【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]
（技術分野）
本発明は鉄系の磁性材料を用いつつも保磁力が
高く、耐腐食性が改善された薄膜型の磁気記録媒
体に関するものである。
（従来技術）
近年、高密度磁気記録の要求の高まりに対応し
て真空蒸着、スパツタリング、イオンプレーテイ
ング等の方法により非磁性基材上に強磁性金属か
らなる薄膜を形成した薄膜型の磁気記録媒体が開
発されており、中でもCo系磁性材料を斜方蒸着
法により形成した薄膜を有する磁気記録媒体は磁
気特性がすぐれており、例えばマイクロカセツト
テープに利用されているなど、高密度記録化の一
翼を担つている。
しかしながらCo系磁性材料を使用するときは
Co系金属の材料費が高い上に斜方蒸着法の蒸着
効率が低いことにより、磁気記録媒体の価格が高
くなり過ぎるため、他の磁性材料への変換が望ま
れている。
一方、Fe系磁性材料を使用して磁気記録媒体
を製造すると、価格的には大巾な低下が図れる可
能性はあるが、高い保磁力が得られず、又、Fe
系磁性材料は耐腐食性が不充分であるため、従
来、種々の試みがなされているにも拘らず未だ実
用化には到つていない。
本発明者はFe系磁性材料を使用する際の欠点
を克服するため研究の結果、次の〜の各点を
見い出した。即ち、
Fe系磁性材料を使用して形成した薄膜の保
磁力は膜厚1000Å付近を境とし、1000Å以下で
は比較的高い値を示すが、1000Åを越えると急
に低下すること、
Fe系磁性材料を使用して形成した薄膜を複
数積層した場合、多層膜としての保磁力は同じ
膜厚の単層膜の保磁力よりは高いものの未だ充
分ではないこと、
上記の欠点を解消するには積層する薄膜の
間に非磁性金属層を形成すればよいが、却つて
耐腐食性が低下すること、および
積層する薄膜の間に合成樹脂の層を設けると
保磁力が低下せず、かつ、耐腐食性も低下しな
いこと。
（発明の構成）
本発明は上記の見い出された事実に基づいてな
されたものであつて、本発明の磁気記録媒体は、
非磁性基材上に斜方蒸着法により形成された鉄も
しくは鉄の合金の薄膜層が複数積層されており、
各薄膜層間には合成樹脂の中間層を有しているこ
とを特徴とするものである。
以下、図面を用いながら本発明について詳細に
説明する。
第１図は本発明の磁気記録媒体の一実施例を示
す断面図であつて、非磁性基材１の表面に磁性薄
膜層２、中間層３、磁性薄膜層４、中間層５、磁
性薄膜層６の各層が順に積層された構造をとつて
おり、即ち、合計３つの磁性薄膜層が非磁性基材
上に積層されており、磁性薄膜層２と４の間、及
び４と６の間にそれぞれ挿入された中間層を有し
ている。
上記における各層の材料を説明すると、まず、
非磁性基材１としてはポリエチレンテレフタレー
ト樹脂、ポリイミド樹脂、ポリアミド樹脂、ポリ
カーボネート樹脂等のプラスチツクフイルムが使
用できる。
磁性薄膜層２，４，６はFe系磁性材料を蒸着
源とした斜方蒸着法により形成されている。Fe
系磁性材料としてはFe単独の他、Fe−Ni，Fe−
Co，Fe−Ni−Co，Fe−Rh，Fe−Cu，Fe−Sm，
Fe−Cr，Fe−Si等のFeを主体とした強磁性合金
が使用できる。
磁性薄膜層を形成するには例えば第２図に示す
ごとく巻き出しリール７から繰り出された非磁性
基材１を冷却ドラム８に接触させて移動させつ
つ、ドラム８の下方に配置された蒸着源９を用い
て基材１の表面に蒸着する方法などの斜方蒸着に
よつて行なう。蒸着済の基材はリール１０に巻き
取られる。なお、ここで遮蔽板１１の位置を水平
に移動させることにより、基材１に対する最小入
射角θを調節することができる。
磁性薄膜層２，４、および６のおのおのの厚み
は1000Å以下とすることが望ましく、この理由は
第３図のグラフに示すごとく、厚みが1000Åを越
えると保磁力が急激に低下する上、角形比も低下
するからである。磁性薄膜層の厚みの下限として
は斜方蒸着の微結晶が十分成長し斜方蒸着の効果
が生じる点で200Å以上とすることが望ましい。
保磁力および角形比の望ましい値は、どのような
システムにおいて使用されるかにより異なるので
一概には言えないが、マイクロカセツトテープと
して使用する場合には市販のマイクロカセツトレ
コーダの設定バイアス電流から判断すると、保磁
力の値としては400〜700Oe程度であり、角形比
の値としては0.75以上であることが望ましい。
中間層４および５は合成樹脂の層からなつてい
る。中間層４および５は磁性薄膜層２，４、およ
び６を磁気的に遮断でき、かつ表面が良好な塗膜
状態を有するものであればいずれでもよく、例え
ば、次のような樹脂から選択して用いた塗料と公
知の塗布方法により、下層のFe系磁性薄膜層に
関するスペーシングロスが生じないよう0.5μｍ程
度あるいはそれ以下とするのがよい。中間層を構
成するための樹脂としてはポリビニルブチラール
樹脂、塩化ビニル／酢酸ビニル共重合樹脂、ニト
ロセルロース・エチルセルロース等のセルロース
系樹脂、ポリウレタン樹脂・エポキシ樹脂・アル
キツド樹脂等の架橋型樹脂、アクリル樹脂、ポリ
エステル樹脂、環化ゴム等が例示できる。
以上の説明では、磁性薄膜層を３層と中間層を
２層有する例について述べたが、本発明はこれに
限定されることなく、磁性薄膜層を２層と中間層
を１層有する場合や、磁性薄膜層を４層以上と各
磁性薄膜層間の中間層とからなるものでもよい。
又、本発明の磁気記録媒体には最表層に表面の
保護の意味で合成樹脂からなる保護層を設けても
よい。保護層を構成する合成樹脂としては、例え
ばポリビニルブチラール樹脂、ポリウレタン樹
脂、エポキシ樹脂、アルキツド樹脂等の架橋型樹
脂、アクリル樹脂、ポリエステル樹脂等、ほぼ中
間層を構成する樹脂と同様のものが使用できる。
以下、本発明をより具体的に説明するための実
施例を掲げる。
実施例 １
非磁性基材としては厚み6μｍのポリエチレン
テレフタレートフイルムを用い、その表面にFe
を蒸着源として、第２図に示した斜方蒸着により
最小入射角60゜にて厚み800Åの蒸着膜を形成し
た。次にFe蒸着膜上にエポキシ硬化型アクリル
樹脂（東レ(株)製、コータツクスKL761）を
MEK／トルエン＝1/1の溶剤を用いて溶解した２
％溶液を用い、グラビアコーテイングにより乾燥
時厚み0.05μｍの中間層を設けた。以下、同様な
操作を繰り返すことにより、ポリエチレンテレフ
タレートフイルム／Fe蒸着膜／中間層／Fe蒸着
膜の積層体とし、更に最表層にポリビニルブチラ
ール樹脂をMEK／トルエン＝1/1の溶剤に溶解し
た2.5％溶液を用い、グラビアコーテイングを行
なつて乾燥時厚み0.1μｍの保護層とした磁気記録
媒体を得た。
比較例 １
実施例１で用いたのと同じ基材を用い、実施例
１で行なつたのと同様な方法によりFe蒸着膜を
2400Åの厚みになるよう形成し、その上に実施例
１で行なつたのと同様な方法により保護層を形成
した。
比較例 ２
各中間層をアルミニウムを蒸着源とした平面蒸
着により形成した厚み400Åのアルミニウム薄膜
とした以外は実施例１と同様に行なつた。
以上の実施例及び比較例で得られた磁気記録媒
体の静磁気特性及び耐腐食性を次表にまとめて示
す。
(Technical Field) The present invention relates to a thin film magnetic recording medium that uses iron-based magnetic materials but has high coercive force and improved corrosion resistance. (Prior art) In response to the increasing demand for high-density magnetic recording in recent years, thin-film magnetic recording has been developed in which a thin film of ferromagnetic metal is formed on a non-magnetic substrate using methods such as vacuum evaporation, sputtering, and ion plating. Media have been developed, and among them, magnetic recording media with thin films formed by oblique evaporation of Co-based magnetic materials have excellent magnetic properties, and are used in microcassette tapes, for example, for high-density recording. It plays a part. However, when using Co-based magnetic materials,
Due to the high material cost of Co-based metals and the low deposition efficiency of the oblique evaporation method, the price of magnetic recording media becomes too high, so conversion to other magnetic materials is desired. On the other hand, if magnetic recording media are manufactured using Fe-based magnetic materials, the price may be significantly reduced, but high coercive force cannot be obtained, and
Because these magnetic materials have insufficient corrosion resistance, they have not yet been put into practical use despite various attempts. As a result of research to overcome the drawbacks of using Fe-based magnetic materials, the present inventor discovered the following points. In other words, the coercive force of a thin film formed using Fe-based magnetic materials reaches a boundary around the film thickness of 1000 Å, and shows a relatively high value below 1000 Å, but rapidly decreases when the thickness exceeds 1000 Å. When multiple thin films formed using a multilayer film are laminated, the coercive force as a multilayer film is higher than that of a single layer film of the same thickness, but it is still not sufficient. It is possible to form a non-magnetic metal layer between the thin films, but this will actually reduce the corrosion resistance, and if a synthetic resin layer is provided between the laminated thin films, the coercive force will not decrease and the corrosion resistance will decrease. Do not reduce your sex. (Structure of the Invention) The present invention has been made based on the above-mentioned discovered fact, and the magnetic recording medium of the present invention includes:
Multiple thin film layers of iron or iron alloy formed by oblique evaporation method are laminated on a non-magnetic base material.
It is characterized by having an intermediate layer of synthetic resin between each thin film layer. Hereinafter, the present invention will be explained in detail using the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing an embodiment of the magnetic recording medium of the present invention, in which a magnetic thin film layer 2, an intermediate layer 3, a magnetic thin film layer 4, an intermediate layer 5, a magnetic thin film layer 2, an intermediate layer 3, a magnetic thin film layer 4, an intermediate layer 5, a magnetic thin film Each layer of layer 6 has a structure in which the layers are laminated in order, that is, a total of three magnetic thin film layers are laminated on a non-magnetic base material, and one between magnetic thin film layers 2 and 4, and between 4 and 6. each having an intermediate layer inserted therein. To explain the materials of each layer in the above, first,
As the non-magnetic base material 1, a plastic film made of polyethylene terephthalate resin, polyimide resin, polyamide resin, polycarbonate resin, etc. can be used. The magnetic thin film layers 2, 4, and 6 are formed by an oblique evaporation method using an Fe-based magnetic material as a evaporation source. Fe
In addition to Fe alone, Fe-Ni, Fe-
Co, Fe−Ni−Co, Fe−Rh, Fe−Cu, Fe−Sm,
Ferromagnetic alloys mainly composed of Fe such as Fe-Cr and Fe-Si can be used. To form a magnetic thin film layer, for example, as shown in FIG. 2, the non-magnetic base material 1 unwound from the unwinding reel 7 is moved in contact with the cooling drum 8, and a vapor deposition source placed below the drum 8 is moved. This is carried out by oblique vapor deposition such as a method of vapor depositing on the surface of the base material 1 using 9. The vapor-deposited base material is wound onto a reel 10. Note that by horizontally moving the position of the shielding plate 11, the minimum incident angle θ with respect to the base material 1 can be adjusted. It is desirable that the thickness of each of the magnetic thin film layers 2, 4, and 6 be 1000 Å or less.The reason for this is that, as shown in the graph in Figure 3, when the thickness exceeds 1000 Å, the coercive force decreases rapidly, and the rectangular shape This is because the ratio also decreases. The lower limit of the thickness of the magnetic thin film layer is desirably 200 Å or more in order to allow sufficient growth of obliquely deposited microcrystals and to produce the effect of obliquely deposited.
Desirable values for coercive force and squareness ratio cannot be generalized as they vary depending on the system used, but when used as a microcassette tape, judging from the bias current setting of a commercially available microcassette recorder, It is desirable that the coercive force value is about 400 to 700 Oe, and the squareness ratio value is 0.75 or more. Intermediate layers 4 and 5 consist of layers of synthetic resin. The intermediate layers 4 and 5 may be made of any material as long as it can magnetically block the magnetic thin film layers 2, 4, and 6 and have a good coating on the surface. For example, they may be selected from the following resins. Depending on the paint used and the known coating method, the thickness is preferably about 0.5 μm or less so as not to cause a spacing loss with respect to the underlying Fe-based magnetic thin film layer. Resins for forming the intermediate layer include polyvinyl butyral resin, vinyl chloride/vinyl acetate copolymer resin, cellulose resins such as nitrocellulose and ethyl cellulose, crosslinked resins such as polyurethane resin, epoxy resin, and alkyd resin, acrylic resin, Examples include polyester resin and cyclized rubber. In the above explanation, an example having three magnetic thin film layers and two intermediate layers has been described. Alternatively, the magnetic thin film layer may be composed of four or more magnetic thin film layers and an intermediate layer between the magnetic thin film layers. Further, the magnetic recording medium of the present invention may be provided with a protective layer made of synthetic resin on the outermost layer in order to protect the surface. As the synthetic resin constituting the protective layer, the same resin as that constituting the intermediate layer can be used, such as crosslinked resins such as polyvinyl butyral resin, polyurethane resin, epoxy resin, and alkyd resin, acrylic resin, and polyester resin. . Examples are given below to explain the present invention more specifically. Example 1 A polyethylene terephthalate film with a thickness of 6 μm was used as the nonmagnetic base material, and Fe was coated on the surface.
A evaporated film with a thickness of 800 Å was formed at a minimum incident angle of 60° by oblique evaporation as shown in FIG. 2 using as a evaporation source. Next, an epoxy-curing acrylic resin (Korutakus KL761, manufactured by Toray Industries, Inc.) was applied on the Fe vapor-deposited film.
2 dissolved using MEK/toluene = 1/1 solvent
% solution, an intermediate layer having a dry thickness of 0.05 μm was provided by gravure coating. Thereafter, the same operation was repeated to obtain a laminate of polyethylene terephthalate film/Fe vapor deposited film/intermediate layer/Fe vapor deposited film, and then polyvinyl butyral resin was dissolved in a solvent of MEK/toluene = 1/1 as the outermost layer. % solution and gravure coating to obtain a magnetic recording medium with a protective layer having a dry thickness of 0.1 μm. Comparative Example 1 Using the same base material as used in Example 1, a Fe vapor deposited film was formed by the same method as in Example 1.
The protective layer was formed to have a thickness of 2400 Å, and a protective layer was formed thereon in the same manner as in Example 1. Comparative Example 2 The same procedure as in Example 1 was carried out, except that each intermediate layer was a 400 Å thick aluminum thin film formed by planar evaporation using aluminum as the evaporation source. The magnetostatic properties and corrosion resistance of the magnetic recording media obtained in the above Examples and Comparative Examples are summarized in the following table.
【表】
以上の結果から明らかなように本発明によれば
安価なFeを使用しつつも保磁力及び角形比の静
磁気特性がすぐれており、なおかつ、耐腐食性も
すぐれている。[Table] As is clear from the above results, according to the present invention, although inexpensive Fe is used, the magnetostatic properties such as coercive force and squareness ratio are excellent, and corrosion resistance is also excellent.
【図面の簡単な説明】[Brief explanation of the drawing]
第１図は本発明の磁気記録媒体の実施例の断面
図、第２図は斜方蒸着法の説明図、第３図は蒸着
膜厚と静磁気特性の関係を示すグラフである。
１…非磁性基材、２，４，６…磁性薄膜層、
３，５…中間層、７…巻き出しリール、８…冷却
ドラム、９…蒸着源、１０…リール、１１…遮蔽
板、θ…最小入射角。
FIG. 1 is a sectional view of an embodiment of the magnetic recording medium of the present invention, FIG. 2 is an explanatory diagram of the oblique deposition method, and FIG. 3 is a graph showing the relationship between the deposited film thickness and magnetostatic characteristics. 1... Nonmagnetic base material, 2, 4, 6... Magnetic thin film layer,
3, 5... Intermediate layer, 7... Unwinding reel, 8... Cooling drum, 9... Evaporation source, 10... Reel, 11... Shielding plate, θ... Minimum incident angle.