JPH0485444U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0485444U JPH0485444U JP12887690U JP12887690U JPH0485444U JP H0485444 U JPH0485444 U JP H0485444U JP 12887690 U JP12887690 U JP 12887690U JP 12887690 U JP12887690 U JP 12887690U JP H0485444 U JPH0485444 U JP H0485444U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circumferential grooves
- base plate
- circumferential
- intake holes
- transparent plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
Description
第１図は、本考案の一実施例を示す平面図であ
る。第２図は、第１図に示した実施例の縦断側面
図である。 符号の説明、１……透明板、２……周溝、３…
…吸気孔、４……接続管、５……マスクフイルム
、６……バキユーム装置、７……土手ゴム、８…
…押さえ板、９……生フイルム。
る。第２図は、第１図に示した実施例の縦断側面
図である。 符号の説明、１……透明板、２……周溝、３…
…吸気孔、４……接続管、５……マスクフイルム
、６……バキユーム装置、７……土手ゴム、８…
…押さえ板、９……生フイルム。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 (1) 平坦な表面にマスクフイルム５を位置出し
して取付ける透明板１と、 該透明板１の表面の、前記位置出しして取付け
られたマスクフイルム５の周端縁部に対向する箇
所に周状にかつ多重に刻設された複数の周溝２と
、 該各周溝２別に、該周溝２内を前記透明板１の
裏面に連通させる吸気孔３と、 前記各周溝２に前記吸気孔３を介して個々に接
続された、前記周溝２と同数のバキユーム装置６
と、 から成る露光装置のベース板装置。 (2) 周溝２を二つ設けると共に、バキユーム装
置６を二つ設けた請求項１に記載の露光装置のベ
ース板装置。 (3) 各周溝２に、複数の吸気孔３を周溝２に沿
つて略等間隔に設けた請求項１または２に記載の
露光装置のベース板装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12887690U JP2531653Y2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 露光装置のベース板装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12887690U JP2531653Y2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 露光装置のベース板装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0485444U true JPH0485444U (ja) | 1992-07-24 |
| JP2531653Y2 JP2531653Y2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=31876314
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12887690U Expired - Lifetime JP2531653Y2 (ja) | 1990-11-30 | 1990-11-30 | 露光装置のベース板装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2531653Y2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007079103A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Ono Sokki Co Ltd | フィルム保持板、フィルム保持機構、露光機の整合装置 |
| JP2014074888A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-04-24 | Nippon Mektron Ltd | フォトマスク、フォトマスク組、露光装置および露光方法 |
-
1990
- 1990-11-30 JP JP12887690U patent/JP2531653Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007079103A (ja) * | 2005-09-14 | 2007-03-29 | Ono Sokki Co Ltd | フィルム保持板、フィルム保持機構、露光機の整合装置 |
| JP2014074888A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-04-24 | Nippon Mektron Ltd | フォトマスク、フォトマスク組、露光装置および露光方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2531653Y2 (ja) | 1997-04-09 |
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