JPH0474298U - - Google Patents
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- JPH0474298U JPH0474298U JP11683590U JP11683590U JPH0474298U JP H0474298 U JPH0474298 U JP H0474298U JP 11683590 U JP11683590 U JP 11683590U JP 11683590 U JP11683590 U JP 11683590U JP H0474298 U JPH0474298 U JP H0474298U
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- JP
- Japan
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- heat generating
- generating module
- module
- cooling
- insulating material
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- Pending
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 4
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 claims description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 claims description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims 1
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- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Furnace Details (AREA)
Description
第１図Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは本考案の一実施例の構
成を示す分解斜視図、第２図は従来の一体化した
水冷ヒーターユニツトの斜視図である。 １……発熱体、２……断熱材、３……セラミツ
クピース、４……外板、５……冷却水配管、６…
…連結器、７……冷却水ＩＮ／ＯＵＴ、８……冷
却モジユール、９……端子台、１０……発熱モー
ジユール、１１……固定器。
成を示す分解斜視図、第２図は従来の一体化した
水冷ヒーターユニツトの斜視図である。 １……発熱体、２……断熱材、３……セラミツ
クピース、４……外板、５……冷却水配管、６…
…連結器、７……冷却水ＩＮ／ＯＵＴ、８……冷
却モジユール、９……端子台、１０……発熱モー
ジユール、１１……固定器。
Claims (1)
- 断熱材と発熱体を一体化した発熱モジユールと
、この発熱モジユールを取り囲み着脱自在に固定
した冷却水配管を有する冷却モジユールとの二つ
のブロツクで構成されていることを特徴とする半
導体製造用加熱炉の水冷ヒーターユニツト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11683590U JPH0474298U (ja) | 1990-11-07 | 1990-11-07 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11683590U JPH0474298U (ja) | 1990-11-07 | 1990-11-07 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0474298U true JPH0474298U (ja) | 1992-06-29 |
Family
ID=31864681
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11683590U Pending JPH0474298U (ja) | 1990-11-07 | 1990-11-07 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0474298U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008157590A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置及び熱処理方法 |
-
1990
- 1990-11-07 JP JP11683590U patent/JPH0474298U/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008157590A (ja) * | 2006-12-26 | 2008-07-10 | Tokyo Electron Ltd | 熱処理装置及び熱処理方法 |
| JP4695063B2 (ja) * | 2006-12-26 | 2011-06-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置及び熱処理方法 |