JPH0461130A - ダイボンディング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［発明の目的〕 （産業上の利用分野） 本発明は半導体素子の組立工程に係わり、特に、ダイボ
ンディング（Ｄｉｅ　　Ｂｏｎｄｉｎｇ）工程に用いら
れるダイボンディング装置のベレットハンドリング（Ｐ
ｅＱ　Ｑ　ｅ　ｔ　　ＨａｎｄＱ　ｉｎｇ）機構の改良
に関する。

（従来の技術） 従来からリードフレーム（Ｌｅａｄ　　Ｆｒ−ａｍｅ）
に半導体素子を組立てるには、いわゆるダイボンディン
グ装置が利用されており、種類の異なるベレットに対応
できるように複数個のコレット（ＣｏＱ　Ｑ　ｅ　ｔ）
を設置した型が用いられている。その要部を示した第１
図により説明すると、複数個のコレットト・・を駆動さ
せるために同数のコレット軸部２などの付帯機構部か必
要となり、通常６〜８セツト（Ｓｅｔ）が用意されてい
る。

これらの駆動源として設置するモーター　（Ｍｏ　−ｔ
ｏｒ）３には第１プーリー（ＰｕＱ　Ｑ　ｙ）４を直結
し２、これらの近くに設置し５た架台５には第２プーリ
ー６を設け、両者間をベルト（Ｂｅ・Ｑｔ）７により接
続する。更に第２プーリー６とコレット軸部２・・・を
接続し、てモーター（Ｍｏ　ｔ　ｏ　ｒ）　３の稼働に
より第１プーリー４、ベルト・７及び第２プーリー６の
動作によってコレット軸部２・・・が所定の角度だけ移
動可能になる。これに対応し７て設置するコレット１も
追随して移動することになる。

一方架台５には上下に移動できるレバー　（Ｌｅｖｅｒ
）８を突出して設けてダイボンディング工程に必要な荷
重の調整を行わせ、その駆動源には図示していないカム
（Ｃａｒｒｙ）とスプリング（Ｓｐｒｉｎｇ）などを組
合わせて得られる機械的な力に頼っているのが一般的で
ある。

（発明が解決しようとする課題） 前記ダイボンディング装置では複数個のコレット軸か設
置されているので全体の重量か大きくなり高速動作に適
さずその上地格か高くなる。その上コレット軸には回転
機構が設置されておらず、その上ダイを任意の角度を持
たせてマウント（Ｍｏｕｎｔ）できない１゛にダイボン
ディング時に同一荷重で被処理半導体ベレットを処理す
る最適荷重が得られず生産性を阻害するなどの難点があ
った。

本発明はこのような事情により成されたもので特に、簡
素な機構により軽量化を図って安価で高速動作が可能な
ダイボンディング装置を提供することを目的とする。

［発明の構成］ （課題を解決するための手段） 垂直方向に配置する単一のコレット軸と、前記コレット
軸の長手方向を覆って設置する筒状部材と、前記筒状部
材部材端部に設置する第１の機構と、前記第１の機構内
に位置し筒状部材の延長方向に形成する中空部と、前記
中空部に取付けるコレットと、前記中空部及び筒状部材
に連通して前記第１の機構に形成する接続端子と、前記
接続端子に連結する減圧機構と、前記筒状部材に形成す
る固定部材と、前記固定部材に形成しかつ前記コレット
軸を囲んで配置され前記第１の機構に接触する弾性体と
、前記固定部材より上方に位置するコレット軸部分に取
付けるプーリと、前記プーリの駆動源として機能するモ
ータと、前記プーリとモータ間を連絡する手段と、前記
プーリに取付けられ前記モータの回転力をコレット軸に
伝達する第２の機構と２前記コレツト軸に取付けるレバ
ーと、前記レーμの一端に形成し前記磁力発生装置に伝
達する推力発生装置と、前記レーμの他端を前記コレッ
ト軸に固定する第３の機構に本発明に係わるダイボンデ
ィング装置の特徴がある。

（作用） 本発明に係わるダイボンディング装置では単一のコレッ
ト軸を使用し、その回転に例えばパルスモータを、荷重
の調整に推力発生装置例えばムービングコイルを使用し
て安価で高速動作を可能としてかつ、安定した動作がで
きるようにしだものである。

（実施例） 本発明に係わる実施例では理解を助けるために従来技術
間に示したものと同一の部品にも新番号を付けて説明す
る。説明用に提出した第２図には本発明のダイボンディ
ング装置の要部を示す斜視図を、第３図にコレット軸先
端部の断面図を示した。即ち、本発明に係わるダイボン
ディング装置はコレット軸と、これを回転させるための
機構及び荷重の調整用機構更に、コレット軸にフレット
を設置する機構から構成される。以下各部について説明
すると、第２図に明らがなように、架台１０を貫通して
配置する筒状部材１３内には単一のコレット軸１２が移
動できるように配置して（後述する第３図参照）鉛直方
向即ち垂直方向に延長して機械的強度を維持している。

次に、単一のコレット軸１０に回転力を与える第２の機
構としては、架台１０より上方に位置し筒状部材】１を
囲んで設置する支持部１３にプーリ１４を重ねて配置し
、更に架台１０に取付けるバルスモータ（ＰｕＱｓ）１
．５との間をベルト（ＢｅＱｔ）１６により結ぶ。更に
また、プーリ１４に接触するビン１７を設置した取付部
材１８を筒状部材１１に取付けて、パルスモータ１５の
回転力をコレット軸１２に与えて任意の角度を採ること
ができるようにする。更に架台１０より下方に位置する
筒状部材１１には円盤状の固定部材１９を設置し、これ
を起点としてスプリング即ち弾性体２０を設置し、その
他端は筒状部材１１の端部付近に設置する第１の機構２
２に接触させている。この結果、第１の機構２２には２
５０ｇｒの荷重がスプリング２０により常時加えられて
いることになる。

第１の機構２２の要部断面図を示している第３図に明ら
かなように、筒状部材１１の端部付近と、コレット２１
を取付けるコレットホルダー（ＨｏＱｄｅｒ）２３間に
配置するハウジング（ｌｉ−０υｓｉｎｇ）２４により
一体にされている。コレットホルダー２３の中央部には
筒状部材１］の延長方向にバキューム用の孔部２５が設
置されており、その先端にコレット２１が取付ＩＪられ
る。

この取付けには減圧機構（図示せず）の稼働による方式
を採っており、このためハウジング２４に設置するタッ
プ（Ｔａｐ）即ち接続端子２６．２７を減圧機構に接続
する。勿論、接続端子２６．２７は筒状部材１１及びコ
レットホルダー２３に形成する中空部２５に連通させて
減圧例えば真空による吸引力を利用する。

また第２図に明らかなようにハウジング２４と架台１０
間には連結部２８を設けてハウジング２２を固定状態と
する。そのために連結部２８にＵ字状に形成した溝にビ
ン２９を差込む手法を採っている。

更にまた、本発明の重要な構成要件である推力発生装置
２５は第２図に示したようにムービングコイル（Ｍｏｖ
ｉｎｇ　　Ｃｏ１Ｑ）２９とその外側に配置する永久磁
石３０、これによる推力をコレット軸１〕に伝達するＬ
型レバー（Ｌｅｖｅｒ）３］、支点３２、及びＬ型レバ
ー３１の先端と筒状部材１１の接触位置に設置するベア
リング（Ｂｅａｒｉｎｇ）機構３３により形成されてい
る。

推力発生装置Ｆ２５はムービングコイル３０をＬ型レバ
ー３２に固定し、電流を附勢すると外周に永久磁石３］
との間で推力が発生しかつ、附勢する電流値の調整によ
り推力が制御される。Ｌ型レバー３２はこの推力を受け
て支点３２を介してベアリング機構３３を経てコレット
軸１２に伝達される。このように推力発生装置３１に流
れる電流により推力が変わるムービングコイル３２によ
りＬ型レバー３４を介してコレット軸］１にボンディン
グ用荷重が伝達されることになる。また、上下の移動に
ついては図面に省略しているねじ機構により第２図に示
した機構全体が移動することになる。

［発明の効果］ 本発明によれば機構が簡略化され、安価で高速動作に適
した装置が提供できることになると共に、任意の角度で
のベレットボンディングが可能になり、その上ボンディ
ング荷重は電気的に設定できる。従って、ピックアップ
時やボンディング時にベレットに応じた最適荷重が容易
に得られ、ひいてはインデックスの向上につながる利点
もある。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のマルチコレット軸タイプのダイボンディ
ング装置の要部を示す斜視図、第２図は本発明の一実施
例の要部を明らかにするダイボンディング装置斜視図、
第３図は第２図の要部を拡大で示した断面図である。 １．２３：コレット、 ２．１２：コレット軸、　３．１６：モータ、４．６．
１４：プーリ、　５．１０：架台、７．１７：ベルト、 ８．３４ニレバー　　　　１１：ｍ状部材、１３：支持
部、　　　　　１５：第２の機構、１８．３０：ビン、
　　　１９；取付部材、２０：固定部材、　　　　２１
弾性体、２２；第１の機構、 ２４：コレットホルダー ２５：ハウジング、 ２６．中空部、　　　　２７． ２９、連結部、 ３１：推力発生装置、 ３２、ムービイングコイル、 ３′３・永久磁石、 ３５：支点、　　　　：３６・ ３７：ベアリング機構。 ２８：接続端子、 第３の機構、

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　垂直方向に配置する単一のコレット軸と、前記コレッ
   ト軸の長手方向を覆って設置する筒状部材と、前記筒状
   部材端部に設置する第１の機構と、前記第１の機構内に
   位置し筒状部材の延長方向に形成する中空部と、前記中
   空部に取付けるコレットと、前記中空部及び筒状部材に
   連通して前記第１の機構に形成する接続端子と、前記接
   続端子に連結する減圧機構と、前記筒状部材に形成する
   固定部材と、前記固定部材に固定しかつ前記コレット軸
   を囲んで配置され前記第１の機構に接触する弾性体と、
   前記固定部材より上方に位置するコレット軸部分に取付
   けるプーリと、前記プーリの駆動源として機能するモー
   タと、前記プーリとモータ間を連結する手段と、前記プ
   ーリに設置され前記モータの回転力をコレット軸に伝達
   する第２の機構と、前記コレット軸に取付けるレバーと
   、前記レバーの一端に設置する推力発生装置と、前記レ
   バーの他端を前記コレット軸に固定する第３の機構を具
   備することを特徴とするダイボンディング装置