JPH0473491A - 管継手 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、管継手、特に、可撓性チューブを流体連結す
るための管継手に関し、例えば、半導体装置の製造工程
において、弗酸（ＨＦ）や硫酸（Ｈ２ＳＯ，）等のよう
な薬液が流通される配管に利用して有効なものに関する
。

〔従来の技術） 半導体装置の製造工程において、弗酸や硫酸等のような
薬液が使用されるプロセスにおいては、薬液中の異物を
低減させるため、循環濾過を実施することが一般的にな
っている。このように薬液が流通される配管においては
、循環配管の総距離が延長されるばかりでなく、管継手
の箇所が増加する。

ところが、管継手の箇所が増加するということ項記載の
管継手。

は、液洩れ発生要因が増加することになる。そこで、管
継手の設置箇所を減少させるために、可撓性チューブを
使用することが、考えられる。

そして、この可撓性チューブを流体連結するため、所謂
ユニバーサルジヨイントと指称されている管継手を使用
することが一般的に考えられる。

すなわち、この種の管継手は少なくとも一端部に雄ねじ
部が形成されており、その流路部に可撓性チューブが流
体連結されるニップルと、前記可撓性チューブに外挿さ
れ、ニップルの一端面に当接されるシールリングと、前
記可撓性チューブおよびシールリングに外挿され、前記
ニップルの雄ねじ部に螺合されて、前記シールリングを
ニップルの一端面に圧接させるナツトとを備えており、
シールリングによりニップルと可撓性チューブとの間を
シールするようになっている。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、このような管継手が薬液が圧送される前
記薬液循環系に使用された場合、弯曲配管された可撓性
チューブがポンプの脈動やチューブ内圧力の変動等によ
り、直線形状に戻ろうとしたり、弛緩したりして常に振
動するため、管継手のナットが弛緩し、シールリングに
よるシール性能が低下し、その結果、液洩れが発生する
という問題点があることが、本発明者によって明らかに
された。

本発明の目的は、可撓性チューブの振動によるナツトの
弛緩を防止することができる管継手を提供することにあ
る。

本発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、本
明細書の記述および添付図面から明らかになるであろう
。

ｃｉｌ！題を解決するための手段〕 本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を説明すれば、次の通りである。

すなわち、少なくとも一端部に雄ねじ部が形成されてお
り、その流路部に可撓性チューブが流体連結されるニッ
プルと、前記可撓性チューブに外挿され、ニップルの一
端面に当接されるシールリングと、前記可撓性チューブ
およびシールリングに外挿され、前記ニップルの雄ねじ
部に螺合されて、前記シールリングをニップルの一端面
に圧接させるナツトとを備えており、 前記す・７トに前記可撓性チューブに外挿される筒形状
に形成されている保持筒が固定されているとともに、こ
の保持筒は所定の長さを有する直線形状に形成されてい
ることを特徴とする。

〔作用〕

前記した手段によれば、可撓性チューブの根元部分が保
持筒により直線形状に保持されるため、可撓性チューブ
が中間部分において直線形状に戻ろうとして曲げ応力が
作用したとしても、根元部分は元々直線形状であるため
、根元部分には直線形状に戻ろうとする曲げ応力は作用
しない、したがって、この可撓性チューブを締結してい
るす、ントの締結力が弛緩される現象は抑制されること
になる。

〔実施例〕

第１図は本発明の一実施例である管継手の使用状態を示
す拡大半断面図、第２図は第１図の■■線に沿う断面図
、第３図はそれが使用されている配管系の一実施例を示
す模式図、第４図はその作用を説明するだめの他の一般
的な配管系を示す模式図、である。

本実施例において、本発明に係る管継手は、半導体装置
の製造工程において、弗酸や硫酸等のような薬液を圧送
する配管系に使用されるものとして構成されており、特
に、可撓性チューブを流体連結するものとして構成され
ている。

そして、本実施例に係る管継手ｌは、可撓性チューブ２
０がその中空部に流体連結されるニップル２を備えてお
り、このニップル２の一端部外周にはこのニンブル２自
体を配管の一部に取り付けるための取付用雄ねじ部３が
刻設されている。ニップル２中間部外周には工具保合部
４が例えば六角形等のように少なくとも一対の二面幅を
有する形状に一体形成されており、この工具係合部４は
このニップル２がねじ込まれる際に、スパナ等のような
工具（図示せず）を係合されるようになっている。ニッ
プル２の他端部外周には継手用雄ねじ部５が刻設されて
おり、この雄ねじ部５には後記するナツトが着脱自在に
螺着されるようになっている。

ニップル２の軸心線上には流路部６が貫通されて開設さ
れており、この流路部６は被流通流体としての薬液を損
失を可及的に抑えて流通させ得るように形成されている
。この流路部６における継手用雄ねじ部側の端部には可
撓性チューブ挿入部７が同心的に配されて、一定深さ一
定幅に一体的に没設されており、この挿入部７の深さは
可撓性チューブ２０の厚さと略等しく設定されている。

また、挿入部７の入口には略円錐面形状のシールリング
受は部８が同心的に配されて軸心方向内向きに没設され
ており、この受は部８にはシールリング９が受は入れら
れるようになっている。シールリング９はゴムまたは樹
脂等のような弾性材料が用いられて、断面が台形のリン
グ形状に一体成形されている。シールリング９の内径は
可撓性チューブ２０の外径と略等しく、また、その外径
は雄ねじ部５の外径よりも若干小径にそれぞれ形成され
ている。

本実施例において、前記継手用雄ねじ部５に螺着される
ナット１０は全長にわたって一体成形されており、その
外形がニップル２と略同径の六角柱形状に形成されてい
る。ナット１０の一端部には雌ねし部１１が刻設されて
おり、この雌ねし部１１が前記雄ねじ部５に螺合される
ようになっている。ナツト１０の六角形外面により二面
幅を３組有する工具保合部１２が実質的に構成されてい
る。また、ナツトｌＯの雌ねし部１１の反対側端部は直
線形状に延長されることにより保持筒１３を実質的に構
成している。この保持筒１３の内径は前記可撓性チュー
ブ２０の外径と略等しく設定されており、その長さは雌
ねじ部１１の長さよりも５倍〜１０倍程度に設定されて
いる。

そして、このように構成されている管継手１の各部品は
、弗酸や硫酸等のような薬液を流通するのに使用されて
いるため、この薬液に浸食されたり、この薬液を変質さ
せたりしないように、弗素樹脂が用いられて一体成形さ
れたり、表面処理されたりして形成されている。

そして、半導体装置の製造工程において、可撓性チュー
ブ２０が使用されて第３図に示されているような薬液の
配管系２１が構築される場合、前記構成に係る管継手に
おいて、予め、二、７プル２が配管系の所要の危機、こ
こでは、ポンプ２２および処理槽２３に取付用層ねじ部
３をねじ込まれることによりそれぞれ取り付けられる。

その後、第１図および第２図に示されているように、可
撓性チューブ２０の端部にナツト１０およびシールリン
グ９がそれぞれ外挿された状態で、可撓性チューブ２０
がニップル２の挿入部７に挿入されるとともに、ナツト
１０の雌ねし部１１がニップル２の雄ねじ部５にねじ込
まれる。このねじ込みにより、ナツト１０とニップル２
の受は部８との間でシールリング９が圧縮され、ニップ
ル２の流路部６と可撓性チューブ２０の流路部との間の
シールが維持される。

このようにして、第３図に示されている配管系２１が構
築された後、ポンプ２２から処理槽２３へ薬液（図示せ
ず）が圧送されると、可撓性チェーブ２０は圧送液の内
圧を受けて直線形状に戻ろうとする。また、ポンプ２２
の脈動により、圧送液の内圧が大小変動すると、可撓性
チューブ２０は直線になろうとしたり、弯曲に弛緩した
りして変形を繰り返す、このような可撓性チューブ２０
の変形時の力はその基点にそれぞれ設置されている管継
手１．１に作用することになる。

ところで、第４図に示されているように、管継手１′の
ナツト１０°に保持筒が連結されていない従来例の場合
、可撓性チューブ２０に内圧による変形力が作用すると
、可撓性チューブ２０の弯曲の基点に設置されている管
継手１′のそれぞれに大きな曲げ応力が作用するため、
ナット１０′が弛緩し、シール性能が低下し、その結果
、液洩れが発生する。

しかし、本実施例においては、管継手１のナツト１０に
保持筒１３が連結されているため、可撓性チューブ２０
の変形時の力によるナツト１０の弛緩の発生は防止され
る。すなわち、可撓性チューブ２０における各管継手１
付近の部分は保持筒１３により直線形状に保持されてい
るため、当該部分は可撓性チューブ２０の内圧により直
線形状に戻ろうとすることはなく、ナツト１０の弛緩の
発生は防止されることになる。ナツト１０の弛緩が防止
されるため、シールリング９によるシール性能の低下が
防止され、その結果、液洩れの発生が防止される。

前記実施例によれば次の効果が得られる。

（１）　　可撓性チューブの根元部分が保持筒により直
線形状に保持されることにより、可撓性チューブが中間
部分において直線形状に戻ろうとして曲げ応力が作用し
たとしても、根元部分は元々直線形状であるため、根元
部分には直線形状に戻ろうとする曲げ応力は作用しない
。したがって、この可撓性チューブを締結しているナツ
トの締結力が弛緩される現象は抑制されることになる。

（２）弗酸や硫酸等の薬液の液洩れを防止することによ
り、メンテナンス作業者の安全を確保することができる
とともに、薬液を使用する作業の品質および信顧性の低
下を防止することができる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定されるも
のではなく、その要旨を逸脱しな・い範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。

例えば、保持筒はナツトに一体成形するように構成する
に限らず、第５図および第６図に示されているように、
構成してもよい。

第５図において、ナラ）ＩＯＡには二重筒構造の保持筒
１４が固定されている。すなわち、保持筒１４は、ナツ
ト１０Ａと同質の材料が用いられて、内径が可撓性チュ
ーブ２０の外径と略等しく形成されている内筒１５と、
外径が内筒１５の外径と略等しく形成されている外筒１
６とを備えており、内筒１５がナラ）ＩＯＡの一端面に
同軸的に配されて溶着され、外筒１６が内筒１５に圧入
されている。

第６図において、保持筒１７はナツト固着筒部１８と、
可撓性チューブ保持筒部１９ｋを備えており、ナツト固
着筒部１８がナツトｌｏＢの外周に同心的に被着される
ように構成されている。

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野である半導体装置の製造工
程において、弗酸や硫酸等の薬液が流通される配管系に
使用される場合につき説明したが、それに限定されるも
のではなく、塩酸やアンモニア液等のような強酸性、強
アルカリ性の強腐蝕性の薬液が流通される配管系等々に
使用することができる。特に、本発明に係る管継手は、
液洩れが極度に嫌われる配管系に使用されて優れた効果
を発揮する。

〔発明の効果〕

本願において開示される発明のうち代表的なものによっ
て得られる効果を簡単に説明すれば、次の通りである。

可撓性チューブの根元部分が保持筒により直線形状に保
持されることにより、可撓性チューブが中間部分におい
て直線形状に戻ろうとして曲げ応力が作用したとしても
、根元部分は元々直線形状であるため、根元部分には直
線形状に戻ろうとする曲げ応力は作用しない。したがっ
て、この可撓性チューブを締結しているナツトの締結力
が緩められる現象は抑制されることになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の一実施例である管継手の使用状態を示
す拡大半断面図、 第２図は第１図の■−■線に沿う断面図、第３図はそれ
が使用されている配管系の一実施例を示す模式図、 第４図はその作用を説明するための他の一般的な配管系
を示す模式図、である。 第５図はナツトおよび保持筒の変形例を示す拡大半断面
図、 第６図ばナツトおよび保持筒の他の変形例を示す拡大半
断面図、 第７図は第６図の■−■線に沿う断面図である。 １・・・管継手、２・・・ニップル、３・・・取付用雄
ねじ部、４・・・工具保合部、５・・・継手用雄ねじ部
、６・・・流路部、７・・・可撓性チューブ挿入部、８
・・・シールリング受は部９・・・シールリング、１０
．］ＯＡ、１０Ｂ・・・ナツト、１１・・・雌ねし部、
１２・・・工具保合部、１３・・・保持筒、１４・・・
保持筒、１５・・・内筒、１６・・・外筒、１７・・・
保持筒、１８・・・ナツト固着筒部、１９・・・可撓性
チューブ保持筒部、２ｏ・・・可撓性チューブ、２１・
・・配管系、２２・・・ポンプ、２３・・・処理槽。 第３ 第４図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、少なくとも一端部に雄ねじ部が形成されており、そ
   の流路部に可撓性チューブが流体連結されるニップルと
   、前記可撓性チューブに外挿され、ニップルの一端面に
   当接されるシールリングと、前記可撓性チューブおよび
   シールリングに外挿され、前記ニップルの雄ねじ部に螺
   合されて、前記シールリングをニップルの一端面に圧接
   させるナットとを備えており、 前記ナットに前記可撓性チューブに外挿される筒形状に
   形成されている保持筒が固定されているとともに、この
   保持筒は所定の長さを有する直線形状に形成されている
   ことを特徴とする管継手。 ２、前記保持筒が、前記ナットと一体的に成形されてい
   ることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の管継手
   。 ３、前記保持筒が、多重構造に形成されていることを特
   徴とする特許請求の範囲第１項記載の管継手。