JPS5935949U - マスクコンタクトプリンタ− - Google Patents

マスクコンタクトプリンタ−

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Publication number
JPS5935949U
JPS5935949U JP1982129571U JP12957182U JPS5935949U JP S5935949 U JPS5935949 U JP S5935949U JP 1982129571 U JP1982129571 U JP 1982129571U JP 12957182 U JP12957182 U JP 12957182U JP S5935949 U JPS5935949 U JP S5935949U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
mask
contact printer
mask contact
printer
image
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Pending
Application number
JP1982129571U
Other languages
English (en)
Inventor
石芳　敏精
Original Assignee
富士通株式会社
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Filing date
Publication date
Application filed by 富士通株式会社 filed Critical 富士通株式会社
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Publication of JPS5935949U publication Critical patent/JPS5935949U/ja
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来のマスクコンタクトプリンターの構成を示
す断面図、第２図のイ１ロ、ハ図は密着性についての具
体例を説明するための図、第３図は本考案の一実施例で
あるマスクコンタクトプリンターの構成を示す断面図、
第４図は第３図のＡ−Ａ’を示す上部部分の平面図であ
る。 図中、２１・・・・・・マスク原板、２２・・・・・・
マスク原板支持体、２３・・・・・・ゴムシート、２４
・・曲真空源供給路、２５・・・・・・吸着溝、２６・
・・・・・圧電素子、２７・・・・・・複製用マスク、
２８・・・・・・複製用マスク支持体、２９・・・・・
・バッキングシール、３０・・・・・・真空供給路。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. マスクと該マスクの画像を転写すべき基板とを密着させ
    、露光により画像を転写するマスクコンタクトプリンタ
    ーであって、該マスクを支持する支持体に複数の圧電素
    子が取付けられていることを特徴とするマスクコンタク
    トプリンター。
JP1982129571U 1982-08-27 1982-08-27 マスクコンタクトプリンタ− Pending JPS5935949U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1982129571U JPS5935949U (ja) 1982-08-27 1982-08-27 マスクコンタクトプリンタ−

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP1982129571U JPS5935949U (ja) 1982-08-27 1982-08-27 マスクコンタクトプリンタ−

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5935949U true JPS5935949U (ja) 1984-03-06

Family

ID=30293546

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP1982129571U Pending JPS5935949U (ja) 1982-08-27 1982-08-27 マスクコンタクトプリンタ−

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5935949U (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0256831A (ja) * 1988-08-23 1990-02-26 Matsushita Electron Corp マグネトロン

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH0256831A (ja) * 1988-08-23 1990-02-26 Matsushita Electron Corp マグネトロン

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