JPH0485444U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の一実施例を示す平面図であ
る。第２図は、第１図に示した実施例の縦断側面
図である。 符号の説明、１……透明板、２……周溝、３…
…吸気孔、４……接続管、５……マスクフイルム
、６……バキユーム装置、７……土手ゴム、８…
…押さえ板、９……生フイルム。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 平坦な表面にマスクフイルム５を位置出し
   して取付ける透明板１と、 該透明板１の表面の、前記位置出しして取付け
   られたマスクフイルム５の周端縁部に対向する箇
   所に周状にかつ多重に刻設された複数の周溝２と
   、 該各周溝２別に、該周溝２内を前記透明板１の
   裏面に連通させる吸気孔３と、 前記各周溝２に前記吸気孔３を介して個々に接
   続された、前記周溝２と同数のバキユーム装置６
   と、 から成る露光装置のベース板装置。 (2) 周溝２を二つ設けると共に、バキユーム装
   置６を二つ設けた請求項１に記載の露光装置のベ
   ース板装置。 (3) 各周溝２に、複数の吸気孔３を周溝２に沿
   つて略等間隔に設けた請求項１または２に記載の
   露光装置のベース板装置。