JPH0481265A - 光ビームはんだ付け装置 - Google Patents

光ビームはんだ付け装置

Info

Publication number
JPH0481265A
JPH0481265A JP19584690A JP19584690A JPH0481265A JP H0481265 A JPH0481265 A JP H0481265A JP 19584690 A JP19584690 A JP 19584690A JP 19584690 A JP19584690 A JP 19584690A JP H0481265 A JPH0481265 A JP H0481265A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
optical system
lamp house
reflecting mirror
light beam
light source
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP19584690A
Other languages
English (en)
Inventor
Kiyoshi Suzuki
清 鈴木
Takao Takahashi
孝夫 高橋
Teruo Okano
輝男 岡野
Junichi Onozaki
純一 小野崎
Nobutaka Kobayashi
小林 伸任
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Tamura Corp
Original Assignee
Tamura Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Tamura Corp filed Critical Tamura Corp
Priority to JP19584690A priority Critical patent/JPH0481265A/ja
Publication of JPH0481265A publication Critical patent/JPH0481265A/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の目的〕 (産業上の利用分野) 本発明は、光ビームの熱を利用してはんだ付けを行う光
ビームはんだ付け装置に関するものである。
(従来の技術) 第4図に示されるように、従来の光ビームはんだ付け装
置は、一つの光源(ハロゲンランプまたはキセノンラン
プ)11と、この光源11の周囲に配置されたランプハ
ウス(楕円反射鏡)12と、このランプハウス12の開
口側に配置された第1平面ミラー13、第2平面ミラー
14および集光レンズ(シリンドリカルレンズ)15か
らなる複数の光学系16と、この光学系16と基板17
との間に配置されたマスク(自動マスク)18とによっ
て構成されている。前記基板17上には被はんだイ;1
けワークとしての電子部品19が搭載されている。
そうして、一つの光源11から周囲に発光された光ビー
ムが、ランプハウス12の内面での反射により下方に方
向イマ1けされ、複数の光学系16により複数の光ビー
ムに分岐、集光され、マスク18で照射範囲を限定され
て、電子部品19の複数の被はんだ付け部(リード等)
に照射され、複数の光ビームの熱により単一部品の複数
箇所における局所はんだ付けが一括して行われる。
(発明が解決しようとする課題) このように、一つの光源11で複数箇所の被はんだ付け
部を同時加熱する場合、従来は、1箇所につき第1平面
ミラー13、第2平面ミラー14および集光レンズ15
からなる光学系16をそれぞれ設けているが、この光学
系16では、被はんだイ;1け部に照射されるエネルギ
ーが均一にならない。例えば、電子部品19が、4辺に
リード群を有するフォード・フラット・パッケージ集積
回路の場合、正方形に配置された4辺のリード群に光ビ
ームを同時照射して一括加熱するために、第3図に示さ
れるように、4枚の第1平面ミラー13および4枚の第
2平面ミラー14がそれぞれ平面的に見て正方形状に配
置されているが、ランプハウス(楕円反射鏡)12から
下方に反射された光ビームの均一なエネルギー密度の分
布は水平断面で円環状になるので、正方形配置の第1平
面ミラー13と調和せず、この第1平面ミラー13での
反射時に、エネルギー密度の均一性が壊れ、最終的に各
辺のリード群にて照射されるエネルギーが均一にならな
いとともに、光ビームの光学系16内でのエネルギー損
失も大きい。
本発明は、このような点に鑑みなされたものであり、一
つの光源で複数の被はんだ付け部を同時加熱する場合、
多波はんだ付け部での光ビームのエネルギー分布を均一
にでき、かつエネルギー損失の少ない光ビームはんだイ
」け装置を提供することを目的とするものである。
〔発明の構成〕
(課題を解決するための手段) 本発明は、光源21と、この光源21の周囲に配置され
たランプハウス22と、このランプハウス22の開口側
に配置された光学系23と、この光学系23と被はんだ
付けワーク32との間に配置されたマスク27とを備え
た光ビームはんだ付け装置において、前記光学系23が
、中央部に円錐状に設けられた第1反射ミラー24と、
この第1反射ミラー24の外周部に配置された複数の第
2反射ミラー25とを少なくとも有するものである。
(作用) 本発明は、ランプハウス22から下方に反射された光ビ
ームのエネルギー密度分布が、円錐状の第1反射ミラー
24での反射時に壊れることなく、そのまま複数の第2
反射ミラー25に分散される。
(実施例) 以下、本発明を第1図および第2図に示される実施例を
参照して詳細に説明する。
第1図に示されるように、光源21と、この光源21の
周囲に配置されたランプハウス22と、このランプハウ
ス22の開口側に配置された光学系23とによって、光
源ユニットが構成されている。
前記光源21としては、ハロゲンランプ、キセノンラン
プまたはメタルハライドランプ等を使用する。
前記ランプハウス22としては、楕円反射鏡を使用する
前記光学系23は、中央部に円錐状に設けられた第1反
射ミラー24と、この第1反射ミラー24の外周部に円
錐状に配置された複数の第2反射ミラー25と、この各
々の第2反射ミラー25に対応する集光レンズ26とに
よって構成されている。前記第2反射ミラー25は、フ
ォード・フラット・パッケージ集積回路の4辺リード群
に対応して、第2図に示されるように4分割されている
前記第2反射ミラー25はセグメントミラーを使用して
も良い。このセグメントミラーは、多数の矩形(正方形
または長方形)のセグメントチップ(鏡面仕上された金
属板)を凹面形にブロック配置したものであり、各セグ
メントチップにより光ビームの形状を均一な矩形に変換
し、この各セグメントチップで反射された光ビームをセ
グメントチップ1個の大きさまで重合(集光)できる。
このセグメントミラーは、集光面のエネルギー分布を平
均化する場合に有利であり、このセグメントミラーを使
用すると、前記集光レンズ26はなくでも良い。
さらに、前記光学系23にて集光された光ビームの照射
範囲は、光学系23の下側に配置されたマスク(自動マ
スク)27の透孔・によって限定される。
このマスク27の透孔にはシャッターが設けられており
、必要な時点で必要な時間だけ開口制御され、光ビーム
が透過される。
そうして、光源21から周囲に発光された光ビームは、
ランプハウス22の内面での反射により下方に方向付け
され、円錐状の第1反射ミラー24の外面により周囲に
反射される。このとき、前記ランプハウス22から下方
に反射された光ビームの均一なエネルギー密度分布は、
水平断面で円環状になるが、この光ビームのエネルギー
密度均一分布が円錐状の第1反射ミラー24の外面にて
壊れることなくそのまま第2反射ミラー25に向って反
射される。さらに、この円錐状に配置された複数の第2
反射ミラー25の内面においても、反射光のエネルギー
が均一になるように反射され、この各第2反射ミラー2
5の凹面で矩形に集光される。そして、集光レンズ26
により強力な光ビームとなって、マスク27のシャッタ
ーに照射されている。
したがって、このマスク27の下側の光ビーム照射位置
に、基板31およびこの基板31に搭載された被はんだ
イ;1けワークとしての電子部品32が図示されないコ
ンベヤにより搬入されると、前記マスク27のシャッタ
ーが開いて、このマスク27の透孔を透過した複数の光
ビーム33が、電子部品32の対応する複数の被はんだ
付け部に同時に照射され、この光ビーム33の加熱によ
って、単一部品の複数箇所における局所リフローはんだ
付けが一括して行われる。
〔発明の効果〕
本発明によれば、光ビームはんだ付け装置に使用される
光学系が、中央部に円錐状に設けられた第1反射ミラー
と、この第1反射ミラーの外周部に配置された複数の第
2反射ミラーとを少なくとも有するから、一つの光源で
複数の被はんだ付け部を同時加熱する場合も、円錐状の
第1反射ミラーによって、均一なエネルギー密度分布を
壊すことなくそのまま光ビームを複数の第2反射ミラー
に分散反射でき、最終的に複数の被はんだ付け部に集光
照射される光ビームのエネルギー分布を均一にでき、多
波はんだ付け部における光量分布が均一に調整された局
所はんだ付けを行うことができる。また、円錐状の反射
ミラーの方が平面ミラーよりも大きな反射面積を確保で
きるから、光学系におけるエネルギー損失が少なく、光
ビームを被はんだ付け部に効率良く照射できる。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明の光ビームはんだイ;1け装置の一実施
例を示す概略図、第2図はその第1反射ミラーおよび第
2反射ミラーの配置を示す平面図、第3図は従来の第1
平面ミラーおよび第2平面ミラーの配置を示す平面図、
第4図は従来の光ビームはんだ付け装置を示す概略図で
ある。 21・・光源、22・・ランプハウス、23・・光学系
、24・・第1反射ミラー、25・・第2反射ミラー、
27・・マスク、32・・被はんだ付けワーク、33・
・光ビーム。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)光源と、この光源の周囲に配置されたランプハウ
    スと、このランプハウスの開口側に配置された光学系と
    、この光学系と被はんだ付けワークとの間に配置された
    マスクとを備えた光ビームはんだ付け装置において、 前記光学系は、中央部に円錐状に設けられた第1反射ミ
    ラーと、この第1反射ミラーの外周部に配置された複数
    の第2反射ミラーとを少なくとも有することを特徴とす
    る光ビームはんだ付け装置。
JP19584690A 1990-07-24 1990-07-24 光ビームはんだ付け装置 Pending JPH0481265A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19584690A JPH0481265A (ja) 1990-07-24 1990-07-24 光ビームはんだ付け装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19584690A JPH0481265A (ja) 1990-07-24 1990-07-24 光ビームはんだ付け装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0481265A true JPH0481265A (ja) 1992-03-13

Family

ID=16347985

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19584690A Pending JPH0481265A (ja) 1990-07-24 1990-07-24 光ビームはんだ付け装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH0481265A (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100444910B1 (ko) * 2001-05-02 2004-08-18 헨리 공 열 변형에 의한 물질 파쇄방법 및 장치

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100444910B1 (ko) * 2001-05-02 2004-08-18 헨리 공 열 변형에 의한 물질 파쇄방법 및 장치

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7061582B2 (en) Exposure apparatus including micro mirror array and exposure method using the same
JP2004502168A (ja) 自動光学検査システム用の照明装置
US5648005A (en) Modified quartz plate to provide non-uniform light source
JP2546712B2 (ja) 光ビーム加熱加工装置
JPH05159999A (ja) 投影露光装置
JPH0481265A (ja) 光ビームはんだ付け装置
US5084808A (en) Lighting optical system
JPH0818125B2 (ja) レーザはんだ付け装置
JPH0481266A (ja) 光ビームはんだ付け装置
JPH0481264A (ja) 光ビームはんだ付け装置
JPH048404Y2 (ja)
JPS5994429A (ja) ダイボンデイング装置
JPH0484668A (ja) 光ビームはんだ付け装置
JPH0481268A (ja) 光ビームはんだ付け装置
JPH0413473A (ja) 光ビーム式はんだ付け装置
JP2930885B2 (ja) 電子部品の接合部検査用照明装置
JPH0481262A (ja) 光ビームはんだ付け装置
JPH01293971A (ja) 電子部品用の光ビーム式はんだ付け装置
JPH02247076A (ja) レーザはんだ付け装置
JPH0347731Y2 (ja)
JPH0679763B2 (ja) ハンダ付装置
JPH0481263A (ja) 光ビームはんだ付け装置
JPS623270U (ja)
JPH04312914A (ja) 紫外線照射装置
JPH0234272A (ja) はんだ付け装置