JPH0460935A - Optical imformation recording medium - Google Patents

Optical imformation recording medium

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Publication number
JPH0460935A
JPH0460935A JP2166013A JP16601390A JPH0460935A JP H0460935 A JPH0460935 A JP H0460935A JP 2166013 A JP2166013 A JP 2166013A JP 16601390 A JP16601390 A JP 16601390A JP H0460935 A JPH0460935 A JP H0460935A
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JP
Japan
Prior art keywords
film
silicon dioxide
substrate
group
recording medium
Prior art date
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Pending
Application number
JP2166013A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Tsutomu Ouchi
大内 力
Takenobu Hatasawa
畠澤 剛信
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
Priority to JP2166013A priority Critical patent/JPH0460935A/en
Publication of JPH0460935A publication Critical patent/JPH0460935A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To suppress warping of a medium due to changes in temp. or humidity by applying and hardening an org. silicon compd. only on the opposite side to the recording film side of the substrate so as to form a first film, and then forming a silicon dioxide film thereon. CONSTITUTION:The first film is formed by applying and hardening an org. silicon compd. only on the opposite side to the groove side of a transparent substrate. Then a silicon dioxide film is formed on th;e first film comprising the org. silicon compd. by bringing the substrate into contact with a hydrosilicofluoric acid aq. soln. in a supersaturated state of silicon dioxide to cause precipitation. By this method, the silicon dioxide film can be formed into almost same thickness as that of the total film thickness of the recording film side. Thereby, warping of the medium due to changes in temp. or humidity can be suppressed.

Description

【発明の詳細な説明】 産 土の1  里 本発明は、光磁気ディスクなどの光情報記録媒体に関し
、さらに詳しくは、温度・湿度変化により発生する反り
が抑制され、かつ、長期信頼性を有する光情報記録媒体
に関する。
[Detailed Description of the Invention] The present invention relates to an optical information recording medium such as a magneto-optical disk, and more particularly, to an optical information recording medium such as a magneto-optical disk, which suppresses warping caused by changes in temperature and humidity, and has long-term reliability. Related to optical information recording media.

良米皇且浦 光磁気ディスクやビデオディスクなどの光情報記録媒体
は、一般に、ポリカーボネートやポリメチルメタクリレ
ートなどの透明な合成樹脂基板上に記録膜を設けた構造
を有している。
Optical information recording media such as magneto-optical disks and video disks generally have a structure in which a recording film is provided on a transparent synthetic resin substrate such as polycarbonate or polymethyl methacrylate.

記録膜に用いられる記録媒体用材料は、いずれも酸化や
加水分解されやすいため、記録膜の劣化を防ぐための保
護層の開発が進められている。また、合成樹脂製の基板
を用いた光情報記録媒体においては、基板の吸水・膨潤
による反りが生じ、それに起因して記録膜が剥離したり
、信号読み取りが不可能になったり、あるいは透過水分
により記録膜が劣化するなどの問題がある。そこで、こ
れらの問題を解決して、光情報記録媒体の長期信頼性を
いかにして確保するかが重要な課題となっている。
Since all recording medium materials used for recording films are easily oxidized and hydrolyzed, development of protective layers to prevent deterioration of recording films is underway. In addition, in optical information recording media that use synthetic resin substrates, warping occurs due to water absorption and swelling of the substrate, which may cause the recording film to peel off, signal reading to become impossible, or the amount of water that permeates. This causes problems such as deterioration of the recording film. Therefore, how to solve these problems and ensure the long-term reliability of optical information recording media has become an important issue.

ところで、近年、合成樹脂成形体の表面を改質するため
に、二酸化ケイ素などの酸化物の薄膜で被覆する技術が
開発されている。酸化物膜を被覆する方法としては、真
空蒸着、スパッタ、イオンブレーティング、プラズマC
VDなと各種の方法が知られているが、これらの被膜形
成法では、特別の設備を要し、複雑な形状の成形体に均
一に被覆することが困難で、しかも合成樹脂成形体と被
膜との密着性が不充分である。
Incidentally, in recent years, in order to modify the surface of a synthetic resin molded article, a technique has been developed in which the surface of a synthetic resin molded article is coated with a thin film of an oxide such as silicon dioxide. Methods for coating the oxide film include vacuum evaporation, sputtering, ion blasting, and plasma C.
Various methods such as VD are known, but these film forming methods require special equipment and are difficult to uniformly coat a molded object with a complex shape. Adhesion is insufficient.

そこで、二酸化ケイ素膜を直接合成樹脂成形体表面に被
覆するのではなく、予め合成樹脂成形体の全面に有機ケ
イ素化合物を被覆および硬化させて第1次被膜とした後
、二酸化ケイ素の過飽和状態のケイフッ化水素酸溶液と
接触させて第1次被膜上に二酸化ケイ素被膜を形成させ
る方法(析出法)が提案されている(特開昭61−12
734号、特開平1−132640号、特開平1−21
7044号など)。この析出法を光磁気ディスクなどの
基板に適用すれば、耐湿性や耐擦傷性などが改良された
光情報記録媒体を得ることができる。
Therefore, instead of directly coating the surface of the synthetic resin molded body with a silicon dioxide film, the entire surface of the synthetic resin molded body is coated with an organosilicon compound and cured to form a primary coating, and then the supersaturated state of silicon dioxide is coated and cured. A method (precipitation method) has been proposed in which a silicon dioxide film is formed on the primary film by contacting it with a hydrofluorosilicic acid solution (Japanese Unexamined Patent Publication No. 61-12).
No. 734, JP-A-1-132640, JP-A-1-21
7044 etc.). If this deposition method is applied to a substrate such as a magneto-optical disk, an optical information recording medium with improved moisture resistance, scratch resistance, etc. can be obtained.

ところが、従来のように、成形体の全面に第1次被膜お
よび二酸化ケイ素被膜を形成する方法をそのまま光磁気
ディスク用基板に適用すると、基板の記録膜形成側に設
けられているグループ(微細な凹凸)力脣曵くなったり
、溝深さの不均一な分布が生じたり、ひどい場合にはグ
ループが消失したりする。このことは、特に、プリフォ
マット入り基板では、重要な問題となる。
However, if the conventional method of forming a primary film and a silicon dioxide film on the entire surface of a molded body is applied to a magneto-optical disk substrate, the groups (microscopic (Irregularities) This may cause the groove to become sluggish, uneven distribution of groove depth may occur, or in severe cases, groups may disappear. This becomes an important problem, especially for substrates containing preformats.

また、基板の全面に第1次被膜および二酸化ケイ素被膜
を形成した後、その片面(グループ面側)に記録膜を設
けると、断面構造の各層の厚みが基板を中心として対称
とはならないため、光情報記録媒体の表裏での熱的な膨
張・収縮や吸湿による膨潤等にアンバランスを生じ、単
板仕様ディスクで問題となる温度・湿度変化により発生
する反りを完全に抑制することができない。
Furthermore, if a recording film is provided on one side (group side) after forming a primary coating and a silicon dioxide coating on the entire surface of the substrate, the thickness of each layer in the cross-sectional structure will not be symmetrical with respect to the substrate. This creates an imbalance in thermal expansion/contraction and swelling due to moisture absorption on the front and back sides of the optical information recording medium, and it is not possible to completely suppress warping that occurs due to changes in temperature and humidity, which is a problem with single-layer discs.

これらの問題は、感度の低下やレーザー光の散乱等をも
たらし、かつ、光情報記録媒体の長期信頼性を損なう。
These problems cause a decrease in sensitivity, scattering of laser light, etc., and impair the long-term reliability of the optical information recording medium.

が  しよ とする 本発明の目的は、温度・湿度の変化による反りが抑制さ
れ、かつ、耐湿性、耐食性、耐擦傷性に優れ、長期信頼
性を有する光情報記録媒体を提供することにある。
An object of the present invention is to provide an optical information recording medium that is suppressed from warping due to changes in temperature and humidity, has excellent moisture resistance, corrosion resistance, and scratch resistance, and has long-term reliability. .

本発明者らは、前記従来技術の有する問題点を克服する
ために鋭意研究した結果、透明な合成樹脂基板のグルー
プ面とは反対側の面にのみ、有機ケイ素化合物を被覆お
よび硬化させて第1次被膜とした後、二酸化ケイ素の過
飽和状態のケイフッ化水素酸溶液と接触させて第1次被
膜上に二酸化ケイ素被膜を形成させ、かくして得られた
基板のグループ面上に記録膜を設けることにより、前記
目的を達成できることを見出し、その知見に基づいて本
発明を完成するに至った。
As a result of intensive research in order to overcome the problems of the prior art, the present inventors have discovered that a transparent synthetic resin substrate is coated and cured with an organosilicon compound only on the surface opposite to the group surface. After forming the primary film, contact with a supersaturated hydrofluorosilicic acid solution of silicon dioxide to form a silicon dioxide film on the primary film, and provide a recording film on the group surface of the thus obtained substrate. The inventors have discovered that the above object can be achieved, and have completed the present invention based on this knowledge.

この光情報記録媒体は、基板表面が二酸化ケイ素被膜で
被覆されているために、耐湿性、耐食性および耐擦傷性
が顕著に向上し、かつ吸水性が極めて小さい。また、第
1次被膜および二酸化ケイ素被膜の厚みを調整すること
により、記録膜側の全層厚みと同じにすれば、表裏の対
称性が保持されて、反りの発生のない光情報記録媒体を
作成することができる。
Since the substrate surface of this optical information recording medium is coated with a silicon dioxide film, its moisture resistance, corrosion resistance, and scratch resistance are significantly improved, and its water absorption is extremely low. In addition, by adjusting the thickness of the primary coating and the silicon dioxide coating, if the thickness of the entire layer is the same as that of the recording film, the symmetry between the front and back sides can be maintained, and an optical information recording medium without warping can be created. can be created.

本発明は、これらの知見に基づいて完成するに至ったも
のである。
The present invention has been completed based on these findings.

課題を・ンするための かくして、本発明によれば、基板上に形成された記録膜
を有する光情報記録媒体において、該基板が、記録膜と
は反対側の面にのみ、有機ケイ素化合物を被覆および硬
化した第1次被膜と、該第1次被膜上に、二酸化ケイ素
の過飽和状態のケイフッ化水素酸溶液と接触させて形成
した二酸化ケイ素被膜を有する透明合成樹脂基板である
ことを特徴とする光情報記録媒体が提供される。
According to the present invention, in an optical information recording medium having a recording film formed on a substrate, the substrate is coated with an organosilicon compound only on the surface opposite to the recording film. A transparent synthetic resin substrate having a coated and cured primary coating, and a silicon dioxide coating formed on the primary coating by contacting with a supersaturated hydrofluorosilicic acid solution of silicon dioxide. An optical information recording medium is provided.

以下、本発明の各構成要素について説明する。Each component of the present invention will be explained below.

(光情報記録媒体) 本発明で使用する光情報記録媒体は、合成樹脂製の透明
基板上に記録膜を有するものであり、記録膜の層構成は
、通常、光磁気材料層、誘電体層および/または保護層
などを有する多層構造となっている。
(Optical information recording medium) The optical information recording medium used in the present invention has a recording film on a transparent substrate made of synthetic resin, and the layer structure of the recording film is usually a magneto-optical material layer and a dielectric layer. It has a multilayer structure including a protective layer and/or a protective layer.

本発明における光情報記録媒体としては、上記多層構造
を有するものであれば、単板仕様や張り合せ仕様など、
従来公知の構造のものを包含するが、特に、単板仕様の
ものに効果的である。
As long as the optical information recording medium in the present invention has the above-mentioned multilayer structure, such as a single-plate specification or a laminated specification, etc.
This includes conventionally known structures, but is particularly effective for single-plate structures.

基板の材料となる合成樹脂としては、ポリカーボネート
樹脂、アクリル樹脂、エポキシ樹脂など−Mに光情報記
録媒体用として用いられている透明性に優れた合成樹脂
であれば良(、特に制限されないが、その中でも有機ケ
イ素化合物と強固な化学結合を生じるポリカーボネート
樹脂が好ましい。
The synthetic resin used as the material for the substrate may be any synthetic resin with excellent transparency, such as polycarbonate resin, acrylic resin, epoxy resin, etc., which is used for optical information recording media (although not particularly limited). Among these, polycarbonate resins that form strong chemical bonds with organosilicon compounds are preferred.

これらの基板は、予めグループの設けられている面とは
反対側の面(鏡面)にのみ、有機ケイ素化合物を被覆お
よび硬化した第1次被膜を設け、さらにその上に、二酸
化ケイ素の過飽和状態のケイフッ化水素酸溶液と接触さ
せて形成した二酸化ケイ素被膜を形成しておく。
These substrates are provided with a primary film coated and cured with an organosilicon compound only on the surface (mirror surface) opposite to the surface on which the groups are provided, and on top of that is a supersaturated state of silicon dioxide. A silicon dioxide film is formed by contacting with a hydrofluorosilicic acid solution.

記録層としては、TbFeCo、GdFe、TbCo、
DyFe、NdDyFeCo、TbFe、GdFeB1
.GdTbFeなどからなる記録膜、あるいは相変化型
記録材料や色素系配録材料からなる膜など従来公知のも
のがいずれも使用可能である。
As the recording layer, TbFeCo, GdFe, TbCo,
DyFe, NdDyFeCo, TbFe, GdFeB1
.. Any conventionally known recording film such as a recording film made of GdTbFe or the like, or a film made of a phase change type recording material or a dye-based recording material can be used.

誘電体層および/または保護膜の材料としては、5in
2.SiN、、5iAI2ON、SiAβNなどSi系
の透明な層を形成する誘電体が好ましく使用できる。
The material for the dielectric layer and/or protective film is 5in.
2. A dielectric material that forms a Si-based transparent layer, such as SiN, 5iAI2ON, and SiAβN, can be preferably used.

(基 板) 〈第1次被膜〉 本発明では、先ず、透明な合成樹脂基板のグループ面側
(記録膜を設ける面)とは反対側の面にのみ、有機ケイ
素化合物を被覆および硬化した第1次被膜を形成させる
(Substrate) <Primary Coating> In the present invention, first, an organosilicon compound is coated and cured only on the surface of the transparent synthetic resin substrate opposite to the group surface side (the surface on which the recording film is provided). Form a primary film.

有機ケイ素化合物としては、ビニル基、メタクリロキシ
基、エポキシ基、アミノ基またはイソシアネート基等を
含有する汎用のシラン系カップリング剤がある。具体的
には、次の一般式CI]および[II]で示される有機
ケイ素化合物を例示することができる。
Examples of organosilicon compounds include general-purpose silane coupling agents containing a vinyl group, a methacryloxy group, an epoxy group, an amino group, an isocyanate group, or the like. Specifically, organosilicon compounds represented by the following general formulas CI] and [II] can be exemplified.

Xn S I Y4−n           [I 
]〔ただし、Xは、炭素数1〜6の炭化水素基、ビニル
基、メタクリロキシ基、エポキシ基、アミノ基またはイ
ソシアネート基を有する炭素数1〜10の炭化水素基、
Yはアルコキシ基、アルコキシアルコキシ基、アセトキ
シ基または水酸基を有する炭素数1〜10の炭化水素基
、nはO〜4の整数である。] 具体的には、テトラメチルシラン、トリメチルメトキシ
シラン、ジメチルジメトキシシラン、メチルトリメトキ
シシラン、テトラエトキシシラン、フェニルトリメトキ
シシラン、フェニルメチルジメトキシシラン、γ−アミ
ノプロピルトリエトキシシラン、γ−アミノプロピルト
リメトキシシラン、γ−インシアネートプロピルトリメ
トキシシラン、γ−イソシアネートプロピルトリエトキ
シシラン、γ−イソシアネートプロピルメチルジメトキ
シシラン、グリシドキシプロビルトリメトキシシラン、
グリシドキシプロビルトリエトキシシラン、グリシドキ
シプロピルトリプロポキシシラン、グリシドキシプロビ
ルメチルジメトキシシラン、グリシドキシプロピルメチ
ルジェトキシシラン、グリシドキシプロビルエチルジメ
トキシシラン、グリシドキシプロビルエチルジェトキシ
シラン、グリシドキシプロビルブチルジメトキシシラン
、グリシドキシプロビルブチルジェトキシシラン、2−
 (2,3−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメト
キシシラン、γ−(2−アミノエチル)アミノプロピル
トリメトキシシラン、γ−(2−アミノエチル)アミノ
プロピルメチルジメトキシシラン、γ−アニリノプロピ
ルトリメトキシシラン、N−フェニルアミノメチルトリ
メトキシシラン、N−(トリエトキシシリルプロピル)
尿素、アミノメチルトリエトキシシラン、N(β−アミ
ノエチル)アミノメチルトリメトキシシラン、アミノメ
チルジェトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビ
ニルトリス(β−メトキシエトキシ)シラン、ビニルア
セトキシシラン、γ−メタクリロキシプロピルトリメト
キシシラン、γ−メルカプトプロピルトリメトキシシラ
ン、等が挙げられる。
Xn S I Y4-n [I
[However, X is a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, a vinyl group, a methacryloxy group, an epoxy group, an amino group, or a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms having an isocyanate group,
Y is an alkoxy group, an alkoxyalkoxy group, an acetoxy group, or a hydrocarbon group having 1 to 10 carbon atoms and having a hydroxyl group, and n is an integer of 0 to 4. ] Specifically, tetramethylsilane, trimethylmethoxysilane, dimethyldimethoxysilane, methyltrimethoxysilane, tetraethoxysilane, phenyltrimethoxysilane, phenylmethyldimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, Methoxysilane, γ-Incyanatopropyltrimethoxysilane, γ-Isocyanatepropyltriethoxysilane, γ-Isocyanatepropylmethyldimethoxysilane, Glycidoxypropyltrimethoxysilane,
Glycidoxypropyl triethoxysilane, glycidoxypropyltripropoxysilane, glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, glycidoxypropylmethyljethoxysilane, glycidoxypropyl ethyldimethoxysilane, glycidoxypropyl ethyl Jetoxysilane, glycidoxypropylbutyldimethoxysilane, glycidoxypropylbutyljethoxysilane, 2-
(2,3-epoxycyclohexyl)ethyltrimethoxysilane, γ-(2-aminoethyl)aminopropyltrimethoxysilane, γ-(2-aminoethyl)aminopropylmethyldimethoxysilane, γ-anilinopropyltrimethoxysilane, N-phenylaminomethyltrimethoxysilane, N-(triethoxysilylpropyl)
Urea, aminomethyltriethoxysilane, N(β-aminoethyl)aminomethyltrimethoxysilane, aminomethyljethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris(β-methoxyethoxy)silane, vinylacetoxysilane, γ-methacryloxypropyl Examples include trimethoxysilane, γ-mercaptopropyltrimethoxysilane, and the like.

R’、−、S i  (OOR2)。      [I
I ]C式中、R1は、炭素数1〜6の炭化水素基、ビ
ニル基、メタクリロキシ基、エポキシ基、アミノ基、メ
ルカプト基、フッ素または塩素を有する有機基であり、
R2は、アルキル基、アシル基、アリールアルキル基か
ら選ばれる1種もしくは複数の結合基であり、nは1〜
4の整数である。〕具体的には、例えば、ビニルトリス
(t−ブチルパーオキシ)シラン、ビニルトリス(キュ
メンバーオキシ)シラン、ビニルトリス(アセデルパー
オキシ)シラン、ビニルトリス(ベンゾイルパーオキシ
)シラン、ビニルトリス(ラウロイルパーオキシ)シラ
ン、γ−グリシドキシプロビルトリス(t−ブチルパー
オキシ)シラン、γ−グリシドキシプロピルトリス(キ
ュメンバーオキシ)シラン、γ−グリシドキシプロピル
トリス(アセチルパーオキシ)シラン、γ−グリシドキ
シプロビルトリス(ベンゾイルパーオキシ)シラン、γ
−グリシドキシプロビルトリス(ラウロイルパーオキシ
)シラン、γ−メタクリロキシプロピルトリス(t−ブ
チルパーオキシ)シラン、γ−メタクリロキシプロピル
トリス(キュメンバーオキシ)シラン、γ−メタクリロ
キシプロピルトリス(アセチルパーオキシ)シラン、γ
−メタクリロキシプロピルトリス(ベンゾイルパーオキ
シ)シラン、γ−メタクリロキシプロピルトリス(ラウ
ロイルパーオキシ)シランなどを挙げることができる。
R',-,S i (OOR2). [I
I]C In the formula, R1 is a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, a vinyl group, a methacryloxy group, an epoxy group, an amino group, a mercapto group, an organic group having fluorine or chlorine,
R2 is one or more bonding groups selected from an alkyl group, an acyl group, and an arylalkyl group, and n is 1 to
It is an integer of 4. ] Specifically, for example, vinyltris(t-butylperoxy)silane, vinyltris(cumemberoxy)silane, vinyltris(acedelperoxy)silane, vinyltris(benzoylperoxy)silane, vinyltris(lauroylperoxy)silane , γ-glycidoxypropyltris(t-butylperoxy)silane, γ-glycidoxypropyltris(cumemberoxy)silane, γ-glycidoxypropyltris(acetylperoxy)silane, γ-glycid Xyprobil tris(benzoylperoxy)silane, γ
-glycidoxypropyltris(lauroylperoxy)silane, γ-methacryloxypropyltris(t-butylperoxy)silane, γ-methacryloxypropyltris(cumememberoxy)silane, γ-methacryloxypropyltris(acetyl peroxy)silane, γ
-methacryloxypropyltris(benzoylperoxy)silane, γ-methacryloxypropyltris(lauroylperoxy)silane, and the like.

さらに、これらの加水分解物、コロイダルシリカなども
使用できる。加水分解物は、例えば、水または水とアル
コールの混合溶媒中で、酸の存在下で加水分解すること
によって得ることができる。
Furthermore, hydrolysates of these, colloidal silica, etc. can also be used. The hydrolyzate can be obtained, for example, by hydrolysis in water or a mixed solvent of water and alcohol in the presence of an acid.

これらの有機ケイ素化合物は、それぞれ単独で、あるい
は複数種組み合わせて用いることができる。
These organosilicon compounds can be used alone or in combination.

合成樹脂基板の表面(鏡面側;グループのある面と反対
側の面)に、有機ケイ素化合物からなる被膜を形成する
には、有機ケイ素化合物をメタノール、エタノール、イ
ソプロパツール、イソブタノールなどのアルコール類、
メチルセロソルブ、エチルセロソルブ、ブチルセロソル
ブなどのセロソルブ類、トルエン、ヘキサン、メチルエ
チルケトン、メチルイソブチルケトン、ヘプタン、酢酸
エチル、酢酸ブチル、アセトン、シクロヘキサノンなど
の溶剤□に溶解させ、その溶液をスピンコード法、吹付
は法等により塗布した後、乾燥させて溶剤を除去すれば
よい。なお、硬化触媒やフローコントロール剤などを添
加してもよい。
To form a film made of an organosilicon compound on the surface of a synthetic resin substrate (mirror side; opposite side to the side with groups), the organosilicon compound is mixed with an alcohol such as methanol, ethanol, isopropanol, or isobutanol. kind,
Cellosolves such as methyl cellosolve, ethyl cellosolve, and butyl cellosolve are dissolved in solvents such as toluene, hexane, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, heptane, ethyl acetate, butyl acetate, acetone, and cyclohexanone. After coating by a method or the like, the solvent may be removed by drying. Note that a curing catalyst, a flow control agent, and the like may be added.

硬化方法としては、加熱、紫外線や電子線照射などの方
法がある。
Examples of curing methods include heating, ultraviolet ray irradiation, and electron beam irradiation.

第1次被膜の膜厚は、この上に形成する二酸化ケイ素被
膜との密着性を確保できる厚さであれば特に限定されな
いが、通常、50〜300人程度である。
The thickness of the primary coating is not particularly limited as long as it can ensure adhesion to the silicon dioxide coating formed thereon, but is usually about 50 to 300.

く二酸化ケイ素被膜〉 次に、有機ケイ素化合物を被覆および硬化した第1次被
膜上に、析出法により、二酸化ケイ素の過飽和状態のケ
イフッ化水素酸溶液と接触させて二酸化ケイ素被膜を形
成させる。二酸化ケイ素の被膜を形成する方法としては
、前記特開昭61−12734号などに詳細に開示され
ている公知の方法が適用できる。
Silicon dioxide film> Next, the first film coated with an organosilicon compound and cured is brought into contact with a supersaturated hydrofluorosilicic acid solution of silicon dioxide by a precipitation method to form a silicon dioxide film. As a method for forming a silicon dioxide film, a known method disclosed in detail in the above-mentioned Japanese Patent Application Laid-Open No. 12734/1983 can be applied.

二酸化ケイ素の過飽和状態のケイフッ化水素酸溶液とは
、ケイフッ化水素酸溶液に二酸化ケイ素(シリカゲル、
エアロジル、シリカガラス、その他二酸化ケイ素含有物
など)を溶解させた後、水または試薬(ホウ酸、塩化ア
ルミニウムなど)を添加し、二酸化ケイ素の過飽和状態
としたものである。この処理液に、第1次被膜を形成し
た基板を接触させればよい。接触は、基板を処理液中に
浸漬するか基板表面に処理液を流下させるなどの方法が
あるが、均一な被膜を形成するためには浸漬法が好まし
い。
A supersaturated hydrofluorosilicic acid solution of silicon dioxide is a solution of silicon dioxide (silica gel,
Aerosil, silica glass, other silicon dioxide-containing substances, etc.) are dissolved, and then water or a reagent (boric acid, aluminum chloride, etc.) is added to create a supersaturated state of silicon dioxide. The substrate on which the primary film has been formed may be brought into contact with this treatment liquid. The contact may be carried out by immersing the substrate in the processing solution or by allowing the processing solution to flow down onto the surface of the substrate, but the immersion method is preferred in order to form a uniform film.

処理液中のケイフッ化水素酸の濃度は、1〜2モル/β
が好ましく、特に2モル/βより濃いケイフッ化水素酸
水溶液に二酸化ケイ素を飽和させた後、水で希釈して1
〜2モル/βの濃度としたものが、被膜形成速度が早(
、効率よく被覆が行なえるので望ましい。過飽和状態と
するためにホウ酸を添加する場合の添加量は、処理液中
のケイフッ化水素酸1モルに対してlXl0−”〜40
×10−”モル、好ましくは1.2X10−2〜l0X
10−2モルの範囲であることが、速く均質な被膜を形
成する上で望ましい。
The concentration of hydrofluorosilicic acid in the treatment solution is 1 to 2 mol/β
It is preferable to saturate silicon dioxide in an aqueous solution of hydrofluorosilicic acid with a concentration of more than 2 mol/β, and then dilute it with water to obtain 1
The film formation rate was faster when the concentration was ~2 mol/β (
, is desirable because coating can be carried out efficiently. When adding boric acid to create a supersaturated state, the amount added is 1X10-" to 40% per mole of hydrofluorosilicic acid in the treatment solution.
×10-”mol, preferably 1.2X10-2 to 10X
A range of 10-2 moles is desirable for forming a uniform coating quickly.

基板を処理液に浸漬中、連続的にホウ酸水溶液を添加混
合し、また、処理液を循環させ、フィルターで濾過する
ことが、均質な被膜を効率よく得るために好ましい。二
酸化ケイ素の供給源としてシリカゲルを使用する場合に
は、孔径1.5μm以下のフィルターが、その他シリカ
ガラスなどを用いた場合には、孔径10μm以下のフィ
ルターが好ましい。また、処理液を浸漬槽に入れて、基
板と接触させる場合には、浸漬中の基板表面において、
処理液が層流となって流れるようにすることが、むらの
ない均質な被膜を形成するために好ましい。
In order to efficiently obtain a homogeneous film, it is preferable to continuously add and mix the boric acid aqueous solution while the substrate is immersed in the treatment liquid, and to circulate the treatment liquid and filter it with a filter. When silica gel is used as a source of silicon dioxide, a filter with a pore size of 1.5 μm or less is preferable, and when silica glass or the like is used, a filter with a pore size of 10 μm or less is preferable. In addition, when putting the processing liquid in a dipping tank and bringing it into contact with the substrate, on the surface of the substrate during dipping,
It is preferable for the treatment liquid to flow in a laminar flow in order to form an even and homogeneous film.

基板のグループ面側には、第1次被膜を形成していない
ので、二酸化ケイ素被膜は付着せず、第1次被膜を形成
した鏡面側にのみ二酸化ケイ素が析出した被覆層が形成
される。
Since no primary coating is formed on the group surface side of the substrate, no silicon dioxide coating is deposited, and a coating layer in which silicon dioxide is deposited is formed only on the mirror surface side on which the primary coating is formed.

二酸化ケイ素の被膜を形成した後、超純水にて処理基板
を洗浄し、次いで、二酸化ケイ素膜中の吸着水やシラノ
ール基を除去するために、高周波等により加熱処理を施
す。
After forming the silicon dioxide film, the substrate to be treated is washed with ultrapure water, and then heat treatment is performed using high frequency or the like in order to remove adsorbed water and silanol groups in the silicon dioxide film.

一酸化ケイ素の膜厚は、特に限定されず、適宜定めるこ
とができるが、通常、100人〜数1.000人、好ま
しくは500〜3,000人程度で表面改質の目的を達
成することができる。
The thickness of the silicon monoxide film is not particularly limited and can be determined as appropriate, but usually 100 to several 1,000 people, preferably 500 to 3,000 people can achieve the purpose of surface modification. I can do it.

また、基板の鏡面側の第1次被膜および二酸化ケイ素被
膜の合計膜厚を、グループ面側に形成される記録膜面側
(誘電体層、記録層および保護層を含む)の合計膜厚と
略等しい膜厚にすれば、熱的にもディスク断面が対象構
造となり、温度・湿度変化に対する反りが少な(なるの
で好ましい。
In addition, the total film thickness of the primary film and silicon dioxide film on the mirror surface side of the substrate is the total film thickness of the recording film surface side (including the dielectric layer, recording layer, and protective layer) formed on the group surface side. If the film thicknesses are made substantially equal, the cross section of the disk will have a symmetrical structure thermally, and warping due to changes in temperature and humidity will be reduced (this is preferable).

上記片面処理を行なった基板のグループ面側に、例えば
、スパッタリング法により、SiN系誘電体、TbFe
Co系記録層、およびSiN系保護層を順次積層して光
情報記録媒体を作成する。
For example, by sputtering, a SiN-based dielectric, TbFe, etc.
An optical information recording medium is produced by sequentially laminating a Co-based recording layer and a SiN-based protective layer.

光1Rと舛釆 本発明によれば、析出法により、二酸化ケイ素被膜をグ
ループ面と反対側にのみ設けるので、グループが第1次
被膜および二酸化ケイ素被膜で埋まることなく、膜厚の
許容幅を広く設定することが可能となる。したがって、
膜厚を大きくして水蒸気等の遮断効果を大きくすること
ができる。
According to the present invention, the silicon dioxide film is provided only on the side opposite to the group surface by the precipitation method, so the group is not filled with the primary film and the silicon dioxide film, and the allowable width of the film thickness can be increased. This allows for a wide range of settings. therefore,
By increasing the film thickness, the effect of blocking water vapor etc. can be increased.

また、記録膜側の全膜厚と略等しい膜厚とすることがで
き、その結果、温度・湿度変化による反りの発生を抑制
することができるので、特に、単板仕様のディスクに好
適である。
In addition, the film thickness can be made approximately equal to the total film thickness on the recording film side, and as a result, the occurrence of warping due to changes in temperature and humidity can be suppressed, so it is particularly suitable for single-plate discs. .

さらに、析出法による二酸化ケイ素被膜は、基板との密
着性が優れているので、剥離やクラックを発生すること
がなく、長期信頼性に優れている。
Furthermore, the silicon dioxide film produced by the precipitation method has excellent adhesion to the substrate, so it does not peel or crack, and has excellent long-term reliability.

(以下余白) [実施例] 以下、本発明について実施例および比較例を挙げて具体
的に説明するが、本発明はこれら実施例のみに限定され
るものではない。なお、実施例および比較例における加
速劣化試験の方法は、次のとおりである。
(Margin below) [Example] The present invention will be specifically described below with reference to Examples and Comparative Examples, but the present invention is not limited only to these Examples. In addition, the method of the accelerated deterioration test in Examples and Comparative Examples is as follows.

く透湿係数〉 10cmX 10cm、厚さ18.0μmのポリカーボ
ネート・シート上に析出法で二酸化ケイ素被膜を片面に
のみ被覆したサンプルを作成し、リッジ−法透過度テス
ターにより40℃1.RH90%で透湿度を測定した。
Moisture Permeability Coefficient A sample was prepared on a polycarbonate sheet measuring 10 cm x 10 cm and 18.0 μm thick, coated with a silicon dioxide film on only one side by a precipitation method, and tested at 40° C. with a ridge method permeability tester. Moisture permeability was measured at RH90%.

く反り量(半径方向チルト角)〉 恒温恒温機にディスクをセット後、20℃、RH30%
、1時間放置後、30分かけて60℃、RH80%に加
温、加湿して2時間後の半径方向チルト角の変化量を測
定した。+は記録膜側な凹とする。
Amount of warping (radial tilt angle)〉 After setting the disc in a constant temperature machine, 20℃, RH 30%
After being left for 1 hour, the sample was heated to 60° C. and RH 80% over 30 minutes and humidified, and the amount of change in the radial tilt angle was measured after 2 hours. + indicates a concavity on the recording film side.

く加速劣化試験〉 恒温恒温機にて、80℃、90%RHの条件で、1,0
00時間後の鏡面側の被膜のクラックおよび剥離の有無
を観察した。
Accelerated deterioration test〉 In a constant temperature machine at 80℃ and 90%RH,
After 00 hours, the presence or absence of cracks and peeling of the coating on the mirror side was observed.

〈グループの溝深さ〉 走査顕微鏡により中周(r=45mm)の溝深さを測定
した。
<Groove Depth of Group> The groove depth of the middle circumference (r=45 mm) was measured using a scanning microscope.

[実施例11 ポリカーボネート樹脂(PC)からなる光磁気ディスク
基板(直径130mm、厚さ1.2mm)の鏡面側に、
以下の方法で第1次被膜および二酸化ケイ素被膜を形成
した。
[Example 11] On the mirror side of a magneto-optical disk substrate (diameter 130 mm, thickness 1.2 mm) made of polycarbonate resin (PC),
A primary coating and a silicon dioxide coating were formed in the following manner.

先ず、γ−クリドキシブロビルトリメトキシシラン35
0重量部、水分散コロイダルシリカ14重量部、蒸留水
9重量部および1.2規定塩酸水溶液3重量部を混合し
、80℃で4時間還流後、57重量部の溶媒を留出温度
80〜90℃で留出した。このようにして得られたコロ
イダルシリカを含むγ−グリドキシプロピルトリメトキ
シシランの加水分解物溶液66重量部にエチルセロソル
ブ100重量部、硬化触媒およびフローコントロール剤
を添加して塗料とした。
First, γ-clidoxybrobyltrimethoxysilane 35
0 parts by weight, 14 parts by weight of water-dispersed colloidal silica, 9 parts by weight of distilled water, and 3 parts by weight of a 1.2N hydrochloric acid aqueous solution, and after refluxing at 80°C for 4 hours, 57 parts by weight of the solvent was distilled off at a distillation temperature of 80~ Distilled at 90°C. To 66 parts by weight of the hydrolyzate solution of γ-glydoxypropyltrimethoxysilane containing colloidal silica thus obtained, 100 parts by weight of ethyl cellosolve, a curing catalyst, and a flow control agent were added to prepare a paint.

この塗料をpc基板の鏡面側にのみスピンコード法にて
塗布し、120°Cの熱風乾燥炉で30分間熱処理した
This paint was applied only to the mirror side of the PC board by a spin code method, and heat treated in a hot air drying oven at 120°C for 30 minutes.

得られた第1次被膜(厚さ20人)を鏡面側に有するp
c基板に、特開昭61−12734号公報に示されてい
るのと同様の二酸化ケイ素被膜製造装置を用いて、第1
次被膜上に二酸化ケイ素被膜を析出させた。
P with the obtained primary film (thickness: 20 mm) on the mirror side
A silicon dioxide film manufacturing apparatus similar to that shown in JP-A No. 61-12734 was used to coat the first silicon dioxide film on the c substrate.
A silicon dioxide coating was then deposited over the coating.

すなわち、二酸化ケイ素被膜製造装置は、外槽と内槽か
ら成る浸漬槽を有し、内槽と外槽の間には水が満しであ
る。この水は温度が35℃となるようヒーターで加熱さ
れ、かつ、温度分布均一化のため撹拌機で撹拌されてい
る。内槽は前部、中部、後部から成り各部には工業用シ
リカゲル粉末を二酸化ケイ素の供給源として、二酸化ケ
イ素を溶解、飽和させた2、0モル/ρの濃度のケイフ
ッ化水素酸水溶液を水を用いて倍に希釈した3I2.の
反応液が満たしである。ここで、循環ポンプを作動させ
内槽後部の反応液を一定量ずつ放出してフィルターで濾
過し、内槽前部へ戻す処理液循環を開始した。
That is, the silicon dioxide coating manufacturing apparatus has a dipping tank consisting of an outer tank and an inner tank, and the space between the inner tank and the outer tank is filled with water. This water is heated with a heater to a temperature of 35° C., and is stirred with a stirrer to make the temperature distribution uniform. The inner tank consists of a front part, a middle part, and a rear part, and each part is filled with an aqueous solution of hydrofluorosilicic acid at a concentration of 2.0 mol/ρ, in which silicon dioxide is dissolved and saturated, using industrial silica gel powder as a source of silicon dioxide. 3I2. The reaction solution is full. At this point, the circulation pump was activated to discharge a certain amount of the reaction liquid from the rear of the inner tank, filter it with a filter, and start circulating the treated liquid back to the front of the inner tank.

その後、0.5モル/Cのホウ酸水溶液を連続的に内槽
後部に摘下し10時間保持した。この状態で反応液は適
度な二酸化ケイ素過飽和度を有する処理液となった。
Thereafter, a 0.5 mol/C boric acid aqueous solution was continuously poured into the rear part of the inner tank and maintained for 10 hours. In this state, the reaction solution became a treatment solution having an appropriate degree of silicon dioxide supersaturation.

ここでフィルターの絶対除去率を1.5μmおよび処理
液循環量を240mβ/分(処理液全量が約312であ
るので、循環量は8%/分である)に調整した。
Here, the absolute removal rate of the filter was adjusted to 1.5 μm, and the circulation rate of the treatment liquid was adjusted to 240 mβ/min (since the total amount of treatment liquid was about 312, the circulation rate was 8%/min).

そして、鏡面側に第1次被膜を有するpc基板を内槽中
部に垂直に浸漬し、前記条件(0,5モル/βのホウ酸
水溶液を0.2mj2/分で添加し、8%/分の循環を
行ない、1.5μmのフィルターで濾過する)で5時間
保持した。
Then, a PC board having a primary coating on the mirror side was immersed vertically into the middle of the inner tank, and the conditions were as described above (0.5 mol/β boric acid aqueous solution was added at 0.2 mj2/min, 8%/min). The mixture was circulated for 5 hours and filtered through a 1.5 μm filter.

この結果、約2,500人の膜厚をもつ二酸化ケイ素で
鏡面側のみが被覆された光磁気ディスク用基板を得た。
As a result, a magneto-optical disk substrate was obtained in which only the mirror side was coated with silicon dioxide having a thickness of approximately 2,500 nm.

次いで、超純水にて処置基板をスクラブ洗浄し、さらに
高周波加熱を行なった。
Next, the treated substrate was scrubbed with ultrapure water and further subjected to high frequency heating.

このようにして得られた基板をスパッタリング装置の真
空槽に導入し、I X 1’ O−’Torrまで排気
してから、ArガスをI X 10−”Torr導入し
た。
The substrate thus obtained was introduced into a vacuum chamber of a sputtering apparatus, and the vacuum chamber was evacuated to I x 1'O-' Torr, and then Ar gas was introduced at I x 10-' Torr.

グループ面側に、誘電体層としてS i A I2.O
Nを900人、次いでArガス圧を5 X 10−”T
orrとし、記録層としてTbFeCoを1,000人
、さらに保護層として5iAI2ONを900人の厚さ
で順次積層して光磁気ディスクを得た。
S i A I2. as a dielectric layer on the group surface side. O
N at 900, then Ar gas pressure at 5 x 10-”T.
A magneto-optical disk was obtained by sequentially stacking 1,000 layers of TbFeCo as a recording layer and 900 layers of 5iAI2ON as a protective layer.

[実施例2] 二酸化ケイ素の膜厚を1,500人としたこと以外は、
実施例1と同様にして光磁気ディスクを作成だ。
[Example 2] Except that the thickness of silicon dioxide was 1,500,
A magneto-optical disk was created in the same manner as in Example 1.

[実施例3] 二酸化ケイ素の膜厚を500人としたこと以外は、実施
例1と同様にして光磁気ディスクを作成した。
[Example 3] A magneto-optical disk was produced in the same manner as in Example 1, except that the thickness of the silicon dioxide film was 500 mm.

[比較例1] 未処理のpc基板を用いたこと以外は、実施例1と同様
にして光磁気ディスクを作成した。
[Comparative Example 1] A magneto-optical disk was produced in the same manner as in Example 1 except that an untreated PC board was used.

[比較例2] 第1次被膜を、浸漬法にてpc基板の全面(グループ面
を含む)に100人の厚みで作成した後、析出法により
、全面に厚み2,500人の二酸化ケイ素被膜を形成し
たこと以外は、実施例1と同様にして光磁気ディスクを
作成した。
[Comparative Example 2] After creating a primary coating with a thickness of 100 mm over the entire surface of the PC board (including the group surface) by dipping, a silicon dioxide coating with a thickness of 2,500 mm was formed over the entire surface using a precipitation method. A magneto-optical disk was produced in the same manner as in Example 1, except that a magneto-optical disk was formed.

し比較例3] PC基板の鏡面側にのみ、スパッタ法により厚み2,5
00人の二酸化ケイ素被膜を設けたこと以外は、比較例
1と同様にして光磁気ディスクを作成した。
[Comparative Example 3] Only on the mirror side of the PC board, a thickness of 2.5 mm was applied by sputtering.
A magneto-optical disk was prepared in the same manner as in Comparative Example 1, except that a silicon dioxide film of 0.000000000000 was provided.

実施例および比較例で得られた光磁気ディスクについて
評価した結果を一括して第1表に示す。
Table 1 summarizes the results of evaluating the magneto-optical disks obtained in Examples and Comparative Examples.

(以下余白) 実施例1〜3の結果から、基板の鏡面側にのみ析出法に
よる二酸化ケイ素被膜を設けることにより、温度変化に
よるバイメタル効果で発生する反りを抑制し、かつ、高
い水蒸気透過バリヤー性により、湿度による基板の透湿
を抑えて、反りを抑制することが分かる。
(Leaving space below) From the results of Examples 1 to 3, it was found that by providing a silicon dioxide coating by a precipitation method only on the mirror side of the substrate, warpage caused by the bimetallic effect caused by temperature changes can be suppressed, and high water vapor permeation barrier properties can be achieved. It can be seen that this suppresses moisture permeation of the substrate due to humidity and suppresses warpage.

また、鏡面側にのみ二酸化ケイ素被膜を設けるので、全
面被覆したときに生じるグループの溝が埋まるという問
題が起こらないことが分かる。
Furthermore, since the silicon dioxide coating is provided only on the mirror surface side, it is understood that the problem of filling the group grooves that would occur when the entire surface is coated does not occur.

さらに、析出法による二酸化ケイ素被膜は、基板との密
着性がスパッタ法による被膜よりも優れているので、加
速劣化試験後も剥離やクラックが生じないことが分かる
Furthermore, it can be seen that since the silicon dioxide coating formed by the precipitation method has better adhesion to the substrate than the coating formed by the sputtering method, no peeling or cracking occurs even after the accelerated deterioration test.

特許出願人 積水化学工業株式会社 代表者 廣1)馨Patent applicant Sekisui Chemical Co., Ltd. Representative Hiro 1) Kaoru

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] (1)基板上に形成された記録膜を有する光情報記録媒
体において、該基板が、記録膜とは反対側の面にのみ、
有機ケイ素化合物を被覆および硬化した第1次被膜と、
該第1次被膜上に、二酸化ケイ素の過飽和状態のケイフ
ッ化水素酸溶液と接触させて形成した二酸化ケイ素被膜
を有する透明合成樹脂基板であることを特徴とする光情
報記録媒体。
(1) In an optical information recording medium having a recording film formed on a substrate, the substrate has only the surface opposite to the recording film.
a primary coating coated and cured with an organosilicon compound;
An optical information recording medium characterized in that it is a transparent synthetic resin substrate having a silicon dioxide coating formed on the primary coating by contacting with a supersaturated hydrofluorosilicic acid solution of silicon dioxide.
JP2166013A 1990-06-25 1990-06-25 Optical imformation recording medium Pending JPH0460935A (en)

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