JPH0487627U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0487627U JPH0487627U JP7347390U JP7347390U JPH0487627U JP H0487627 U JPH0487627 U JP H0487627U JP 7347390 U JP7347390 U JP 7347390U JP 7347390 U JP7347390 U JP 7347390U JP H0487627 U JPH0487627 U JP H0487627U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line width
- photoresist provided
- substrate
- measuring
- photoresist
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 6
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 claims 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Description
第1図は従来のパターン線幅の測定方法を説明
するためのウエハー基板断面図、第2図は第1図
において測定する場所において誤差が生ずること
を示すウエハー基板断面図である。 1……ウエハー基板、2……レジスト。
するためのウエハー基板断面図、第2図は第1図
において測定する場所において誤差が生ずること
を示すウエハー基板断面図である。 1……ウエハー基板、2……レジスト。
Claims (1)
- 半導体基板上に設けられたフオトレジストの線
幅を測定するに当たりウエハー基板上に設けられ
たフオトレジスト重量の差ににより基板上に設け
られた線幅測定することを特徴とするレジストパ
ターンの線幅測定方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7347390U JPH0487627U (ja) | 1990-07-10 | 1990-07-10 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7347390U JPH0487627U (ja) | 1990-07-10 | 1990-07-10 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0487627U true JPH0487627U (ja) | 1992-07-30 |
Family
ID=31805623
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7347390U Pending JPH0487627U (ja) | 1990-07-10 | 1990-07-10 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0487627U (ja) |
-
1990
- 1990-07-10 JP JP7347390U patent/JPH0487627U/ja active Pending