JPH0494176A - 熱電対 - Google Patents
熱電対Info
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- JPH0494176A JPH0494176A JP2213368A JP21336890A JPH0494176A JP H0494176 A JPH0494176 A JP H0494176A JP 2213368 A JP2213368 A JP 2213368A JP 21336890 A JP21336890 A JP 21336890A JP H0494176 A JPH0494176 A JP H0494176A
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Landscapes
- Measuring Temperature Or Quantity Of Heat (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
この発明は、温度計測に用いられる熱電対に関するもの
である。
である。
[従来の技術]
従来の熱電対としては、セラミクス製のガイシ管に導体
が通された形式のものや、酸化マグネシウムなどの金属
酸化物微粒子か集められた、ステンレス合金等からなる
耐熱合金製の管に熱電対素線か通された形式のシース熱
電対などが知られている。
が通された形式のものや、酸化マグネシウムなどの金属
酸化物微粒子か集められた、ステンレス合金等からなる
耐熱合金製の管に熱電対素線か通された形式のシース熱
電対などが知られている。
[発明が解決しようとする課題]
しかしながら、セラミクス製のガイシ管を用いて絶縁を
行なっていた熱電対では、可撓性に乏しく、かさばる等
の欠点を有している。また、高真空中で使用する場合は
、ガイシは本来多孔性であることや、表面積が大きいこ
とにより、多量のガスが吸着する等の問題点がある。
行なっていた熱電対では、可撓性に乏しく、かさばる等
の欠点を有している。また、高真空中で使用する場合は
、ガイシは本来多孔性であることや、表面積が大きいこ
とにより、多量のガスが吸着する等の問題点がある。
シース熱電対は、−耐熱性の合金管と熱電対素線とによ
って構成されているため、外径が大きくなることや、端
末処理の困難さに問題があった。
って構成されているため、外径が大きくなることや、端
末処理の困難さに問題があった。
そこで、この発明は上記の問題点を解消するためになさ
れたもので、以下の事項を備えたセラミクス被覆熱電対
を提供することを目的としている。
れたもので、以下の事項を備えたセラミクス被覆熱電対
を提供することを目的としている。
(a) 絶縁層が薄くコンパクトであること。
(b) 可撓性に優れていること。
(C) ガス吸着源を備えていないこと。
[課題を解決するための手段]
この発明の熱電対では、熱電対素線の上に、ポリシラザ
ンの加熱によって形成された無機絶縁層を備えている。
ンの加熱によって形成された無機絶縁層を備えている。
ポリシラザンは、加熱により金属窒化物を含む層とする
ことができる。このポリシラザンの加熱鼻環は、アルゴ
ンや窒素気流中の不活性雰囲気下やアンモニア気流等の
窒化雰囲気下で行なってもよい。
ことができる。このポリシラザンの加熱鼻環は、アルゴ
ンや窒素気流中の不活性雰囲気下やアンモニア気流等の
窒化雰囲気下で行なってもよい。
また、大気中で加熱を行なう場合には、窒化物の一部も
しくは大部分が酸化され、金属窒化物、金属炭化物と金
属酸化物の混合物の形態になってもよい。
しくは大部分が酸化され、金属窒化物、金属炭化物と金
属酸化物の混合物の形態になってもよい。
また、この発明においては、熱電対素線を、予め加熱し
てその表面を酸化処理してもよい。このような熱電対素
線の表面の酸化処理により、無機絶縁層との密着性を高
めることができる。
てその表面を酸化処理してもよい。このような熱電対素
線の表面の酸化処理により、無機絶縁層との密着性を高
めることができる。
[発明の作用効果コ
この発明においてポリシラザンの加熱によって形成され
る無機絶縁層は、1000℃以上の高温下においても優
れた耐熱絶縁性を示す絶縁層となる。したがって、この
発明の熱電対は、高温下における耐熱絶縁性に優れた熱
電対である。また絶縁層の耐熱絶縁性が優れているため
に、絶縁層を薄くすることができコンパクトな熱電対と
することができる。またさらに絶縁層を薄くできること
がら可撓性を高めることができる。
る無機絶縁層は、1000℃以上の高温下においても優
れた耐熱絶縁性を示す絶縁層となる。したがって、この
発明の熱電対は、高温下における耐熱絶縁性に優れた熱
電対である。また絶縁層の耐熱絶縁性が優れているため
に、絶縁層を薄くすることができコンパクトな熱電対と
することができる。またさらに絶縁層を薄くできること
がら可撓性を高めることができる。
また従来のガイシ管のように多孔質のものてないため、
多量のガスを吸着することはなく、高真空用の熱電対と
して用いることができる。
多量のガスを吸着することはなく、高真空用の熱電対と
して用いることができる。
[実施例コ
直径0.32mmのR熱電対のプラス脚(ロジウム13
%を含む白金ロジウム合金)とマイナス脚(白金)のそ
れぞれの熱電対素線を準備した。
%を含む白金ロジウム合金)とマイナス脚(白金)のそ
れぞれの熱電対素線を準備した。
ステンレス製のオートクレーブを、ドライアイスを投入
したアセトン洛中で約−80°Cに冷却し、アルゴン気
流のエアカーテンによりオートクレーブ内を不活性ガス
置換した。オートクレーブ内にジエチルシラン(Et2
SiH2)を2gとり、さらに触媒としてドデカカルボ
ニルトリルテニウムRu3 (Co) 21+を25
μg添加した。次に、乾燥したアンモニアガスで内部圧
が6 k g f / cm2になるように封入した。
したアセトン洛中で約−80°Cに冷却し、アルゴン気
流のエアカーテンによりオートクレーブ内を不活性ガス
置換した。オートクレーブ内にジエチルシラン(Et2
SiH2)を2gとり、さらに触媒としてドデカカルボ
ニルトリルテニウムRu3 (Co) 21+を25
μg添加した。次に、乾燥したアンモニアガスで内部圧
が6 k g f / cm2になるように封入した。
このオートクレーブを60℃で12時間加熱した後、脱
水したテトラヒドロフラン100m1中に内容物を溶か
し、ポリシラザン(SiNxHy)を含むコーティング
溶液を得た。さらに、このコーテイング液中に、公称粒
径0,3μmの窒化アルミニウム粉末を10重量%混合
した。
水したテトラヒドロフラン100m1中に内容物を溶か
し、ポリシラザン(SiNxHy)を含むコーティング
溶液を得た。さらに、このコーテイング液中に、公称粒
径0,3μmの窒化アルミニウム粉末を10重量%混合
した。
このコーティング溶液中に熱電対素線を浸漬した。熱電
対素線を引上げて、該表面にコーティング溶液が塗布さ
れた熱電対素線を、アンモニア+Ar雰囲気下、温度7
00℃で10分間加熱した。
対素線を引上げて、該表面にコーティング溶液が塗布さ
れた熱電対素線を、アンモニア+Ar雰囲気下、温度7
00℃で10分間加熱した。
得られた熱電対素線は、第1図に示すように、熱電対素
線1のまわりに無機絶縁層2が形成されていた。
線1のまわりに無機絶縁層2が形成されていた。
プラス脚およびマイナス脚のそれぞれの熱電対素線の端
部を溶融接合し、熱電対として使用したところ、140
0℃まで良好な結果が得られた。
部を溶融接合し、熱電対として使用したところ、140
0℃まで良好な結果が得られた。
第1図は、この発明の一実施例を示す断面図である。
図において、1は熱電対素線、2.は無機絶縁層を示す
。 特許a願人 住友電気工業株式会社
。 特許a願人 住友電気工業株式会社
Claims (4)
- (1)熱電対素線の上に、ポリシラザンの加熱によって
形成された無機絶縁層を備える、熱電対。 - (2)前記無機絶縁層が金属窒化物を含む層である、請
求項1に記載の熱電対。 - (3)前記熱電対素線は、加熱によってその表面が酸化
処理されている、請求項1に記載の熱電対。 - (4)前記無機絶縁層は、金属窒化物と前記加熱分解の
際に酸化して形成した金属酸化物とを含む、請求項2に
記載の熱電対。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2213368A JPH0494176A (ja) | 1990-08-09 | 1990-08-09 | 熱電対 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2213368A JPH0494176A (ja) | 1990-08-09 | 1990-08-09 | 熱電対 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0494176A true JPH0494176A (ja) | 1992-03-26 |
Family
ID=16638029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2213368A Pending JPH0494176A (ja) | 1990-08-09 | 1990-08-09 | 熱電対 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0494176A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009283205A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Hitachi Appliances Inc | 誘導加熱調理器 |
-
1990
- 1990-08-09 JP JP2213368A patent/JPH0494176A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009283205A (ja) * | 2008-05-20 | 2009-12-03 | Hitachi Appliances Inc | 誘導加熱調理器 |
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