JPH0459394U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0459394U JPH0459394U JP10231690U JP10231690U JPH0459394U JP H0459394 U JPH0459394 U JP H0459394U JP 10231690 U JP10231690 U JP 10231690U JP 10231690 U JP10231690 U JP 10231690U JP H0459394 U JPH0459394 U JP H0459394U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pump chamber
- inert gas
- turbo molecular
- bearings
- pump
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 2
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims 2
Landscapes
- Non-Positive Displacement Air Blowers (AREA)
Description
第１図及び第２図は本考案の一実施例を示し、
第１図は全体断面図、第２図は要部拡大断面図で
ある。第３図は本考案の他の実施例を示す全体断
面図である。第４図および第５図は従来例を示し
、第４図は第１図相当の断面図、第５図は第２図
相当の断面図である。 Ｐ……ポンプ室、３……モータハウジング、４
……上部ベアリング、５……下部ベアリング、６
……シヤフト、７……ロータ、２１……加熱機構
（ヒータ）、２２，３２……冷却機構（ガス管）
。
第１図は全体断面図、第２図は要部拡大断面図で
ある。第３図は本考案の他の実施例を示す全体断
面図である。第４図および第５図は従来例を示し
、第４図は第１図相当の断面図、第５図は第２図
相当の断面図である。 Ｐ……ポンプ室、３……モータハウジング、４
……上部ベアリング、５……下部ベアリング、６
……シヤフト、７……ロータ、２１……加熱機構
（ヒータ）、２２，３２……冷却機構（ガス管）
。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 ポンプ室内に延出したシヤフトにロータを固着
する一方、モータハウジング内で該シヤフトを上
下一対のベアリングにより軸支し、かつ上部ベア
リングに不活性ガスを供給して該ベアリングに給
油されるオイルのポンプ室への漏出を防止するよ
うにしたターボ分子ポンプにおいて、 前記ポンプ室内を加熱する加熱機構と、前記不
活性ガスを予冷する冷却機構とを設けたことを特
徴とするターボ分子ポンプ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10231690U JPH0459394U (ja) | 1990-09-29 | 1990-09-29 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10231690U JPH0459394U (ja) | 1990-09-29 | 1990-09-29 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0459394U true JPH0459394U (ja) | 1992-05-21 |
Family
ID=31846455
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10231690U Pending JPH0459394U (ja) | 1990-09-29 | 1990-09-29 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0459394U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011163127A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-25 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |
-
1990
- 1990-09-29 JP JP10231690U patent/JPH0459394U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011163127A (ja) * | 2010-02-04 | 2011-08-25 | Ebara Corp | ターボ分子ポンプ |