JPH0476065U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0476065U JPH0476065U JP11933790U JP11933790U JPH0476065U JP H0476065 U JPH0476065 U JP H0476065U JP 11933790 U JP11933790 U JP 11933790U JP 11933790 U JP11933790 U JP 11933790U JP H0476065 U JPH0476065 U JP H0476065U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pit
- hot junction
- diaphragm
- heat sink
- junction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- Radiation Pyrometers (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
図1は本考案の赤外線検出素子の断面図、第2
図は図1に示した素子における要部の配置を示す
平面図、図3は従来の素子における要部の配置を
示す平面図である。 4……絶縁膜、6……シリコン基板、8……ピ
ツト、10……ダイアフラム、12……ヒートシ
ンク、14……絶縁保護膜、16……黒体、20
……熱電対、21……温接点、22……冷接点。
図は図1に示した素子における要部の配置を示す
平面図、図3は従来の素子における要部の配置を
示す平面図である。 4……絶縁膜、6……シリコン基板、8……ピ
ツト、10……ダイアフラム、12……ヒートシ
ンク、14……絶縁保護膜、16……黒体、20
……熱電対、21……温接点、22……冷接点。
Claims (1)
- シリコン基板を用いた1つのチツプ内に長方形
で複数のピツトを平行に形成し、該ピツトの位置
に絶縁膜よりなるダイアフラムを保持し、該ダイ
アフラム上に温接点を、ヒートシンクとなる各ピ
ツト間及びピツト外の基板上に冷接点を配置させ
るように、多数の熱電対を直線的にかつ直列に接
続し、該温接点上に赤外線吸収用の黒体を絶縁保
護膜を介して形成した構造の赤外線検出素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11933790U JPH0476065U (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11933790U JPH0476065U (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0476065U true JPH0476065U (ja) | 1992-07-02 |
Family
ID=31867303
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11933790U Pending JPH0476065U (ja) | 1990-11-16 | 1990-11-16 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0476065U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002162291A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-06-07 | Ihi Aerospace Co Ltd | 赤外線検出素子 |
WO2010113938A1 (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | パナソニック電工株式会社 | 赤外線アレイセンサ |
US8426864B2 (en) | 2008-09-25 | 2013-04-23 | Panasonic Corporation | Infrared sensor |
-
1990
- 1990-11-16 JP JP11933790U patent/JPH0476065U/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2002162291A (ja) * | 2000-11-22 | 2002-06-07 | Ihi Aerospace Co Ltd | 赤外線検出素子 |
US6777680B2 (en) | 2000-11-22 | 2004-08-17 | Ihi Aerospace Co., Ltd. | Infrared detecting device |
US8426864B2 (en) | 2008-09-25 | 2013-04-23 | Panasonic Corporation | Infrared sensor |
WO2010113938A1 (ja) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | パナソニック電工株式会社 | 赤外線アレイセンサ |
US8445848B2 (en) | 2009-03-31 | 2013-05-21 | Panasonic Corporation | Infrared array sensor |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
ATE160239T1 (de) | Thermosäule mit reduziertem thermischen rauschen | |
JPH0476065U (ja) | ||
JPH03109028U (ja) | ||
JPH02165025A (ja) | サーモパイル | |
JPH03117739U (ja) | ||
JPH0399326U (ja) | ||
JPS62106129U (ja) | ||
JP2517199Y2 (ja) | サーモパイル | |
JP2561671Y2 (ja) | 赤外線検知用サーモパイル | |
JPS6255395U (ja) | ||
JPH0455153U (ja) | ||
JPH0213701U (ja) | ||
JPH0399327U (ja) | ||
JPS6448637U (ja) | ||
JPH0481021U (ja) | ||
JPH04113237A (ja) | アレイ型サーモパイルを用いた速度検出装置及び大きさ測定装置 | |
JPH0317638U (ja) | ||
JPH0543037U (ja) | 赤外線検知用サーモパイル | |
JPH03291541A (ja) | 赤外線センサ | |
JPS61104340U (ja) | ||
JPS62120172U (ja) | ||
JPS6347550U (ja) | ||
JPS62113360U (ja) | ||
JPS63145135U (ja) | ||
JPS6351231U (ja) |