
(5) When the synchrotron radiation transmitted through the light transmitting part is emitted into the atmosphere, it will radioactivate the atmosphere, but since it is divided by the absorber chamber and is in a low vacuum state, the atmosphere will not be activated. Not a problem.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]

第1図は本発明の一実施例を示すSRアブソーバの要部
断面図、第2図は第1図に示すSRアブソーバの分解斜
視図、第3図は本出願人が先に開発したSRアブソーバ
の要部断面図である。 図中、1は真空チャンバ、2は不必要な放射光、3は光
透過部、4はアブソーバ室、5は冷却板である6 特許比v人  石川島播@重工業株式会社代理人弁理士
  絹  谷  信 雄(外1名)a 5”i”EP版 第2図
Fig. 1 is a sectional view of essential parts of an SR absorber showing an embodiment of the present invention, Fig. 2 is an exploded perspective view of the SR absorber shown in Fig. 1, and Fig. 3 is an SR absorber developed earlier by the applicant. FIG. In the figure, 1 is a vacuum chamber, 2 is unnecessary radiation, 3 is a light transmitting section, 4 is an absorber chamber, and 5 is a cooling plate. Nobuo (1 other person) a 5”i” EP version 2nd figure

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1、真空チャンバ内の電子ビームから発生する不必要な
放射光を吸収するSRアブソーバにおいて、上記真空チ
ャンバの不必要な放射光が発生する部位に、放射光を透
過させる光透過部を設けると共に、その外部に真空に保
ったアブソーバ室を形成し、該アブソーバ室内に、上記
光透過部を透過した放射光を遮って吸収する冷却板を設
けたことを特徴とするSRアブソーバ。
1. In an SR absorber that absorbs unnecessary radiation generated from an electron beam in a vacuum chamber, a light transmitting portion that transmits radiation is provided in a portion of the vacuum chamber where unnecessary radiation is generated, and An SR absorber characterized in that an absorber chamber maintained in a vacuum is formed outside the SR absorber, and a cooling plate is provided inside the absorber chamber to block and absorb radiation light transmitted through the light transmitting portion.
JP20506890A 1990-08-03 1990-08-03 Synchrotron radiation absorber Pending JPH0495396A (en)

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