JP2915103B2 - Cleaning method of magnetic head - Google Patents

Cleaning method of magnetic head

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JP2915103B2
JP2915103B2 JP19487390A JP19487390A JP2915103B2 JP 2915103 B2 JP2915103 B2 JP 2915103B2 JP 19487390 A JP19487390 A JP 19487390A JP 19487390 A JP19487390 A JP 19487390A JP 2915103 B2 JP2915103 B2 JP 2915103B2
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magnetic head
film magnetic
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core slider
thin
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文人 竹井
信男 鈴木
忠雄 宮川
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Hitachi Ltd
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Description

【発明の詳細な説明】 [産業上の利用分野] 本発明は、薄膜磁気ヘツド用コアスライダーの洗浄方
法に係り、加工途中における薄膜磁気ヘツド用コアスラ
イダーの両側面部をロールブラシにより洗浄することが
できる洗浄方法、又は、加工途中における薄膜磁気ヘツ
ド用コアスライダーの複雑形状の上面部と側面部とを、
同時に、ロールブラシにより、洗浄することができる洗
浄方法に関するものである。
The present invention relates to a method for cleaning a core slider for a thin film magnetic head, and it is possible to clean both side portions of a core slider for a thin film magnetic head during processing with a roll brush. Cleaning method that can be, or the top surface and side surface of the complex shape of the core slider for thin film magnetic head during processing,
At the same time, the present invention relates to a cleaning method that can be cleaned by a roll brush.

[従来の技術] 薄膜磁気ヘツド用コアスライダーは、ウエハーからブ
ロツクスライダー形状に切り出し、加工用高精度治具
に、ワツクスにより仮止めした状態で順次加工され、研
削、溝加工後には、高温エージング工程が組み込まれて
いる。このため、薄膜磁気ヘツド用コアスライダーに、
加工液の汚れ、固定のためのワツクス等が、固着する。
固着汚れを取り除く作業として、機械的に擦過する洗浄
が行われているが、従来、この洗浄作業は、通常、共通
治具に取り付けた状態の薄膜磁気ヘツド用コアスライダ
ーの移動方向に、ロールブラシを複数個配列して回転さ
せることによつて行われる。その結果、ブラシの刷毛の
毛先が曲がり、バウンドするため、十分に固着汚れを洗
浄できない欠点がある。特に、薄膜磁気ヘツド用コアス
ライダーの両側面部には、ブラシの刷毛の擦過力が加わ
らないため、まつたく、無擦過のまま、汚れが付着した
状態のものが多い。このため、共通治具に接着された状
態の薄膜磁気ヘツド用コアスライダーの側面部の固着汚
れは、人間が拭き取つている。
[Prior art] A core slider for a thin-film magnetic head is cut out from a wafer into a block slider shape, and is sequentially processed in a high-precision jig for processing while being temporarily fixed by wax, and after a grinding and groove processing, a high-temperature aging process is performed. Is incorporated. For this reason, core sliders for thin-film magnetic heads
Dirt of the working fluid, wax for fixing, etc. adhere.
In order to remove sticking dirt, cleaning by mechanical rubbing is performed.Conventionally, this cleaning work is usually performed by using a roll brush in the moving direction of the core slider for thin film magnetic heads attached to a common jig. Are arranged and rotated. As a result, the brush tip of the brush is bent and bounced, so that there is a disadvantage that the fixed dirt cannot be sufficiently cleaned. In particular, since the frictional force of the brush of the brush is not applied to both side surfaces of the core slider for the thin film magnetic head, many of the core sliders are dirty and adhered without being rubbed. Therefore, the adhered dirt on the side surface of the core slider for the thin film magnetic head adhered to the common jig is wiped by a human.

なお、この種の装置に関連するものとして、例えば、
特公平1-22757号公報が挙げられる。
In addition, as related to this type of device, for example,
Japanese Patent Publication No. 1-22757 is mentioned.

[発明が解決しようとする課題] 上記従来技術は、ロールブラシの毛先が薄膜磁気ヘツ
ド用コアスライダーの表面を擦過するときに、たわみ、
そして、曲がるために、両側面部に刷毛の毛先が当たら
ず、両側面部を洗浄することは、困難であつた。そのた
め、次の3つの問題点があつた。
[Problems to be Solved by the Invention] The above-described conventional technique is characterized in that when the bristle tip of the roll brush rubs the surface of the core slider for the thin film magnetic head, deflection occurs,
And since it bends, the brush tip of a brush does not contact both side parts, and it was difficult to wash both side parts. Therefore, there were the following three problems.

(1)薄膜磁気ヘツド用コアスライダーは、各工程にお
いて、高精度加工を行つており、加工の際は、片側面部
に形成されている素子の外観形状を加工基準としてい
る。そのために、素子に汚れが固着していると、加工基
準が読み取れないため、人手作業により汚れを除去して
いる。
(1) The core slider for a thin-film magnetic head performs high-precision processing in each step, and the processing is performed based on the external shape of the element formed on one side surface. Therefore, if dirt adheres to the element, the processing standard cannot be read, so the dirt is removed manually.

(2)初期工程の素子パターンが形成されたウエハー状
態において、その裏面に素子単位で番号がレーザーで刻
まれる。薄膜磁気ヘツド用コアスライダーが、共通治具
に固着された状態では、素子の形成された側面部とは反
対側の側面部に、その番号が刻まれているが、汚れ付着
のために、作業者が番号を読み取れない。
(2) In a wafer state in which an element pattern in an initial step is formed, a number is engraved on a rear surface of the wafer by a laser in units of elements. When the core slider for the thin-film magnetic head is fixed to the common jig, its number is engraved on the side opposite to the side where the element is formed. Cannot read the number.

(3)途中工程において、薄膜磁気ヘツド用コアスライ
ダーの側面部の洗浄が十分に行われないために、途中工
程で付着した汚れを後工程まで引きずることになり、汚
れが薄膜磁気ヘツド用コアスライダーの側面部に固着す
る。
(3) Since the side surface of the thin film magnetic head core slider is not sufficiently washed in the middle process, dirt attached in the middle process is dragged to the subsequent process, and the dirt is removed from the core slider for thin film magnetic head. To the side of

本発明の目的は、薄膜磁気ヘツド用コアスライダーの
両側面部に対向して、三角山型ガイドを設け、前記薄膜
磁気ヘツド用コアスライダーないし前記三角山型ガイド
の上方に、ロールブラシを設け、前記薄膜磁気ヘツド用
コアスライダーの上面部と両側面部を擦過するようにし
て、上面部の洗浄ばかりでなく、両側面部の洗浄を行
い、常に安定した固着汚れの洗浄方法を提供することで
ある。
An object of the present invention is to provide a triangular-shaped guide in opposition to both side portions of the thin-film magnetic head core slider, and to provide a roll brush above the thin-film magnetic head core slider or the triangular shaped guide, An object of the present invention is to provide a method for always and stably removing fixed dirt by rubbing the upper surface and both side surfaces of a core slider for a thin film magnetic head so that not only the upper surface but also both side surfaces are cleaned.

本発明の他の目的は、従来、最終工程の仕上げ洗浄に
おいて使用していた有機溶剤が、将来、規制により使用
できなくなるため、その対策として、本発明で使用して
いる有機溶剤の代りに、水を使用して機械的な擦過力を
十分に与えるブラシ洗浄を適用できるように最適化しよ
うとすることにある。
Another object of the present invention is that, in the future, the organic solvent used in the final cleaning in the final step can not be used due to regulations in the future, so as a countermeasure, instead of the organic solvent used in the present invention, It is an attempt to optimize the application of a brush wash that provides sufficient mechanical abrasion using water.

[課題を解決するための手段] 上記目的を達成するために、本発明は、ロールブラシ
の刷毛が、薄膜磁気ヘツド用コアスライダーを擦過する
ときに、セツト治具に取り付けられた三角山型ガイドに
より、ロールブラシの刷毛が横方向に押されて曲がり
(例えば横方向に分けられ)、その毛先が両側面部を擦
過するようにして、両側面部を洗浄するようにしたもの
である。さらに、形状が複雑な薄膜磁気ヘツド用コアス
ライダーの上面部と両側面部とを同時に洗浄できるよう
にしたものである。
Means for Solving the Problems In order to achieve the above object, the present invention provides a triangular-shaped guide attached to a set jig when a brush of a roll brush rubs a core slider for a thin-film magnetic head. Thereby, the brush of the roll brush is pushed in the horizontal direction and bent (for example, divided in the horizontal direction), and the bristle ends are rubbed on the both side portions, thereby cleaning the both side portions. Furthermore, the upper surface and both side surfaces of the core slider for a thin film magnetic head having a complicated shape can be cleaned at the same time.

[作用] 本発明は、薄膜磁気ヘツド用コアスライダーが、共通
治具に固着された状態において、回転するロールブラシ
によつて側面部の洗浄を行うため、ロールブラシの刷毛
の毛先を、薄膜磁気ヘツド用コアスライダーの両側面部
の2個所に横方向へ分ける(押してたわませる)三角山
型ガイドが取り付けられていて、ロールブラシの刷毛の
毛先が、三角山型ガイドの形状に沿つて、薄膜磁気ヘツ
ド用コアスライダーの側面部に接触するようにして洗浄
を行う。
[Operation] The present invention provides a method for cleaning the side surface of a core slider for a thin film magnetic head with a rotating jig while the core slider is fixed to a common jig. A triangular-shaped guide is attached to two parts on both sides of the core slider for the magnetic head, and a triangular-shaped guide is attached to the core slider. The brush tip of the roll brush conforms to the shape of the triangular-shaped guide. Then, the cleaning is performed so as to contact the side surface of the core slider for the thin film magnetic head.

[実施例] 以下、本発明の一実施例を詳細に説明する。Example Hereinafter, an example of the present invention will be described in detail.

第1図は、薄膜磁気ヘツド用コアスライダー1が共通
治具2に接着された状態を示す。3は、薄膜磁気ヘツド
用コアスライダーの拡大図である。第2図は、磁気ヘツ
ドの洗浄装置のロールブラシ8、エアーシリンダー4、
支持台5、伝達シヤフト6、回転支持部7を示す。第3
図は、ロールブラシの刷毛9と、三角山型ガイド10の関
係を示した断面図である。
FIG. 1 shows a state in which a core slider 1 for a thin-film magnetic head is bonded to a common jig 2. FIG. 3 is an enlarged view of a core slider for a thin-film magnetic head. FIG. 2 shows a roll brush 8, an air cylinder 4, and a magnetic head cleaning device.
The support base 5, the transmission shaft 6, and the rotation support 7 are shown. Third
The figure is a cross-sectional view showing the relationship between the brush 9 of the roll brush and the triangular mountain guide 10.

第3図に示したように、薄膜磁気ヘツド用コアスライ
ダーの両側面部に固着している汚れを落すため、上面部
の溝と平行にロールブラシ8をあてるのではなく、薄膜
磁気ヘツド用コアスライダー1の両側面部の高さと同じ
高さの三角山型ガイド10により、ロールブラシの刷毛9
の毛先を横方向に分けて(毛先を押したわませて)与圧
擦過する。本実施例によれば、セツト治具11上に設置し
た共通治具2に接着した薄膜磁気ヘツド用コアスライダ
ー1の両側面部に固着した汚れを機械的に擦過除去する
効果がある。
As shown in FIG. 3, in order to remove dirt adhered to both side surfaces of the core slider for the thin-film magnetic head, the core brush for the thin-film magnetic head is not applied in parallel with the grooves on the upper surface. The brush 9 of the roll brush is provided by a triangular mountain-shaped guide 10 having the same height as the height of both side portions of the roll brush 1.
The hair tips are divided laterally (pressing the hair tips) and rubbing under pressure. According to the present embodiment, there is an effect of mechanically removing dirt adhered to both side surfaces of the thin film magnetic head core slider 1 adhered to the common jig 2 installed on the set jig 11.

次に動作について説明する。第2図のエアーシリンダ
ー4が、空気の吸収排出のコントロールにより、垂直方
向下方に向かつて、加圧力1kg±100gをかける。エアー
シリンダー4からの加圧力は、伝達シヤフト6を介して
ロールブラシ8に伝達される。第3図において、共通治
具2が、セツト治具11に固定されていて、加圧力が、回
転するロールブラシ8の軸方向に対して垂直方向に順次
送られる。400r.p.m以上で回転するロールブラシの刷毛
9の毛先が、三角山型ガイド10により横方向に分けら
れ、与圧擦過力を与える。薄膜磁気ヘツド用コアスライ
ダー1の上面部に接触する刷毛と側面部に接触する刷毛
とに分けられ、従来、擦過力の与えられなかつた両側面
部を擦過洗浄できる。この三角山型ガイド10を切り込み
ガイドにするために、材質は、プラスチツク、金属、セ
ラミツクなど、ロールブラシ8の植毛ピツチ、毛先のか
たさに対して適切な材質の選択ができる。本実施例の場
合、ナイロンの毛の直径が0.2mmで、毛の長さが10mmの
毛先に対して、三角山型ガイド10の材質は、プラスチツ
クで、寸法は植毛ピツチ5mmに対して、幅2mmないし4m
m、高さ1mmないし2mm、薄膜磁気ヘツド用コアスライダ
ー1からの距離2mmないし4mmの三角山型形状が最適であ
ることが実験的に確かめられている。
Next, the operation will be described. The air cylinder 4 shown in FIG. 2 applies a pressing force of 1 kg ± 100 g downward in the vertical direction by controlling the absorption and discharge of air. The pressure from the air cylinder 4 is transmitted to the roll brush 8 via the transmission shaft 6. In FIG. 3, a common jig 2 is fixed to a set jig 11, and a pressing force is sequentially sent in a direction perpendicular to the axial direction of the rotating roll brush 8. The tip of the brush 9 of the roll brush rotating at 400 rpm or more is laterally divided by a triangular-shaped guide 10 to give a pressurized rubbing force. The brush is divided into a brush contacting the upper surface portion and a brush contacting the side surface portion of the core slider 1 for a thin film magnetic head. Conventionally, both side portions to which no rubbing force is applied can be scrubbed and cleaned. In order to make the triangular mountain-shaped guide 10 a cutting guide, a material suitable for the flocking pitch of the roll brush 8 and the hardness of the bristle tip, such as plastic, metal, and ceramic, can be selected. In the case of the present embodiment, the material of the triangular chevron guide 10 is plastic, and the size is 5 mm for the flocked pitch, for a hair tip of nylon having a hair diameter of 0.2 mm and a hair length of 10 mm. 2mm to 4m width
It has been experimentally confirmed that a triangular chevron shape with a height of 1 mm to 2 mm and a distance of 2 mm to 4 mm from the core slider 1 for the thin film magnetic head is optimal.

本実施例によれば、固着した汚れであるワツクスが、
沢山、両側面部に付着しており、この状態で、本実施例
の三角山型ガイドにより分割されたロールブラシの刷毛
の毛先により、与圧擦過できるため、両側面部にある計
測用の基準パターンの汚れを除くことができる。その結
果、自動計測を精度よくできる効果がある。また、従
来、累積的に固着した汚れが増加する部分を清掃できる
ため、最終洗浄時の清掃が容易となる効果もある。この
ように、薄膜磁気ヘツド用コアスライダーを固着した
り、加工するために汚れが累積する部分を、高精度基準
計測に利用しなければならないので、薄膜磁気ヘツド用
コアスライダー加工において、品質向上及び人手介入に
よる部分の簡易化により、合理化効果も期待できる。
According to the present embodiment, wax, which is fixed dirt,
In this state, a large amount of the toner adheres to both side surfaces, and in this state, it can be pressurized and rubbed by the brush tip of the roll brush divided by the triangular mountain type guide of the present embodiment. Dirt can be removed. As a result, there is an effect that the automatic measurement can be performed with high accuracy. In addition, conventionally, since the portion where the accumulated dirt increases can be cleaned, the cleaning at the time of the final cleaning can be easily performed. As described above, the portion where dirt accumulates for fixing and processing the thin-film magnetic head core slider must be used for high-accuracy reference measurement. The rationalization effect can be expected by simplification of the part by manual intervention.

[発明の効果] 本発明によれば、薄膜磁気ヘツド用コアスライダーの
両側面部が汚れている場合、三角山型ガイドにより分割
されたロールブラシの刷毛の毛先により、前記両側面部
を与圧擦過できるため、前記コアスライダーの上面部だ
けでなく両側面部の汚れを除くことができる。
[Effects of the Invention] According to the present invention, when both side surfaces of a core slider for a thin-film magnetic head are dirty, the side surfaces of the core slider are pressurized and rubbed by the bristle tips of a roll brush divided by a triangular-shaped guide. Therefore, it is possible to remove dirt not only on the upper surface of the core slider but also on both side surfaces.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

第1図は、薄膜磁気ヘツド用コアスライダーを共通治具
に接着した状態を示す図、第2図は、磁気ヘツドの洗浄
装置のロールブラシの部分を示す図、第3図は、磁気ヘ
ツドの洗浄装置の薄膜磁気ヘツド用コアスライダーと三
角山型ガイドがロールブラシの刷毛に接触している状態
を示す図である。 1……薄膜磁気ヘツド用コアスライダー、2……共通治
具、3……薄膜磁気ヘツド用コアスライダーの拡大図、
4……エアーシリンダー、5……支持台、6……伝達シ
ヤフト、7……回転支持部、8……ロールブラシ、9…
…ロールブラシの刷毛、10……三角山型ガイド、11……
セツト治具。
FIG. 1 is a view showing a state in which a thin film magnetic head core slider is adhered to a common jig, FIG. 2 is a view showing a roll brush portion of a magnetic head cleaning apparatus, and FIG. It is a figure which shows the state in which the core slider for thin film magnetic heads of a washing | cleaning apparatus and the triangular-shaped guide are in contact with the brush of a roll brush. 1 ... Core slider for thin film magnetic head, 2 ... Common jig, 3 ... Enlarged view of core slider for thin film magnetic head,
4 ... air cylinder, 5 ... support base, 6 ... transmission shaft, 7 ... rotating support part, 8 ... roll brush, 9 ...
… Roll brush brush, 10 …… Triangle mountain guide, 11 ……
Set jig.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6,DB名) G11B 5/127 - 5/17 B08B 1/00 - 13/00 H01L 21/304 341 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (58) Field surveyed (Int. Cl. 6 , DB name) G11B 5/127-5/17 B08B 1/00-13/00 H01L 21/304 341

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】薄膜磁気ヘツド用コアスライダーの両側面
部に対向して、三角山型ガイドを設け、前記薄膜磁気ヘ
ツド用コアスライダーないし前記三角山型ガイドの上方
に、ロールブラシを設け、前記ロールブラシの刷毛が、
前記薄膜磁気ヘツド用コアスライダーの上面部を擦過す
ると共に、前記ロールブラシの刷毛が、前記三角山型ガ
イドにより、横方向に曲げられて、前記薄膜磁気ヘツド
用コアスライダーの両側面部を擦過するようにしたこと
を特徴とする磁気ヘツドの洗浄方法。
1. A triangular-shaped guide is provided opposite to both side surfaces of a core slider for a thin-film magnetic head, and a roll brush is provided above the core slider for a thin-film magnetic head or the triangular-shaped guide. The brush of the brush
The upper surface of the thin-film magnetic head core slider is rubbed, and the brush of the roll brush is laterally bent by the triangular mountain guide to rub both side surfaces of the thin-film magnetic head core slider. A method for cleaning a magnetic head, comprising:
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