JPH0482001A - Method for cleaning magnetic head - Google Patents
Method for cleaning magnetic headInfo
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- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 12
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims abstract description 38
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000005201 scrubbing Methods 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 2
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明は、薄膜磁気ヘッド用コアスライダーの洗浄方法
に係り、加工途中における薄膜磁気ヘッド用コアスライ
ダーの両側面部をロールブラシにより洗浄することがで
きる洗浄方法、又は、加工途中における薄膜磁気ヘッド
用コアスライダーの複雑形状の上面部と側面部とを、同
時に、ロールブラシにより、洗浄することができる洗浄
方法に関するものである。[Detailed Description of the Invention] [Industrial Application Field] The present invention relates to a method for cleaning a core slider for a thin-film magnetic head, in which both sides of a core slider for a thin-film magnetic head during processing can be cleaned using a roll brush. The present invention relates to a cleaning method that can simultaneously clean the complex-shaped top and side surfaces of a core slider for a thin-film magnetic head during processing using a roll brush.
[従来の技術]
薄膜磁気ヘッド用コアスライダーは、ウェハーからブロ
ックスライダー形状に切り出し、加工用高精度治具に、
ワックスにより仮止めした状態で順次加工され、研削、
溝加工後には、高温エージング工程が組み込まれている
。このため、薄膜磁気ヘッド用コアスライダーに、加工
液の汚れ、固定のためのワックス等が、固着する。固着
汚れを取り除く作業として、機械的に擦過する洗浄が行
われているが、従来、この洗浄作業は、通常、共通治具
に取り付けた状態の薄膜磁気ヘッド用コアスライダーの
移動方向に、ロールブラシを複数個配列して回転させる
ことによって行われる。その結果、ブラシの刷毛の毛先
が曲がり、バウンドするため、十分に固着汚れを洗浄で
きない欠点がある。特に、薄膜磁気ヘッド用コアスライ
ダーの両側面部には、ブラシの刷毛の擦過力が加わらな
いため、まったく、無擦過のまま、汚れが付着した状態
のものが多い。このため、共通治具に接着された状態の
薄膜磁気ヘッド用コアスライダーの側面部の固着汚れは
、人間が拭き取っている。[Conventional technology] Core sliders for thin-film magnetic heads are cut into a block slider shape from a wafer and placed in a high-precision jig for processing.
It is processed sequentially while being temporarily fixed with wax, then ground,
After grooving, a high-temperature aging process is incorporated. As a result, dirt from the working fluid, wax for fixing, etc. adhere to the core slider for the thin film magnetic head. Mechanical scrubbing is performed to remove adhered dirt. Conventionally, this cleaning process has been carried out using a roll brush in the direction of movement of the core slider for thin-film magnetic heads attached to a common jig. This is done by arranging and rotating multiple . As a result, the tips of the bristles of the brush bend and bounce, resulting in the disadvantage that fixed dirt cannot be sufficiently cleaned. In particular, since the rubbing force of the brush is not applied to both side surfaces of a core slider for a thin film magnetic head, there are many cases in which dirt is adhered to the core slider without being rubbed at all. Therefore, the adhered dirt on the side surface of the thin film magnetic head core slider that is adhered to the common jig is wiped off by a human.
なお、この種の装置に関連するものとして、例えば、特
公平1.−22757号公報が挙げられる。In addition, as related to this type of device, for example, Japanese Patent Publication No. 1. -22757 publication is mentioned.
[発明が解決しようとする課題]
上記従来技術は、ロールブラシの毛先が薄膜磁気ヘッド
用コアスライダーの表面を擦過するときに、たわみ、そ
して、曲がるために、両側面部に刷毛の毛先が当たらず
、両側面部を洗浄することは、困難であった。そのため
、次の3つの問題点があった。[Problems to be Solved by the Invention] In the above-mentioned conventional technology, when the bristles of the roll brush rub against the surface of the core slider for a thin-film magnetic head, they bend and bend, so that the bristles of the brush are exposed on both side surfaces. It was difficult to clean both side surfaces. Therefore, there were the following three problems.
(1)薄膜磁気ヘッド用コアスライダーは、各工程にお
いて、高精度加工を行っており、加工の際は1片側面部
に形成されている素子の外観形状を加工基準としている
。そのために、素子に汚れが固着していると、加工基準
が読み取れないため、人手作業により汚れを除去してい
る。(1) The core slider for a thin film magnetic head is processed with high precision in each step, and the external shape of the element formed on one side surface is used as a processing standard during processing. For this reason, if dirt adheres to the element, the processing standard cannot be read, so the dirt is removed manually.
(2)初期工程の素子パターンが形成されたウヱハー状
態において、その裏面に素子単位で番号がレーザーで刻
まれる。薄膜磁気ヘッド用コアスライダーが、共通治具
に固着された状態では、素子の形成された側面部とは反
対側の側面部に、その番号が刻まれているが、汚れ付着
のために、作業者が番号を読み取れない。(2) In the wafer state in which the element pattern of the initial process has been formed, a number is engraved for each element on the back surface with a laser. When the core slider for thin-film magnetic heads is fixed to the common jig, the number is engraved on the side surface opposite to the side surface on which the element is formed. person cannot read the number.
(3)途中工程において、薄膜磁気ヘッド用コアスライ
ダーの側面部の洗浄が十分に行われないために、途中工
程で付着した汚れを後工程まで弓きすることになり、汚
れが薄膜磁気ヘッド用コアスライダーの側面部に固着す
る。(3) During the intermediate process, the side surface of the core slider for the thin-film magnetic head is not sufficiently cleaned, so the dirt that has adhered during the intermediate process is carried over to the subsequent process, and the dirt is removed from the thin-film magnetic head. It is fixed to the side part of the core slider.
本発明の目的は、薄膜磁気ヘッド用コアスライダーの両
側面部に対向して、三角山型ガイドを設け、前記薄膜磁
気ヘッド用コアスライダーないし前記三角山型ガイドの
上方に、ロールブラシを設け、前記薄膜磁気ヘッド用コ
アスライダーの上面部と両側面部を擦過するようにして
、上面部の洗浄ばかりでなく、両側面部の洗浄を行い、
常に安定した固着汚れの洗浄方法を提供することである
。An object of the present invention is to provide triangular guides opposite to both side surfaces of a core slider for a thin film magnetic head, to provide a roll brush above the core slider for a thin film magnetic head or above the triangular guide. The top surface and both side surfaces of the core slider for thin-film magnetic heads are scrubbed to clean not only the top surface but also both side surfaces.
It is an object of the present invention to provide a method for cleaning fixed dirt that is always stable.
本発明の他の目的は、従来、最終工程の仕上げ洗浄にお
いて使用していた有機溶剤が、将来、規制により使用で
きなくなるため、その対策として、本発明で使用してい
る有機溶剤の代りに、水を使用して機械的な擦過方を十
分に与えるブラシ洗浄を適用できるように最適化しよう
とすることにある。Another object of the present invention is that the organic solvents conventionally used in the final cleaning process will no longer be able to be used due to regulations in the future. The aim is to optimize the application of brush cleaning using water to provide sufficient mechanical scrubbing.
[課題を解決するための手段]
上記目的を達成するために、本発明は、ロールブラシの
刷毛が、薄膜磁気ヘッド用コアスライダーを擦過すると
きに、セット治具に取り付けられた三角山型ガイドによ
り、ロールブラシの刷毛が横方向に押されて曲がり(例
えば横方向に分けられ)、その毛先が両側面部を擦過す
るようにして、両側面部を洗浄するようにしたものであ
る。さらに、形状が複雑な薄膜磁気ヘッド用コアスライ
ダーの上面部と両側面部とを同時に洗浄できるようにし
たものである。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention provides a triangular mountain-shaped guide attached to a setting jig when the brush of a roll brush rubs a core slider for a thin-film magnetic head. As a result, the brushes of the roll brush are pushed laterally and bent (for example, separated laterally), and the tips of the bristles rub against both side surfaces, thereby cleaning both side surfaces. Furthermore, the top surface and both side surfaces of a core slider for a thin film magnetic head, which has a complicated shape, can be cleaned at the same time.
[作用コ 本発明は、薄膜磁気ヘッド用コアスライダーが。[Action Co. The present invention provides a core slider for a thin film magnetic head.
共通治具に固着された状態において、回転するロールブ
ラシによって側面部の洗浄を行うため、ロールブラシの
刷毛の毛先を、薄膜磁気ヘッド用コアスライダーの両側
面部の2個所に横方向へ分ける(押してたわませる)三
角山型ガイドが取り付けられていて、ロールブラシの刷
毛の毛先が、三角山型ガイドの形状に沿って、薄膜磁気
ヘッド用コアスライダーの側面部に接触するようにして
洗浄を行う。In order to clean the side surface with a rotating roll brush while fixed to the common jig, the bristles of the roll brush are divided horizontally into two locations on both sides of the core slider for a thin-film magnetic head ( A triangular chevron-shaped guide (which can be pushed and deflected) is attached, and the brush tip of the roll brush follows the shape of the triangular chevron-shaped guide and cleans by making contact with the side surface of the core slider for the thin-film magnetic head. I do.
[実施例コ 以下、本発明の一実施例を詳細に説明する。[Example code] Hereinafter, one embodiment of the present invention will be described in detail.
第1図は、薄膜磁気ヘッド用コアスライダー1が共通治
具2に接着された状態を示す。3は、薄膜磁気ヘッド用
コアスライダーの拡大図である。FIG. 1 shows a state in which a core slider 1 for a thin film magnetic head is adhered to a common jig 2. As shown in FIG. 3 is an enlarged view of a core slider for a thin film magnetic head.
第2図は、磁気ヘッドの洗浄装置のロールブラシ8、エ
アーシリンダー4.支持台5、伝達シャフト6、回転支
持部7を示す。第3図は、ロールブラシの刷毛9と、三
角山型ガイド10の関係を示した断面図である。FIG. 2 shows a roll brush 8, an air cylinder 4. A support stand 5, a transmission shaft 6, and a rotation support part 7 are shown. FIG. 3 is a sectional view showing the relationship between the brush 9 of the roll brush and the triangular mountain guide 10. As shown in FIG.
第3図に示したように、薄膜磁気ヘッド用コアスライダ
ーの両側面部に固着している汚れを落すため、上面部の
溝と平行にロールブラシ8をあてるのではなく、薄膜磁
気ヘッド用コアスライダー1の両側面部の高さと同じ高
さの三角山型ガイド10により、ロールブラシの刷毛9
の毛先を横方向に分けて(毛先を押したわませて)与圧
擦過する。本実施例によれば、セット治具11上に設置
した共通治具2に接着した薄膜磁気ヘッド用コアスライ
ダー1の両側面部に固着した汚れを機械的に擦過除去す
る効果がある。As shown in FIG. 3, in order to remove dirt stuck to both side surfaces of the core slider for a thin film magnetic head, the roll brush 8 is not applied parallel to the grooves on the top surface of the core slider for a thin film magnetic head. The brushes 9 of the roll brush
Part the tips of the hair horizontally (push and bend the tips) and rub under pressure. According to this embodiment, there is an effect of mechanically scrubbing and removing dirt stuck to both side surfaces of the thin film magnetic head core slider 1 adhered to the common jig 2 installed on the setting jig 11.
次に動作に→¥説明する。第2図のエアーシリンダー4
が、空気の吸収排出のコントロールにより、垂直方向下
方に向かって、加圧力1kg±100gをかける。エア
ーシリンダー4からの加圧力は。Next, I will explain the operation. Air cylinder 4 in Figure 2
However, by controlling the absorption and exhaustion of air, a pressing force of 1 kg±100 g is applied vertically downward. What is the pressure from air cylinder 4?
伝達シャフト6を介してロールブラシ8に伝達される。It is transmitted to the roll brush 8 via the transmission shaft 6.
第3図において、共通治具2が、セット治具11に固定
されていて、加圧力が、回転するロールブラシ8の軸方
向に対して垂直方向に順次送られる。400r、p、m
以上で回転するロールブラシの刷毛9の毛先が、三角山
型ガイド]−〇により横方向に分けられ、与圧擦過力を
与える。薄膜磁気ヘッド用コアスライダー]−の上面部
に接触する刷毛と側面部に接触する刷毛とに分けられ、
従来、擦過力の与えられなかった両側面部を擦過洗浄で
きる。この三角山型ガイド10を切り込みガイドにする
ために、材質は、プラスチック、金属、セラミックなど
、ロールブラシ8の植毛ピッチ、毛先のかたさに対して
適切な材質の選択ができる。In FIG. 3, the common jig 2 is fixed to the setting jig 11, and pressing force is sequentially sent in a direction perpendicular to the axial direction of the rotating roll brush 8. 400r, p, m
The tips of the bristles of the brush 9 of the rotating roll brush are divided laterally by the triangular mountain-shaped guide ]-0 to apply a pressurized rubbing force. Core slider for thin-film magnetic head] - divided into a brush that contacts the top surface and a brush that contacts the side surface,
It is now possible to scrub and clean both side surfaces, to which no scrubbing force has conventionally been applied. In order to use the triangular mountain-shaped guide 10 as a notch guide, a material suitable for the flocking pitch of the roll brush 8 and the hardness of the bristles, such as plastic, metal, and ceramic, can be selected.
本実施例の場合、ナイロンの毛の直径が0.2+amで
、毛の長さが10mmの毛先に対して、三角山型ガイド
10の材質は、プラスチックで、寸法は植毛ピンチ5m
mに対して、輻2mmないし4mm、高さ1mmないし
2mm、薄膜磁気ヘッド用コアスライダー1からの距離
2mmないし4mmの三角山型形状が最適であることが
実験的に確かめられている。In the case of this embodiment, the diameter of the nylon bristles is 0.2+am, and the length of the bristles is 10 mm, and the material of the triangular mountain-shaped guide 10 is plastic, and the size is 5 m.
It has been experimentally confirmed that a triangular mountain shape with a radius of 2 mm to 4 mm, a height of 1 mm to 2 mm, and a distance of 2 mm to 4 mm from the core slider 1 for a thin film magnetic head is optimal for m.
本実施例によれば、固着した汚れであるワックスが、沢
山、両側面部に付着しており、この状態で、本実施例の
三角山型ガイドにより分割されたロールブラシの刷毛の
毛先により、与圧擦過できるため、両側面部にある計測
用の基準パターンの汚れを除くことができる。その結果
、自動計測を精度よくできる効果がある。また、従来、
累積的に固着した汚れが増加する部分を清掃できるため
、最終洗浄時の清掃が容易となる効果もある。このよう
に5薄膜磁気ヘツド用コアスライダーを固着したり、加
工するために汚れが累積する部分を、高精度基準計測に
利用しなければならないので、薄膜磁気ヘッド用コアス
ライダー加工において、品質向上及び人手介入による部
分の簡易化により、合理化効果も期待できる。According to this embodiment, a large amount of wax, which is fixed dirt, is attached to both side surfaces, and in this state, the bristles of the roll brush divided by the triangular mountain-shaped guide of this embodiment, Since it can be rubbed under pressure, it is possible to remove dirt from the reference patterns for measurement on both sides. As a result, there is an effect that automatic measurement can be performed with high precision. Also, conventionally,
This also has the effect of making cleaning easier during the final cleaning process, since it is possible to clean areas where accumulated dirt increases. In this way, the parts where dirt accumulates due to fixing and processing the core slider for thin-film magnetic heads must be used for high-precision reference measurements, so it is necessary to improve the quality and By simplifying the parts through manual intervention, a streamlining effect can also be expected.
[発明の効果]
本発明によれば、薄膜磁気ヘッド用コアスライダーの両
側面部が汚れている場合、三角山型ガイドにより分割さ
れたロールブラシの刷毛の毛先により、前記両側面部を
与圧擦過できるため、前記コアスライダーの上面部だけ
でなく両側面部の汚れを除くことができる。[Effects of the Invention] According to the present invention, when both side surfaces of a core slider for a thin-film magnetic head are dirty, the bristles of the roll brush divided by the triangular ridge-shaped guide rub the both side surfaces under pressure. Therefore, dirt can be removed not only from the top surface of the core slider but also from both side surfaces.
第1図は、薄膜磁気ヘット用コアスライダーを共通治具
に接着した状態を示す図、第2図は、磁気ヘッドの洗浄
装置のロールブラシの部分を示す図、第3図は1.磁気
ヘッドの洗浄装置の薄膜磁気ヘッド用コアスライダーと
三角山型ガイドがロールブラシの刷毛に接触している状
態を示す図である。
1・・・・・薄膜磁気ヘッド用コアスライダー、2・・
・・共通治具、3・・・・・・薄膜磁気ヘッド用コアス
ライダーの拡大図、4・・・・・・エアーシリンダー、
5・・・・・支持台、6・・・・・伝達シャフト、7・
・・・・回転支持部、8・・・・・ロールブラシ、9・
・・・・ロールブラシの刷毛、10−・・三角山型ガイ
ド、11・・・セット治具。
代理人 弁理士 小川 勝馬(外1名) 。
辷ノ″
第
図
!
第
図
第
図1 is a diagram showing a state in which a core slider for a thin film magnetic head is adhered to a common jig, FIG. 2 is a diagram showing a roll brush part of a cleaning device for a magnetic head, and FIG. FIG. 3 is a diagram showing a state in which a thin-film magnetic head core slider and a triangular mountain-shaped guide of the magnetic head cleaning device are in contact with the brush of a roll brush. 1...Core slider for thin film magnetic head, 2...
...Common jig, 3...Enlarged view of core slider for thin film magnetic head, 4...Air cylinder,
5...Support stand, 6...Transmission shaft, 7.
... Rotating support part, 8 ... Roll brush, 9.
... Brush of roll brush, 10-... Triangular mountain guide, 11... Setting jig. Agent: Patent attorney Katsuma Ogawa (1 other person). Figure ! Figure Figure
Claims (1)
して、三角山型ガイドを設け、前記薄膜磁気ヘッド用コ
アスライダーないし前記三角山型ガイドの上方に、ロー
ルブラシを設け、前記ロールブラシの刷毛が、前記薄膜
磁気ヘッド用コアスライダーの上面部を擦過すると共に
、前記ロールブラシの刷毛が、前記三角山型ガイドによ
り、横方向に曲げられて、前記薄膜磁気ヘッド用コアス
ライダーの両側面部を擦過するようにしたことを特徴と
する磁気ヘッドの洗浄方法。1. A triangular guide is provided opposite to both side surfaces of the core slider for a thin film magnetic head, a roll brush is provided above the core slider for the thin film magnetic head or the triangular guide, and a brush of the roll brush is provided. At the same time, the brush of the roll brush is bent laterally by the triangular ridge-shaped guide and scrapes both side surfaces of the core slider for the thin film magnetic head. A method for cleaning a magnetic head, characterized in that:
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19487390A JP2915103B2 (en) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | Cleaning method of magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP19487390A JP2915103B2 (en) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | Cleaning method of magnetic head |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0482001A true JPH0482001A (en) | 1992-03-16 |
JP2915103B2 JP2915103B2 (en) | 1999-07-05 |
Family
ID=16331730
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP19487390A Expired - Lifetime JP2915103B2 (en) | 1990-07-25 | 1990-07-25 | Cleaning method of magnetic head |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2915103B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5995466A (en) * | 1992-09-29 | 1999-11-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical pickup lens cleaning device for double-sided disk player |
-
1990
- 1990-07-25 JP JP19487390A patent/JP2915103B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5995466A (en) * | 1992-09-29 | 1999-11-30 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Optical pickup lens cleaning device for double-sided disk player |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2915103B2 (en) | 1999-07-05 |
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